RU2110048C1 - Оптоэлектронная камера - Google Patents

Оптоэлектронная камера Download PDF

Info

Publication number
RU2110048C1
RU2110048C1 RU96107213A RU96107213A RU2110048C1 RU 2110048 C1 RU2110048 C1 RU 2110048C1 RU 96107213 A RU96107213 A RU 96107213A RU 96107213 A RU96107213 A RU 96107213A RU 2110048 C1 RU2110048 C1 RU 2110048C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
photosensitive elements
sensitive surface
protective window
optical system
Prior art date
Application number
RU96107213A
Other languages
English (en)
Other versions
RU96107213A (ru
Inventor
Серютти-Маори Ги
Шессель Жан-Филип
Original Assignee
Аэроспасьяль Сосьете Насьональ Эндюстриель
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Аэроспасьяль Сосьете Насьональ Эндюстриель filed Critical Аэроспасьяль Сосьете Насьональ Эндюстриель
Application granted granted Critical
Publication of RU2110048C1 publication Critical patent/RU2110048C1/ru
Publication of RU96107213A publication Critical patent/RU96107213A/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/2823Imaging spectrometer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Blocking Light For Cameras (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Cameras In General (AREA)

Abstract

Использование: изобретение относится к устройствам типа спектрофотометра или устройствам воспроизведения спектрального изображения. Сущность изобретения: устройство содержит оптическую систему, совокупность светочувствительных элементов 3 типа CCD, располагаемую в фокусе упомянутой оптической системы, прозрачное защитное окно, изготовленное, например, из стекла и расположенное перед чувствительной поверхностью 4 совокупности светочувствительных элементов 3, и дисперигирующее устройство, обеспечивающее возможность выполнения спектрального анализа сцены, наблюдаемой данной оптоэлекторонной камерой. При этом чувствительная поверхность 4 совокупности светочувствительных элементов 3, обращенная в сторону упомянутого защитного окна, имеет однослойное или многослойное покрытие, выполненное из противоотражательного материала 9, толщина e которого изменяется непрерывно в функции длины волны света, принимаемого упомянутой чувствительной поверхностью, параллельно оси рассеивания упомянутого спектрального рассеивателя А. 3 с. и 2 з.п. ф-лы, 6 ил.

