JPH0521322Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は研磨用粘着テープもしくはシートに関
する。

〔従来の技術〕

従来、シリコンウエハー、コンピユーター部
品、磁気デイスク、セラミツクス等の表面仕上げ
加工を行う際には、支持部材もしくは押圧部材に
研磨用シートを接着剤や両面粘着テープで固定
し、間に被研磨材を供給し、支持部材もしくは押
圧部材を回転することによつて行なわれている。
（たとえば「電子工学用プラスチツクス」工業調
査会編集部編、特開昭60−135179号公報等） しかしながら接着剤で研磨用シートを固定する
方法では、接着剤層の厚みを均一にするのが困難
であり、研磨用シートを貼着後長時間圧力をかけ
て均一にする必要がある、研磨後接着剤の除去が
困難である等の欠点があつた。又両面粘着テープ
で研磨用シートを固定する方法では、テープの厚
みを均一にすることができ、貼着後すぐに研磨す
ることが可能であるが、両面粘着テープの粘着剤
としてはアクリル系の粘着剤が使用されており、
研磨の際に研磨用シートがずれたり剥離しないよ
うにするには粘着力を高くする必要があり、研磨
後研磨用シートを剥離する際に粘着剤が糊残りす
るという欠点が依然としてあつた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

本考案の目的は、上記欠点に鑑み、支持部材も
しくは押圧部材に容易に厚み精度よく、かつ強固
に貼着することができ、又研磨後糊残りなく容易
に剥離することができる研磨用粘着テープもしく
はシートを提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案で用いる研磨用シートとしては従来公知
の任意のものが使用でき、たとえばコランダム、
エメリー、ガーネツト、α−酸化鉄、酸化アルミ
ニウム、シリコンカーバイド、酸化ジルコニウ
ム、酸化クロム、窒化ボロン、ダイアモンド等の
研磨材がポリエチレンテレフタレートフイルム等
の支持シートの一面にエポキシ樹脂、ポリエステ
ル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリウレタン樹脂等の
バインダーによつて結着されたシート、ウレタン
布等があげられる。

本考案では上記研磨用シートの裏面に粘着剤層
が積層されてなるが、該粘着剤層は分子内に少な
くとも１個の反応性シラン基を有するポリエーテ
ルと粘着付与剤と架橋触媒とから形成される。

上記ポリエーテルは分子内に少なくとも１個の
反応性シラン基を有するものであり、シラン基は
次式で表わされる。

−Ra ｜ Si −X_3-a ここでａは０〜２の整数、Ｒは炭化水素基、Ｘ
は加水分解性基であつて、たとえばアルコキシ基
があげられる。

又主鎖は式（−R′−Ｏ）−で表わされる繰返し単
位を有するものであり、R′はアルキレン基であ
り、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、イ
ソプロピレン基等炭素数が１〜４のアルキレン基
が好ましい。

上記ポリエーテルは２個のシラン基を主鎖の両
端に有し、分子量が300〜15000であるのが好まし
く、より好ましくは1000〜10000である。

又上記粘着付与剤は従来から粘着剤に使用され
ているものであれば良いが、上記ポリエーテルと
の相溶性の良いものが好ましく、たとえばテルペ
ンフエノール樹脂、合成テルペン樹脂、部分水添
ロジングリセリンエステル、完全水添ロジングリ
セリンエステル、クマロン樹脂等があげられる。

又、粘着付与剤の添加量はポリエーテル100重
量部に対し50〜200重量部添加される。

粘着付与剤の添加量がポリエーテル100重量部
に対し、50重量部よりも少ないと粘着力が低下し
て研磨中に受ける剪断力により剥離し易くなり、
200重量部よりも多くなると相対的にポリエーテ
ルの量が少なくなり、これにより50〜150℃に加
熱したときに剥離し易くなるという性質が失われ
る。そして粘着力が強くなり過ぎ、粘着剤の凝集
力が低下するので、50〜150℃に加熱しても支持
部材等から剥離することは困難となり、剥離して
も支持部材等に糊残りを生じるので、粘着付与剤
の添加量は上記のとおりとなされる。

