JPH01283303A - 光磁気録媒体用ターゲットの製造方法 - Google Patents
光磁気録媒体用ターゲットの製造方法Info
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- JPH01283303A JPH01283303A JP11168088A JP11168088A JPH01283303A JP H01283303 A JPH01283303 A JP H01283303A JP 11168088 A JP11168088 A JP 11168088A JP 11168088 A JP11168088 A JP 11168088A JP H01283303 A JPH01283303 A JP H01283303A
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Landscapes
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- Powder Metallurgy (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光磁気記録媒体をスパッタリングにて製造す
る際に用いられる希土類金属と遷移金属とからなる光磁
気記録媒体用ターゲットの製造方法に関する。
る際に用いられる希土類金属と遷移金属とからなる光磁
気記録媒体用ターゲットの製造方法に関する。
［従来の技術］
近年、光磁気記録の技術進歩はめさ゛ましく、光磁気テ
ィスフの開発は、光磁気記録媒体の性能向上を主体に、
活発に行なわれている。記録媒体の材料としては希土類
金属と遷移金属の合金（ＴｂＦｅ、 ＧｄＴｂＦｅ、
ＴｂＦｅＣｏ、 ＧｄＤｙＦｅＣｏ等（以下ＲＥ
−ＴＭ合金とよぶ）の薄膜媒体が用いられ、カラス又は
樹脂系基板上ヘスバッタ法などにて形成される。このス
パッタ法て形成される光磁気記録薄膜媒体には、成分の
均一性、高純度、低酸素含有率などが要求される。
ィスフの開発は、光磁気記録媒体の性能向上を主体に、
活発に行なわれている。記録媒体の材料としては希土類
金属と遷移金属の合金（ＴｂＦｅ、 ＧｄＴｂＦｅ、
ＴｂＦｅＣｏ、 ＧｄＤｙＦｅＣｏ等（以下ＲＥ
−ＴＭ合金とよぶ）の薄膜媒体が用いられ、カラス又は
樹脂系基板上ヘスバッタ法などにて形成される。このス
パッタ法て形成される光磁気記録薄膜媒体には、成分の
均一性、高純度、低酸素含有率などが要求される。
そのためスパッタリングターゲラｌ−とじては、量産に
富んだ高密度で高純度、低酸素含有率の材料特性か要求
される。
富んだ高密度で高純度、低酸素含有率の材料特性か要求
される。
この様なＲＥ−ＴＭ＠金ターゲットの製造方法としては
、 （１）所定組成の希土類金属と遷移金属を真空溶解炉等
で溶解、鋳造し、ＲＥ−ＴＭ合金ターゲットを製造する
方法。
、 （１）所定組成の希土類金属と遷移金属を真空溶解炉等
で溶解、鋳造し、ＲＥ−ＴＭ合金ターゲットを製造する
方法。
（２）所定組成の希土類金属と遷移金属を真空溶解炉等
で溶解、鋳造した後、粉砕し、ホットプレス龜て加圧焼
結しＲＥ−ＴＭ合金ターゲットを製造する方法。
で溶解、鋳造した後、粉砕し、ホットプレス龜て加圧焼
結しＲＥ−ＴＭ合金ターゲットを製造する方法。
（３）所定組成の希土類金属と遷移金属を真空溶□解炉
等で溶解、鋳造した後粉砕し、金属製コンテナ中に真空
封入し、熱間静水圧プレス（以下ＨＩＰと呼ぶ）するこ
とによりＲＥ−ＴＭ合金ターゲットを製造する方法。即
ち、第３図（ａ）のような金属製のコンテナ１１内に、
所定組成のインゴットより形成した粉末１５を真空封入
し、温度１０００°Ｃ１圧力１５００ｋｇ／ｃ：、ｍ２
でＨＩ Ｐ処理し、第３図（ｂ）のような金属製容器１
７及び焼結体１６よりなるプレス成形体１２を得る方法
。等によりＲＥ−ＴＭ合金ターゲットが製造されてきた
。
等で溶解、鋳造した後粉砕し、金属製コンテナ中に真空
封入し、熱間静水圧プレス（以下ＨＩＰと呼ぶ）するこ
とによりＲＥ−ＴＭ合金ターゲットを製造する方法。即
ち、第３図（ａ）のような金属製のコンテナ１１内に、
