JPH0744171B2 - エアブロー装置 - Google Patents
エアブロー装置Info
- Publication number
- JPH0744171B2 JPH0744171B2 JP2060935A JP6093590A JPH0744171B2 JP H0744171 B2 JPH0744171 B2 JP H0744171B2 JP 2060935 A JP2060935 A JP 2060935A JP 6093590 A JP6093590 A JP 6093590A JP H0744171 B2 JPH0744171 B2 JP H0744171B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- cleaning
- nozzle group
- tank
- air nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、洗浄物に付着した洗浄液を除去するエアブロ
ー装置に関することである。
ー装置に関することである。
被洗浄物を洗浄槽内で洗浄して引き上げたときは、上記
被洗浄物に洗浄液が付着した状態にある。例えば、半導
体装置の製造工程中におけるウエハの洗浄は、洗浄、す
すぎ、乾燥をカスケード的に行い、第３図に示すように
被洗浄物の移動が各槽間で行われる。このとき、洗浄液
またはすすぎ液が、被洗浄物の表面に付着した状態でつ
ぎの槽に持ち込まれる。例えば第３図においてすすぎ槽
に注目すると、上記すすぎ槽に対する被洗浄物の持込み
量が多ければ多い程、多量のすすぎ液で薄めなければな
らない。
被洗浄物に洗浄液が付着した状態にある。例えば、半導
体装置の製造工程中におけるウエハの洗浄は、洗浄、す
すぎ、乾燥をカスケード的に行い、第３図に示すように
被洗浄物の移動が各槽間で行われる。このとき、洗浄液
またはすすぎ液が、被洗浄物の表面に付着した状態でつ
ぎの槽に持ち込まれる。例えば第３図においてすすぎ槽
に注目すると、上記すすぎ槽に対する被洗浄物の持込み
量が多ければ多い程、多量のすすぎ液で薄めなければな
らない。
上記持込み流量を第４図に示すようにｑとし、その液を
汚れ濃度をαとする。また、すすぎ槽内の汚れ濃度を
α′とする。繰返して洗浄を行うと、槽内の汚れ濃度が
増大して行くから、清浄なすすぎ液を補給し、濃度が増
した槽液を排出しなければならない。持込み流量ｑと持
出し流量ｑ′とはほぼ等しいから、第３図ではＱ′＝Ｑ
になる。ただし、Ｑはすすぎ液供給流量、Ｑ′は排出流
量である。槽に入って行く汚れの量は単位時間にαｑで
あって、槽から出て行く汚れの量を単位時間にα′ｑ＋
α′Ｑ′であるから、ｑ＝Ｑ′,Q＝Ｑ′とおくと となる。槽内濃度を十分小さくするにはｑ≪Ｑでなけれ
ばならない。したがって、 となる。排出する汚れ量はα′Ｑ≒αｑであって持ち込
んだ汚れ量に等しい。
汚れ濃度をαとする。また、すすぎ槽内の汚れ濃度を
α′とする。繰返して洗浄を行うと、槽内の汚れ濃度が
増大して行くから、清浄なすすぎ液を補給し、濃度が増
した槽液を排出しなければならない。持込み流量ｑと持
出し流量ｑ′とはほぼ等しいから、第３図ではＱ′＝Ｑ
になる。ただし、Ｑはすすぎ液供給流量、Ｑ′は排出流
量である。槽に入って行く汚れの量は単位時間にαｑで
あって、槽から出て行く汚れの量を単位時間にα′ｑ＋
α′Ｑ′であるから、ｑ＝Ｑ′,Q＝Ｑ′とおくと となる。槽内濃度を十分小さくするにはｑ≪Ｑでなけれ
ばならない。したがって、 となる。排出する汚れ量はα′Ｑ≒αｑであって持ち込
んだ汚れ量に等しい。
上記洗浄液の成分が、もし環境汚染をもたらす規制対象
物であるならば、排出汚れαｑができるだけ少ないよう
にしないと、廃棄物処理費用がかさんで洗浄のランニン
グコストを増大する。したがって、ｑを少なくすること
が重要な課題になってくる。なお、すすぎ液供給流量Ｑ
を大にすれば、排出液の汚れ濃度を下げることができる
が、排出汚れの総量は変らない。すなわち、排出汚れ量
を少なくする唯一の手段はｑを小さくすることである。
物であるならば、排出汚れαｑができるだけ少ないよう