Description

Изобретение касается оптоэлектронной камеры типа спектрофотометра или устройства для воспроизведения спектрального изображения, позволяющего минимизировать фантомные или побочные изображения, а также системы светочувствительных элементов и защитного окна для такой оптоэлектронной камеры.
Изобретение касается также способа реализации указанной системы светочувствительных элементов и защитного окна.
Известны оптоэлектронные камеры, содержащие оптическую систему, совокупность светочувствительных элементов типа CCD, располагаемых в фокусе упомянутой оптической системы, и прозрачное защитное окно, расположенное перед упомянутой совокупностью светочувствительных элементов [1].
Оптоэлектронные камеры описанного выше типа находят все более широкое применение и обладают способностью представлять изображение в цифровой форме.
Вместе с тем, подобные оптоэлектронные камеры со светочувствительными элементами типа CCD, используемые в качестве спектрофотометров или устройств для воспроизведения спектрального изображения, позволяют обеспечить возможность спектрального анализа сканируемого данной камерой кадра. В этом случае камеры содержат рассеиватель (типа дифракционной решетки, призмы и т. п. ), устанавливаемый в упомянутой оптической системе. Таким образом, спектр изображаемого кадра оказывается сфокусированным на совокупности светочувствительных элементов, образующих, например, матрицу или планку.
Однако оптоэлектронные камеры описанного выше типа имеют существенный недостаток, который заключается в формировании так называемых фантомных или побочных изображений, которые накладываются на основное изображение данного кадра. Вследствие этого возникают существенные погрешности основного изображения, что мешает его полноценному использованию, особенно в случае наличия в данном кадре ярко светящихся объектов.
Указанные фантомные ли побочные изображения порождаются отражениями света, падающего на поверхность совокупности светочувствительных элементов типа CCD, от этой поверхности, от двух поверхностей упомянутого защитного окна и от последней задней поверхности оптической системы, ориентированной в направлении упомянутого защитного окна и в направлении упомянутой совокупности светочувствительных элементов.
Указанные фонтомные или побочные изображения определенным образом смещены в пространстве по отношению к основному наблюдаемому данной камерой изображению и центрированы в других точках упомянутой совокупности светочувствительных элементов.
С целью устранения вредных фантомных или побочных изображений уже предпринимались попытки нанесения специальных устраняющих отражение или противоотражательных покрытий на порождающие их поверхности, а именно на поверхность совокупности светочувствительных элементов, на обе поверхности защитного окна и на заднюю поверхность используемой в данном случае оптической системы, ориентированную в направлении упомянутого защитного окна и упомянутой совокупности светочувствительных элементов [2].
Такие противоотражательные покрытия образованы в соответствии с известными технологиями, например, материалами на основе окиси вольфрама или фтористого магния.
В том случае, когда данный спектр, анализируемый данной совокупностью светочувствительных элементов, является достаточно растянутым (простирается, например, от 400 до 1000 нм), реализация упомянутых противоотражательных покрытий с широкополосными характеристиками представляет собой достаточно сложную задачу. В то же время весьма сложно сформировать многослойные противоотражательные покрытия с удовлетворительными оптическими характеристиками на чувствительной поверхности упомянутой совокупности светочувствительных элементов, в частности, из-за того, что указанная чувствительная поверхность изготовлена из кремния.
В основу изобретения поставлена задача устранить отмеченные выше недостатки путем использования пространственного распределения или разложения спектра на уровне детектора.
Поставленная задача решается тем, что в оптоэлектронной камере, содержащей оптическую систему, некоторую совокупность светочувствительных элементов типа CCD, располагаемых в фокусе упомянутой оптической системы, прозрачное защитное окно, изготовленное, например, из стекла и располагаемое перед чувствительной поверхностью упомянутой совокупности светочувствительных элементов, и спектральный рассеиватель, выполненный с возможностью выполнения спектрального анализа того или иного кадра, наблюдаемого данной камерой, согласно изобретению упомянутая чувствительная поверхность совокупности светочувствительных элементов, обращенная в сторону защитного окна, имеет однослойное или многослойное покрытие из противоотражательного материала, причем толщина материала покрытия изменяется непрерывным образом в функции длины волны света, падающего на эту чувствительную поверхность, параллельно оси рассеивания упомянутого рассеивателя.
