JPH03277703A - 板状材料の製造方法 - Google Patents

板状材料の製造方法

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JPH03277703A
JPH03277703A JP2080357A JP8035790A JPH03277703A JP H03277703 A JPH03277703 A JP H03277703A JP 2080357 A JP2080357 A JP 2080357A JP 8035790 A JP8035790 A JP 8035790A JP H03277703 A JPH03277703 A JP H03277703A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明1よ、粉末冶金による板状材料の製造方法にか
−り、特に圧延による板状化や塊状物から板状に切出す
ための切断が困難な材料の板状物を量産的に得る方法に
関する。
〔従来の技術〕
従来、板状に圧延または鍛圧するのが困難なセンダスト
系合金、コバルト合金、高級高速度鋼、あるいはラーベ
ス化合物や金属間化合物を主体とする合金などの円板状
または角板状の材料を得るには、鋳造により円柱形また
は角柱形のビレットを製作し、これをスライシングして
円板状または角板状の材料を得、必要に応じそのスライ
ス面を研磨加工することが多かった。
例えば、最近、磁気記録の高密度化が進み、それに対応
する磁気ヘッドの製作にセンダスト合金CFe−An−
5i系合金)のスパッタリングが行われるようになった
が、この合金は塑性加工が極めて困難なので、スパッタ
リングの母材としてのターゲツト材は、溶製鋳造によっ
て得たビレットから直接板状に切出していた。また、高
密度記録方式として期待されている光磁気記録方式の記
録媒体に用いるレアアース−Fe系ラーベス化合物が主
体の合金も、同様に塑性加工が困難なため、溶製ビレッ
トから直接ターゲットを切出していた。
また一部ては、鋳造により顕著な偏析を生ずる材料の場
合は、粉末材料をホットプレス、熱間等方圧プレス、液
圧鍛造プレスなどにより、スライシング用のビレットを
製作することも試みられている。
更に、スライシング以外の製法として、粉末のホットプ
レスにより、薄い粉末層を板状に圧縮焼結することも古
くから行われている。
〔発明か解決しようとする課題〕
ビレットを多数の板状材料にスライシングする方法にあ
っては、ビレットの製作方法の如何に関係なく、スライ
シングのコストか高く、かつ切り代による生産歩留の低
下によるコスト増大かこれに加わる。殊に切削性が悪い
材料の場合は、通常の工具ては切断できなかったり、超
硬合金工具を用いても材料か割れたりして生産歩留か極
めて悪い。また、放電加工、電子ビーム切断、レーザー
切断などの特殊な加工法によってスライシングする場合
は、所要時間か長く、−層生産性が悪い。
これに加え、前述のセンダスト系合金やレアアース−F
e系合金は、ビレットを溶製しようとすると、往々にし
て凝固の途中に偏析を生じ、ビレットの部位によフては
所定の組成から外れたり、内部に鋳巣やクラックを生じ
たりして使用てきなくなるため、製品歩留か大幅に低下
する。また、溶製・鋳造法によるとビレット中に1■を
越えるような粗大結晶粒か表われることか多く、その場
合結晶粒内てへき開か起こり易いために非常に脆く、板
状のターゲットの切出しや研削が非常に難しい。
この他、粉末をホットプレスすることによりビレットま
たは板状材料を得る方法にあっては、プレス金型の高温
強度上の制約から、工業的に実用上1000℃、100
0Kg/ cm2程度か限界てあり、合金粉末の種類に
よっては、ホットプレスによって空孔か無い完全に10
0%密度の焼結成形体を得るのが困難である。空孔か残
る場合は、得られた板状材料をターゲットとして使用す
る際に、空孔部分に熱応力か集中してそこを起点に割れ
