JPH03214679A - 光学窓遮蔽機構付チャンバ - Google Patents
光学窓遮蔽機構付チャンバInfo
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- JPH03214679A JPH03214679A JP1006190A JP1006190A JPH03214679A JP H03214679 A JPH03214679 A JP H03214679A JP 1006190 A JP1006190 A JP 1006190A JP 1006190 A JP1006190 A JP 1006190A JP H03214679 A JPH03214679 A JP H03214679A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 85
- 238000012216 screening Methods 0.000 title abstract 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 2
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 abstract 2
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 abstract 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 13
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 6
- 239000012717 electrostatic precipitator Substances 0.000 description 5
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- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
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- Plasma & Fusion (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光学窓を備えたチャンバにおいて、光学素子へ
の汚染物質の付着を防止する機構を備えたチャンバに関
するものである。
の汚染物質の付着を防止する機構を備えたチャンバに関
するものである。
以下、光学窓を持つチャンバの例としてガスレーザ用チ
ャンバについて述べる。
ャンバについて述べる。
従来の光学窓の汚染を防止する機構を備えたガスレーザ
用チャンバについては、特許公開公報昭和５８年１８６
９８５号に記載されているので詳細な説明は省く。この
公報に記載されている光学窓の汚染を防止する機構を持
つガスレーザ用チャンバの構造を第６図に示す。このガ
スレーザ用チャンバにはレーザガスの取り出し口１３と
光学窓部にレーザガスの導入口１４と、さらにレーザガ
スを循環するためのポンプ１５と電気集塵器１６が設置
されている。光学窓の部分は、レーザ共振器を構成する
反射鏡（光学素子）４をチャンバ壁５に単に密着・固定
してあるだけの構造になっている。このためこの従来の
ガスレーザ用チャンバにおいては、光学素子４の汚染を
防止するためレーザ励起の放電で生成された不純物を含
むレーザガスを取り出し口１３からポンプ１５で電気集
塵器１６に送り電気集塵器１６で不純物を除去し、再生
したレーザガスを再度導入口ｌ４からチャンバ内に導入
することにより光学素子への不純物の付着を防止してい
る。
用チャンバについては、特許公開公報昭和５８年１８６
９８５号に記載されているので詳細な説明は省く。この
公報に記載されている光学窓の汚染を防止する機構を持
つガスレーザ用チャンバの構造を第６図に示す。このガ
スレーザ用チャンバにはレーザガスの取り出し口１３と
光学窓部にレーザガスの導入口１４と、さらにレーザガ
スを循環するためのポンプ１５と電気集塵器１６が設置
されている。光学窓の部分は、レーザ共振器を構成する
反射鏡（光学素子）４をチャンバ壁５に単に密着・固定
してあるだけの構造になっている。このためこの従来の
ガスレーザ用チャンバにおいては、光学素子４の汚染を
防止するためレーザ励起の放電で生成された不純物を含
むレーザガスを取り出し口１３からポンプ１５で電気集
塵器１６に送り電気集塵器１６で不純物を除去し、再生
したレーザガスを再度導入口ｌ４からチャンバ内に導入
することにより光学素子への不純物の付着を防止してい
る。
上述のように、光学素子の汚染を防止するには、ガスレ
ーザ用チャンバにレーザガスの取り出し口と光学窓部に
導入口を設け、さらにポンプと電気集塵器を備えなげれ
ばならない。このため、チャンバの構造が複雑になり大
型化を招く欠点があった。
