JPH03215359A - 強誘電性セラミックス - Google Patents
強誘電性セラミックスInfo
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- JPH03215359A JPH03215359A JP2282514A JP28251490A JPH03215359A JP H03215359 A JPH03215359 A JP H03215359A JP 2282514 A JP2282514 A JP 2282514A JP 28251490 A JP28251490 A JP 28251490A JP H03215359 A JPH03215359 A JP H03215359A
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
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- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
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-
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- C04B35/49—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
兄JトI技1也野
本発明は、Pb (Ni,/, Nb,,.)O.−
Pb (Zn,,, Nb273)0.−PbTi
O,−P b Z r Ox系強誘電性セラミックスに
関し さらに詳しく代 圧電定数dおよび機械的品質係
数Qmがともに大きく、かつキュリー温度Tcが高イP
b (N il7s Nb27s) Os P b
(Z netsN b2/3) O. 一P bT
i O, −P b Z r O.系強誘電性セラミッ
クスに関する。
Pb (Zn,,, Nb273)0.−PbTi
O,−P b Z r Ox系強誘電性セラミックスに
関し さらに詳しく代 圧電定数dおよび機械的品質係
数Qmがともに大きく、かつキュリー温度Tcが高イP
b (N il7s Nb27s) Os P b
(Z netsN b2/3) O. 一P bT
i O, −P b Z r O.系強誘電性セラミッ
クスに関する。
日 の ′
従東 強誘電性セラミックスからなる圧電材料屯 圧電
フィルタ、圧電トランス、超音波振動子あるいは圧電ブ
ザーなどの種々の用途に利用されている。これらの用途
に用いられている最も代表的な強誘電性セラミックスと
して檄 PbTiO,−PbZrO,系固溶体が知られている。
フィルタ、圧電トランス、超音波振動子あるいは圧電ブ
ザーなどの種々の用途に利用されている。これらの用途
に用いられている最も代表的な強誘電性セラミックスと
して檄 PbTiO,−PbZrO,系固溶体が知られている。
また、圧電特性を改良するために
PbTiO,−PbZrO,系固溶体にPb(Mg,・
,Nb2・3)03・ P b ( N l 173 N b2zs) Oi、
P b (Z nlz2 N ba7s) Osなどの
複合ヘロブスカイト型化合物な固溶させた強誘電性セラ
ミックスも知られている。
,Nb2・3)03・ P b ( N l 173 N b2zs) Oi、
P b (Z nlz2 N ba7s) Osなどの
複合ヘロブスカイト型化合物な固溶させた強誘電性セラ
ミックスも知られている。
ところで、圧電材料をアクチュエー夕として用いること
が検討されているカ一 この場合、圧電セラミックスに
より、電気エネルギーを機械的エネルギーに変換する必
要があるため、圧電セラミックスの圧電定数dを大きく
する必要がある。
が検討されているカ一 この場合、圧電セラミックスに
より、電気エネルギーを機械的エネルギーに変換する必
要があるため、圧電セラミックスの圧電定数dを大きく
する必要がある。
一般に、圧電定数dと、電気機械結合係数Kおよび比誘
電率Cとの間に鷹 accxf7− なる関係があり、圧電定数dを大きくするためには、電
気機械結合係数Kおよび/または比誘電率εを大きくし