Изобретение является выгодным и полезным, постольку, поскольку упомянутое однослойное противоотражательное покрытие можно оптимизировать только для одной длины волны, и на других частотах, отличающихся от этой центральной частоты, можно достичь максимального показателя в 40% отражения. Кроме того, для многослойных покрытий невозможно обеспечить одновременно и малую величину коэффициента отражения и широкий спектральный диапазон, что в некоторой степени исправляется изобретением.
В соответствии с изобретением, поскольку толщина противоотражательного покрытия, нанесенного на чувствительную поверхность упомянутой совокупности светочувствительных элементов, непрерывно изменяется, для каждой точки чувствительной поверхности обеспечивается адаптация противоотражательного покрытия к длине волны света, поступающего в данную точку, причем указанная адаптация распространяется на всю чувствительную поверхность.
Таким образом, удается получить коэффициент отражения не более 1% в достаточно широком спектральном диапазоне, например в диапазоне 400 - 1050 нм при использовании однослойного или многослойного покрытия.
Согласно предпочтительному варианту выполнения для того, чтобы в еще большей степени ослабить фонтомные или побочные изображения, по меньшей мере одна из поверхностей, а предпочтительно обе поверхности упомянутого защитного окна также снабжаются однослойным или многослойным покрытием из противоотражательного материала, и толщина покрытия непрерывно изменяется в функции длины волны света, падающего на упомянутые поверхности, параллельно оси рассеивания упомянутого рассеивателя.
Согласно предпочтительному варианту выполнения толщина покрытия, нанесенного на чувствительную поверхность упомянутой совокупности светочувствительных элементов, а также толщина противоотражательного покрытия, нанесенного на поверхность защитного окна, таковы, что в каждой точке этого покрытия произведение упомянутой толщины на показатель преломления данного противоотражательного материала равно нечетному кратному четверти длины волны света, падающего в эту точку.
В то же время изобретение касается также совокупности светочувствительных элементов, позволяющей устранить фантомные или побочные изображения в оптоэлектронной камере типа спектрофотометра или устройства для воспроизведения спектрального изображения, содержащего оптическую систему, причем упомянутая совокупность светочувствительных элементов типа CCD располагается в фокусе этой системы, прозрачное защитное окно, расположенное перед упомянутой совокупностью светочувствительных элементов, и спектральный рассеиватель, обеспечивающий возможность выполнения спектрального анализа сцены, наблюдаемой данной оптоэлектронной камерой. Указанная совокупность светочувствительных элементов примечательна тем, что чувствительная поверхность, образованная совокупностью указанных элементов, которая должна быть ориентирована в направлении упомянутого защитного окна, имеет специальное однослойное или многослойное покрытие, выполненное из противоотражательного материала, толщина которого изменяется в функции длины волны света, принимаемого данной чувствительной поверхностью, параллельно оси рассеивания упомянутого рассетивателя.
Изобретение касается также прозрачного защитного окна, располагаемого перед упомянутой совокупностью светочувствительных элементов, одна из поверхностей которого, а в предпочтительном варианте выполнения - обе его поверхности, имеет аналогичное покрытие.
Таким образом, в любой точке упомянутой чувствительной поверхности толщина противоотражательного покрытия точно адаптирована к длине волны света, падающего именно на эту точку. То же относится к двум противоположным поверхностям данного защитного окна.
На фиг. 1 изображен вид, поясняющий процесс образования фатомных или побочных изображений в известной оптоэлектронной камере типа спектрофотометра или устройства формирования спектрального изображения; на фиг. 2 - процесс формирования основного изображения и нескольких фантомных или побочных изображений на светочувствительной поверхности оптоэлектронной камеры известной конструкции, показанной на фиг. 1; на фиг. 3 - светочувствительный элемент в соответствии с изобретением, снабженный на своей чувствительной поверхности соответствующим противоотражательным покрытием, вид сбоку; на фиг. 4 - схема процесса формирования противоотражательного покрытия на чувствительной поверхности, образованной совокупностью светочувствительных элементов в соответствии с изобретением в случае использования в этом процессе вращающейся маски; на фиг. 5 - детальное строение маски, применяемой в процессе нанесения противоотражательного покрытия, проиллюстрированном схематически на фиг. 4, а также относительное расположение указанной маски и чувствительной поверхности упомянутой совокупности светочувствительных элементов; на фиг. 6 - схема другого примера реализации маски для формирования противоотражательного покрытия в соответствии с предлагаемым изобретением.
На фиг. 1 схематически и частично представлена оптоэлектронная камера известной конструкции типа спектрофотометра или устройства для воспроизведения спектрального изображения.