が発生したり、空孔部分から不純物としてのガスが放出
されて、スパッタリングに悪影響を与えるなどの問題か
起こる。殊にホットプレスによって一枚づつ板状材料を
作る場合は、更に生産性か低下する。
上記の諸問題を解決するために、出願人は先に特願昭6
3−137867号の明細書及び図面に示されている技
術を開発した。これは第4図に示すように、可鍛性金属
製の円筒形カプセル31内に、板状に成形しようとする
材料の粉末32とセパレート板33とを交互に収容し、
このカプセルを密閉し、加熱して、加圧圧縮用金型内で
プレスし、これを取出して冷却してから、カプセル31
及びセパレート板33に由来する部分を除去するもので
ある。ここて、カプセル31及びセパレート板33の材
料としては、処理粉末との親和性か弱く、容易に分離す
ることかてきるものか用いられている。
しかし、上述の特許出願の方法ては、粉末層32の厚さ
を均一にするのが難しく、そのために得られた板状材料
の厚さか、例えば直径150謄mのものて7層層±2層
lと各部て大きく違っていたり、金属組織中に空隙か存
在する部分か現われたりすることかあワた。
また、上述の特許出願の方法ては、板状材料とセパレー
ト板との機械的結合か強い場合には、カプセル31に由
来する外皮を除いた後に、セパレート板の部分を回転砥
石切断機等て切断して個々の材料を分離しなければなら
ないか、セパレート板か斜めになっているために切断砥
石がセパレート板からはみ出して、板状材料部分に及ぶ
ことかあり、その際に切断砥石を破損させたり、板状材
料に割れを生したりする。
この発明は、上述の特許出願の発明を更に改良して、各
部の厚さが均一て、組織中に空隙か無い良品質の板状材
料を得ようとするものである。
〔課題を解決するための手段〕 この発明においては、可鍛性の金属カプセルの中に、セ
パレート板と材料粉末とを交互に充填するのではなく、
材料粉末を浅い容器に収容した複数の容器を積重ねて収
容する。これらの容器は。
可鍛性金属て作られ、部厚い平坦な底とその周辺から起
立する低い周壁とを有する。上記の容器な収容したカプ
セルを密閉し、加熱して、加圧圧縮用の金型内て圧縮す
る。この圧縮されたカプセルを、金型から取出し、冷却
した後、上記容器及びカプセルに由来する金属部分を除
去して板状に焼結された材料を取出す。
上記粉末は、合金が硬くて圧縮され難い場合か多いため
に、なるべく充填密度か高まるように、ガスアトマイズ
法によって得た球形の粒子からなるものを使用するのが
望ましい。
上述の金属カプセルは、加熱圧縮時に破断せずに変形す
ることが必要である。また、厚肉のカプセルを用いた場
合、圧縮後の冷却時におけるカプセルの収縮の情況が、
焼結成形体と著しく異なるときは、焼結成形体に応力割
れが起こることかあるので、これを予防するために、焼
結成形した金属の変形抵抗や変態点や熱膨張率に似てい
るものを選ぶのが望ましい。例えば、焼結温度以下の領
域て変態点を持たないセンダスト系合金粉末を処理する
場合には、同しく変態点がなく焼結温度での変形抵抗か
近似するSO5304鋼のカプセルを用いるとよい、な
3、薄肉のカプセルを用いる場合は、このような配慮は
不要である。
粉末材料を容れる容器は、焼結後に焼結成形体から分離
を要するのて、焼結成形体との親和性が弱い材料を用い
、金属カプセルの内部にほぼ−ばいに納まる寸法である
ことか必要である。ここて親和性か弱いという意味は、
焼結温度領域て両者か反応結合しない程度の関係を言い
、センダスト系合金粉末を処理する場合にはSO830
4鋼が適当である。また、容器の底の下面に、容器を積
重ねた際に下方の容器に嵌合する突出部を設けるのが望
ましい。
各容器に充填する粉末材料は、見掛は比重を高めるため
に容器ごと振とうすることが望ましく、上面か平坦て、
充填の深さは各部均一てなければならない。積上げた容
器は、互に分離しないように、2〜3箇所で溶接してお
くことか望ましい。
カプセルに容器を収容したら、カプセルを密封し、必要
に応じて内部な脱気する。
