JPS6393802A - 熱間静水圧プレス成形方法 - Google Patents
熱間静水圧プレス成形方法Info
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- JPS6393802A JPS6393802A JP23784786A JP23784786A JPS6393802A JP S6393802 A JPS6393802 A JP S6393802A JP 23784786 A JP23784786 A JP 23784786A JP 23784786 A JP23784786 A JP 23784786A JP S6393802 A JPS6393802 A JP S6393802A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、熱間静水圧プレス（以下ＨＩＰと呼ぶ）によ
り高密度焼結体を製造する方法に関するものである。
り高密度焼結体を製造する方法に関するものである。
ＴｂＦｅ 、 ＧｄＴｂＦｅ 、 ＴｂＦｅＣｏ 、
ＧｄＤｙＦｅＣｏ等の希土類金属を含むＦｅ系あるいは
Ｃｏ系の磁性材料は。
ＧｄＤｙＦｅＣｏ等の希土類金属を含むＦｅ系あるいは
Ｃｏ系の磁性材料は。
光磁気ディスクの記録媒体として用いられている。
この記録媒体は、アクリル系又はエポキシ系の基板上に
スフ９ツタ法によって薄膜として形成される。
スフ９ツタ法によって薄膜として形成される。
この種の薄膜記録媒体は、成分の均一性が要求されると
ともに、高純度及び低酸素含有率であることが必要とさ
れる。そのためスパッターターｒノド基板は、高密度、
高純度、低酸素含有率の材料であることが強く要求され
る。
ともに、高純度及び低酸素含有率であることが必要とさ
れる。そのためスパッターターｒノド基板は、高密度、
高純度、低酸素含有率の材料であることが強く要求され
る。
従来、ス／？ツターターｒット基板を製造する方法とし
て鋳造法や、粉砕粉末をホットプレスする方法が知られ
ているが、緻密なものが得られないという致命的欠陥が
ある。
て鋳造法や、粉砕粉末をホットプレスする方法が知られ
ているが、緻密なものが得られないという致命的欠陥が
ある。
このような致命的欠陥を克服する方法として。
コンテナを用いたＨＩＰ法が知られているが、希土類金
属を含有したＦｅ系あるいはＣｏ系合金は、酸素親和力
が大きいため単純にＨＩＰ法を適用することはできない
。
属を含有したＦｅ系あるいはＣｏ系合金は、酸素親和力
が大きいため単純にＨＩＰ法を適用することはできない
。
このため本出願人は、既に、特願昭６０−１９０９３０
号で、希土類金属を含有したＦｅ系あるいはＣｏ系合金
の高密度焼結体をＨＩＰ法によって得る際、第１図（１
Ｂに示すように合金粉末１２を、コンテナ１１に入れて
密封する前にｓ １０−６Ｔｏｒｒ以上の真空度にて、
８５０〜１０５０℃の温度で真空加熱することにより、
吸着しているガスや水分、油分等を除去した後、コンテ
ナ１１を密封してＨＩＰ処理する方法を提案した。
号で、希土類金属を含有したＦｅ系あるいはＣｏ系合金
の高密度焼結体をＨＩＰ法によって得る際、第１図（１
Ｂに示すように合金粉末１２を、コンテナ１１に入れて
密封する前にｓ １０−６Ｔｏｒｒ以上の真空度にて、
８５０〜１０５０℃の温度で真空加熱することにより、
吸着しているガスや水分、油分等を除去した後、コンテ
ナ１１を密封してＨＩＰ処理する方法を提案した。
しかしながらその方法では、 ＨＩＰ処理後に、第１図
〔１〕に示すように、密封したコンテナ１１が均一に圧
縮されないため、鎖線にて囲まれた部分のみが製品とし
て用いられ得るにすぎず、したがってかなり歩留が悪い
。また希土類金属はかなり高価であるため製品価格に対
する材料費の占める割合が高くなることは避けられず、
したがって効率よく製品を製造することが必須である。
〔１〕に示すように、密封したコンテナ１１が均一に圧
縮されないため、鎖線にて囲まれた部分のみが製品とし
て用いられ得るにすぎず、したがってかなり歩留が悪い
。また希土類金属はかなり高価であるため製品価格に対
する材料費の占める割合が高くなることは避けられず、
したがって効率よく製品を製造することが必須である。
それ故に本発明の課題は、上記の問題点に鑑み。
希土類金属を含有するＦｅ系あるいはＣｏ系合金の高密
度焼結体をＨＩＰ法を用いて容易にかつ効率良く製造で
きる方法を提供することにある。