上記架橋触媒はポリエーテルの反応性シラン基
を架橋させるためのものであつて、シラノール縮
合触媒が使用できる。該シラノール縮合触媒とし
ては、たとえばジブチル錫ジラウレートなどの有
機錫化合物、テトライソプロピルチタネート、テ
トラブチルチタネート、ジイソプロポキシチタン
ビスアセチルアセテートなどの有機チタン化合
物、ラウリルアミン、エタノールアミンなどのア
ミン、オクチル酸錫、オクチル酸鉛、ナフテン酸
鉄などの有機酸金属塩等があげられる。

架橋触媒の添加量はポリエーテル100重量部に
対し0.1〜10重量部であるのが好ましい。

研磨用シートの裏面に粘着剤層を積層する方法
は任意の方法が採用されてよく、たとえばホツト
メルト塗工法、溶液塗工法、転写法等があげられ
る。

〔考案の効果〕

本考案の研磨用粘着テープもしくはシートの構
成は上述の通りであり、ポリエーテルと粘着付与
剤と架橋触媒よりなる粘着剤は常温においては粘
着力が大きく、50〜150℃に加熱すると粘着力が
急激に低下するから、常温において支持部材もし
くは押圧部材に容易かつ強固に貼着することがで
き、その厚み精度はすぐれているので被研磨材を
容易かつ均一に研磨することができ、又研磨後は
50〜150℃に加熱することにより、支持部材もし
くは押圧部材に糊残りをおこすことなく容易に剥
離することができる。

〔実施例〕

次に本考案の実施例を図面を参照して説明す
る。

実施例 第１図は本考案の研磨用粘着テープもしくはシ
ートの一例を示す断面図である。図中１はウレタ
ン布よりなる研磨用シートであり、研磨用シート
の裏面に厚さ50μの粘着剤層２が積層されてい
る。粘着剤層２はシラン変性ポリエーテル（鐘淵
化学社製、MSポリマー300）100重量部、テルペ
ンフエノール樹脂60％トルエン溶液（安原油脂社
製、YSポリスターＴ−145）133重量部及びジブ
チル錫ジラウレート３重量部を攪拌、混合して得
られた粘着剤溶液が塗布、乾燥され、架橋されて
形成されている。

上記研磨用粘着シートをステンレススチール板
に貼着し、23℃で１時間養生した後Ｔ剥離強度
（引張速度300mm／分）を測定したところ、20℃で
は660g／25mm巾であつて、70℃では90g／25mm巾
であり、共に糊残りは全くなかつた。又上記研磨
用粘着シートをステンレススチール板に貼着し、
40℃で２日間養生した後同様にしてＴ剥離強度を
測定したところ20℃では680g／25mm巾であつて、
70℃では90g／25mm巾であり共に糊残りは全くな
かつた。

比較例 粘着剤溶液として２エチルヘキシルアクリレー
トとブチルアクリレートとアクリル酸（重量比
25：70：５）が共重合された酢酸エチル溶液を使
用した以外は実施例で行つたと同様にして研磨用
粘着シートを得、実施例で行つたと同様にしてＴ
剥離強度の測定を行つたところ23℃で１時間養生
した後の剥離強度は20℃では1200g／25mm巾であ
つて、点状の糊残りがあり、70℃では800g／25
mm巾であつて、島状の糊残りがあつた。又40℃で
２日間養生した後の剥離強度は20℃では2100g／
25mm巾であつて、島状に糊残りがあり、70℃では
1100g／25mm巾であつて、ほぼ全面に糊残りがあ
つた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の研磨用粘着テープもしくはシ
ートの一例を示す断面図である。 １……研磨用シート、２……粘着剤層。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 研磨用シートの裏面に分子内に少なくとも１個
   の反応性シラン基を有するポリエーテル100重量
   部に対し、粘着付与剤50〜200重量部と架橋触媒
   とからなる粘着剤層が積層されてなる研磨用粘着
   テープもしくはシート。