なければならない。
電率Cとの間に鷹 accxf7− なる関係があり、圧電定数dを大きくするためには、電
気機械結合係数Kおよび/または比誘電率εを大きくし
なければならない。
また、圧電セラミックスの機械的共振を利用したアクチ
ュエー夕、たとえば超音波モータ等の用途において1転
圧電定数dおよび機械的品質係数Qm がともに犬で
あることが必要である。即ち、圧電セラミックスを共振
周波数領域で用いる場合へ 機械的品質係数Qmが小さ
いと共振変位を大きくとれないばかりでなく、発熱が大
きくなり、自発分極の減少、圧電定数dの低下等が生じ
る。
ュエー夕、たとえば超音波モータ等の用途において1転
圧電定数dおよび機械的品質係数Qm がともに犬で
あることが必要である。即ち、圧電セラミックスを共振
周波数領域で用いる場合へ 機械的品質係数Qmが小さ
いと共振変位を大きくとれないばかりでなく、発熱が大
きくなり、自発分極の減少、圧電定数dの低下等が生じ
る。
また、アクチュエー夕として駆動中へ たとえ発熱が大
きくなっても、自発分極の減少あるいは圧電定数dの低
下等を起こり難くするため&ミ さらには、アクチュエ
ー夕としての使用可能な温度領域を広くするためへ 圧
電セラミックスのキュリー温度Tcが高いことが要望さ
れる。
きくなっても、自発分極の減少あるいは圧電定数dの低
下等を起こり難くするため&ミ さらには、アクチュエ
ー夕としての使用可能な温度領域を広くするためへ 圧
電セラミックスのキュリー温度Tcが高いことが要望さ
れる。
PbTiO,−PbZrOs系固溶体やP b (Mg
.. Nb2,s) as、P b (N i I/3
N b2/B) 03、P b ( Z n +/s
N b2zs) Osなどの複合ペロブスカイトを
含有するPbTiO.−PbZrO,系固溶体などに対
して、MnO2などのハードな化合物を添加することに
より機械的品質係数Qm を大きくすることができる7
5%Mno2の添加量の増加とともに圧電定数dが大幅
に低下するという問題点があった また、上記のような固溶体に対し, Nb*Os.T
a20,、 La20,、Nd203、Bi20.など
のソフトな化合物を添加したり、Pbの一部をB a,
Sr,Caなどで置換することにより圧電定数dを大き
くすることができるカ一 これらの添加量や置換量の増
加とともにキュリー温度Tcが大幅に低下するという問
題点があった 本発明者1 このような問題点に鑑みて、PbTi’O
s PbZrOs系ヘロブスカイト型固溶体の各種金
属置換体について詳細に検討した結果、特定の組成範囲
にある、 P b (N ilg Nba7s) osP b (
Znt,3Nbats)03 P bT 1 03
P bZr o3 固溶体のpbの一部をLaまた
はNdで特定量置換しかつ特定量のMnO2を添加する
ことにより、圧電定数dの低下を抑え、機械的品質係数
Qmを向上させ、なおかつ高いキュリー温度Tcを保持
できることを見いだし本発明を完成するに至ったl囲o
g濫 本発明代 上記のような点に鑑みて完成されたものであ
って、圧電定数dおよび機械的品質係数Qm がともに
大きく、かつキュリー温度Tcが高?、圧電特性に優れ
た強誘電性セラミックスを提供することを目的としてい
る。
.. Nb2,s) as、P b (N i I/3
N b2/B) 03、P b ( Z n +/s
N b2zs) Osなどの複合ペロブスカイトを
含有するPbTiO.−PbZrO,系固溶体などに対
して、MnO2などのハードな化合物を添加することに
より機械的品質係数Qm を大きくすることができる7
5%Mno2の添加量の増加とともに圧電定数dが大幅
に低下するという問題点があった また、上記のような固溶体に対し, Nb*Os.T
a20,、 La20,、Nd203、Bi20.など
のソフトな化合物を添加したり、Pbの一部をB a,
Sr,Caなどで置換することにより圧電定数dを大き
くすることができるカ一 これらの添加量や置換量の増
加とともにキュリー温度Tcが大幅に低下するという問
題点があった 本発明者1 このような問題点に鑑みて、PbTi’O
s PbZrOs系ヘロブスカイト型固溶体の各種金
属置換体について詳細に検討した結果、特定の組成範囲