加熱は、高温雰囲気中においたり、抵抗加熱や誘導加熱
など、適宜の方法を採用てきる。一般に粉末材料は誘導
加熱の効率が著しく悪いか、この発明においては、各容
器の発熱によって効果的に誘導加熱を行うことかてきる
。加熱温度は、焼結を加圧下て行わせているため、無圧
下での焼結温度より低くてもよい。
加圧には、油圧式鍛造プレス機、押出口を閉塞した熱間
押出機などを用い、加圧の圧力は、ホットプレスの圧力
よりも充分に高い2000Kgf/ cm2以上とする
。その際、カプセルの外径は金型の内径と余り差かない
方がよい。
加圧の結果、金型内でカプセルは完全に充実質の金属塊
に変化するか、取出した金属塊を冷却し、周囲のカプセ
ル及び容器周壁から移行した金属層を機械加工によって
除去した後、内部の容器底と粉末焼結層とを分離して、
粉末か焼結した板状材料を得る。
(作 用) 上述の製造方法においては、各容器に粉末材料を充填す
る際に、容器周壁の高さを基準にすることによって、容
易に粉末材料の層厚を均一に規制することかてきる。そ
して、これをカプセルに収容して加熱加圧するときは、
カプセルごと圧縮されて、粉末材料層は均一な平板状の
充実金属層に焼結される。
上述の製法において、合金粉末は、圧縮の際の圧力か高
いために、例えば金属間化合物のような硬い粒子てあっ
ても、短時間内に空孔か全く無い100%密度の状態に
焼結される。そして、高圧て成形するため、焼結に要す
る時間か短く、高温にさらされる時間か短いために粒成
長か少なく、製品中の結晶粒の大きさは、原料粉末の粒
子寸法の範囲内に抑えることかできる。
加圧を終え、冷却したカプセルの外周部分を機械加工に
よって除去すると、容器底と板状に成形されかつ焼結さ
れた材料とか交互に積層された金属塊か得られる。粉末
材料と容器構成金属との親和性か乏しい場合には、焼結
成形材料層と容器底とを容易に分離することかてきる。
また、上記の親和性かかなり大きく、分離が困難な場合
には、容器底部分に機械加工を加えて板状にスライシン
グした後、スライス片の両面の不要金jiI層を除去し
て、焼結成形材料層のみを取出す。
このようにして得た板状の焼結成形材料は、充填時に厚
さが十分規制されていた結果、湾曲などの変形か少なく
、各部の厚さか均一て、各部の密度も均一て金属の真密
度に等しく、焼結残孔は殆ど存在していない。また、そ
の組織は粒径が細かく、溶製材に見られるような巨大粒
子、中心部と周辺部との組織の違い、偏析、鋳巣、割れ
などは、全く認められない。
(実施例) 第1図においてl〜Nは浅い皿状の容器て、短円筒形の
周壁11と平板状の底12とを有し、これによって上面
に凹所13か形成されている。容器I〜Nは、周面の下
部に底12の下面と若干の段差を持った嵌入部14を有
しており、この嵌入部14は凹所13に丁度嵌合する寸
法である。な乞、最下段の容器lは、このような嵌入部
14を省略してもよい。
1は最上段の容器Nに被せられる内蓋て、容器l〜Nの
底12と同じ厚さて、容器2〜Nと同様な嵌入部14を
有する。必要に応じ、容器2〜Nの底12及び内蓋10
の適所には、それぞれ微小径の通気孔15を設ける。容
器1〜N及び蓋10の材質及び寸法は次の通りである。
材質   5O5−304鋼 外径          162  ■罷内径    
              159  醜態凹所13
の深さ      15  龍−底12及び蓋10の厚
さ   20  am嵌入部14の段差      3
.5菖■上記容器1〜Nの各々に、センダスト系合金(
85Fe−93i−6AI各重量%)を真空溶解炉で溶
解し アルゴンガス・アトナイス法により噴霧した平均
粒径150p■の粉末にし、lagの目のふるいを通過
させて巨大な粒子を除いた粉末材料1110gを充填し
、十分振とうして表面を平にする。ここて使用するセン
ダスト系合金の成分は次の通りである。
C・・・・0.002重量%  S・・・・・・0.0
01重量%Si・・・・9.40/ノAn・・・・5.