にしないと、廃棄物処理費用がかさんで洗浄のランニン
グコストを増大する。したがって、ｑを少なくすること
が重要な課題になってくる。なお、すすぎ液供給流量Ｑ
を大にすれば、排出液の汚れ濃度を下げることができる
が、排出汚れの総量は変らない。すなわち、排出汚れ量
を少なくする唯一の手段はｑを小さくすることである。
本発明は、持込み流量および持出し流量を少なくできる
洗浄装置のための、エアブロー装置を得ることを目的と
する。
洗浄装置のための、エアブロー装置を得ることを目的と
する。
上記目的は、洗浄槽から引き上げた洗浄物に付着する洗
浄液を、空気噴流で吹き飛ばすエアブロー装置におい
て、空気噴流発生用として駆動用シャフトと直角方向に
多数の細孔を設けたエアノズル群と、該エアノズル群を
水平方向に往復させる駆動機構と、待機状態の上記エア
ノズル群を収納するための洗浄槽側面拡張部と、上記エ
アノズル群に高圧空気を供給するフレキシブルホース
と、上記高圧空気の供給をON・OFFする制御弁とを備
え、上記洗浄槽底部の洗浄液中で洗浄した洗浄物を槽外
に取出す際に、上記洗浄槽内でエアブローするため、上
記エアノズル群の往復位置の若干下位置に洗浄物を一旦
停止し、高圧空気を上記エアノズル群に供給するととも
に、その噴出空気流が上記洗浄物を効果的にブローする
速度で、上記駆動機構によりエアノズル群を送り出しお
よび引込める動作をし、付着洗浄液を吹き飛ばした洗浄
物を洗浄槽外に取出すことにより達成される。
浄液を、空気噴流で吹き飛ばすエアブロー装置におい
て、空気噴流発生用として駆動用シャフトと直角方向に
多数の細孔を設けたエアノズル群と、該エアノズル群を
水平方向に往復させる駆動機構と、待機状態の上記エア
ノズル群を収納するための洗浄槽側面拡張部と、上記エ
アノズル群に高圧空気を供給するフレキシブルホース
と、上記高圧空気の供給をON・OFFする制御弁とを備
え、上記洗浄槽底部の洗浄液中で洗浄した洗浄物を槽外
に取出す際に、上記洗浄槽内でエアブローするため、上
記エアノズル群の往復位置の若干下位置に洗浄物を一旦
停止し、高圧空気を上記エアノズル群に供給するととも
に、その噴出空気流が上記洗浄物を効果的にブローする
速度で、上記駆動機構によりエアノズル群を送り出しお
よび引込める動作をし、付着洗浄液を吹き飛ばした洗浄
物を洗浄槽外に取出すことにより達成される。
本発明は洗浄槽の側面に拡張部を設け、上記拡張部内に
収納され、必要に応じて上記洗浄槽内に水平に往復運動
を行うエアノズルが、駆動機構を伴って設置されてい
る。上記エアノズルは、洗浄槽内の洗浄物が定位置まで
引上げられたときに前進し、高圧空気の噴流を上記洗浄
物に噴射して、洗浄物に付着した洗浄液を吹き飛ばして
除去する。なお、上記洗浄槽は噴射時には開口部に蓋が
されており、洗浄槽の側面に設けた上記拡張部には排気
ダクトが取付けられ、上記排気ダクトの入口近傍にミス
トセパレータを設けて、飛散ミストの回収を行ってい
る。このようにして、洗浄槽やすすぎ槽に上記エアブロ
ー装置を取付け、洗浄物をつぎの工程の槽に移送すると
きには、洗浄液あるいはすすぎ液を殆んど取除いた状態
で移送するため、各処理槽からの排出汚れ量を少なくす
ることができる。
収納され、必要に応じて上記洗浄槽内に水平に往復運動
を行うエアノズルが、駆動機構を伴って設置されてい
る。上記エアノズルは、洗浄槽内の洗浄物が定位置まで
引上げられたときに前進し、高圧空気の噴流を上記洗浄
物に噴射して、洗浄物に付着した洗浄液を吹き飛ばして
除去する。なお、上記洗浄槽は噴射時には開口部に蓋が
されており、洗浄槽の側面に設けた上記拡張部には排気
ダクトが取付けられ、上記排気ダクトの入口近傍にミス
トセパレータを設けて、飛散ミストの回収を行ってい
る。このようにして、洗浄槽やすすぎ槽に上記エアブロ
ー装置を取付け、洗浄物をつぎの工程の槽に移送すると
きには、洗浄液あるいはすすぎ液を殆んど取除いた状態
で移送するため、各処理槽からの排出汚れ量を少なくす
ることができる。
つぎに本発明の実施例を図面とともに説明する。第１図
は本発明によるエアブロー装置の一実施例を示す構成
図、第２図は被洗浄物とエアノズル群との位置関係を示