にある、 P b (N ilg Nba7s) osP b (
Znt,3Nbats)03 P bT 1 03
P bZr o3 固溶体のpbの一部をLaまた
はNdで特定量置換しかつ特定量のMnO2を添加する
ことにより、圧電定数dの低下を抑え、機械的品質係数
Qmを向上させ、なおかつ高いキュリー温度Tcを保持
できることを見いだし本発明を完成するに至ったl囲o
g濫 本発明代 上記のような点に鑑みて完成されたものであ
って、圧電定数dおよび機械的品質係数Qm がともに
大きく、かつキュリー温度Tcが高?、圧電特性に優れ
た強誘電性セラミックスを提供することを目的としてい
る。
i里A鳳1
本発明に係る強誘電性セラミックス屯
Pb+−+st■ls Mm { (N i. Nb
i7s) I−b(Z n,,3 N bazs) b
} x T 1 yZ r gos[ただし、Mは L
a およびNdからなる群から選ばれた少なくとも一
種の元素であり、x+y+z=1]で表わさ瓢 a=0. 005 〜0. 03 b=o.s〜0.95 x=0.1〜04 y冨0.3〜0.5 2ミ0. 2〜05 であるペロブスカイト型固溶体に対1,,MnO2を0
3〜1.0重量%含有せしめてなるベロプスカイト型
固溶体であることを特徴としている。
i7s) I−b(Z n,,3 N bazs) b
} x T 1 yZ r gos[ただし、Mは L
a およびNdからなる群から選ばれた少なくとも一
種の元素であり、x+y+z=1]で表わさ瓢 a=0. 005 〜0. 03 b=o.s〜0.95 x=0.1〜04 y冨0.3〜0.5 2ミ0. 2〜05 であるペロブスカイト型固溶体に対1,,MnO2を0
3〜1.0重量%含有せしめてなるベロプスカイト型
固溶体であることを特徴としている。
このような本発明に係る強誘電性セラミックス哄 上記
のような組成を有するベロプスカイト型結晶に対しMn
O2を特定量含有せしめていることから、従来既知の強
誘電性セラミックスと比較した場合、ほぼ同等の機械的
品質係数Qm を持ちながら、より大きな圧電定数dを
有レ かつ十分高いキュリー温度Tcを有している。し
たがって、本発明に係る強誘電性セラミックスは、超音
波モータ等を含む機械的共振を利用したアクチュエー夕
等の用途に用いた場合に優れた特性を示す。
のような組成を有するベロプスカイト型結晶に対しMn
O2を特定量含有せしめていることから、従来既知の強
誘電性セラミックスと比較した場合、ほぼ同等の機械的
品質係数Qm を持ちながら、より大きな圧電定数dを
有レ かつ十分高いキュリー温度Tcを有している。し
たがって、本発明に係る強誘電性セラミックスは、超音
波モータ等を含む機械的共振を利用したアクチュエー夕
等の用途に用いた場合に優れた特性を示す。
11旦見獲羞1l
以下、本発明に係る強誘電性セラミックスについて具体
的に説明する。
的に説明する。
本発明に係る強誘電性セラミックス哄
P b+−+3zt,.Me { (N f I/3
N b2,s) +−b(Z n1ts N b2,z
) b} x T lv Z rz03[ただ獣 Mは
La およびNdからなる群から選ばれた少なくとも一
種の元素であり、x+y+z=1]で表わさtLSas
bs Xs y%2が下記の範囲にあり、 a = 0. 005〜O.鍬 好ましくは0. 00
7 〜0. 02b=0.5〜O.欧 好ましくは0.
6〜0.9x=0.1−0.4 好ましくは0.2〜
0.4y=o.3〜0.へ 好ましくは0.33〜0.
4z=0.2〜0.5.好ましくは0.27〜0.4こ
のペロブスカイト型固溶体に対1,,MnO.を0.3
〜1.0重量%、好ましくは0.4〜0.8重量%含有
せしめてなるペロブスカイト型固溶体である。
N b2,s) +−b(Z n1ts N b2,z
) b} x T lv Z rz03[ただ獣 Mは
La およびNdからなる群から選ばれた少なくとも一
種の元素であり、x+y+z=1]で表わさtLSas
bs Xs y%2が下記の範囲にあり、 a = 0. 005〜O.鍬 好ましくは0. 00
7 〜0. 02b=0.5〜O.欧 好ましくは0.
6〜0.9x=0.1−0.4 好ましくは0.2〜
0.4y=o.3〜0.へ 好ましくは0.33〜0.
