JPH0321894Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は被研磨材を研磨する際に保持するため
部材に関する。

〔従来の技術〕

従来、シリコンウエハー、コンピユーター部
品、磁気デイスク、セラミツクス等の表面仕上げ
加工は、たとえば「４−WAY DOUBLE
SIDED LAPPING＆POLISHING
MACHINES」（スピードフアム社カタログ）、
「電子工学用プラスチツクス」（工業調査会編集部
編）等に記載の如く、研磨用パツドと被研磨材を
挿入するための挿通孔が設けられたキヤリア部材
を上及び下の定盤に接着剤や両面テープで貼着
し、挿通孔に被研磨材を供給し、上定盤もしくは
下定盤と回転することによつて行なわれている。

しかしながら接着剤で研磨用パツドを固定する
方法では、接着剤層の厚みを均一にするのが困難
であり、研磨用パツドを貼着後長時間圧力をかけ
て均一にする必要がある、研磨後接着剤の除去が
困難である等の欠点であつた。又両面粘着テープ
で研磨用パツドを固定する方法では、テープの厚
みを均一にすることができ、貼着後すぐに研磨す
ることが可能であるが、両面粘着テープの粘着剤
としてはアクリル系の粘着剤が使用されており、
研磨の際に研磨用パツドがずれたり剥離しないよ
うにするには粘着力を高くする必要があり、研磨
後研磨用パツドを剥離する際に粘着剤が糊残りす
るという欠点が依然としてあつた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

本考案の目的は、上記欠点に鑑み、定盤に容易
に厚み精度よく、かつ強固に貼着することがで
き、又研磨後糊残りなく容易に剥離することがで
きる研磨用保持部材を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

次に本考案を図面を参照して説明する。第１図
は本考案の研磨用保持部材の一例を示す断面図で
ある。図中１は研磨用パツドであり、一面にキヤ
リア部材２が積層され、他面に不透水性シート３
が積層されている。不透水性シート３の他面には
エーテル系粘着剤層４がエーテル系粘着剤とは異
なる粘着剤層５を介して積層されている。

研磨用パツド１としては従来公知の任意のもの
が使用でき、たとえばポリウレタンシートや酸化
アルミニウム、酸化セリウム等の研磨材を含有し
たポリウレタンシート等があげられる。

キヤリア部材２には被研磨材を挿入するための
挿通孔２１，２１…が設けられ、挿通孔２１の部
分では研磨用パツド１が露出するようになされて
いる。キヤリア部材２としては従来公知のものが
使用でき、たとえばポリエステル樹脂シート、ガ
ラス繊維強化ポリエステル樹脂シート、ステンレ
ススチール板等があげられる。

上記不透水性シート３は研磨用パツドに対する
補強効果を有すると共に研磨用パツド側から異な
る粘着剤層５に水やオイルが浸透するのを防止
し、研磨中及び研磨後研磨用保持部材を剥離する
際に研磨用パツドと異なる粘着剤層５の間から分
離するのを防止する効果を有するものであり、表
面が平滑なものが好ましく、たとえばポリエチレ
ンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリメチル
メタクリレート等のシートがあげられる。

エーテル系粘着剤層４は分子内に少なくとも１
個の反応性シラン基を有するポリエーテル100重
量部に対し、粘着付与剤50〜200重量部と架橋触
媒とからなるエーテル系粘着剤によつて形成され
る。

上記ポリエーテルは分子内に少なくとも１個の
反応性シラン基を有するものであり、シラン基は
次式で表わされる。

ここでａは０〜２の整数、Ｒは炭化水素基、Ｘ
は加水分解性基であつて、たとえばアルコキシ基
があげられる。

又主鎖は式（−R′−Ｏ）−で表わされる繰返し単
位を有するものであり、Ｒはアルキレン基であ
り、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、イ
ソプロピレン基等炭素数が１〜４のアルキレン基
が好ましい。

上記ポリエーテルは２個のシラン基を主鎖の両
端に有し、分子量が300〜15000であるのが好まし
く、より好ましくは1000〜10000である。

上記粘着付与剤は従来から粘着剤に使用されて
いるものであれば良いが、上記ポリエーテルとの
相溶性の良いものが好ましく、たとえばテルペン
フエノール樹脂、合成テルペン樹脂、部分水添ロ
ジングリセリンエステル、完全水添ロジングリセ
リンエステル、クマロン樹脂等があげられる。

又、粘着付与剤の添加量はポリエーテル100重
量部に対し50〜200重量部添加される。

又、上記架橋触媒はポリエーテルの反応性シラ
ン基を架橋させるためのものであつて、シラノー
ル縮合触媒が使用できる。該シラノール縮合触媒
としては、たとえばジブチル錫ジラウレートなど
の有機錫化合物、テトライソプロピルチタネー
ト、テトラブチルチタネート、ジイソプロポキシ
チタンビスアセチルアセテートなどの有機チタン
化合物、ラウリルアミン、エタノールアミンなど
のアミン、オクチル酸錫、オクチル酸鉛、ナフテ
ン酸鉄などの有機酸金属塩等があげられる。

架橋触媒の添加量はポリエーテル100重量部に
対し0.1〜10重量部であるのが好ましい。

異なる粘着剤層５は上記エーテル系粘着剤層と
異なる粘着剤であればよく、たとえばアクリル系
粘着剤、ゴム系粘着剤、ウレタン系粘着剤、シリ
コン系粘着剤等があげられるが、ウエツト研磨す
る際には研磨材を水やオイルに混合したスラリー
状研粒を供給して研磨するので次第にアルカリ性
になるから耐アルカリ性にすぐれたものが好まし
く、アクリル系粘着剤とキシレン系粘着付与剤よ
りなる粘着剤が好ましい。

上記アクリル系粘着剤は２−エチルヘキシルア
クリレート、ブチルアクリレート等のアクリレー
トを主体とする従来公知の粘着剤であり、アクリ
ル酸、アクリルアミド等の官能基を有するモノマ
ーが共重合されていてもよい。

又、上記キシレン系粘着付与剤とは、一般に粘
着剤用のタツキフアイヤーとして使用されている
ものであつて、たとえばｍ−キシレンとホルムア
ルデヒドの縮合物である100％キシレン樹脂、フ
エノール変性キシレン樹脂、アルキルフエノール
キシレン樹脂等があげられる。キシレン系粘着付
与剤の添加量は要求品質によつて適宜決定されれ
ばよいが、一般にアクリル系粘着剤（固形分）
100重量部に対し、５〜100重量部添加され、好ま
しくは10〜50重量部である。

上記異なる粘着剤層５及びエーテル系粘着剤層
４の形成方法は任意の方法が採用されてよく、た
とえば、ホツトメルト法、溶液塗工法、エマルジ
ヨン塗工法、転写法等の方法で不透水性シート３
の一面に異なる粘着剤層５及びエーテル系粘着剤
層４を順次積層する方法があげられる。

又、研磨用パツド１とキヤリア部材２及び研磨
用パツド１と不透水性シート３の積層は任意の方
法が採用されてよく、たとえばゴム系接着剤、エ
ポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤等の接着剤で
接着されるが、ウエツト研磨する際には研磨材を
水やオイルに混合したスラリー状研粒を供給して
研磨するので次第にアルカリ性になるから耐アル
カリ性の接着剤で接着されるのが好ましい。

第２図は本考案の異なる例を示す断面図であ
る。図中１′は研磨用パツドであり、一面に被研
磨材を挿入するために挿通孔２１′，２１′…が設
けられたキヤリア部材２′が積層されている。他
面には不透水性シート３′が積層されている。６
は基材フイルムであり、一面にエーテル系粘着剤
層４′が積層され、他面に異なる粘着剤層５′が積
層されて両面粘着テープ７が形成されており、両
面粘着テープ７は異なる粘着剤層５′が不透水性
シート３′に当接するように積層されている。上
記基材フイル６としては両面粘着テープの基材と
して従来から使用されている任意のものが使用可
能であり、たとえばポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビ
ニル等の合成樹脂フイルム、織布、不織布、紙等
があげられる。

又、上記研磨用保持部材を製造する際には基材
フイルム６の両面にエーテル系粘着剤層４′及び
異なる粘着剤層５′を形成して両面粘着テープ７
を製造した後不透水性シート３′に積層するのが
好ましい。

〔作用〕

本考案の研磨用保持部材で被研磨材を研磨する
には、たとえば研磨用保持部材のエーテル系粘着
剤層を下定盤に貼着し、キヤリア部材の挿通孔に
被研磨材を挿入し、研磨用パツドが付着された上
定盤と共に被研磨材を押圧しながら上もしくは下
の定盤を回転することによつて行なわれる。尚研
磨用パツドが研磨性能を有さない場合には酸化ア
ルミニウム、酸化セリウム等の研磨材を水やオイ
ルに混合したスラリー状砥粒を供給しながら定盤
を回転することによつて行なわれる。

研磨終了後研磨用保持部材を定盤から剥離する
には、エーテル系粘着剤層は50〜150℃に加熱す
ると粘着力が低下するので、定盤を50〜150℃に
加熱して剥離すると定盤に糊残りすることなく容
易に剥離することができる。

〔考案の効果〕

本考案の研磨用保持部材の構成は上述の通りで
あり、定盤に容易かつ強固に貼着することがで
き、研磨用パツド表面は平滑であり厚み精度もす
ぐれているから短時間で研磨でき、又ウエツト研
磨の際にも研磨用パツドを通つて異なる粘着剤層
へ水やオイルが浸入することがなく、研磨中や研
磨後に研磨用保持部材を定盤から剥離する際に不
透水性シートと異なる粘着剤層の間で剥離するこ
とがない。又研磨後には定盤を50〜150℃に加熱
することにより、定盤に糊残りすることなく剥離
することができ作業性が良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の研磨用保持部材の一例を示す
断面図であり、第２図は異なる例を示す断面図で
ある。 １，１′……研磨用パツド、２，２′……キヤリ
ア部材、２１，２１′……挿通孔、３，３′……不
透水性シート、４，４′……エーテル系粘着剤層、
５，５′……異なる粘着剤層、６……基材フイル
ム、７……両面粘着テープ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 不透水性シートの一面に、研磨用パツド及び被
   研磨材を挿入するための挿通孔が設けられたキヤ
   リア部材が順次積層され、他面に、分子内に少な
   くとも１個の反応性シラン基を有するポリエーテ
   ル100重量部に対し、粘着付与剤50〜200重量部と
   架橋触媒とからなるエーテル系粘着剤層が、該エ
   ーテル系粘着剤とは異なる粘着剤層を介して積層
   されてなる研磨用保持部材。