所定組成のインゴットより形成した粉末１５を真空封入
し、温度１０００°Ｃ１圧力１５００ｋｇ／ｃ：、ｍ２
でＨＩ Ｐ処理し、第３図（ｂ）のような金属製容器１
７及び焼結体１６よりなるプレス成形体１２を得る方法
。等によりＲＥ−ＴＭ合金ターゲットが製造されてきた
。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記した（１）の方法では確かに大口径
のターゲットは得られるが、材料内部に巣等の欠陥が存
在しやすく、高密度のターゲラ１〜を得難い。又上記し
た（２）の方法ては、加圧焼結であるなめ高密度のもの
は得られるが、押型を用いるため押型からの不純物の混
入、さらには圧力に限界があり、大口径のターゲラ１〜
を作製できす、大量生産に不適てあった。また上記した
（３）の方法では、高密度で大口径のものは作製できる
が金属製コンテナ中に粉末を充′てんするなめ、その充
てん密度は相対密度３０〜５０％と小さく、ＨＩ Ｐ処
理後の収縮率か大きく、その結果、不均一変形をするこ
とが多かった。さらに、通常、ＩＲＥ −ＴＭ合金ター
ゲットの厚みは、１ ｍｍ〜５關と薄く、最終製品まで
に切断、研磨、研削等で除去される部分が多く、材料歩
留が非常に悪いという欠点を有していた。この様な欠点
を解決する方法としては、金属粉末を一軸プレス成形又
は冷間静水圧プレス成形し、金属コンテナ中に耐火物セ
ラミックス粉末と共に真空封入しＩ−Ｉ Ｉ Ｐ処理す
る提案がなされているか、ＲＥ−７Ｍ合金粉は、延性に
富んでおらす、容易にプレス成形することは困難であり
、プレス成形した所でワレ、クラックが生じ、このため
取り扱いが離しく、この提案を実行することは鮒かしか
った。
のターゲットは得られるが、材料内部に巣等の欠陥が存
在しやすく、高密度のターゲラ１〜を得難い。又上記し
た（２）の方法ては、加圧焼結であるなめ高密度のもの
は得られるが、押型を用いるため押型からの不純物の混
入、さらには圧力に限界があり、大口径のターゲラ１〜
を作製できす、大量生産に不適てあった。また上記した
（３）の方法では、高密度で大口径のものは作製できる
が金属製コンテナ中に粉末を充′てんするなめ、その充
てん密度は相対密度３０〜５０％と小さく、ＨＩ Ｐ処
理後の収縮率か大きく、その結果、不均一変形をするこ
とが多かった。さらに、通常、ＩＲＥ −ＴＭ合金ター
ゲットの厚みは、１ ｍｍ〜５關と薄く、最終製品まで
に切断、研磨、研削等で除去される部分が多く、材料歩
留が非常に悪いという欠点を有していた。この様な欠点
を解決する方法としては、金属粉末を一軸プレス成形又
は冷間静水圧プレス成形し、金属コンテナ中に耐火物セ
ラミックス粉末と共に真空封入しＩ−Ｉ Ｉ Ｐ処理す
る提案がなされているか、ＲＥ−７Ｍ合金粉は、延性に
富んでおらす、容易にプレス成形することは困難であり
、プレス成形した所でワレ、クラックが生じ、このため
取り扱いが離しく、この提案を実行することは鮒かしか
った。
本発明は、上記欠点に鑑みてなされており、その技術課
題は所定組成の希土類金属と遷移金属とからなる粉砕Ｒ
Ｅ−ＴＭ合金粉末を金属製容器に充てんし、容器ごと加
圧成形し、相対光てん密度□を向上させた上でＨＩＰ処
理を施すことにより材料歩留の良いＲＥ’ −Ｔ Ｍ合
金ターゲットを製造する光磁気記録媒体用ターゲットの
製造方法を提供することにある。
題は所定組成の希土類金属と遷移金属とからなる粉砕Ｒ
Ｅ−ＴＭ合金粉末を金属製容器に充てんし、容器ごと加
圧成形し、相対光てん密度□を向上させた上でＨＩＰ処
理を施すことにより材料歩留の良いＲＥ’ −Ｔ Ｍ合
金ターゲットを製造する光磁気記録媒体用ターゲットの
製造方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明によれば、初期原料を金属製コンテナ中に真空封
入して封入原料を得る封入工程と、この封入原料を熱間
静水圧プレス処理して焼結体を得る熱間プレス工程とを
含む光磁気記録媒体用のターゲットの製造方法において
、 前記封入工程は、前加工工程として希土類遷移金属合金
粉末の金属容器中に充填し、この金属容器に充てんされ
た合金粉末を容器ごと加圧し初期原料を得る加圧工程を