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のペロブスカイト型固溶体に対1,,MnO.を0.3
〜1.0重量%、好ましくは0.4〜0.8重量%含有
せしめてなるペロブスカイト型固溶体である。
本発明に係る強誘電性セラミックスを構成するペロブス
カイト型結晶をABO.で表わした場合、本発明で檄
AサイトにはPbおよびこのPbの一部を置換してLa
および/またはNdが金属イオンの形態で入っている。
カイト型結晶をABO.で表わした場合、本発明で檄
AサイトにはPbおよびこのPbの一部を置換してLa
および/またはNdが金属イオンの形態で入っている。
ここで,Pbの一部を置換するLaおよび/またはNd
の量を表すaの値は、大きな圧電定数dを得るためには
o. oos以上とするのが望ましい。またキュリー温
度Tcを高く保つためには0.03以下とするのが望ま
しい。
の量を表すaの値は、大きな圧電定数dを得るためには
o. oos以上とするのが望ましい。またキュリー温
度Tcを高く保つためには0.03以下とするのが望ま
しい。
また、M n O ,の添加量+L 大きな機械的品
質係数Qmを得るためには0.3重量%以上とするのが
望ましい。さらに、圧電定数dを大きく保つには1.0
重量%以下とするのが望ましい。
質係数Qmを得るためには0.3重量%以上とするのが
望ましい。さらに、圧電定数dを大きく保つには1.0
重量%以下とするのが望ましい。
上記のよう&へ 特定の組成範囲にあるP b { (
N i ,g N ba,s) +−b (Z n,t
sNb2/3)b} x T l vZ rz03の
Pbの一部をLaおよび/またはNdで特定量置換する
とともl−S MnO2を特定量添加した場合に、圧電
定数dをあまり低下させることなく、機械的品質係数Q
mを高めら汰 なおかつ高いキュリー温度Tcを保持で
き、圧電定数d1 機械的品質係数Qmがともに大き
く、かつキュリー温度Tcの高い強誘電性セラミックス
を効果的に得ることができる。
N i ,g N ba,s) +−b (Z n,t
sNb2/3)b} x T l vZ rz03の
Pbの一部をLaおよび/またはNdで特定量置換する
とともl−S MnO2を特定量添加した場合に、圧電
定数dをあまり低下させることなく、機械的品質係数Q
mを高めら汰 なおかつ高いキュリー温度Tcを保持で
き、圧電定数d1 機械的品質係数Qmがともに大き
く、かつキュリー温度Tcの高い強誘電性セラミックス
を効果的に得ることができる。
このような本発明の組成を有した強誘電性セラミックス
は、焼結した際に各金属酸化物成分を提供しうるような
金属化合物たとえば金属酸化物あるいは金属塩などを粉
末状で用い、これを焼結することにより製造することが
できる。これらの粉末状の金属化合物の製法は、特に限
定されるものではなく、液相法、固相法など種々の公知
の方法を用いることができる。たとえ番戴 液相法に
おいては沈澱法、共沈法、アルコキシド法、ゾルーゲル
法などが適用でき、固相法においてはシュウ酸塩分解法
、酸化物混合法などが適用できる。以上いずれかの方法
で得られた粉末を800〜1000℃で仮焼獣 この仮
焼体をボールミル粉砕したのち乾燥する。これを5 0
0 = 1 5 0 0 kg/ a= ’の圧力で
プレス成形L,% 1 000〜1300℃で焼成すれ
!!、目的とする強誘電性セラミックスが得られる。
は、焼結した際に各金属酸化物成分を提供しうるような
金属化合物たとえば金属酸化物あるいは金属塩などを粉
末状で用い、これを焼結することにより製造することが
できる。これらの粉末状の金属化合物の製法は、特に限
定されるものではなく、液相法、固相法など種々の公知
の方法を用いることができる。たとえ番戴 液相法に
おいては沈澱法、共沈法、アルコキシド法、ゾルーゲル
法などが適用でき、固相法においてはシュウ酸塩分解法
、酸化物混合法などが適用できる。以上いずれかの方法
で得られた粉末を800〜1000℃で仮焼獣 この仮
焼体をボールミル粉砕したのち乾燥する。これを5 0
0 = 1 5 0 0 kg/ a= ’の圧力で
プレス成形L,% 1 000〜1300℃で焼成すれ
!!、目的とする強誘電性セラミックスが得られる。
[実施例]
以下本発明を実施例によって説明する力{、本発明はこ
れら実施例に限定されるものではない。
れら実施例に限定されるものではない。
なお、径方向振動の電気機械結合係数( K p)、比
誘電率(εa’j” @)、圧電定数(da−+)およ
び機械的品質係数(Qm)の測定は電子材料工業会標準
規格(EMAS)に定められた方法に準拠して行なり八
例1〜2、比例1〜4 PbOS ZrO2、T i O2、NiO、ZnO、
N b a Os、La.O.およびMnO2を表1に
示す組成を有するような量比に秤量し ボールミルにて
粉砕混合した。得られた粉末を800〜1000℃で1
〜2時間仮焼し この仮焼体をボールミル粉砕したのち
乾燥しへ これを1 000−/。2の圧力で直径25
.の円板にプレス成形し1050−1250℃で1〜2
時間焼成した かくして得られた焼結体を厚さ0.5鴎
まで研磨したのち、両面に銀電極を塗布し 焼き付け島
さら&へ シリコンオイル中で20〜40KV/,.