す図である。第１図において、洗浄槽１の底部には洗浄
液３が注入され、搬送アーム５に吊り下げられた被洗浄
物２が浸漬されている。上記洗浄槽１の側面には拡張部
13を設け、上記拡張部13内には水平方向に往復運動する
エアノズル群７を収納し、エアノズル群７の駆動機構８
を外部に備えている。上記エアノズル群７は、シャフト
と直角方向に多数の細孔を設けた噴射ノズルを取付け、
エア供給パイプ９からフレキシブルホース10,10′を介
して高圧空気が供給される。11は上記拡張部13に設けた
排気ダクトで、該排気ダクト11の入口近傍にはミストセ
パレータ12を取付けている。なお、上記洗浄槽１の開口
部にはカバー（蓋）６を設けているが、上記蓋６には搬
送アーム５が貫通し、上記搬送アーム５とともに移送さ
れる。
は本発明によるエアブロー装置の一実施例を示す構成
図、第２図は被洗浄物とエアノズル群との位置関係を示
す図である。第１図において、洗浄槽１の底部には洗浄
液３が注入され、搬送アーム５に吊り下げられた被洗浄
物２が浸漬されている。上記洗浄槽１の側面には拡張部
13を設け、上記拡張部13内には水平方向に往復運動する
エアノズル群７を収納し、エアノズル群７の駆動機構８
を外部に備えている。上記エアノズル群７は、シャフト
と直角方向に多数の細孔を設けた噴射ノズルを取付け、
エア供給パイプ９からフレキシブルホース10,10′を介
して高圧空気が供給される。11は上記拡張部13に設けた
排気ダクトで、該排気ダクト11の入口近傍にはミストセ
パレータ12を取付けている。なお、上記洗浄槽１の開口
部にはカバー（蓋）６を設けているが、上記蓋６には搬
送アーム５が貫通し、上記搬送アーム５とともに移送さ
れる。
上記構成のように本発明のエアブロー装置を取付けた洗
浄装置では、洗浄を終えた被洗浄物２を搬送アーム５に
よって、上記エアノズル群７が水平運動する位置よりも
若干下の位置の被洗浄物４まで引上げられるが、このと
き、蓋６は図示のように洗浄槽１の開口部に残されたま
まである。ついで、エア供給パイプ９からフレキシブル
ホース10を経て高圧空気がエアノズル群７に送られ、下
面に配置されたエアノズルから空気噴流が噴射される。
それと同時に、駆動機構によって上記エアノズル群７は
被洗浄物４の上部を水平に移動する。ここで、上記被洗
浄物２（または４）容器は、第２図に示すように両端に
距てられた２本の吊り手２′で支持されており、上記エ
アノズル群７はこれら２本の吊り手２′の間を往復運動
したのち、拡張部13内で停止するように構成されてい
る。
浄装置では、洗浄を終えた被洗浄物２を搬送アーム５に
よって、上記エアノズル群７が水平運動する位置よりも
若干下の位置の被洗浄物４まで引上げられるが、このと
き、蓋６は図示のように洗浄槽１の開口部に残されたま
まである。ついで、エア供給パイプ９からフレキシブル
ホース10を経て高圧空気がエアノズル群７に送られ、下
面に配置されたエアノズルから空気噴流が噴射される。
それと同時に、駆動機構によって上記エアノズル群７は
被洗浄物４の上部を水平に移動する。ここで、上記被洗
浄物２（または４）容器は、第２図に示すように両端に
距てられた２本の吊り手２′で支持されており、上記エ
アノズル群７はこれら２本の吊り手２′の間を往復運動
したのち、拡張部13内で停止するように構成されてい
る。
エアノズル群７が上記水平往復運動を行う間に噴射した
高圧空気の噴流は、被洗浄物４に付着している洗浄液の
液滴をほとんど吹き飛ばして除去する。その後、搬送ア
ーム５によって上記被洗浄物４は引上げられるが、この
とき、上記搬送アーム５に設けたつばによって蓋６も一
緒に引上げられ、つぎの工程に移送される。
高圧空気の噴流は、被洗浄物４に付着している洗浄液の
液滴をほとんど吹き飛ばして除去する。その後、搬送ア
ーム５によって上記被洗浄物４は引上げられるが、この
とき、上記搬送アーム５に設けたつばによって蓋６も一
緒に引上げられ、つぎの工程に移送される。
上記のエアブローえ吹き飛んだ洗浄液のミストを含む空
気流は、洗浄槽１の開口部が蓋６で塞がれているので、
拡張部13の入口近傍に取付けたミストセパレータ12で液