75ツノMn・・・・0.09重量%  Ti・・・・
0.03  重量%P・・・・0゜012  IノFe
・・・・残m   77粉末材料16を充填した容器1
〜Nを第1図に示すように禮重ね、かつ内蓋10を被せ
、これらを互に2〜3箇所て溶接17によって結合して
、カプセル18に納める。
カプセル18は、円筒形の周壁19と底20とよりなり
、その上端の開口は、排気管21を有する蓋22によっ
て閉塞されるよう構成されている。カプセル18及び蓋
22の材質及び寸法は次の通りである。
材質   5US−304鋼 外径         166  鳳■周壁】9の肉厚
       1,6■■底20及び蓋22の肉厚  
 40  ■■長さ          480  ■
璽容器l〜Nを収容したカプセル18には蓋22を気密
に溶接2コシ、排気管21を経由して内部を脱気して、
排気管21を封止する。次いて、このカプセルを誘導加
熱により1200℃に加熱し、押出口か閉塞されている
熱間押出機(内径172mm)に装填し、2000tf
の力て押圧した後取出し、徐冷する。得られたカプセル
は、長さ406■鵬に圧縮されている。
上述の圧縮されたカプセルの、周囲の5O3−304鋼
部分を旋盤加工によって除去すると、容器底12に由来
する5O3−304鋼層と、粉末層16に由来するセン
ダスト系合金とか、交互に重なった柱状積層物か得られ
る。この積層物の各層を、若干の力を加えて分離するこ
とにより、直径163■鳳のセンタスト系合金円板が得
られる。
この円板の厚さを、第2図に示す各部A、B、C・・・
・て測定した結果は、次の通りであった。
このようにして得たセンダスト系合金円板を顕微鏡観察
した結果では、組織は微細な粒子によって構成され、空
孔は皆無であった。また、その密度は、センダスト合金
の真密度6.96g/ cs3に極めて近い値を示して
いた。
また、この円板から外径10.011、内径6.0■薦
、厚さ0.2厘層の試験片を切出し、10ミリエルステ
ツドの磁界をかけて実効透磁率を測定した結果は第3図
に○印で示す通りであり、文献に示されているセンダス
ト合金の実効透磁率(実線)とよく−致した。
〔発明の効果〕
以上の実施例によって明らかなように、この発明による
ときは、偏析が無く、結晶粒が微細で、緻密で空孔が存
在しない板状材料を効率良く製造することができ、かつ
出願人が先に出願した特願昭63−137867号の発
明に較べて材料の厚さの精度を大幅に改善して、切断に
よる分離を必要とする場合にその切断作業を容易にし、
かつ最終的な厚さに仕上加工する場合に、その加工代を
少くして仕上加工による材料の損失を減じ、かつ仕上加
工そのものも容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の実施例における熱間加圧圧縮前のカ
プセルの部分切断側面図、第2図は同実施例による製品
の厚さ測定部位を示す平面図、第3図は同実施例による
製品の周波数特性図、第4図は従来の製法における熱間
加圧圧縮前のカプセルの部分切断側面図である。 1〜N・・・・容器、11・・・・筒壁、 12・・・
・底、16・・・・材料粉末、18・・・・カプセル。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)可鍛性金属で作られた平坦で部厚い底及びその周
    辺から起立する低い周壁を有する複数個の皿形の容器に
    、可鍛性に乏しい材料の粉末の適量を収容し、これらの
    材料粉末を収容した容器を積重ねて可鍛性金属で作られ
    た円筒形カプセルに収容して密閉し、このカプセルを加
    熱して加圧圧縮用金型内で強圧し、次いでこのカプセル
    を取出して冷却し、上記容器及びカプセルに由来する金
    属部分を除去して上記粉末の高密度焼結成形体を得るこ
    とを特徴とする板状材料の製造方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008179152A (ja) * 1996-11-22 2008-08-07 Atlantic Res Corp 真空工具装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4332971A1 (de) * 1993-09-28 1995-03-30 Fischer Artur Werke Gmbh Verfahren zur Herstellung von ineinandergreifenden Teilen

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6393803A (ja) * 1986-10-09 1988-04-25 Nippon Steel Corp 金属粉末の成形加工法
JPH01306507A (ja) * 1988-06-03 1989-12-11 Sanyo Special Steel Co Ltd 板状材料の製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3632708A (en) * 1969-03-26 1972-01-04 Union Carbide Corp Use of expanded anisotropic graphite as multi-cavity mold for hot pressing
DE3009916C2 (de) * 1980-03-14 1985-10-10 Nyby Uddeholm AB, Torshälla Strangpreßbolzen für die pulvermetallurgische Herstellung von Rohren sowie Verfahren zu seiner Herstellung
US4606883A (en) * 1983-10-21 1986-08-19 J. Wizemann Gmbh & Co. Method of manufacturing a metallic composite article
US4810289A (en) * 1988-04-04 1989-03-07 Westinghouse Electric Corp. Hot isostatic pressing of high performance electrical components
US4999156A (en) * 1988-09-13 1991-03-12 University Of Tennessee Research Corporation Bi-dimensional compression method
US4906434A (en) * 1988-09-13 1990-03-06 University Of Tennessee Research Corporation Bi-dimensional compression method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6393803A (ja) * 1986-10-09 1988-04-25 Nippon Steel Corp 金属粉末の成形加工法
JPH01306507A (ja) * 1988-06-03 1989-12-11 Sanyo Special Steel Co Ltd 板状材料の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008179152A (ja) * 1996-11-22 2008-08-07 Atlantic Res Corp 真空工具装置
JP4718571B2 (ja) * 1996-11-22 2011-07-06 アトランティック・リサーチ・コーポレイション 真空工具装置

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Publication number Publication date
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