の直流電界を印加することにより分極処理を施したのち
、 12時間二一ジングした試料を電気特性の測定に供
した 結果を表1に示す。
誘電率(εa’j” @)、圧電定数(da−+)およ
び機械的品質係数(Qm)の測定は電子材料工業会標準
規格(EMAS)に定められた方法に準拠して行なり八
例1〜2、比例1〜4 PbOS ZrO2、T i O2、NiO、ZnO、
N b a Os、La.O.およびMnO2を表1に
示す組成を有するような量比に秤量し ボールミルにて
粉砕混合した。得られた粉末を800〜1000℃で1
〜2時間仮焼し この仮焼体をボールミル粉砕したのち
乾燥しへ これを1 000−/。2の圧力で直径25
.の円板にプレス成形し1050−1250℃で1〜2
時間焼成した かくして得られた焼結体を厚さ0.5鴎
まで研磨したのち、両面に銀電極を塗布し 焼き付け島
さら&へ シリコンオイル中で20〜40KV/,.
の直流電界を印加することにより分極処理を施したのち
、 12時間二一ジングした試料を電気特性の測定に供
した 結果を表1に示す。
表中、 as bS”s Vs ”は式Pbl−
11/21mM@ {(N i I/3 N bazs
)+−b (Z n+7s N b273)bLTi,
Zr,O,[x+y+z=1]の各係数を表わす。
11/21mM@ {(N i I/3 N bazs
)+−b (Z n+7s N b273)bLTi,
Zr,O,[x+y+z=1]の各係数を表わす。
実施例lおよび比較例1の結果より、pbをLaで置換
することなしにMnO2を添加した場合(比較例l)に
比べて、pbの一部をLaで置換し、MnO2を添加し
た場合(実施例1)1戴 比較例lとほぼ同等の機械
的品質係数Qmを有しながら、比較例1より大きな電気
機械結合係数kp1圧電定数d21を持つことがわかる
。
することなしにMnO2を添加した場合(比較例l)に
比べて、pbの一部をLaで置換し、MnO2を添加し
た場合(実施例1)1戴 比較例lとほぼ同等の機械
的品質係数Qmを有しながら、比較例1より大きな電気
機械結合係数kp1圧電定数d21を持つことがわかる
。
また、実施例1および比較例2の結果より、MnO2を
添加せずにPbの一部をLaで置換した場合(比較例2
)に比べて、実施例1は比誘電率1J3/1@が低く、
機械的品質係数Qmが高いとレ嘱う従来の知見から十分
に予想される結果に加えて、意外にも電気機械結合係数
kpが高く、圧電定数aa+も若干低い程度であること
がわかる。
添加せずにPbの一部をLaで置換した場合(比較例2
)に比べて、実施例1は比誘電率1J3/1@が低く、
機械的品質係数Qmが高いとレ嘱う従来の知見から十分
に予想される結果に加えて、意外にも電気機械結合係数
kpが高く、圧電定数aa+も若干低い程度であること
がわかる。
これと同様の傾向哄 実施例2と比較例3.4との間に
もあることがわかる。
もあることがわかる。
3〜7 比 例5〜7
P b 1 − 《s− 2》s L as
( (N j I/II N b
2z 3) +−b(Z n1z3 N b2,s
) b) l.2T I II,4Z r m.aO*
の係数a, bを変えた以外は実施例1と同様の方法
で強誘電性セラミックス試料を作製し 電気特性を測定
した 結果を表2に示す。
( (N j I/II N b
2z 3) +−b(Z n1z3 N b2,s
) b) l.2T I II,4Z r m.aO*
の係数a, bを変えた以外は実施例1と同様の方法
で強誘電性セラミックス試料を作製し 電気特性を測定
した 結果を表2に示す。
実施例4〜5と比較例1との比軟 および実施例6〜7
と比較例5との比較からpbをLaにより置換すること
の効果が極めて大きいことがわかるが比較例6.7の結
果から、係数bの値が0.5以下になると、PbをLa
により置換することの効果があまり大きくないことがわ
かる。
と比較例5との比較からpbをLaにより置換すること
の効果が極めて大きいことがわかるが比較例6.7の結
果から、係数bの値が0.5以下になると、PbをLa
により置換することの効果があまり大きくないことがわ
かる。
例8〜9 比 例8〜9
Pbの一部をLaの代わりにNdで置換した以外は実施
例1、7および比較例1と同様の方法で強誘電性セラミ
ックスを作製し 電気特性を測定した 結果を表2に示す。
例1、7および比較例1と同様の方法で強誘電性セラミ
ックスを作製し 電気特性を測定した 結果を表2に示す。
実施例8と比較例8との比払 および実施例9と比較例
9との比較から、MnO2を添加せずにpbの一部をN
d置換した場合(比較例8.9)に比べると、MnO,
を添加した場合(実施例8.9)(戴機械的品質係数Q
mが高いということのほかへ 意外にも電気機械結合係
数kpが高く、圧電定数d31もほぼ同等の値を示すこ
とがわかる。
9との比較から、MnO2を添加せずにpbの一部をN
d置換した場合(比較例8.9)に比べると、MnO,
を添加した場合(実施例8.9)(戴機械的品質係数Q
mが高いということのほかへ 意外にも電気機械結合係
数kpが高く、圧電定数d31もほぼ同等の値を示すこ
とがわかる。
又』ドと廟署
以上の説明から明らかなよう1 本発明に係る強誘電性
セラミックス屯 特定の組成範囲を有する P b { (N i l/3 N ha,3)
+−b (Z n+7aNb2−3)b} xT i
,Z r,Osで表わされるペロブスカイト型固溶体の
Pbの一部をLaおよび/またはNdで特定量置換した
上で、MnO2を特定量含有せしめていることから、従
来既知の強誘電性セラミックスと比較した場合、ほぼ同