度焼結体をＨＩＰ法を用いて容易にかつ効率良く製造で
きる方法を提供することにある。
本発明によれば、所定の形状の金属製コンテナに金属粉
末を充てんし、該コンテナを脱気密封し。
末を充てんし、該コンテナを脱気密封し。
しかる後に、該コンテナに高温高圧の熱間静水圧プレス
処理を施す方法において、金属粉末の上。
処理を施す方法において、金属粉末の上。
下に耐火物粉末のプレス成形体をス４−サーとして用い
、サンドイッチ状に構成することを特徴とする熱間静水
圧プレス成形方法が得られる。
、サンドイッチ状に構成することを特徴とする熱間静水
圧プレス成形方法が得られる。
従来法と同じく密封コンテナを用いて、希土類金属を含
むＦｅ系あるいはＣｏ系合金の高密度焼結体のＨＩＰ処
理を行うわけであるが、その際９本発明では、第１図（
Ｉｆ）の上、下面の研摩、研削、切断等により除去して
いた希土類金属を含むＦｅ系あるいはＣｏ系合金部分を
、耐火性セラミックスプレス成形体に置き換える。これ
によると、効率の良い、スノＪ？ツターターゲットの製
造方法を提供できる。
むＦｅ系あるいはＣｏ系合金の高密度焼結体のＨＩＰ処
理を行うわけであるが、その際９本発明では、第１図（
Ｉｆ）の上、下面の研摩、研削、切断等により除去して
いた希土類金属を含むＦｅ系あるいはＣｏ系合金部分を
、耐火性セラミックスプレス成形体に置き換える。これ
によると、効率の良い、スノＪ？ツターターゲットの製
造方法を提供できる。
即ち、第１図（Ｉｔ）の上、下のムダな部分に耐火性セ
ラミックスプレス成形体をスＲ−サーとして用い、研摩
、研削、切断等の工程をできるだけ省略しまた。余分な
希土類金属を含むＦｅ系あるいはＣｏ系合金粉末を用い
ることなく３歩留の良い製品を製造可能にした。
ラミックスプレス成形体をスＲ−サーとして用い、研摩
、研削、切断等の工程をできるだけ省略しまた。余分な
希土類金属を含むＦｅ系あるいはＣｏ系合金粉末を用い
ることなく３歩留の良い製品を製造可能にした。
ここで耐火性セラミックスとしては、酸化アルミニウム
、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム等
の金属との反応性の乏しいセラミックス粉末を用いる。
、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム等
の金属との反応性の乏しいセラミックス粉末を用いる。
プレス体成形方法は通常の金型プレスやラバーブレスが
一般的である。
一般的である。
重要なことは、金属粉末のＨＩＰ処理後の密度に対する
相対粉末光てん密度（Ｄ、）と耐火性セラミックスプレ
ス成形体のＨＩＰ処理後の密度に対するプレス成形体の
相対圧粉密度（Ｄ２）をほぼ一致させておくことである
。（０，９≦Ｄ ２／Ｄ １≦１．１が好ましい。）０
．９≦Ｄ ２ ／Ｄ 、の場合には、従来法と同様に製
品歩留が悪＜ ｓ Ｄ２／ＤＩ≦１．１の場合は、収縮
率の違いが原因とみられるクラックの発生が見られる。
相対粉末光てん密度（Ｄ、）と耐火性セラミックスプレ
ス成形体のＨＩＰ処理後の密度に対するプレス成形体の
相対圧粉密度（Ｄ２）をほぼ一致させておくことである
。（０，９≦Ｄ ２／Ｄ １≦１．１が好ましい。）０
．９≦Ｄ ２ ／Ｄ 、の場合には、従来法と同様に製
品歩留が悪＜ ｓ Ｄ２／ＤＩ≦１．１の場合は、収縮
率の違いが原因とみられるクラックの発生が見られる。
以下に９本発明の具体的な実施例β説明する。
第２図ＣＩ）を参照して、φ２００皿のステンレス製の
コンテナ１１の内部に配した二枚のス４−サー１３０間
に３０メツシユアンダーに粉砕したＧ ｄ ｏ、５ Ｔ
ｂ ｏ、ｓＦ ６２．５合金粉末１２をＤ１＝７０％に
て充てんし、排気管を有する蓋をコンテナ１１に溶接し
排気管を真空ポンプに接続し、コンテナ１１内を５ｘｌ
ＯＴｏｒｒまで脱気した。ここでスペーサー１２として
は、Ｄ２：６８％のラバープレス法より作製した厚み１
５ｍ１１Ｌの窒化ホウ素プレス成形体を用いた。
コンテナ１１の内部に配した二枚のス４−サー１３０間
に３０メツシユアンダーに粉砕したＧ ｄ ｏ、５ Ｔ
ｂ ｏ、ｓＦ ６２．５合金粉末１２をＤ１＝７０％に
て充てんし、排気管を有する蓋をコンテナ１１に溶接し
排気管を真空ポンプに接続し、コンテナ１１内を５ｘｌ
ＯＴｏｒｒまで脱気した。ここでスペーサー１２として
は、Ｄ２：６８％のラバープレス法より作製した厚み１
５ｍ１１Ｌの窒化ホウ素プレス成形体を用いた。