ーザ用チャンバにレーザガスの取り出し口と光学窓部に
導入口を設け、さらにポンプと電気集塵器を備えなげれ
ばならない。このため、チャンバの構造が複雑になり大
型化を招く欠点があった。
本発明の目的は、簡易で小型な光学素子の汚染を防止す
る機構を持つ光学窓遮蔽機構付チャンバを提供すること
にある。
る機構を持つ光学窓遮蔽機構付チャンバを提供すること
にある。
本発明による光学窓遮蔽機構付チャンバは、光学窓を持
つチャンバ内に光学素子を覆う遮蔽部分と１つ以上の開
口部分とから構成される開口付回転板を設け、光が通過
する瞬間に開口部分の位置と光学窓の位置とを一致させ
、それ以外の時間は遮蔽部分により光学窓を覆うような
回転手段をもつ窓材遮蔽機構を備えていることを特徴と
している。
つチャンバ内に光学素子を覆う遮蔽部分と１つ以上の開
口部分とから構成される開口付回転板を設け、光が通過
する瞬間に開口部分の位置と光学窓の位置とを一致させ
、それ以外の時間は遮蔽部分により光学窓を覆うような
回転手段をもつ窓材遮蔽機構を備えていることを特徴と
している。
また光学窓を持つチャンバ内に光学素子の表面を掃く少
なくとも１つ以上のワイパーを持つワイパー付回転板と
ワイパー付回転板を回転させる回転手段を備えているこ
とを特徴としている。またこのワイパー付回転板に少な
くとも一箇所以上の開口を設け、光が通過する瞬間に開
口と光学窓の位置が一致するような回転手段を備えてい
ることを特徴としている。
なくとも１つ以上のワイパーを持つワイパー付回転板と
ワイパー付回転板を回転させる回転手段を備えているこ
とを特徴としている。またこのワイパー付回転板に少な
くとも一箇所以上の開口を設け、光が通過する瞬間に開
口と光学窓の位置が一致するような回転手段を備えてい
ることを特徴としている。
本発明においては光が透過または反射するとき以外の時
間は開口付回転板により光学窓をチャンバ内部から遮蔽
し、光学素子方向へのガス流を制限することができるた
め、光学素子への不純物の付着を回避することが可能と
なる。またワイパー付回転板により、光学素子の付着物
を除去するので光学窓を常に清浄に保つことが可能であ
る。またワイパー付回転板に開口を設けることで、上記
の相乗効果が得られる。
間は開口付回転板により光学窓をチャンバ内部から遮蔽
し、光学素子方向へのガス流を制限することができるた
め、光学素子への不純物の付着を回避することが可能と
なる。またワイパー付回転板により、光学素子の付着物
を除去するので光学窓を常に清浄に保つことが可能であ
る。またワイパー付回転板に開口を設けることで、上記
の相乗効果が得られる。
口実施例〕
次に図面を用いて本発明の実施例について説明する。
第１図は本発明の第１の実施例で、光学窓遮蔽機構付チ
ャンバの光学窓を示す断面図である。この実施例におい
てはガラス板で成る光学素子４が嵌め込まれた光学窓２
０のチャンバ内に光学窓２０を覆う遮蔽部分と一箇所以
上の開口部分とから構成される開口付回転板１を配置し
、これを回−５− 転軸２を介してモータ３により回転させる構成を採って
いる。
ャンバの光学窓を示す断面図である。この実施例におい
てはガラス板で成る光学素子４が嵌め込まれた光学窓２
０のチャンバ内に光学窓２０を覆う遮蔽部分と一箇所以
上の開口部分とから構成される開口付回転板１を配置し
、これを回−５− 転軸２を介してモータ３により回転させる構成を採って
いる。
光が光学窓を透過または反射する瞬間に開口部分の位置
を光学窓２０の位置と一致させ、それ以外の時間は遮蔽
部分により光学窓２０を覆うようにモータ３の回転を同
期させる。この結果、光学素子４にチャンバ内で生成し
た不純物等が付着することによる光学窓２０の透過率ま
たは反射率の劣化を低減することが可能となる。
を光学窓２０の位置と一致させ、それ以外の時間は遮蔽
部分により光学窓２０を覆うようにモータ３の回転を同
期させる。この結果、光学素子４にチャンバ内で生成し
た不純物等が付着することによる光学窓２０の透過率ま
たは反射率の劣化を低減することが可能となる。
第２図に、本発明の第２の実施例である開口付回転板６
の正面図を示す。第２図に示した開口付回転板６には回
転軸２に対して同心同上に４個の開口７を設けてある。
の正面図を示す。第２図に示した開口付回転板６には回
転軸２に対して同心同上に４個の開口７を設けてある。
ここで光が透過または反射する瞬間に開口付回転板６の
開口７が光学窓の位置にくるように、また、それ以外の
時間においては開口付回転板６の開口７の開いていない
部分により光学窓が遮蔽されるように開口付回転板６の
回転を同期させる。
開口７が光学窓の位置にくるように、また、それ以外の
時間においては開口付回転板６の開口７の開いていない
部分により光学窓が遮蔽されるように開口付回転板６の
回転を同期させる。
第３図に、本発明の第３の実施例である開口付回転板の
正面図を示す。第３図に示した開口付同一６一 転板８は６つの遮蔽羽根９を設けたプロペラ状の形状を