滴が捕えられ、洗浄槽１に回収されるとともに排気ダク
ト11で排気される。
気流は、洗浄槽１の開口部が蓋６で塞がれているので、
拡張部13の入口近傍に取付けたミストセパレータ12で液
滴が捕えられ、洗浄槽１に回収されるとともに排気ダク
ト11で排気される。
このようにして、洗浄槽内でエアブローを行うため、持
出し液量を少なくすることができる。実験によれば、10
0gの付着液があるような被洗浄物を、40m/sの噴流ノズ
ル群で１往復ブローさせたところ、付着量は9gになっ
た。すなわち、上記数値例は、排出汚れ処理量が1/10以
下になることを意味しており、有用な効果を有してい
る。
出し液量を少なくすることができる。実験によれば、10
0gの付着液があるような被洗浄物を、40m/sの噴流ノズ
ル群で１往復ブローさせたところ、付着量は9gになっ
た。すなわち、上記数値例は、排出汚れ処理量が1/10以
下になることを意味しており、有用な効果を有してい
る。
なお、上記エアノズル群を上下２段に設けて、被洗浄物
を上と下から挟むようにして上面と下面とを同時にエア
ブローすると、さらに効果的であることも確認されてい
る。この場合は、被洗浄物の容器から被洗浄物が吹き上
げられないように、網状のカバーをかける必要がある。
を上と下から挟むようにして上面と下面とを同時にエア
ブローすると、さらに効果的であることも確認されてい
る。この場合は、被洗浄物の容器から被洗浄物が吹き上
げられないように、網状のカバーをかける必要がある。
上記のエアブローを行うのは、エアノズル群が１往復す
る時間だけであって、３〜４秒程度で十分である。
る時間だけであって、３〜４秒程度で十分である。
本発明は空気噴流でブローすることにより付着液を除去
するものとして記載したが、空気の代りに不活性ガス
（例えばN2ガス）を使用しても、全く同じ効果を得るこ
とができる。
するものとして記載したが、空気の代りに不活性ガス
（例えばN2ガス）を使用しても、全く同じ効果を得るこ
とができる。
なお、上記実施例は、洗浄槽に設けたエアブロー装置に
ついてだけ記載したが、上記洗浄槽がすすぎ槽や他の処
理槽であっても、同様の効果が得られることはもちろん
である。
ついてだけ記載したが、上記洗浄槽がすすぎ槽や他の処
理槽であっても、同様の効果が得られることはもちろん
である。
上記のように本発明によるエアブロー装置は、洗浄槽か
ら引上げた洗浄物に付着する洗浄液を、空気噴流で吹き
飛ばすエアブロー装置において、空気噴流発生用として
駆動用シャフト直角方向に多数の細孔を設けたエアノズ
ル群と、該エアノズル群を水平方向に往復させる駆動機
構と、待機状態の上記エアノズル群を収納するための洗
浄槽側面拡張部と、上記エアノズル群に高圧空気を供給
するフレキシブルホースと、上記高圧空気の供給をON・
OFFする制御弁とを備え、上記洗浄槽底部の洗浄液中で
洗浄した洗浄物を槽外に取出す際に、上記洗浄槽内でエ
アブローするため、上記エアノズル群の往復位置の若干
下位置に洗浄物を一旦停止し、高圧空気を上記エアノズ
ル群に供給するとともに、その噴出空気流が上記洗浄物
を効果的にブローする速度で、上記駆動機構によりエア
ノズル群を送り出しおよび引込める動作をし、付着洗浄
液を吹き飛ばした洗浄物を洗浄槽外に取出すことによ
り、洗浄槽等の処理槽内でエアブローを実施するため、
持出し流量を少なくすることが可能で、洗浄のランニン
グコストを低減することができる。
ら引上げた洗浄物に付着する洗浄液を、空気噴流で吹き
飛ばすエアブロー装置において、空気噴流発生用として
駆動用シャフト直角方向に多数の細孔を設けたエアノズ
ル群と、該エアノズル群を水平方向に往復させる駆動機
構と、待機状態の上記エアノズル群を収納するための洗
浄槽側面拡張部と、上記エアノズル群に高圧空気を供給
するフレキシブルホースと、上記高圧空気の供給をON・
OFFする制御弁とを備え、上記洗浄槽底部の洗浄液中で
洗浄した洗浄物を槽外に取出す際に、上記洗浄槽内でエ
アブローするため、上記エアノズル群の往復位置の若干
下位置に洗浄物を一旦停止し、高圧空気を上記エアノズ
ル群に供給するとともに、その噴出空気流が上記洗浄物