Указанная оптоэлектронная камера содержит оптическую систему 1, имеющую торцевую поверхность 2, а также матрицу светочувствительных элементов 3 типа CCD, имеющую чувствительную поверхность 4, обращенную в направлении упомянутой торцевой поверхности 2 оптической системы данной оптоэлектронной камеры.
Между оптической системой 1 данной оптоэлектронной камеры и матрицей 3 светочувствительных элементов типа CCD располагается защитное окно 5, образованное стеклянной пластиной с параллельными поверхностями 6 и 7.
В то же время в упомянутую оптическую систему 1 встроен спектральный рассеиватель, обозначенный на фиг. 1 только своей осью рассеивания А.
Таким образом, в том случае, когда падающий луч моноспектрального света 8, выходящий из оптической системы 1, достигает чувствительной поверхности 4, эта поверхность отражает некоторую часть упомянутого луча, и отраженный луч 8', в свою очередь, частично отражается в направлении чувствительной поверхности 4 от поверхности 2 оптической системы 1 и от поверхностей 6 и 7 защитного окна 5. Указанные отраженные лучи света обозначены соответственно позициями 8'', 8''' и 8''''.
Результатом указанных отражений является наличие на упомянутой чувствительной поверхности 4 совокупности светочувствительных элементов 3 типа CCD в дополнение к нормальному изображению 1 фантомных или побочных изображений 1'', 1''' и 1'''' (см. фиг. 2).
В соответствии с изобретением и как схематически показано на фиг. 3, для устранения фантомных или побочных изображений 1'', 1''' и 1'''' осуществляется нанесение на чувствительную поверхность 4 матрицы светочувствительных элементов 3 типа CCD однослойного или многослойного покрытия из противоотражательного материала 9, толщина e которого изменяется непрерывным образом в функции длины волны света, принимаемого упомянутой светочувствительной поверхностью 4, и в функции показателя преломления данного материала, параллельно оси рассеивания А упомянутого рассеивателя.
Как уже было сказано выше, если величина показателя преломления используемого в данном случае противоотражательного материала равна n в каждой точке покрытия 9, то толщина e этого покрытия в каждой точке светочувствительной поверхности такова, что произведение упомянутых выше параметров n•e равно нечетному кратному четверти длины волны света, принимаемого данной точкой поверхности покрытия.
Для получения противоотражательного покрытия 9, схематически показанного на фиг. 3, можно использовать устройство, схематически показанное на фиг. 4 и 5.
На фиг. 4 представлена вакуумная камера 10, внутри которой располагается сосуд 11, содержащий подлежащий нанесению противоотражательный материал.
В верхней части вакуумной камеры 10 предусмотрен специальный кронштейн 12, на котором закрепляется матрица светочувствительных элементов типа CCD 3 таким образом, чтобы ее чувствительная поверхность была обращена в сторону упомянутого выше сосуда 11 с противоотражательным материалом.
Кроме того, между упомянутым сосудом 11 и матрицей светочувствительных элементов типа CCD располагается вращающийся диск 13, в котором выполнен вырез в форме сектора 14, и вал 15, выполненный с возможностью вращения при помощи средств, не представленных на фиг. 4.
Таким образом, когда сосуд 11 подвергается нагреванию, находящийся в нем противоотражательный материал испаряется и напыляется на чувствительную поверхность 4 матрицы светочувствительных элементов типа CCD 3.
Поскольку упомянутая матрица светочувствительных элементов 3 типа CCD располагается таким образом, чтобы она оставалась закрытой маской 13 на протяжении полного поворота последней вокруг своей оси, за исключением периода времени, когда маска располагается против упомянутого выреза 14, толщина данного противоотражательного материала, осаждаемого в некоторой точке чувствительной поверхности 4 (которая является функцией длительности экспозиции этой точки светочувствительной поверхности, задаваемой параметрами выреза 14), может иметь требуемую величину. При такой схеме нанесения покрытия его толщина постепенно возрастает в направлении от вала 15 к периферии 16 маски 13, как это схематически показано на фиг. 3.
На фиг. 6 схематически показан другой пример реализации маски 13', снабженной вырезом 14' в форме трапеции, выполненным в пластине 16'. Эта маска может приводиться в поступательное движение вдоль оси 15'.
Как уже было сказано выше, для более эффективного устранения фантомных или побочных изображений 1'', 1''' и 1'''' может оказаться полезным нанесение по меньшей мере на одну из поверхностей 6 и 7 защитного окна 5, а в предпочтительном варианте - на обе эти поверхности 6 и 7, однослойного или многослойного противоотражательного покрытия (не показано). Толщина такого противоотражательного покрытия также должна изменяться непрерывным образом в функции длины волны света, падающего на упомянутые поверхности, параллельно оси рассеивания А упомянутого спектрального рассеивателя. Такое покрытие может быть получено аналогично тому, как это было осуществлено в случае противоотражательного покрытия 9 чувствительной поверхности 3 совокупности светочувствительных элементов типа CCD.