している。
正面図を示す。第３図に示した開口付同一６一 転板８は６つの遮蔽羽根９を設けたプロペラ状の形状を
している。
ここで光が透過または反射する瞬間以外の時間において
は遮蔽羽根９により光学窓が遮蔽されるように開口付回
転板８の回転を同期させる。
は遮蔽羽根９により光学窓が遮蔽されるように開口付回
転板８の回転を同期させる。
第４図に本発明の第４の実施例である光学窓遮蔽機構付
チャンバのワイパー付回転板の正面図を示す。この実施
例では第４図で示すように、ワイパー付回転板１０に回
転軸２に対し同心同上の位置に、光学窓を掃くようなワ
イパー１１を設けている。このため、ワイパー付回転板
１０を回転させることにより光学素子に付着した不純物
を除去することが可能となり、光学素子の汚染の低減は
さらに向上する。
チャンバのワイパー付回転板の正面図を示す。この実施
例では第４図で示すように、ワイパー付回転板１０に回
転軸２に対し同心同上の位置に、光学窓を掃くようなワ
イパー１１を設けている。このため、ワイパー付回転板
１０を回転させることにより光学素子に付着した不純物
を除去することが可能となり、光学素子の汚染の低減は
さらに向上する。
第３図に示した開口付回転板８にワイパーを適用したワ
イパー付回転板を用いても同様な効果が得られる。
イパー付回転板を用いても同様な効果が得られる。
ワイパー１１の材質としてはテフロン（登録商標）等が
好ましい。またワイパー１１の代わりにブラシを使用し
てもよい。。
好ましい。またワイパー１１の代わりにブラシを使用し
てもよい。。
第５図に本発明の第５の実施例であるガスレーザ用チャ
ンバである光学窓遮蔽機構付チャンバの断面図を示す。
ンバである光学窓遮蔽機構付チャンバの断面図を示す。
この場合は、開口付回転板１の回転をレーザ放電のタイ
ミングと同期させることにより、レーザ出力の得られる
瞬間のみ回転板の開口部分が光学窓の位置にくるように
する。これにより光学素子４である反射鏡や半透明鏡の
汚染による劣化がもたらすレーザ出力強度の低下を低減
することが可能となる。
ミングと同期させることにより、レーザ出力の得られる
瞬間のみ回転板の開口部分が光学窓の位置にくるように
する。これにより光学素子４である反射鏡や半透明鏡の
汚染による劣化がもたらすレーザ出力強度の低下を低減
することが可能となる。
上記に述べたように、従来の光学素子の汚染を防止する
機構を備えたガスレーザ用チャンバと異なり、本発明に
よる光学素子の汚染を防止する機構は構造が簡易である
ため、チャンバの小型化を図ることができる。
機構を備えたガスレーザ用チャンバと異なり、本発明に
よる光学素子の汚染を防止する機構は構造が簡易である
ため、チャンバの小型化を図ることができる。
上記実施例では、光学窓遮蔽機構に開口付回転板を用い
たが、開口を設けたワイパー付回転板を用いても効果は
同様である。また上記実施例においては、光学窓遮蔽機
構付チャンバとしてガスレーザ用チャンバを用いた例に
ついて述べたが、化学気相成長用チャンバ，プラズマ生
成用チャンバ，ヒートパイプオーブンや分子線エビタキ
シー用チャンバ等とて用いても良い。
たが、開口を設けたワイパー付回転板を用いても効果は
同様である。また上記実施例においては、光学窓遮蔽機
構付チャンバとしてガスレーザ用チャンバを用いた例に
ついて述べたが、化学気相成長用チャンバ，プラズマ生
成用チャンバ，ヒートパイプオーブンや分子線エビタキ
シー用チャンバ等とて用いても良い。
上記実施例で述べたように、本発明による光学素子の汚
染を防止する機構により光学素子の汚染を減少させるこ
とができ光学素子を交換するまでの時間が長くなる。さ
らに、光学素子の汚染を防止する機構の構造が簡易なた
め光学窓遮蔽機構付チャンバの小型化が可能である。
染を防止する機構により光学素子の汚染を減少させるこ
とができ光学素子を交換するまでの時間が長くなる。さ
らに、光学素子の汚染を防止する機構の構造が簡易なた
め光学窓遮蔽機構付チャンバの小型化が可能である。
４
第１図は本発明の第１の実施例である光学窓遮蔽機構付
チャンバの光学窓の断面図、第２図は本発明の第２の実
施例である開口付回転板の正面図、第３図は本発明の第
３の実施例である開口付回転板の正面図、第４図は本発
明の第４の実施例であるワイパー付回転板の正面図、第
５図はガスレーザ用チャンバの断面図、第６図は従来の
光学素子の汚染を防止する機構を備えたガスレーザ用チ
ャンバである。 −９＝ １，６．８・・・・・・開口付回転板、２・・・・・・
回転軸、３・・・・・・モータ、４・・・・・・光学素
子、５・・・・・・チャンバ壁、７・・・・・・開口、
９・・・・・・遮蔽羽根、１０・・・・・・ワイパー付
回転板、１１・・・・・・ワイパー １３・・・・・・
取り田し口、１４・・・・・・導入口、１５・・・・・
・ポンプ、ｌ６電気集塵器。
チャンバの光学窓の断面図、第２図は本発明の第２の実
施例である開口付回転板の正面図、第３図は本発明の第