等の機械的品質係数Qm を持ちながら、より大きな圧
電定数dを有し、なおかつ高いキュリー温度Tcを保持
している。したがって、本発明に係る強誘電性セラミッ
クス檄 超音波モータ等を含む機械的共振を利用したア
クチュエー夕等の用途に用いた場合に優れた特性を示す
ことができる。
セラミックス屯 特定の組成範囲を有する P b { (N i l/3 N ha,3)
+−b (Z n+7aNb2−3)b} xT i
,Z r,Osで表わされるペロブスカイト型固溶体の
Pbの一部をLaおよび/またはNdで特定量置換した
上で、MnO2を特定量含有せしめていることから、従
来既知の強誘電性セラミックスと比較した場合、ほぼ同
等の機械的品質係数Qm を持ちながら、より大きな圧
電定数dを有し、なおかつ高いキュリー温度Tcを保持
している。したがって、本発明に係る強誘電性セラミッ
クス檄 超音波モータ等を含む機械的共振を利用したア
クチュエー夕等の用途に用いた場合に優れた特性を示す
ことができる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)Pb_1_−_(_3_/_2_)_aM_a{(
Ni_1_/_3Nb_2_/_3)_1_−_b(Z
n_1_/_3Nb_2_/_3)_b}_xTi_y
Zr_2O_3[ただし、MはLaおよびNdからなる
群から選ばれた少なくとも一種の元素であり、 x+y+z=1]で表わされ、 a=0.005〜0.03 b=0.5〜0.95 x=0.1〜0.4 y=0.3〜0.5 z=0.2〜0.5 であるペロブスカイト型固溶体に対し、MnO_2を0
.3〜1.0重量%含有せしめてなるペロブスカイト型
固溶体であることを特徴とする強誘電性セラミックス。
Applications Claiming Priority (2)
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---|---|---|---|
JP1-273482 | 1989-10-20 | ||
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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---|---|---|---|
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---|---|
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7045075B2 (en) | 2000-12-28 | 2006-05-16 | Bosch Automotive Systems Corporation | Ceramic material and piezoelectric element using the same |
JPWO2006067924A1 (ja) * | 2004-12-22 | 2008-06-12 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物および圧電アクチュエータ |
JP2016000689A (ja) * | 2011-12-20 | 2016-01-07 | 太陽誘電株式会社 | 圧電磁器組成物及び圧電磁器の製造方法 |
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---|---|---|---|---|
US5409548A (en) * | 1993-05-17 | 1995-04-25 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Ferroelectric detector array utilizing material and fabrication technique |
SG45241A1 (en) * | 1993-06-30 | 1998-01-16 | Murata Manufacturing Co | Dielectric ceramic composition |
JP3296640B2 (ja) * | 1993-11-04 | 2002-07-02 | 三井化学株式会社 | 圧電セラミックス |
DE4442598A1 (de) * | 1994-11-30 | 1996-06-05 | Philips Patentverwaltung | Komplexer, substituierter Lanthan-Blei-Zirkon-Titan-Perowskit, keramische Zusammensetzung und Aktuator |
CN1055910C (zh) * | 1995-08-21 | 2000-08-30 | 清华大学 | 电容器弛豫铁电陶瓷材料的制备工艺 |
KR100314762B1 (ko) * | 1998-02-27 | 2002-01-09 | 사토 히로시 | 압전세라믹 및 압전장치 |
CN113185289B (zh) * | 2021-03-31 | 2022-06-03 | 哈尔滨工业大学 | 一种超低介电损耗的铌锰酸铅-铌镍酸铅-锆钛酸铅高压电性铁电陶瓷及其制备方法 |
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---|---|---|---|---|
JPS54159697A (en) * | 1978-06-06 | 1979-12-17 | Tdk Corp | High dielectric ceramic composition |