を効果的にブローする速度で、上記駆動機構によりエア
ノズル群を送り出しおよび引込める動作をし、付着洗浄
液を吹き飛ばした洗浄物を洗浄槽外に取出すことによ
り、洗浄槽等の処理槽内でエアブローを実施するため、
持出し流量を少なくすることが可能で、洗浄のランニン
グコストを低減することができる。
第１図は本発明によるエアブロー装置の一実施例を示す
構成図、第２図は被洗浄物とエアノズル群との位置関係
を示す図、第３図は被洗浄物の洗浄工程の例を示す図、
第４図は処理槽における持込み持出し流量と汚れ濃度と
の関係を説明する図である。 １……洗浄槽、２……洗浄物 ３……洗浄液、５……搬送アーム ６……カバー（蓋）、７……エアノズル群 ８……駆動機構 10,10′……フレキシブルホース 11……ダクト、12……ミストセパレータ 13……拡張部
構成図、第２図は被洗浄物とエアノズル群との位置関係
を示す図、第３図は被洗浄物の洗浄工程の例を示す図、
第４図は処理槽における持込み持出し流量と汚れ濃度と
の関係を説明する図である。 １……洗浄槽、２……洗浄物 ３……洗浄液、５……搬送アーム ６……カバー（蓋）、７……エアノズル群 ８……駆動機構 10,10′……フレキシブルホース 11……ダクト、12……ミストセパレータ 13……拡張部
Claims (3)
- 【請求項１】洗浄槽から引き上げた洗浄物に付着する洗
浄液を、空気噴流で吹き飛ばすエアブロー装置におい
て、空気噴流発生用として駆動用シャフトと直角方向に
多数の細孔を設けたエアノズル群と、該エアノズル群を
水平方向に往復させる駆動機構と、待機状態の上記エア
ノズル群を収納するための洗浄槽側面拡張部と、上記エ
アノズル群に高圧空気を供給するフレキシブルホース
と、上記高圧空気の供給をON・OFFする制御弁とを備
え、上記洗浄槽底部の洗浄液中で洗浄した洗浄物を槽外
に取り出す際に、上記洗浄槽内でエアブローするため、
上記エアノズル群の往復位置の若干下位置に洗浄物を一
旦停止し、高圧空気を上記エアノズル群に供給するとと
もに、その噴出空気気流が上記洗浄物を効果的にブロー
する速度で、上記駆動機構によりエアノズル群を送り出
しおよび引き込める動作をし、付着洗浄液を吹き飛ばし
た洗浄物を洗浄槽外に取り出すことを特徴とするエアブ
ロー装置。 - 【請求項２】上記洗浄槽は、上記洗浄物をエアブロー位
置に支持できるように、洗浄物の搬送アームを貫通して
摺動可能なミスト飛散防止カバーで、乗じ洗浄槽開口部
を覆ったことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
したエアブロー装置。 - 【請求項３】上記洗浄槽側面拡張部は、エアブロー気流
を排出するためのダクトを設け、かつ、上記ダクト入口
近傍には、飛散ミストの回収を行うミストセパレータを
取り付けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
載したエアブロー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2060935A JPH0744171B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | エアブロー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2060935A JPH0744171B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | エアブロー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03263832A JPH03263832A (ja) | 1991-11-25 |
