JPH0357429Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

〔産業上の利用分野〕 本考案はシリコンウエハー等をウエツト研磨す
る粘着テープもしくはシートに関する。 シリコンウエハー、ガラス等を研磨するには、
たとえば「４−WAY DOUBLE SIDED
LAPPING ＆ POLISHING MACHINES」
（スピードフアム社カタログ）、「電子工学用プラ
スチツクス」（工業調査会編集部編）等に記載の
如く、研磨用シートを上定盤及び下定盤に接着剤
や両面接着テープで貼着し、間に被研磨材をはさ
み、酸化アルミ、酸化セリウム等の研磨材を水や
オイルに混合したスラリー状砥粒を供給しながら
上定盤もしくは下定盤を回転する方法が行なわれ
ている。 しかしながら研磨用シートを定盤に接着する際
には、接着剤の厚みにばらつきがあり、均一性を
だすためには長時間加圧しなければならない、研
磨後接着剤の除去が困難である等の欠点があつ
た。 又、両面粘着テープで研磨用シートを固定する
方法では、テープの厚みを均一にすることがで
き、貼着後すぐに研磨することが可能であるが、
両面粘着テープの粘着剤としてはアクリル系の粘
着剤が使用されており、研磨の際に供給されたス
ラリー状砥粒は研磨中にPHが上昇し、10〜12に
なるためアクリル系粘着剤は老化し、研磨中に研
磨用シートが剥離してしまう欠点があつた。 〔考案が解決しようとする問題点〕 本考案の目的は、上記欠点に鑑み、定盤に容易
に厚み精度よく、かつ強固に貼着することがで
き、又研磨中に剥離することがなく、しかも研磨
後に定盤に糊残りなく容易に剥離することができ
る研磨用粘着テープもしくはシートを提供するこ
とにある。 〔問題点を解決するための手段〕 本考案は上記の目的を達成するために、基材の
一面に粘着剤層が設けられてなる研磨用粘着テー
プもしくはシートであつて、該粘着剤層が、アク
リル系粘着剤とキシレン系粘着付与剤よりなるア
クリル系粘着剤層と、分子内に少なくとも１個の
反応制シラン基を有するポリエーテル100重量部
に対し、粘着付与剤50〜200重量部と架橋触媒と
からなるエーテル系粘着剤層との二層からなり、
エーテル系粘着剤層が外側に配され、粘着剤層と
反対側の基材面が研磨面となされてなるものとし
た。 本考案で用いる基材としては従来公知の任意の
ものが使用でき、たとえばウレタン布や酸化アル
ミニウム、酸化セリウム等の研磨材が分散された
ウレタン布等があげられる。 本考案で用いるアクリル系粘着剤は２−エチレ
ンヘキシルアクリレート、ブチルアクリレート等
のアクリレートを主体とする従来公知の粘着剤で
あり、アクリル酸、アクリルアミド等の官能基を
有するモノマーが共重合されていてもよい。 本考案で用いるキシレン系粘着付与剤とは、一
般に粘着剤用のタツキフアイナーとして使用され
ているものであつて、たとえばｍ−キシレンとホ
ルムアルデヒドの縮合物である。100％キシレン
樹脂、フエノール変性キシレン樹脂、アルキルフ
エノールキシレン樹脂等があげられる。キシレン
系粘着付与剤の添加量は要求品質によつて適宜決
定されればよいが、一般にアクリル系粘着剤（固
形分）100重量部に対し、５〜100重量部添加さ
れ、好ましくは10〜50重量部である。 本考案で用いるポリエーテルは分子内に少なく
とも１個の反応性シラン基を有するものであり、
シラン基は次式で表わされる。 ここでαは０〜２の整数、Ｒは炭化水素基、Ｘ
は加水分解性基であつて、たとえばアルコキシ基
があげられる。 又主鎖は式（−R′−Ｏ−）で表わされる繰返し単
位を有するものであり、R′はアルキレン基であ
り、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、イ
ソプロピレン基等炭素数が１〜４のアルキレン基
が好ましい。 上記ポリエーテルは２個のシラン基を主鎖の両