Claims (1)

1. Оптоэлектронная камера типа спектрофотометра или устройства воспроизведения спектрального изображения, содержащая оптическую систему, совокупность светочувствительных элементов типа CCD, располагаемых в фокусе упомянутой оптической системы, прозрачное защитное окно, располагаемое перед чувствительной поверхностью упомянутой совокупности светочувствительных элементов, и диспергирующий элемент, выполненный с возможностью выполнения спектрального анализа кадра, фиксируемого оптоэлектронной камерой, причем на чувствительную поверхность светочувствительных элементов нанесено противоотражательное покрытие с изменяющейся толщиной, отличающаяся тем, что противоотражательное упомянутое покрытие выполнено на чувствительной поверхности светочувствительных элементов, обращенной в сторону упомянутого прозрачного защитного окна, является однослойным или многослойным, причем толщина покрытия изменяется в функции длины волны света, принимаемого упомянутой чувствительной поверхностью, параллельно оси рассеивания упомянутого диспергирующего элемента (А), при условии, что величина показателя преломления указанного противоотражательного материала равна n в каждой точке покрытия 9, толщина е покрытия в каждой точке светочувствительной поверхности такова, что произведение упомянутых параметров n x e равно нечетному кратному четверти длины волны света, принимаемого данной точкой.
RU96107213A 1994-06-30 1995-06-26 Оптоэлектронная камера RU2110048C1 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9408085 1994-06-30
FR9408085A FR2722050B1 (fr) 1994-06-30 1994-06-30 Camera optoelectronique du type spectro-imageur ou spectrophotometre, ensemble d'elements photosensibles et fenetre de protection pour une telle camera et procede pour les realiser
PCT/FR1995/000847 WO1996000886A1 (fr) 1994-06-30 1995-06-26 Camera optoelectronique

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2110048C1 true RU2110048C1 (ru) 1998-04-27
RU96107213A RU96107213A (ru) 1998-06-10

Family

ID=9464849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU96107213A RU2110048C1 (ru) 1994-06-30 1995-06-26 Оптоэлектронная камера

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5721614A (ru)
EP (1) EP0690295B1 (ru)
JP (1) JPH09503589A (ru)
CA (1) CA2168683A1 (ru)
DE (1) DE69506180T2 (ru)
FR (1) FR2722050B1 (ru)
NO (1) NO960809L (ru)
RU (1) RU2110048C1 (ru)
WO (1) WO1996000886A1 (ru)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19813950C1 (de) * 1998-03-28 1999-11-04 Analytik Jena Gmbh Analysenmes Spektrometeranordnung
EP1305582A1 (en) * 2000-07-28 2003-05-02 Otsuka Electronics Co., Ltd. Light spectrum detecting apparatus
KR100478340B1 (ko) * 2002-03-08 2005-03-24 김애숙 탄성이 있는 유리 인조대리석
FR2936099A1 (fr) * 2008-09-12 2010-03-19 Thales Sa Dispositif de detection d'images ameliore pour un imageur multispectral et imageur multispectral comportant ce dispositif
DE102016201068A1 (de) * 2016-01-26 2017-07-27 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Maßverkörperung und Positionsmesseinrichtung mit dieser Maßverkörperung

