JPS625882Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、平面研削装置の改良に関するもので
ある。

従来、ラツピング装置やポリツシング装置のよ
うに、回転する内歯歯車と太陽歯車との間にキヤ
リヤを噛合させ、このキヤリヤに保持させたワー
クの上下面を上下の定盤によつて研削するように
したものは知られている。

この種の平面研削装置においては、加工の終了
したワークを取出す場合、上定盤を十分に上昇さ
せたあとその取出しを行つていたが、例えばシリ
コンウエハーなどのように薄くて軽量のワークの
場合、それが上定盤の研削面に付着して該上定盤
と一緒に上昇し、乾燥による砥粒の固着やエツチ
ングなどによつて品質低下を来したり、上昇の途
中で落下して破損し易いなどの問題があつた。

叙上に鑑み、本考案は、加工終了後のワークを
安全且つ確実に取出すことができるようにした平
面研削装置の提供を目的とするもので、駆動源に
連結されて回転自在の内歯歯車と太陽歯車とにキ
ヤリヤを噛合させ、該キヤリヤに保持させたワー
クを上下の定盤によつて加工するようにしたもの
において、上定盤を昇降自在に支持させた機体
に、上記上定盤の上動を停止させるストツパと該
ストツパに対して上定盤の上動距離を設定するリ
ミツトスイツチとを備えたワークの取出し間隙設
定装置を配設すると共に、内歯歯車の下降状態に
おいて上記キヤリヤをワークと共に受台上に搬出
可能な搬出装置を配設したことを特徴とするもの
である。

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に
説明するに、第１図は平面研削装置の一例として
両面ラツピング装置を示すもので、図中１は機
体、２は該機体１に回転自在且つ上下動自在に支
承させた内歯歯車、４は該内歯歯車２の中央に位
置する回転自在の太陽歯車、５，６は上下の定盤
をそれぞれ示し、上記内歯歯車２、太陽歯車４及
び下定盤６はそれぞれ図示しない駆動源に連結さ
れている。また、上定盤５は、それに固定した取
付板７及び取付板７上に立設したスタツド８を介
して吊板９に吊設すると共に、該吊板９を図示し
ないシリンダのロツドに連結することによつて昇
降自在に構成し、上記取付板７には、放射方向に
位置する複数のフツクク１０を起倒自在に取付
け、これらのフツクク１０を駆動源に連結された
ドライバー１１に係脱自在としている。

而して、上記機体１には、研削加工の終了した
ワーク１２の取出しに当り、上定盤５の上昇を微
小距離に抑えて上下の定盤５，６間にワーク１２
の肉厚より僅かに大きい取出し間隙を形成させる
ための取出し間隙設定装置１３と、ワーク１２を
キヤリヤ１４と共に取出すための搬出装置１５と
が設けられている。

上記取出し間隙設定装置１３は、第２図からも
明らかなように、機体１上に固定したシリンダ１
６を備え、このシリンダ１６のロツド１６ａに取
付けた支持部材１７に、ねじ杆１８をねじ付きホ
ルダ１９の回転によつて上下動するように支持さ
せると共に、ギヤ２０，２１を介して上記ホルダ
１９を駆動するモータ２２を取付け、上記ねじ杆
１８の下端には、上定盤５の上動を機械的な抑止
力によつて停止させるストツパ２３としてのベア
リングと、該ストツパ２３に対して上下調整自在
のリミツトスイツチ２４を取付け、該リミツトス
イツチ２４は、その作動子２５が上定盤５の上面
に当接してオンたときに上記モータ２２の停止に
よつてねじ杆１８の下降が停止するように接続
し、これによつて、上定盤５とストツパ２３との
間に上定盤５の上動距離Δが設定されるように
構成している。

また、上記搬出装置１５は、第１図及び第３図
に示すように、前後動自在の作動アーム２６の先
端に、下向きに延びる挾持部２８ａ，２８ａを備
えた一対の挾持片２８，２８を左右開閉自在に取
付け、上記挾持部２８ａ，２８ａによつてキヤリ
ヤ１４のギヤ２０の部分を挾持して該キヤリヤ１
４をワーク１２と共に受台２９上に引き出すよう
に構成したもので、上記挾持部２８ａは、下定盤
６が摩耗してキヤリヤの高さが相対的に低くなつ
た場合でもそれを確実に挾持できるようにやや長
目に形成し、前後動自在の上記受台２９には、挾
持部２８ａを前後動と必要な範囲内での開閉とを
行い得るように嵌合させたスリツト状の切欠き３
０，３０を切設している。上記受台２９上には、
ワーク保護のためのバツドを貼着し、その上面に
ノズルによつて水を噴霧できるようにしておくの
が望ましい。

なお、上記取出し間隙設定装置１３及び搬出装
置１５は、それぞれ任意の１ケ所だけに設けても
よいが、定盤の回りに複数ケ所（例えば３ケ所）
配設してもよい。

上記構成を有する平面研削装置において、キヤ
リヤ１４に保持されたワーク１２は従来と同様の
方法でその研削加工が行われる。

加工が終了すると、上下の定盤５，６の回転が
停止し、取出し間隙設定装置１３におけるシリン
ダ１６が作動してロツド１６ａが第１図の右半に
示す位置に前進し、モータ２２の駆動によつてね
じ杆１８が下降する。そして、リミツトスイツチ
２４の押圧子２５が上定盤に当接して該リミツト
スイツチ２４が作動すると、モータ２２が停止し
てねじ杆１８の下降も停止する。このとき、第２
図に示すように、ストツパ２３と上定盤５との間
には間隙Δが形成されている。

