JPH0325944A - バッファ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体素子組立工程における、ダイボンダと
ワイヤボンダあるいはワイヤボンダと封止装置との間を
リードフレームを自動転送し、貫生産ラインを実現する
ためのバッファ装置に関するものである。

従来の技術 従来のバッファ装置について図面を参照して説明する。

第３図は従来の構成によるバッファ装置の一例である。

第３図において、２０はリードフレーム、２１はマガジ
ン２１ａが．エレベータ部２ｌｂに固定されたマガジン
エレベータ部、２２はリードフレーム２０を搬送するベ
ルト搬送部、２３ａは列変換部後方列、２３ｂは列変換
部前方列、２４はリードフレーム２０を水平移動させる
スライダプレート、２６゛ａと２６ｂはストッパ、２７
は送り出し爪、２８ａと２８ｂはフォトセンサ、２９は
リードフレーム２０を水平移動させるための水平移動台
である。

以上のように構威されたバッファ装置について、以下そ
の動作について説明する。

まず、ダイポンダ〈図示せず）から送られてきたリード
フレーム２０は、ベルト搬送部２２によりマガジン２１
ａ内に搬送され、別のリードフレームが列変換部前方列
２３ｂ上にある場合はリードフレーム２０はストッパ２
６ａにより制動される。このときリードフレーム２０は
フォトセンサ２８ａにより検知され、マガジン２１ａが
１段上昇して次のリードフレーム２０がダイポンダから
送りこまれるのに備え、ベルト搬送部２２の動作が停止
する。

もし別のリードフレームが列変換部２３上にない場合は
、ストッパ２６ａが下降し、リードフレーム２０はベル
ト搬送部２２によりさらに搬送され、ストッパ２６ｂに
より制動される。この後、送り出し爪２７が下降すると
ともに、ストツパ２６ｂが下降して、送り出し爪２７に
よりリードフレーム２０が列変換部の後方列２３ａに送
られる。ここで、列変換部の前方列２３ｂ上のリードフ
レーム２０がワイヤボンダ（図示せず）に送り出され、
フォトセンサ２８ｂによりリードフレーム２０がなくな
ったことを検知すると、スライドプレート２４によりリ
ードフレーム２０が列変換部後方列２３ａから前方列２
３ｂに送られ、フォトセンサ２８ｂによりこれを検知し
、リードフレーム２０がワイヤボンダに送り出されるま
でストツバ２６ａを上昇させリードフレーム２０をマガ
ジン２１ａに収納するよう動作する。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記従来の構成では、マガジン２１ａはエ
レベータ部２ｌｂから脱着不可能な構造となっており、
ワイヤボンダが故障その他の原因で一定時間以上停止す
ると、リードフレームがダイホンダから継続して送りこ
まれるため、マガジン２１ａ内にリードフレーム２０が
満杯に収納された状態となり、ダイボンダの稼働を停止
させなければならなくなるという欠点を有していた．さ
らに、スライドプレート２４によりリードフレーム２０
の列変換を行なう機構も、ダイボンダとワイヤボンダと
の送り列のずれがたとえば１００一以上と大きくなると
、長い距離にわたりリードフレーム２０裏面を水平移動
台２９の面上で滑動させなければならず、リードフレー
ムに傷がつく等の品質上の問題点が発生したり、または
リードフレームの厚みが薄い場合に、スライドプレート
２４よりリードフレームを押して列変換することが困難
となる欠点を有していた。

本発明は、上記従来の課題を解決するもので、ワイヤボ
ンダが何らかの原因で一定時間以上停止してもダイボン
ダが継続して稼働することを可能とし、またダイボンダ
とワイヤボンダの送り列の違いが大きい場合や、リード
フレーム厚が薄い場合にも、問題なく列変換を行なうこ
とのできるバッファ装置を提供することを目的とするも
のである。

課題を解決するための手段 この目的を達成するために本発明のバッファ装置は、リ
ードフレームを収納するための底面のないマガジンと、
同マガジンを上下させて前記リードフレームの収納位置
を変えるエレベータ部とを備え、前記マガジンを前記エ
レベータ部から脱着可能とするとともに、さらに、前記
リードフレームを下方より上方に持ち上げて、ダイボン
ダのリードフレーム送り列よりワイヤボンダの送り列に
水平移動させ、さらに上方より下方へ下げて所定位置に
載置する列変換部とを備えたものである。