| JPH0744171B2 true JPH0744171B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=13156734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2060935A Expired - Fee Related JPH0744171B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | エアブロー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744171B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0638243U (ja) * | 1992-07-01 | 1994-05-20 | 株式会社エンヤシステム | 液状ワックス塗布装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62192637U (ja) * | 1986-05-28 | 1987-12-08 | ||
| JPS6386177A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-16 | Speedfam Co Ltd | 洗浄装置 |
-
1990
- 1990-03-14 JP JP2060935A patent/JPH0744171B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03263832A (ja) | 1991-11-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6390898B1 (en) | Method and device for treating, especially cleaning, abrasive clearing or stripping of coatings, graffiti or other superficial soiling on parts, work pieces or surfaces | |
| US20060281326A1 (en) | Washing apparatus, washing stystem, and washing method | |
| CN101814424B (zh) | 基板处理装置及基板处理方法 | |
| KR100224049B1 (ko) | 충전탑식 집진 장치 | |
| CN110238147A (zh) | 一种干式清洗机 | |
| KR100813604B1 (ko) | 자동세척장치 | |
| JPH0647229A (ja) | 湿式集塵装置 | |
| JPH10118583A (ja) | 板状物の洗浄装置 | |
| JP2000153247A (ja) | 洗浄剥離方法及びその装置 | |
| JPH0744171B2 (ja) | エアブロー装置 | |
| JP2000117218A (ja) | 通い容器の洗浄方法及び洗浄装置 | |
| JPH10165864A (ja) | 水溶性塗料の塗装装置 | |
| JPH10172945A (ja) | ウエハー洗浄装置 | |
| JP2810829B2 (ja) | 塗装方法および装置 | |
| JP2014114085A (ja) | 基板浮上装置および基板浮上装置の洗浄方法 | |
| JPH10175515A (ja) | 車両洗浄装置 | |
| TWI697948B (zh) | 基板處理方法以及基板處理裝置 | |
| JPS6040510B2 (ja) | 洗浄及び乾燥方法 | |
| JPH1099751A (ja) | 水溶性塗料の塗装装置 | |
| JP2010056312A (ja) | ダイシング装置及びワーク洗浄乾燥方法 | |
| JP2001179635A (ja) | ブラスト装置 | |
| JP2000301035A (ja) | 洗浄方法および洗浄装置 | |
| JP4173754B2 (ja) | 洗浄装置 | |
| JPH11277009A (ja) | 超音波洗浄機および超音波洗浄システム | |
| JPH10117988A (ja) | 食器洗浄装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |