JPH0357428Y2

JPH0357428Y2 -

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Publication number: JPH0357428Y2
Application number: JP1986041543U
Authority: JP
Priority date: 1986-03-19
Filing date: 1986-03-19
Publication date: 1991-12-27
Also published as: JPS62153056U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］本考案は研磨用粘着テープもしくはシートに関
する。

［従来の技術］従来、シリコンウエハー、コンピユーター部
品、磁気デイスク、セラミツクス等の表面仕上げ
加工を行う際には、支持部材もしくは押圧部材に
研磨用シートを接着剤や両面粘着テープで固定
し、間に被研磨材を供給し、支持部材もしくは押
圧部材を回転することによつて行なわれている。
（たとえば「電子工学用プラスチツクス」工業調
査会編集部編、特開昭60−135179号公報等）しかしながら接着剤で研磨用シートを固定する
方法では、接着剤層の厚みを均一にするのが困難
であり、研磨用シートを貼着後長時間圧力をかけ
て均一にする必要がある、研磨後接着剤の除去が
困難である等の欠点があつた。又両面粘着テープ
で研磨用シートを固定する方法では、テープの厚
みを均一にすることができ、貼着後すぐに研磨す
ることが可能であるが、両面粘着テープの粘着剤
としてはアクリル系の粘着剤が使用されており、
研磨の際に研磨用シートがずれたり剥離しないよ
うにするには粘着力を高くする必要があり、研磨
後研磨用シートを剥離する際に粘着剤が糊残りす
るという欠点が依然としてあつた。

［考案が解決しようとする問題点］本考案の目的は、上記欠点に鑑み支持部材もし
くは押圧部材に容易に厚み精度よく、かつ強固に
貼着することができ、又研磨後糊残りなく容易に
剥離することができる研磨用粘着テープもしくは
シートを提供することにある。

［問題点を解決するための手段］本考案は上記の目的を達成するために、基材の
一面に粘着剤層が設けられてなる研磨用粘着テー
プもしくはシートであつて、該粘着剤層が、分子
内に少なくとも１個の反応性シラン基を有するポ
リエーテル100重量部に対し、粘着付与剤50〜200
重量部と架橋触媒とからなるエーテル系粘着剤層
と、該エーテル系粘着剤層とは異なる粘着剤層と
の二層からなり、エーテル系粘着剤層が外側に配
され、粘着剤層と反対側の基材面が研磨面となさ
れてなるものとした。

本考案で用いる基材としては従来公知の任意の
ものが使用でき、たとえばコランダム、エメリ
ー、ガーネツト、α−酸化鉄、酸化アルミニウ
ム、シリコンカーバイド、酸化ジルコニウム、酸
化クロム、窒化ボロン、ダイアモンド等の研磨材
がポリエチレンテレフタレートフイルム等の支持
シートの一面にエポキシ樹脂、ポリエステル樹
脂、ポリアミド樹脂、ポリウレタン樹脂等のバイ
ンダーによつて粘着されたシート、ウレタン布等
があげられる。

本考案で使用するポリエーテルは分子内に少な
くとも１個の反応性シラン基を有するものであ
り、シラン基は次式で表わされる。

ここでαは０〜２の整数、Ｒは炭化水素基、Ｘ
は加水分解性基であつて、たとえばアルコキシ基
があげられる。

又主鎖は式（−R′−Ｏ−）で表わされる繰返し単
位を有するものであり、R′はアルキレン基であ
り、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、イ
ソプロピレン基等炭素数が１〜４のアルキレン基
が好ましい。

上記ポリエーテルは２個のシラン基を主鎖の両
端に有し、分子量が300〜15000であるのが好まし
く、より好ましくは1000〜10000である。

本考案で使用する粘着付与剤は従来から粘着剤
に使用されているものであれば良いが、上記ポリ
エーテルとの相溶性の良いものが好ましく、たと
えばテルペンフエノール樹脂、合成テルペン樹
脂、部分水添ロジングリセリンエステル、完全水
添ロジングリセリンエステル、クマロン樹脂等が
あげられる。

又、粘着付与剤の添加量は粘着テープの要求品
質によつて適宜決定されればよいが、一般に、ポ
リエーテル100重量部に対し50〜200重量部添加さ
れる。

本考案で使用する架橋触媒はポリエーテルの反
応性シラン基を架橋させるためのものであつて、
シラノール縮合触媒が使用できる。該シラノール
縮合触媒としては、たとえばジブチル錫ジラウレ
ートなどの有機錫化合物、テトライソプロピルチ
タネート、テトラブチルチタネート、ジイソプロ
ポキシチタンビスアセチルアセテートなどの有機
チタン化合物、ラウリルアミン、エタノールアミ
ンなどのアミン、オクチル酸錫、オクチル酸鉛、
ナフテン酸鉄などの有機酸金属塩等があげられ
る。

架橋触媒の添加量はポリエーテル100重量部に
対し0.1〜10重量部であるのが好ましい。

本考案の研磨用粘着テープもしくはシートは、
上記基材の一面に粘着剤層が設けられてなる研磨
用粘着テープもしくはシートであつて、該粘着剤
層が、分子内に少なくとも１個の反応性シラン基
を有するポリエーテル100重量部に対し、粘着付
与剤50〜200重量部と架橋触媒とからなるエーテ
ル系粘着剤層と、該エーテル系粘着剤層とは異な
る粘着剤層との二層からなり、エーテル系粘着剤
層が外側に配され、粘着剤層と反対側の基材面が
研磨面となされてなる。

該異なる粘着剤としては、たとえばアクリル系
粘着剤、ゴム系粘着剤、ウレタン系粘着剤、シリ
コン系粘着剤等があげられ、アクリル系粘着剤及
びゴム系粘着剤が好適に使用される。

本考案の研磨用粘着テープもしくはシートの製
造方法は任意の方法が採用されてよく、たとえば
異なる粘着剤層及びエーテル系粘着剤層を基材の
裏面に、ホツトメルト法、溶液塗工法、転写法等
の方法で順次積層する方法、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリプロピレン、ポリエチレン等の芯
材フイルムの一面にエーテル系粘着剤層を積層
し、他面に異なる粘着剤層を積層して両面粘着テ
ープを得、基材の裏面に異なる粘着剤層が当接す
るように貼着する方法等があげられる。

次に本考案を図面を参照して説明する。

第１図は本考案の研磨用粘着テープもしくはシ
ートの一例を示す断面図である。図中１は基材で
あり、裏面にエーテル系粘着剤層３が異なる粘着
剤層２を介して積層されている。

第２図は本考案の異なる例を示す断面図であ
る。図中４は芯材フイルムであり、一面にエーテ
ル系粘着剤層３′が積層され、他面に異なる粘着
剤層２′が積層されて両面粘着テープ５が形成さ
れており、両面粘着テープ５は異なる粘着剤層
２′が基材１′の裏面に当接するように基材１′に
積層されている。

［考案の効果］本考案の研磨用粘着テープもしくはシートの構
成は上述の通り、基材の一面に設けられた粘着剤
層がエーテル系粘着剤層と、該エーテル系粘着剤
層とは異なる粘着剤層との二層からなり、エーテ
ル系粘着剤層が外側に配され、粘着剤層と反対側
の基材面が研磨面となされているのであるから、
従来の粘着テープもしくはシートと同様に取扱う
ことができ、厚み精度もすぐれているので、支持
部材もしくは押圧部材に容易かつ強固に貼着する
ことができる。又エーテル系粘着剤の粘着力は50
〜150℃に加熱すると、異なる粘着剤に比較し、
非常に小さくなるので、研磨終了後支持部材もし
くは押圧部材を50〜150℃に加熱して基材を剥離
すれば、支持部材もしくは押圧部材に粘着剤が糊
残りすることなく容易に剥離することができる。

［実施例］次に本考案の実施例を説明する。

実施例２エチルヘキシルアクリレート、ブチルアクリ
レート及びアクリル酸（重量比23：73：４）を酢
酸エチル中で共重合した固形分40重量％の酢酸エ
チル溶液に架橋剤0.8重量部添加して得られたア
クリル系粘着剤を厚さ25μのポリエチレンテレフ
タレートフイルムの一面に塗布乾燥して厚さ50μ
のアクリル系粘着剤層を形成した。

次にポリエチレンテレフタレートフイルムの他
面に、シラン変性ポリエーテル（鐘淵化学社製、
MSポリマー300）100重量部、テルペンフエノー
ル系樹脂60％トルエン溶液（安原油脂社製、YS
ポリスターＳ−145）133重量部及びジブチル錫ジ
ラウレート３重量部を攪拌混合して得た粘着剤溶
液を塗布乾燥して厚さ50μのエーテル系粘着剤層
を形成して両面粘着テープを得た。

得られた両面粘着テープのアクリル系粘着剤層
にウレタン布を貼着して本考案の研磨用粘着テー
プを得た。

得られた研磨用粘着テープをステンレススチー
ル板に貼着し、23℃で１時間養生した後Ｔ剥離強
度（引張速度300mm／分）を測定したところ、20
℃では680ｇ／25mm巾であつて、70℃では95ｇ／
25mm巾であり、共に糊残りは全くなかつた。又上
記研磨用粘着テープをステンレススチール板に貼
着し、40℃で２日間養生した後同様にしてＴ剥離
強度を測定したところ20℃では690ｇ／25mm巾で
あつて、70℃では95ｇ／25mm巾であり、共に糊残
りは全くなかつた。

比較例ポリエチレンテレフタレートフイルムの両面に
アクリル系粘着剤層を形成した以外は実施例で行
つたと同様にして両面粘着テープを得、研磨用粘
着シートを得た。得られた研磨用粘着シートを用
いて実施例で行つたと同様にしてＴ剥離強度を測
定したところ、23℃で１時間養生した後の剥離強
度は20℃では1350ｇ／25mm巾であつて、点状に糊
残りがあり、70℃では900ｇ／25mm巾であつて、
島状の糊残りがあつた。又40℃で２日間養生した
後の剥離強度は、20℃では2300ｇ／25mm巾であつ
て、島状の糊残りがあり、70℃では1200ｇ／25mm
巾であつて、ほぼ全面に糊残りがあつた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の研磨用粘着テープもしくはシ
ートの一例を示す断面図であり、第２図は異なる
例を示す断面図である。１，１′……基材、２，２′……異なる粘着剤
層、３，３′……エーテル系粘着剤層、４……芯
材フイルム、５……両面粘着テープ。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

基材の一面に粘着剤層が設けられてなる研磨用
粘着テープもしくはシートであつて、該粘着剤層
が、分子内に少なくとも１個の反応性シラン基を
有するポリエーテル100重量部に対し、粘着付与
剤50〜200重量部と架橋触媒とからなるエーテル
系粘着剤層と、該エーテル系粘着剤層とは異なる
粘着剤層との二層からなり、エーテル系粘着剤層
が外側に配され、粘着剤層と反対側の基材面が研
磨面となされてなる研磨用粘着テープもしくはシ
ート。