作用 この構成によって、ワイヤポンダが故障その他の条件に
より一定時間以上停止してマガジンが満杯になった場合
にも、作業者が適宜マガジンを交換する等の操作を行な
うことによりダイボンダを連続して稼働させることがで
きる。また作業者によりマガジンが交換されず、リード
フレーム収納部が満杯になる場合には、そのことをダイ
ボンダに通知して、稼働を自動的に停止させることもで
きる。また、リードフレームを下方より上方へ持ち」−
ばて水平移動させ、列変換することにより、ダイボンダ
とワイヤボンダのリードフレームの送り列が大きく違う
場合でも傷かつくこともなくなるし、また、リードフレ
ーム厚が薄い場合にも列変換を行なうことが困難なくで
きる。

実施例 以下本発明のバッファ装置の一実施例について、図面を
参照しながら説明する。

第１図は本発明の一実施例におけるバツファ装置の斜視
図を示すものである。また第２図はこのバッツー７装置
をダイボンダとワイヤボンダの間に用いたときの信号の
やりとりを示したプロ、ソク図である。

第１図において、１ａは底面のない構造とすることによ
り脱着可能なマガジン、１ｂはマガジン１ａを」二下さ
せるエレベータ部、２はベルト搬送部、３ａは列変換部
後方列、３ｂは列変換部前方列、４はリードフレームを
載置し、上下と左右に可動して列変換を行うリードフレ
ームホルダ、５はリードフレーム、６ａと６ｂはストツ
バ、７はリードフレーム５を列変換部後方列３ａに移動
させる送り出し爪、８ａと８ｂはフオトセンサ、９は列
変換移動台である。

第２図において、１１はダイボンダ制御装置、１２はバ
ッファ制御装置、１３はワイヤボンダ制御装置、１４は
バツファ装置起動信号、１５はバッファ装置動作信号、
１６はノくツファ装置満杯信号、１７は供給リードフレ
ーム有信号である。

以上のように構成されたノ＜・ソファ装置につし）で、
以下その動作を説明する。

まず、ダイホンダ（図示せず）から送られて来たリード
フレーム５は、ベルト搬送部２によりマガジンｌａ内に
搬送される。ここで、マガジン１ａは底面のない構造と
することにより、エレベータ１ｂとは脱着可能である。

この状態で、別のリードフレーム５が列変換部前方列３
ｂ上にあるかないかによってバッファ装置の動作は次の
いずれかとなる。

リードフレーム５が列変換部前方列３ｂ上にある場合は
、リードフレーム５はスト−ｙ　／　＜　６　ａにより
制動される。このときリードフレーム５はフオトセンサ
８ａにより検知され、エレベータ部１ｂが１段上昇して
次のリードフレームがダイボンダから送りこまれるのに
備え、ベルト搬送部２の動作が停止する。

次にリードフレーム５が列変換部前方列３ｂ上にない場
合は、ストッパ６ａは下降しており、リードフレーム５
はベルト搬送部２によりさらに搬送され、ストツバ６ｂ
により制動される。この後、送り出し爪７によりリード
フレーム５が列変換部後方列３ａに送られる。

この状態で、列変換部前方列３ｂ上に別のリードフレー
ム５があるときは、フオトセンサ８ｂがリードフレーム
５の存在を検知し、列変換部のリードフレームホルダ４
は動作しない。もし、列変換部前方列３ｂ上のリードフ
レーム５がワイヤボンダ（図示せず）に送り出されると
、フオトセンサ８ｂがリードフレーム５がなくなったこ
とを検知し、リードフレームホルダ４が列変換部後方列
にあるリードフレーム５を下方より上方へ持ち上げ、溝
に沿って列変換部後方列３ａ側から列変換部前方列３　
ｂ　ｍｌ＋へ水平移動し、再び上方より下方へ移動する
ことによってリードフレーム５を列変換部前方列３ｂ上
に置く。その後、リードフレームホルダ４が列変換部前
方列３ｂ側から列変換部後方列３ａ側へ移動して、停止
する。

リードフレーム５はフォトセンサ８ｂにより検知され、
リードフレーム５がワイヤボンダに送り出されるまでス
トツパ６ａを上昇させてダイボンダから送り込まれるリ
ードフレームをマガジンｌａ内に収納するよう動作する
。

以上の動作を実現するための、ダイボンダ，バッファ装
置，ワイヤボンダそれぞれの制御装置での信号のやりと
りを第２図により説明する。

まず、リードフレームをバッファ装置に送り込むにあた
り、ダイボンダ制御装置１１はバッファ制御装置１２に
対してバッファ装置起動信号１４を出力する。バッファ
制御装置１２はこの信号を受けとると動作状態となり、
リードフレームの有無の状態に従ってリードフレームを
マガジン内に収納するか、リードフレームを列変換部後
方列で保持するか、または列変換部前方列側へ移載する
かの処理を行なう。この間バッファ制御装置１２はダイ
ポンダ副御装置１ｌに対してバッファ装置動作信号１５
を出力しており、ダイボンダ制御装ｆｆｌｌはこの信号
がバッファ制御装置１２から出力されている間は、リー
ドフレームをバッファ装置に送り込まないよう、ダイポ
ンダの動作を一時停止させる等の処置を行なう。バッフ
ァ装置が一連の動作を終了すると、バッファ制御装置ｌ
２はダイボンダ制御装置１１に対し、バッファ装置動作
信号１５の出力を停止する。

