JPH03263832A - エアブロー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、洗浄物に付着した洗浄液を除去するエアブロ
−装置に関することである。

〔従来の技術〕

被洗浄物を洗浄槽内で洗浄して引き上げたときは、上記
被洗浄物に洗浄液が付着した状態にある。

例えば、半導体装置の製造工程中におけるウェハの洗浄
は、洗浄、すすぎ、乾燥をカスケード的に行い、第３図
に示すように被洗浄物の移動が各検量で行われる。この
とき、洗浄液またはすすぎ液が、被洗浄物の表面に付着
した状態でっぎの槽に持ち込まれる。例えば第３図にお
いてすすぎ槽に注目すると、上記すすぎ槽に対する被洗
浄物の持込み量が多ければ多い程、多量のすすぎ液で薄
めなければならない。

上記持込み流量を第４図に示すようにｑとし、その液の
汚れ濃度をαとする。また、すすぎ槽内の汚れ濃度をα
′とする。繰返して洗浄を行うと、槽内の汚れ濃度が増
大して行くから、清浄なすすぎ液を補給し、濃度が増し
た槽液を排出しなければならない。持込み流量ｑと持出
し流量ｑ′とはほぼ等しいから、第３図ではＱ’　＝Ｑ
になる。ただし、Ｑはすすぎ液供給流量、Ｑ′は排出流
量である。槽に入って行く汚れの量は単位時間にαｑで
あって、槽から出て行く汚れの量は単位時間にα′９＋
α′Ｑ′であるから、ｑ＝ｑ Ｑ＝Ｑ’　とおくと となる。槽内濃度を十分小さくするにはｑ＜Ｑでなけれ
ばならない。したがって、 となる。排出する汚れ量はα′Ｑ＝α９であって持ち込
んだ汚れ量に等しい。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記洗浄液の成分が、もし環境汚染をもたらす規制対象
物であるならば、排出汚れα９ができるだけ少ないよう
にしないと、廃棄物処理費用ががさんで洗浄のランニン
グコストを増大する。したがって、ｑを少なくすること
が重要な課題になってくる。なお、すすぎ液供給流量Ｑ
を犬にすれば、排出液の汚れ濃度を下げることができる
が、排出汚れの総量は変らない。すなわち、排出汚れ量
を少なくする唯一の手段はｑを小さくすることである。

本発明は、持込み流量および持出し流量を少なくできる
洗浄装置のための、エアブロ−装置を得ることを目的と
する。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、洗浄槽から引き上げた洗浄物に付着する洗
浄液を、空気噴流で吹き飛ばすエアブロ−装置において
、空気噴流発生用エアノズル群と。

該エアノズル群を水平方向に往復させる駆動機構と、待
機状態の上記エアノズル群を収納するための洗浄槽側面
拡張部と、上記エアノズル群に高圧空気を供給するフレ
キシブルホースと、上記高圧空気の供給をＯＮ・ＯＦＦ
する制御弁とを備え、上記洗浄槽底部の洗浄液中で洗浄
した洗浄物を槽外に取出す際に、上記洗浄槽内でエアブ
ロ−するため、上記エアノズル群の往復位置の若干下位
置に洗浄物を一旦停止し、高圧空気を上記エアノズル群
に供給するとともに、その噴出空気流が上記洗浄物を効
果的にブローする速度で、上記駆動機構によりエアノズ
ル群を送り出しおよび引込める動作をし、付着洗浄液を
吹き飛ばした洗浄物を洗浄槽外に取出すことにより遠戚
される。

〔作用〕

本発明は洗浄槽の側面に拡張部を設け、上記拡張部内に
収納され、必要に応じて上記洗浄槽内に水平に往復運動
を行うエアノズルが、駆動機構を伴って設置されている
。上記エアノズルは、洗浄槽内の洗浄物が定位置まで引
上げられたときに前進し、高圧空気の噴流を上記洗浄物
に噴射して、洗浄物に付着した洗浄液を吹き飛ばして除
去する。

なお、上記洗浄槽は噴射時には開口部に蓋がされており
、洗浄槽の側面に設けた上記拡張部には排気ダクトが取
付けられ、上記排気ダクトの入口近傍にミストセパレー
タを設けて、飛散ミストの回収を行っている。このよう
にして、洗浄槽やすすぎ槽に上記エアブロ−装置を取付
け、洗浄物をっぎの工程の槽に移送するときには、洗浄
液あるいはすすぎ液を殆んど取除いた状態で移送するた
め、各処理槽からの排出汚れ量を少なくすることができ
る。

〔実施例〕

つぎに本発明の実施例を図面とともに説明する。

第１図は本発明によるエアブロ−装置の一実施例を示す
構成図、第２図は被洗浄物とエアノズル群との位置関係
を示す図である。第１図において。

洗浄槽１の底部には洗浄液３が注入され、搬送アーム５
に吊り下げられた被洗浄物２が浸漬されている。上記洗
浄槽１の側面には拡張部１３を設け、上記拡張部１３内
には水平方向に往復運動するエアノズル群７を収納し、
エアノズル群７の駆動機構８を外部に備えている。上記
エアノズル群７は、シャフトと直角方向に多数の細孔を
設けた噴射ノズルを取付け、エア供給パイプ９からフレ
キシブルホース１０，１０’　を介して高圧空気が供給
される。１１は上記拡張部１３に設けた排気ダクトで、
該排気ダクト１１の入口近傍にはミストセパレータ１２
を取付けている。なお、上記洗浄槽１の開口部にはカバ
ー（蓋）６を設けているが、上記Ｍ６には搬送アーム５
が貫通し、上記搬送アーム５とともに移送される。

上記構成のように本発明のエアブロ−装置を取付けた洗
浄装置では、洗浄を終えた被洗浄物２を搬送アーム５に
よって、上記エアノズル群７が水平運動する位置よりも
若干下の位置の被洗浄物４まで引上げられるが、このと
き、蓋６は図示のように洗浄槽１の開口部に残されたま
まである。ついで、エア供給パイプ９からフレキシブル
ホース１０を経て高圧空気がエアノズル群７に送られ、
下面に配置されたエアノズルから空気噴流が噴射される
。それと同時に、駆動機構によって上記エアノズル群７
は被洗浄物４の上部を水平に移動する。ここで、上記被
洗浄物２（または４）容器は。

第２図に示すように両端に距てられた２本の吊り手２′
で支持されており、上記エアノズル群７はこれら２本の
吊り手２′の間を往復運動したのち、拡張部１３内で停
止するように構成されている。

エアノズル群７が上記水平往復運動を行う間に噴射した
高圧空気の噴流は、被洗浄物４に付着している洗浄液の
液滴をほとんど吹き飛ばして除去する。その後、搬送ア
ーム５によって上記被洗浄物４は引上げられるが、この
とき、上記搬送アーム５に設けたつばによって蓋６も一
緒に引上げられ、つぎの工程に移送される。

上記のエアブロ−で吹き飛んだ洗浄液のミストを含む空
気流は、洗浄槽１の開口部が蓋６で塞がれているので、
拡張部１３の入口近傍に取付けたミストセパレータ１２
で液滴が捕えられ、洗浄槽１に回収されるとともに排気
ダクト１１で排気される。

このようにして、洗浄槽内でエアブロ−を行うため、持
出し液量を少なくすることができる。実験によれば、１
００ｇの付着液があるような被洗浄物を、４０ｍ／ｓの
噴流ノズル群で１往復ブローさせたところ、付着量は９
ｇになった。すなわち、上記数値例は、排出汚れ処理量
が１７１０以下になることを意味しており、有用な効果
を有している。

なお、上記エアノズル群を上下２段に設けて、被洗浄物
を上と下から挟むようにして上面と下面とを同時にエア
ブロ−すると、さらに効果的であることも確認されてい
る。この場合は、被洗浄物の容器から被洗浄物が吹き上
げられないように、網状のカバーをか（プる必要がある
。

上記のエアブロ−を行うのは、エアノズル群が１往復す
る時間だけであって、３〜４秒程度で十分である。

本発明は空気噴流でブローすることにより付着液を除去
するものとして記載したが、空気の代りに不活性ガス（
例えばＮ２ガス）を使用しても、全く同し効果を得るこ
とができる。

なお、上記実施例は、洗浄槽に設けたエアブロ−装置に
ついてだけ記載したが、上記洗浄槽がすすぎ槽や他の処
理槽であっても、同様の効果が得られることはもちろん
である。

〔発明の効果〕

上記のように本発明によるエアブロ−装置は、洗浄槽か
ら引上げた洗浄物に付着する洗浄液を、空気噴流で吹き
飛ばすエアブロ−装置において、空気噴流発生用エアノ
ズル群と、該エアノズル群を水平方向に往復させる駆動
機構と、待機状態の上記エアノズル群を収納するための
洗浄槽側面拡張部と、上記エアノズル群に高圧空気を供
給するフレキシブルホースと、上記高圧空気の供給をＯ
Ｎ・ＯＦＦする制御弁とを備え、上記洗浄槽底部の洗浄
液中で洗浄した洗浄物を槽外に取出す際に、上記洗浄槽
内でエアブロ−するため、上記エアノズル群の往復位置
の若干下位置に洗浄物を一旦停止し、高圧空気を上記エ
アノズル群に供給するとともに、その噴出空気流が上記
洗浄物を効果的にブローする速度で、上記駆動機構によ
りエアノズル群を送り出しおよび引込める動作をし、付
着洗浄液を吹き飛ばした洗浄物を洗浄槽外に取出すこと
により、洗浄槽等の処理槽内でエアブロ−を実施するた
め、持出し流量を少なくすることが可能で、洗浄のラン
ニングコストを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるエアブロ−装置の一実施例を示す
構成図、第２図は被洗浄物とエアノズル群との位置関係
を示す図、第３図は被洗浄物の洗浄工程の例を示す図、
第４図は処理槽における持込み持出し流量と汚れ濃度と
の関係を説明する図である。 １・・洗浄槽　　　　　　２・・・洗浄物３・・・洗浄
液　　　　　　５・・・搬送アーム６・・・カバー（蓋
）　　　　７・・エアノズル群８・・・駆動機構 １０．１０’・・・フレキシブルホース１１・・・ダク
ト　　　　　　１２・・ミストセパレータ１３・・・拡
張部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、洗浄槽から引き上げた洗浄物に付着する洗浄液を、
   空気噴流で吹き飛ばすエアブロー装置において、空気噴
   流発生用エアノズル群と、該エアノズル群を水平方向に
   往復させる駆動機構と、待機状態の上記エアノズル群を
   収納するための洗浄槽側面拡張部と、上記エアノズル群
   に高圧空気を供給するフレキシブルホースと、上記高圧
   空気の供給をＯＮ・ＯＦＦする制御弁とを備え、上記洗
   浄槽底部の洗浄液中で洗浄した洗浄物を槽外に取出す際
   に、上記洗浄槽内でエアブローするため、上記エアノズ
   ル群の往復位置の若干下位置に洗浄物を一旦停止し、高
   圧空気を上記エアノズル群に供給するとともに、その噴
   出空気気流が上記洗浄物を効果的にブローする速度で、
   上記駆動機構によりエアノズル群を送り出しおよび引込
   める動作をし、付着洗浄液を吹き飛ばした洗浄物を洗浄
   槽外に取出すことを特徴とするエアブロー装置。 ２、上記洗浄槽は、上記洗浄物をエアブロー位置に支持
   できるように、洗浄物の搬送アームを貫通して摺動可能
   なミスト飛散防止カバーで、上記洗浄槽開口部を覆った
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載したエア
   ブロー装置。 ３、上記洗浄槽側面拡張部は、エアブロー気流を排出す
   るためのダクトを設け、かつ、上記ダクト入口近傍には
   、飛散ミストの回収を行うミストセパレータを取付けた
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載したエア
   ブロー装置。