有することを特徴とする光磁気記録媒体用ターゲットの
Ｖ遣方法か得られる。
入して封入原料を得る封入工程と、この封入原料を熱間
静水圧プレス処理して焼結体を得る熱間プレス工程とを
含む光磁気記録媒体用のターゲットの製造方法において
、 前記封入工程は、前加工工程として希土類遷移金属合金
粉末の金属容器中に充填し、この金属容器に充てんされ
た合金粉末を容器ごと加圧し初期原料を得る加圧工程を
有することを特徴とする光磁気記録媒体用ターゲットの
Ｖ遣方法か得られる。
ここで、本発明においては、封入工程で、原料をコンテ
ナ中に高融点の耐火性セラミックス粉末とともに封入す
ることが好ましい。
ナ中に高融点の耐火性セラミックス粉末とともに封入す
ることが好ましい。
また、この際にアルゴンガスを加えることも可能である
。
。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
［実施例］
実施例１
第１図は本発明の一実施例を示す図である。第１図（ａ
）はＨ’ Ｉ’ Ｐ処理前、第１図（ｂ）はＩ−Ｉ Ｉ
Ｐ処理後を示す。
）はＨ’ Ｉ’ Ｐ処理前、第１図（ｂ）はＩ−Ｉ Ｉ
Ｐ処理後を示す。
この図を参照しながら光磁気記録媒体用ターゲットの製
造方法を説明する。アーク溶解法により溶解、＠遺した
Ｔ ｂ ２５Ｆ ｅ ７５のインゴットをＡｒ雰囲気中
にて、フラッシャ−により粉砕し、３０メツシユアンダ
ーの合金粉末を作製した。得られた ’ｌ’ ｂ
２５ Ｆ ｅ ７５粉末を厚み０．８ｍ＋ｎの益を有し
たステンレス製容器に充填し、ステンレス製容器ごと４
ｔ ／ ＞ｆの圧力にてプレス成形し、ステンレス製
容器を外側に有するプレス成形体３及び５ａを形成しな
（加圧工程）。得られたプレス成形体 ５ａの相対密度
は７０％と、プレス成形前の相対密度３０％に比べ２．
３倍に増加していた。
造方法を説明する。アーク溶解法により溶解、＠遺した
Ｔ ｂ ２５Ｆ ｅ ７５のインゴットをＡｒ雰囲気中
にて、フラッシャ−により粉砕し、３０メツシユアンダ
ーの合金粉末を作製した。得られた ’ｌ’ ｂ
２５ Ｆ ｅ ７５粉末を厚み０．８ｍ＋ｎの益を有し
たステンレス製容器に充填し、ステンレス製容器ごと４
ｔ ／ ＞ｆの圧力にてプレス成形し、ステンレス製
容器を外側に有するプレス成形体３及び５ａを形成しな
（加圧工程）。得られたプレス成形体 ５ａの相対密度
は７０％と、プレス成形前の相対密度３０％に比べ２．
３倍に増加していた。
このプレス成形体をひと回り大きいステンレス製コンテ
ナに充填し、成形体とコンテナのすき間には、耐火性セ
ラミックスのＢＮ粉末８を充填し、脱気管の付しな上Ｍ
（図示せず）を溶接した。
ナに充填し、成形体とコンテナのすき間には、耐火性セ
ラミックスのＢＮ粉末８を充填し、脱気管の付しな上Ｍ
（図示せず）を溶接した。
脱気管より真空ポンプを用いて真空度５Ｘ１０−’Ｔｏ
ｒｒまで脱気し、次いで温度１０００°Ｃまで加熱昇温
させ２時間保持し、加熱真空引きを施し、しかる後脱気
管の一部を加熱圧着切断し密封コンテナを作製した（封
入工程）。
ｒｒまで脱気し、次いで温度１０００°Ｃまで加熱昇温
させ２時間保持し、加熱真空引きを施し、しかる後脱気
管の一部を加熱圧着切断し密封コンテナを作製した（封
入工程）。
このコンテナをＨＩ Ｐ炉内に設置し、温度１０００°
Ｃ５圧力１５００ ｉ＋ｇ／ａｆｌ、保持時間２時間の
条１１−でＨｉ−Ｐ処理を行った（熱間プレス工程）。
Ｃ５圧力１５００ ｉ＋ｇ／ａｆｌ、保持時間２時間の
条１１−でＨｉ−Ｐ処理を行った（熱間プレス工程）。
脱コンテナは旋盤にてコンテナ２を除去し、金属製容器
を有するＴ ｂ ２５Ｆ ｅ ７５高密度焼結体４を得
な。上記方法は、合金粉末を金属製コンテナに充てんし
、 ）−Ｔ Ｉ Ｐ処理して高密度焼結体を得る第３図
で示される従来の方法に比較し、不均一変形部分は大幅
に減少していた。
を有するＴ ｂ ２５Ｆ ｅ ７５高密度焼結体４を得
な。上記方法は、合金粉末を金属製コンテナに充てんし
、 ）−Ｔ Ｉ Ｐ処理して高密度焼結体を得る第３図
で示される従来の方法に比較し、不均一変形部分は大幅
に減少していた。