もしマガジン部が満杯近くになると、バッファ制御装置
１２はダイボンダ制御装置１１に対しバッファ装置満杯
信号１６を出力する。ダイボンダ制御装置１１はこの信
号を受けとると、新しいリードフレームの投入を停止す
る等の処置を行なう。この状態は、本発明のバッファ装
置の場合は、満杯になったマガジンを空のマガジンに交
換することにより解除でき，バッファ制御装置１２はダ
イボンダ制御装置１１に対しバッファ装置満杯信号１６
の出力を停止する。これは、マガシン内に収納されてい
たリードフレームがワイヤボンダ側に送り出され、マガ
ジンにリードフレームが収納されつる状態になった時も
同様である。

バッファ制御装置１２は、列変換部前方列上にリードフ
レームがある時、ワイヤボンダ制御装置１３に対し供給
リードフレーム有信号１７を出力する。リードフレーム
がワイヤボンダ側に送り出されてしまうと、バッファ制
御装置１２はワイヤボンダ制御装置１３に対し、この信
号の出力を停止する。

発明の効果 以上のように本発明のバッファ装置によれば、底面のな
い構造としたマガジンを用い、マガジンとエレベータ部
とを脱着可能に構成することにより、マガジン部が満杯
の場合も作業者が適宜マガジンを交換することによりダ
イボンダを連続して稼働させることができる。またリー
ドフレームをリードフレームホルダにより下方より上方
に持ちあげた後、送り列を変換する機構とすることによ
り、リードフレーム裏面に傷等をつけることがなく、ま
た薄いリードフレームにも対応可能なバッファ装置を実
現できるものである。なお、実施例ではダイボンダとワ
イヤボンダとの間にバッファ装置を使用する場合につい
て記述を行なったが、たとえばワイヤボンダと封止装置
の間等に同じ構戒のバッファ装置を使用しても有効であ
ることは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例におけるバッファ装置の斜視
図、第２図はバッファ制御装置とダイボンダ制御装置お
よびワイヤボンダ制御装置との間の信号のやりとりを示
すためのブロック図、第３図は従来のバッファ装置の斜
視図である。 １ａ・・・・・・マガジン、ｌｂ．２ｌｂ・・・・・・
エレベータ部、２，２２・・・・・・ベルト搬送部、３
ａ．２３ａ・・・・・・列変換部後方列、３ｂ．２３ｂ
・・・・・・列変換部前方列、４・・・・・・リードフ
レームホルダ、２４・・・・・・スライダブレー｝、５
．２０・・・・・・リードフレーム、６ａ，６ｂ．２６
ａ．２６ｂ−ストツパ、７．２７・・・・・・送り出し
爪、８ａ，８ｂ．２８ａ，２８ｂ・・・・・・フォトセ
ンサ、９・・・・・・列変換移動台、２９・・・・・・
水平移動台、１１・・・・・・ダイボンダ制御装置、１
２・・・・・・バッファ制御装置、１３・・・・・・ワ
イヤボンダ制御装置、ｌ４・・・・・・バッファ装置起
動信号、１５・・・・・・バッファ装置動作信号、１６
・・・・・・バツファ装置満杯信号、１７・・・・・・
供給リードフレーム有信号。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）リードフレームを収納するための底面のない脱着
   可能なマガジンと、前記マガジンを上下動させて前記リ
   ードフレームの収納位置を変えるエレベータ部と、前記
   マガジン内に前記リードフレームを搬入および前記マガ
   ジン内から前記リードフレームを搬出するリードフレー
   ム搬送部およびリードフレームの送り列を変更する列変
   換部とを備えたバッファ装置。
2. （２）リードフレームを収納するマガジンと、前記マガ
   ジンを上下動させて前記リードフレームの収納位置を変
   えるエレベータ部と、前記マガジン内に前記リードフレ
   ームを搬入および前記マガジン内から前記リードフレー
   ムを搬出するリードフレーム搬送部および前記リードフ
   レームを下方より上方に持ち上げ、前記リードフレーム
   を水平移動させ、前記リードフレームを上方より下方へ
   下げて所定位置に載置する列変換部とを備えたバッファ
   装置。