次に、図示しないシリンダにより上定盤５が上
昇を始め、それがΔだけ上昇してストツパ２３
に当接すると、その位置で該上定盤は停止し、上
下の定盤５，６間にはワーク１２の肉厚より僅か
に大きい取出し間隙が形成される。このとき、上
定盤５を上昇させるシリンダには、該上定盤がス
トツパ２３の機械的な抑止力によつて停止せしめ
られる程度に比較的小さな力を発生するように圧
力流体を供給する必要がある。

続いて、第１図の左半に示すように、内歯歯車
２が下降して搬出装置１５における作動アーム２
６及び受台２９が前進し、第３図に鎖線で示すよ
うに左右一対の挾持片２８，２８の挾持部２８
ａ，２８ａによつてキヤリヤ１４のギヤ２０部分
が挾持され、その状態で作動アーム２６の後退に
よりキヤリヤ１４がワーク１２と共に受台２９上
にスライドしながら取出される。その際、ワーク
１２が上定盤５の研削面に付着していても、該ワ
ーク１２がキヤリヤ１４に係合することによつて
確実に取出されることになる。

搬出装置１５が１ケ所だけに設けてある場合に
は、その位置にあるキヤリヤ１４の取出しが終る
と、該搬出装置１５を一旦後退させると同時に内
歯歯車を上昇させて残りのキヤリヤと再び噛合さ
せ、上下定盤５，６の回転によつて残りのキヤリ
ヤ１４を搬出位置に移動させて上記搬出動作を繰
り返すようにする。このとき、上記ストツパ２３
を回転自在なボールベアリング形とし、且つリミ
ツトスイツチ２４に作動子２５をボール接触形と
しておけば、それらが上定盤５の回転によつて摩
耗したり破損するのを防止することができる。

また、上記取出し間隙設定装置１３において
は、上定盤５の研削面の摩耗によつて該上定盤５
の高さが低くなつた場合でも、その分だけねじ杆
１８の下降ストロークが長くなるだけでリミツト
スイツチ２４で設定される上定盤５の上動距離Δ
は一定であり、従つて、上定盤５の摩耗とは無
関係に上下の定盤５，６間に常に一定のワーク取
出間隙を形成させることができる。

上述したワーク１２の取出しが完了するとモー
タ２２が作動してねじ杆１８がストツパ２３に当
接した状態の上定盤５と共に上昇し、それらが一
定距離上昇したところで適宜の位置検出手段によ
つて上定盤５が中間位置に一旦停止せしめられ、
ねじ杆１８のみがリミツトスイツチ３５が作動す
ると上限位置まで上昇する。そして、該ねじ杆１
８が上限位置に達すると、シリンダ１６が作動し
て取出し間隙設定装置１３が上定盤５とは非係合
位置まで後退し、それと同時に上定盤５が上限位
置まで上昇する。この上定盤の上昇によつて新た
なワークの装填が可能となる。

第４図は上記搬出装置１５の別構帯例を示すも
ので、前後動自在の作動アーム３１の先端に電磁
石３２を下動自在に取付け、この電磁石３２を弱
いスプリング３３で上方へ付勢させており、ワー
ク１２の取出時に、作動アーム３１を前進させた
状態で電磁石３２に通電することにより該電磁石
をスプリング３３に抗してキヤリヤ１４に吸着さ
せ、その状態で作動アーム３１を後退させること
によつてキヤリヤ１４を受台３４上に搬出するよ
うに構成したのである。この場合には、キヤリヤ
１４が電磁石に吸着される素材によつて形成され
ていることが前提になる。

このように、本考案に係る平面研削装置によれ
ば、加工の終了したワークの取出し時に、取出し
間隙設定装置で上定盤を僅かな距離だけ上動させ
て下定盤との間に小さな取出し間隙を形成させ、
その状態でキヤリヤをスライドさせて取出すよう
にしたので、上定盤の研削面に付着したワークを
キヤリヤを介して確実に取出すことができ、ま
た、上記取出し間隙設定装置は、上定盤の上動を
停止させるストツパに対してリミツトスイツチに
よつて上定盤の上動距離を設定するように構成し
たので、定盤の摩耗とは無関係に常に一定のワー
ク取出し間隙を上下両定盤の間に簡単且つ高精度
に設定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る平面研削装置は左半部と
右半部とで動作状態を異ならしめて示す部分断面
図、第２図はその要部拡大断面図、第３図は同要
部平面図、第４図は搬出装置の別構成例を示す断
面図である。 １……機体、２……内歯歯車、４……太陽歯
車、５……上定盤、６……下定盤、１２……ワー
ク、１３……取出し間隙設定装置、１４……キヤ
リヤ、１５……搬出装置、２３……ストツパ、２
４……リミツトスイツチ、２９，３４……受台。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 駆動源に連結されて回転自在の内歯歯車と太陽
   歯車とにキヤリヤを噛合させ、該キヤリヤに保持
   させたワークを上下の定盤によつて加工するよう
   にしたものにおいて、上定盤を昇降自在に支持さ
   せた機体に、上記上定盤の上動を停止させるスト
   ツパと該ストツパに対して上定盤の上動距離を設
   定するリミツトスイツチとを備えたワークの取出
   し間隙設定装置を配設すると共に、内歯歯車の下
   降状態において上記キヤリヤをワークと共に受台
   上に搬出可能な搬出装置を配設したことを特徴と
   する平面研削装置。