また、従来の方法では、ワイヤー放電加工によるスライ
ス加工が必要なのに対し、研磨のみて直径φ８インチ、
厚さ３ ＋ｎ＋ｎのターゲットを得ることができ、材料
歩留が従来の４０％から８０％ｌ＼と向上させることが
できた。
ス加工が必要なのに対し、研磨のみて直径φ８インチ、
厚さ３ ＋ｎ＋ｎのターゲットを得ることができ、材料
歩留が従来の４０％から８０％ｌ＼と向上させることが
できた。
また、酸素含有率も９５０１）１１１１と低く、相対密
度９９．６％て巣及びクラック等の欠陥がない高密度材
料となっていた。本材料を銅製のバッキングプレートに
ろう付けし、スパッタ膜を形成した所、良好な光磁気記
録用媒体が得られた。
度９９．６％て巣及びクラック等の欠陥がない高密度材
料となっていた。本材料を銅製のバッキングプレートに
ろう付けし、スパッタ膜を形成した所、良好な光磁気記
録用媒体が得られた。
実施例２
第２図は本発明の他の実施例を示す図である。
この図を参照して説明する。
実施例１と同様の工程を経て
Ｔｂ２．Ｆｅ７□Ｔｉ３、Ｇｄ１２Ｔｂ１３Ｆｅ６７Ｃ
ｏ８、Ｇ ｄ １２．５Ｄ ３’ １２．５Ｆ ｅ ６
ａｃ Ｏ７の組成を有する粉末を作製し、５４；／ａｆ
ｌの圧力にて、ステンレス製容器ごとそれぞれプレス成
形し同一ステンレス製コンテナに真空封入し第２図のよ
うな封入体を得な。次にこの封入体を、ＨＩ Ｐ処理を
行って同時に３種類の高密度焼結体を得た。材料歩留は
、それぞれ８０％以上と高く、スパッタ膜特性も良好で
あった。
ｏ８、Ｇ ｄ １２．５Ｄ ３’ １２．５Ｆ ｅ ６
ａｃ Ｏ７の組成を有する粉末を作製し、５４；／ａｆ
ｌの圧力にて、ステンレス製容器ごとそれぞれプレス成
形し同一ステンレス製コンテナに真空封入し第２図のよ
うな封入体を得な。次にこの封入体を、ＨＩ Ｐ処理を
行って同時に３種類の高密度焼結体を得た。材料歩留は
、それぞれ８０％以上と高く、スパッタ膜特性も良好で
あった。
［発明の効果コ
以上述べた通り、本発明によれば、効率的に歩留の良好
な高密度焼結体を得る光磁気記録媒体用ターゲットの製
造方法か提供することができる。
な高密度焼結体を得る光磁気記録媒体用ターゲットの製
造方法か提供することができる。
また、本発明によれは、組成、形状の異なる光磁気記録
媒体用ターゲットを同時に製造することもでき、実用的
、かつ工業的に有利な光磁気記録媒体用ターゲットの製
造方法が得られる。
媒体用ターゲットを同時に製造することもでき、実用的
、かつ工業的に有利な光磁気記録媒体用ターゲットの製
造方法が得られる。
第１図（ａ）及び第１図（ｂ）は本発明の１−Ｉ Ｉ
Ｉ）法の一実施例を説明するための図、第２図は本発明
のＪ−Ｉ Ｉ Ｐ法の他の実施例を説明するための図、
第３図（ａ＞及び（ｂ）は従来の金属製コンテナを用い
た）−ｆ Ｉ Ｐ法の一例を示す図である。 図中、１は金属製コンテナ、２はＨＩ Ｐ処理後のコン
テナ、３は金属製容器、４はＨＩ Ｐ処理後の金属製容
器、５は合金粉末、５ａ〜５ｄは合金粉末のプレス成形
体、６はターゲラ１〜．７は焼結体の除去部分、８は耐
火性セラミックス粉、９はＨＩ Ｐ処理後の耐火性セラ
ミックス粉、１１は金属製コンテナ、１２はＩ−Ｉ Ｉ
Ｐ処理後のコンテナ、１５は合金粉末、１６はターゲ
ラ１〜．１７は焼結体の除去部分である。 第１図 （ｂ） 第２ 第３図 １コ （ｂ）
Ｉ）法の一実施例を説明するための図、第２図は本発明
のＪ−Ｉ Ｉ Ｐ法の他の実施例を説明するための図、
第３図（ａ＞及び（ｂ）は従来の金属製コンテナを用い
た）−ｆ Ｉ Ｐ法の一例を示す図である。 図中、１は金属製コンテナ、２はＨＩ Ｐ処理後のコン
テナ、３は金属製容器、４はＨＩ Ｐ処理後の金属製容
器、５は合金粉末、５ａ〜５ｄは合金粉末のプレス成形
体、６はターゲラ１〜．７は焼結体の除去部分、８は耐
火性セラミックス粉、９はＨＩ Ｐ処理後の耐火性セラ
ミックス粉、１１は金属製コンテナ、１２はＩ−Ｉ Ｉ
Ｐ処理後のコンテナ、１５は合金粉末、１６はターゲ
ラ１〜．１７は焼結体の除去部分である。 第１図 （ｂ） 第２ 第３図 １コ （ｂ）
Claims (1)
- １．初期原料を金属製コンテナ中に真空封入して封入原