次いで温度１０００″Ｏまで加熱昇温させ、 １０００
℃にて２時間保持し加熱真空引処理を施した。保持後真
空脱気を続けながら排気管の一部を加熱圧着し、しかる
後排気管を切断し密封コンテナを作製した。
℃にて２時間保持し加熱真空引処理を施した。保持後真
空脱気を続けながら排気管の一部を加熱圧着し、しかる
後排気管を切断し密封コンテナを作製した。
さらにこのコンテナなＨＩＰ炉内に設置し、温度１００
０℃、圧力１０００気圧、保持時間２時間の条件にてＨ
ＩＰ処理を施した。
０℃、圧力１０００気圧、保持時間２時間の条件にてＨ
ＩＰ処理を施した。
このような工程を経た後、コンテナよりＧｄＴｂＦｅ合
金を取り出しその合金の周囲部分のみを第２図（Ｉｔ）
の破線に沿って旋盤で削除し、上下面は切断することな
く、研摩するのみでスフ９ノターターダソト基板を作製
することができた。また、 ＧｄＴｂＦｅ合金の組織は
ディト及びクラック等の欠陥はみられず、相対密度９９
．５ ％の高密度の材料となっていた。また酸素含有量
を測定した所９５０ ｐｐｍの含有量を示し、粉砕粉末
時の酸素含有量９７０ ｐｐｍと比較して同等の酸素含
有量であった。本材料を鏡面加工仕上げし、導電金属に
ろう付けし、ス・ぐツタ−ターゲット基板を作製し、ス
・ぐツタ−膜を形成した所、良好な光磁気記録用媒体膜
が得られた。
金を取り出しその合金の周囲部分のみを第２図（Ｉｔ）
の破線に沿って旋盤で削除し、上下面は切断することな
く、研摩するのみでスフ９ノターターダソト基板を作製
することができた。また、 ＧｄＴｂＦｅ合金の組織は
ディト及びクラック等の欠陥はみられず、相対密度９９
．５ ％の高密度の材料となっていた。また酸素含有量
を測定した所９５０ ｐｐｍの含有量を示し、粉砕粉末
時の酸素含有量９７０ ｐｐｍと比較して同等の酸素含
有量であった。本材料を鏡面加工仕上げし、導電金属に
ろう付けし、ス・ぐツタ−ターゲット基板を作製し、ス
・ぐツタ−膜を形成した所、良好な光磁気記録用媒体膜
が得られた。
以上、述べた通り９本発明によれば、効率よく歩留の良
好な高密度焼結体を得ることができる。
好な高密度焼結体を得ることができる。
第１図は従来の熱間静水圧プレス成形法を示し。
〔１〕はＨＩＰ処理前、〔■〕はＨＩＰ処理後である。
第２図は本発明の熱間静水圧プレス成形法の一実施例を
説明するための図で、〔ｌ〕はＨＩＰ処理前。 〔■〕はＨＩＰ処理後である。 １１・・・コンテナ、１２・・・金属粉末、１３・・・
スペーサー。 第１ ＣＩ） ＨＩｐ％玉里前 第２Ｂ ＣＩ）ＨＩＰ処玉里箭 ［ＩＩ］ ）−１１Ｐ処玉里後 羽 （Ｉｎ） Ｈ１ρ処理後
説明するための図で、〔ｌ〕はＨＩＰ処理前。 〔■〕はＨＩＰ処理後である。 １１・・・コンテナ、１２・・・金属粉末、１３・・・
スペーサー。 第１ ＣＩ） ＨＩｐ％玉里前 第２Ｂ ＣＩ）ＨＩＰ処玉里箭 ［ＩＩ］ ）−１１Ｐ処玉里後 羽 （Ｉｎ） Ｈ１ρ処理後
Claims (3)
- （１）所定の形状の金属製コンテナに金属粉末を充てん
し、該コンテナを脱気密封し、しかる後に、該コンテナ
に高温高圧の熱間静水圧プレス処理を施す方法において
、金属粉末の上下に耐火物粉末のプレス成形体をスペー
サーとして用い、サンドイッチ状に構成することを特徴
とする熱間静水圧プレス成形方法。 - （２）上記金属粉末は、希土類金属を含むＦｅ系あるい
はＣｏ系金属粉末であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の熱間静水圧プレス成形方法。 - （３）上記耐火物粉末は、酸化アルミニウム、酸化マグ
ネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム等の耐火性セ
ラミックス粉末である特許請求の範囲第１項又は第２項
記載の熱間静水圧プレス成形方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23784786A JPS6393802A (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 | 熱間静水圧プレス成形方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23784786A JPS6393802A (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 | 熱間静水圧プレス成形方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6393802A true JPS6393802A (ja) | 1988-04-25 |