JP2543021B2 (ja) * | 1984-12-17 | 1996-10-16 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | アクチュエ−タ用セラミツク圧電材料 |
JPS62290009A (ja) * | 1986-06-09 | 1987-12-16 | 株式会社村田製作所 | 誘電体磁器組成物 |
-
1990
- 1990-10-18 CA CA002027922A patent/CA2027922C/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-10-19 EP EP90120123A patent/EP0423822B1/en not_active Expired - Lifetime
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- 1990-10-19 DE DE9090120123T patent/DE69000733T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-10-19 JP JP2282514A patent/JP2613671B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1990-10-19 US US07/599,865 patent/US5079197A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-10-20 CN CN90108606A patent/CN1018493B/zh not_active Expired
- 1990-10-20 KR KR1019900016786A patent/KR930002641B1/ko not_active IP Right Cessation
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JPWO2006067924A1 (ja) * | 2004-12-22 | 2008-06-12 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物および圧電アクチュエータ |
JP4547632B2 (ja) * | 2004-12-22 | 2010-09-22 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物および圧電アクチュエータ |
JP2016000689A (ja) * | 2011-12-20 | 2016-01-07 | 太陽誘電株式会社 | 圧電磁器組成物及び圧電磁器の製造方法 |
US9406866B2 (en) | 2011-12-20 | 2016-08-02 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Piezoelectric device with piezoelectric ceramic layer having AG segregated in voids in sintered body of perovskite composition |
US9614142B2 (en) | 2011-12-20 | 2017-04-04 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Piezoelectric ceramic composition constituted by Ag-segregated sintered body of zirconate-titanate type perovskite composition |
US9755137B2 (en) | 2011-12-20 | 2017-09-05 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Piezoelectric device with piezoelectric ceramic layer constituted by alkali-containing niobate type perovskite composition |
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---|---|
CA2027922A1 (en) | 1991-04-21 |
US5079197A (en) | 1992-01-07 |
ATE84291T1 (de) | 1993-01-15 |
CN1018493B (zh) | 1992-09-30 |
JP2613671B2 (ja) | 1997-05-28 |
CA2027922C (en) | 1993-04-20 |
CN1051106A (zh) | 1991-05-01 |
DE69000733D1 (de) | 1993-02-18 |
EP0423822B1 (en) | 1993-01-07 |
EP0423822A1 (en) | 1991-04-24 |
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KR910007832A (ko) | 1991-05-30 |
DE69000733T2 (de) | 1993-05-27 |
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