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE203433C (ru) *
DE281664C (ru) *
US3442572A (en) * 1964-08-25 1969-05-06 Optical Coating Laboratory Inc Circular variable filter
EP0023149A1 (en) * 1979-07-19 1981-01-28 Optical & Electrical Coatings Limited Method of producing a coating of non uniform thickness or density by vacuum deposition and apparatus therefor
DD203433A1 (de) * 1981-10-30 1983-10-19 Frank Schoettke Antireflexionsbeschichtung uv- empfindlicher detektoren
JPS5926576A (ja) * 1982-08-04 1984-02-10 大日本インキ化学工業株式会社 高周波融着性の優れた難燃ポリエステル繊維製品
US4954972A (en) * 1987-11-09 1990-09-04 Honeywell Inc. Color signature sensor
US5173368A (en) * 1988-09-14 1992-12-22 Pilkington Visioncare Holdings, Inc. Solution-applied antireflective coatings
DD281664A5 (de) * 1988-11-07 1990-08-15 Mittweida Ing Hochschule Dielektrisches schichtsystem zur optimierung des durchlass- und sperrbereiches optischer multiplexer/demultiplexer
US5126182A (en) * 1989-10-17 1992-06-30 Malden Mills Industries, Inc. Drapable, water vapor permeable, wind and water resistant composite fabric and method of manufacturing same

Also Published As

Publication number Publication date
EP0690295B1 (fr) 1998-11-25
FR2722050A1 (fr) 1996-01-05
FR2722050B1 (fr) 1996-08-23
EP0690295A1 (fr) 1996-01-03
NO960809D0 (no) 1996-02-28
DE69506180D1 (de) 1999-01-07
DE69506180T2 (de) 1999-04-15
JPH09503589A (ja) 1997-04-08
CA2168683A1 (fr) 1996-01-11
WO1996000886A1 (fr) 1996-01-11
US5721614A (en) 1998-02-24
NO960809L (no) 1996-02-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Chae et al. Fast imaging solar spectrograph of the 1.6 meter new solar telescope at big bear solar observatory
US5801831A (en) Fabry-Perot spectrometer for detecting a spatially varying spectral signature of an extended source
US7554596B2 (en) Method and apparatus for recording a sequence of images using a moving optical element
US7321424B2 (en) Self-referencing instrument and method thereof for measuring electromagnetic properties
CA2153591A1 (en) Method and apparatus for imaging
JP2730864B2 (ja) 散乱表面を含んだ構造のフィルムの厚さ測定システム
US5729343A (en) Film thickness measurement apparatus with tilting stage and method of operation
US20070081145A1 (en) Electronic imaging apparatus and microscope apparatus using the same
Avila et al. Atmospheric dispersion correction for the FORS Focal Reducers at the ESO VLT
Sweedler et al. Spatially encoded Fourier transform spectroscopy in the ultraviolet to near-infrared
RU2110048C1 (ru) Оптоэлектронная камера
US5235399A (en) Temperature measuring apparatus utilizing radiation
US5225893A (en) Two-color focal plane array sensor arrangement
CA1293881C (en) Electronic imaging apparatus and method
EP0647064B1 (en) Optical system including focal plane array compensation technique
EP0583048B1 (en) Spatially tunable rugate narrow reflection band filter and applications therefor
AU627134B2 (en) A beam splitter for color imaging apparatus
US4633078A (en) Optical interference eliminator
JPH07128146A (ja) 分光計
US5843232A (en) Measuring deposit thickness in composite materials production
WO1993025926A1 (fr) Dispositif de veille omnidirectionnel a couverture optimale de l'espace environnant par jonction de champs
JPH0850251A (ja) ファイバースコープ用光学部品
JPH036511A (ja) 赤外線用可変濃度フィルタ
Fujisawa et al. Grating optical low-pass filter
RU96107213A (ru) Оптоэлектронная камера