| JPH029641B2 JPH029641B2 (ja) | 1990-03-02 |
Family
ID=17021290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23784786A Granted JPS6393802A (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 | 熱間静水圧プレス成形方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6393802A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01283303A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-14 | Tokin Corp | 光磁気録媒体用ターゲットの製造方法 |
| US8758676B2 (en) | 2009-12-16 | 2014-06-24 | Rolls-Royce Plc | Method of manufacturing a component |
| US9346119B2 (en) | 2010-09-14 | 2016-05-24 | Rolls-Royce Plc | Object forming assembly |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02123541U (ja) * | 1989-03-23 | 1990-10-11 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5499014A (en) * | 1978-01-20 | 1979-08-04 | Kobe Steel Ltd | Hot hydrostatic pressing method using cured mold |
| JPS57116702A (en) * | 1981-01-12 | 1982-07-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Hot hydrostatic pressure molding method |
-
1986
- 1986-10-08 JP JP23784786A patent/JPS6393802A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5499014A (en) * | 1978-01-20 | 1979-08-04 | Kobe Steel Ltd | Hot hydrostatic pressing method using cured mold |
| JPS57116702A (en) * | 1981-01-12 | 1982-07-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Hot hydrostatic pressure molding method |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01283303A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-14 | Tokin Corp | 光磁気録媒体用ターゲットの製造方法 |
| US8758676B2 (en) | 2009-12-16 | 2014-06-24 | Rolls-Royce Plc | Method of manufacturing a component |
| US9346119B2 (en) | 2010-09-14 | 2016-05-24 | Rolls-Royce Plc | Object forming assembly |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH029641B2 (ja) | 1990-03-02 |
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