端に有し、分子量が300〜15000であるのが好まし
く、より好ましくは1000〜10000である。 本考案で用いる粘着付与剤は従来から粘着剤に
使用されているものであれば良いが、上記ポリエ
ーテルとの相溶性の良いものが好ましく、たとえ
ばテルペンフエノール樹脂、合成テルペン樹脂、
部分水添ロジングリセリンエステル、完全水添ロ
ジングリセリンエステル、クマロン樹脂等があげ
られる。 又、粘着付与剤の添加量は粘着テープの要求品
質によつて適宜決定されればよいが、一般に、ポ
リエーテル100重量部に対し50〜200重量部添加さ
れる。 本考案で用いる架橋触媒はポリエーテルの反応
性シラン基を架橋させるためのものであつて、シ
ラノール縮合触媒が使用できる。該シラノール縮
合触媒としては、たとえばジブチル錫ジラウレー
トなどの有機錫化合物、テトライソプロピルチタ
ネート、テトラブチルチタネート、ジイソプロポ
キシチタンビスアセチルアセテートなどの有機チ
タン化合物、ラウリルアミン、エタノールアミン
などのアミン、オクチル酸錫、オクチル酸鉛、ナ
フテン酸鉄などの有機酸金属塩等があげられる。 架橋触媒の添加量はポリエーテル100重量部に
対し0.1〜10重量部であるのが好ましい。 本考案のウエツト研磨用粘着テープもしくはシ
ートは上記基材の一面に、アクリル系粘着剤とキ
シレン系粘着付与剤よりなるアクリル系粘着剤層
と、ポリエーテルと粘着付与剤と架橋触媒とから
なるエーテル系粘着剤層との二層からなり、該エ
ーテル系粘着剤層が外側に配されなるのである
が、機械的強度を向上させるためにアクリル系粘
着剤層とエーテル系粘着剤層との間に芯材を積層
してもよい。該芯材としては、たとえばポリ塩化
ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエ
チレンテレフタレートなどのフイルム、上質紙、
和紙、布等があげられる。 本考案のウエツト研磨用粘着テープもしくはシ
ートの製造方法は任意の方法が採用されてよく、
たとえばアクリル系粘着剤層を研磨用シートの裏
面にホツトメルト塗工法、溶液塗工法、転写法等
の方法で積層した後、その上にエーテル系粘着剤
層を同様にして積層する方法、芯材の一面にアク
リル系粘着剤層を積層し、他面にエーテル系粘着
剤層を積層して両面粘着テープもしくはシートを
得、得られた両面粘着テープもしくはシートのア
クリル系粘着剤層に基材を積層する方法等があげ
られる。 次に本考案を図面を参照して説明する。 第１図は本考案のウエツト研磨用粘着テープも
しくはシートの一例を示す断面図である。図中１
は基材であり、２は基材１の一面に積層された、
アクリル系粘着剤とキシレン系粘着付与剤よりな
るアクリル系粘着剤層であり、３はアクリル系粘
着剤層２に積層された、ポリエーテルと粘着付与
剤と架橋触媒上からなるエーテル系粘着剤層であ
る。 第２図は異なる例を示す断面図である。図中
１′は基材であり、５は両面粘着テープである。
両面粘着テープ５は芯材４の一面にアクリル系粘
着剤層２′が積層され、他面にエーテル系粘着剤
層３′が積層されて形成されており、アクリル系
粘着剤層２′が基材１′に貼着されている。 〔考案の効果〕 本考案のウエツト研磨用粘着テープもしくはシ
ートの構成は上述の通りであり、定盤に容易かつ
強固に厚み精度よく貼着することができるので、
被研磨材を容易かつ均一に研磨でき、又アクリル
系粘着剤とキシレン系粘着付与材よりなる粘着剤
は耐アルカリ性にすぐれているのでウエツト研磨
中にPHが10〜12のアルカリ性になつても基材が該
粘着剤層から剥離することがない。又エーテル系
粘着剤は50〜150℃に加熱すると粘着力が大きく
低下するので、研磨後50〜150℃に加熱して剥離
すると糊残りすることなく容易に剥離することが
できる。 〔実施例〕 次に本考案を実施例を参照して説明する。 実施例 ２−エチルヘキシルアクリレート、ブチルアク