料を得る封入工程と、前記封入原料を熱間静水圧プレス
処理し焼結体を得る熱間プレス工程とを含む光磁気記録
媒体用ターゲットの製造方法において、 前記封入工程は、前加工工程として希土類−遷移金属合
金粉末を金属容器中に充填し、前記金属容器に充填され
た前記合金粉末を容器ごと加圧して前記初期原料を得る
加圧工程を有することを特徴とする光磁気記録媒体用タ
ーゲットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11168088A JPH01283303A (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | 光磁気録媒体用ターゲットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11168088A JPH01283303A (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | 光磁気録媒体用ターゲットの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01283303A true JPH01283303A (ja) | 1989-11-14 |
Family
ID=14567459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11168088A Pending JPH01283303A (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | 光磁気録媒体用ターゲットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01283303A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020183554A (ja) * | 2019-05-07 | 2020-11-12 | 株式会社アルバック | スパッタリングターゲットの製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62109903A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-21 | Kobe Steel Ltd | 粉末のプレス充填法 |
| JPS62182203A (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-10 | Hitachi Metals Ltd | タ−ゲツトの製造方法 |
| JPS6393802A (ja) * | 1986-10-08 | 1988-04-25 | Tokin Corp | 熱間静水圧プレス成形方法 |
-
1988
- 1988-05-10 JP JP11168088A patent/JPH01283303A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62109903A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-21 | Kobe Steel Ltd | 粉末のプレス充填法 |
| JPS62182203A (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-10 | Hitachi Metals Ltd | タ−ゲツトの製造方法 |
| JPS6393802A (ja) * | 1986-10-08 | 1988-04-25 | Tokin Corp | 熱間静水圧プレス成形方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020183554A (ja) * | 2019-05-07 | 2020-11-12 | 株式会社アルバック | スパッタリングターゲットの製造方法 |
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