３の実施例である開口付回転板の正面図、第４図は本発
明の第４の実施例であるワイパー付回転板の正面図、第
５図はガスレーザ用チャンバの断面図、第６図は従来の
光学素子の汚染を防止する機構を備えたガスレーザ用チ
ャンバである。 −９＝ １，６．８・・・・・・開口付回転板、２・・・・・・
回転軸、３・・・・・・モータ、４・・・・・・光学素
子、５・・・・・・チャンバ壁、７・・・・・・開口、
９・・・・・・遮蔽羽根、１０・・・・・・ワイパー付
回転板、１１・・・・・・ワイパー １３・・・・・・
取り田し口、１４・・・・・・導入口、１５・・・・・
・ポンプ、ｌ６電気集塵器。
Claims (2)
- （１）光を透過させる透過窓や光を反射する反射窓であ
る光学素子と前記光学素子を保持する手段とからなる光
学窓を持つチャンバ内に、前記光学窓を覆う遮蔽部分と
一箇所以上の開口部分とから構成される開口付回転板と
、前記光が光学窓を通過する瞬間に前記開口付回転板の
開口部分の位置と前記光学窓の位置とを一致させ、それ
以外の時間は前記遮蔽部分により前記光学窓を覆うよう
に前記開口付回転板を回転させる回転手段とからなる光
学窓遮蔽機構を備えた光学窓遮蔽機構付チャンバ。 - （２）光を透過させる透過窓や光を反射する反射窓であ
る光学素子と前記光学素子を保持する手段とからなる光
学窓を持つチャンバ内に、少なくとも一つ以上のワイパ
ーを備えたワイパー付回転板と前記ワイパー付回転板を
回転させる回転手段とからなる光学窓遮蔽機構を、前記
ワイパーが前記光学素子の表面を掃くように設置したこ
とを特徴とする光学窓遮蔽機構付チャンバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1006190A JP2844787B2 (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | 光学窓遮蔽機構付チャンバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1006190A JP2844787B2 (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | 光学窓遮蔽機構付チャンバ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03214679A true JPH03214679A (ja) | 1991-09-19 |
| JP2844787B2 JP2844787B2 (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=11739871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1006190A Expired - Fee Related JP2844787B2 (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | 光学窓遮蔽機構付チャンバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2844787B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004075334A3 (en) * | 2003-02-14 | 2004-12-23 | Microlab Fxr | Microwave coupler |
| CN107498194A (zh) * | 2016-06-14 | 2017-12-22 | 三星显示有限公司 | 激光晶化设备和方法 |
-
1990
- 1990-01-18 JP JP1006190A patent/JP2844787B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004075334A3 (en) * | 2003-02-14 | 2004-12-23 | Microlab Fxr | Microwave coupler |
| CN107498194A (zh) * | 2016-06-14 | 2017-12-22 | 三星显示有限公司 | 激光晶化设备和方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2844787B2 (ja) | 1999-01-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071030 Year of fee payment: 9 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081030 Year of fee payment: 10 |
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