リレート及びアクリル酸（重量比25：70：５）を
酢酸エチル中で溶液重合した共重合体溶液（固形
分40％）100重量部に、フエノール変性キシレン
樹脂（軟化温度約130℃）9.4重量部及び架橋剤
0.5重量部を添加混合してアクリル系粘着剤組成
物を得た。 得られたアクリル系粘着剤組成物を厚さ25μの
ポリエチレンテレフタレートフイルムの一面に塗
布乾燥して厚さ50μのアクリル系粘着剤層を形成
して粘着テープを得た。 シラン変性ポリエーテル（鐘渕化学社製、MS
ポリマー300）100重量部、テルペンフエノール系
樹脂60％トルエン溶液（安原油脂社製、YSポリ
スターＳ−145）133重量部及びジブチル錫ジラウ
レート３重量部を攪拌混合してエーテル系粘着溶
液を得た。得られたエーテル系粘着溶液を上記粘
着テープのポリエチレンテレフタレートフイルム
面に塗布乾燥して厚さ50μのエーテル系粘着剤層
を形成して両面粘着テープを得た。 得られた両面粘着テープのアクリル系粘着剤層
にウレタン布を貼着して本考案のウエツト研磨用
粘着シートを得た。 得られた粘着シートをステンレススチール板に
貼着し、23℃で１時間養生した後及び40℃で２日
間養生した後にそれぞれ20℃及び70℃でＴ剥離強
度（引張速度300mm／分）を測定すると共に剥離
状態を観察し結果を第１表に示した。 又、上記粘着テープを25mm幅に切断し、ウレタ
ン布に５Kgのローラーを２往復して圧着し、圧着
後24時間目に水及びPH12の緩衝液に浸潰した。96
時間浸潰後取り出して直ちにＴ剥離強度（引張速
度300mm／分）を20℃で測定し結果を第２表に示
した。又緩衝液に浸潰したものについては貼着状
況を観察し第２表に示した（耐水試験）。 比較例 １ アクリル系粘着剤組成物及びエーテル系粘着剤
溶液にかえて実施例で用いた共重合溶液を用いた
以外は実施例で行つたと同様にして粘着シートを
得、各物性を測定して結果を第１表に示した。又
アクリル系粘着剤組成物を厚さ25μのポリエチレ
ンテレフタレートフイルムに塗布乾燥して厚さ
50μのアクリル系粘着剤層を有する粘着テープを
得た。得られた粘着テープを用いて実施例で行つ
たと同様にして耐水試験を行い結果を第２表に示
した。 比較例 ２ フエノール変性キシレン樹脂にかえてテルペン
フエノール樹脂を（軟化温度135℃）を用いた以
外は実施例で用いたのと同じアクリル系粘着剤組
成物を厚さ25μのポリエチレンテレフタレートフ
イルムの両面に塗布乾燥し、厚さ50μの粘着剤層
を有する両面粘着テープを得た。得られた両面粘
着テープを用いて実施例で行つたと同様にして粘
着シートを得、各物性を測定して結果を第１表に
示した。又比較例１で行つたと同様にして粘着テ
ープを得、耐水性試験を行い、結果を第２表に示
した。

【表】

【表】 【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のウエツト研磨用粘着テープも
しくはシートの一例を示す断面図、第２図は異な
る例を示す断面図である。 １，１′……基材、２，２′……アクリル系粘着
剤層、３，３′……エーテル系粘着剤層、４……
芯材、５……両面粘着テープ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基材の一面に粘着剤層が設けられてなる研磨用
   粘着テープもしくはシートであつて、該粘着剤層
   が、アクリル系粘着剤とキシレン系粘着付与剤よ
   りなるアクリル系粘着剤層と、分子内に少なくと
   も１個の反応性シラン基を有するポリエーテル
   100重量部に対し、粘着付与剤50〜200重量部と架
   橋触媒とからなるエーテル系粘着剤層との二層か
   らなり、エーテル系粘着剤層が外側に配され、粘
   着剤層と反対側の基材面が研磨面となされてなる
   ウエツト研磨用粘着テープもしくはシート。