JPH03201708A - Cmos半導体集積回路 - Google Patents
Cmos半導体集積回路Info
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- JPH03201708A JPH03201708A JP1340812A JP34081289A JPH03201708A JP H03201708 A JPH03201708 A JP H03201708A JP 1340812 A JP1340812 A JP 1340812A JP 34081289 A JP34081289 A JP 34081289A JP H03201708 A JPH03201708 A JP H03201708A
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- Japan
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- threshold voltage
- mos transistor
- channel mos
- conductivity type
- integrated circuit
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 18
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 36
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 17
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ〉産業上の利用分野
本発明は、水晶発振回路を具備したCMOS半導体集積
回路に関し、さらに詳しくは低電源電圧動作が可能でス
タンバイ時の消費電流を大幅に低減化したCMOS半導
体集積回路に関する。
回路に関し、さらに詳しくは低電源電圧動作が可能でス
タンバイ時の消費電流を大幅に低減化したCMOS半導
体集積回路に関する。
(口〉従来の技術
近年、ワンチップマイクロコンピュータ等の半導体集積
回路においてはシステムの大規模化と高集積化の進展に
伴なって低電源電圧動作への要求が高まっている。
回路においてはシステムの大規模化と高集積化の進展に
伴なって低電源電圧動作への要求が高まっている。
また、これらの半導体集積回路を電池によって駆動する
ためには低消費電力化が必要であり、特に不動作時の消
費tuff(スタンバイ消費電流という。)を数nA〜
1μA以下に押える必要があった。
ためには低消費電力化が必要であり、特に不動作時の消
費tuff(スタンバイ消費電流という。)を数nA〜
1μA以下に押える必要があった。
これらの要求に応える為には半導体集積回路のシステム
を動作させるクロックの供給源である水晶発振回路の低
電源電圧動作と発振停止時の消費電流の低減化を可能と
しなければならない。
を動作させるクロックの供給源である水晶発振回路の低
電源電圧動作と発振停止時の消費電流の低減化を可能と
しなければならない。
ところで、水晶発振回路の低電源電圧動作を可能にする
には水晶発振回路に供給される電源電圧をOVから徐々
に上昇させ発振を開始する電源電圧(発振開始電圧と呼
ぶ。)を低減化すればよい。
には水晶発振回路に供給される電源電圧をOVから徐々
に上昇させ発振を開始する電源電圧(発振開始電圧と呼
ぶ。)を低減化すればよい。
ココテ、発振開始電圧ハl vtp l + 1vtN
l + aによって与えられる。(ここでlVt、l
、 1VtH1は、発振回路の増幅器に用いられるCM
OSインバータを形成するPチャンネルトランジスタと
Nチャンネルトランジスタのしきい値電圧の絶対値、α
は発振開始時間を決定するパラメータである。)従来、
半導体集積回路全体において1vtP+及び1VtNl
を低減化するか、または水晶発振回路におイテノみIv
trl及びIvt、41を低減化したCMOS半導体集
積回路の構成がとられ、発振開始電圧を低減し、低電源
電圧動作を実現していた。
l + aによって与えられる。(ここでlVt、l
、 1VtH1は、発振回路の増幅器に用いられるCM
OSインバータを形成するPチャンネルトランジスタと
Nチャンネルトランジスタのしきい値電圧の絶対値、α
は発振開始時間を決定するパラメータである。)従来、
半導体集積回路全体において1vtP+及び1VtNl
を低減化するか、または水晶発振回路におイテノみIv
trl及びIvt、41を低減化したCMOS半導体集
積回路の構成がとられ、発振開始電圧を低減し、低電源
電圧動作を実現していた。
〈ハ〉発明が解決しようとする課題
しかしながら、半導体集積回路全体においてIVtP+
及びIvtslを低減化すると、スタンバイ消費電流が
増大し、電池駆動の場合その消耗が著しいという欠点が
あった。
及びIvtslを低減化すると、スタンバイ消費電流が
増大し、電池駆動の場合その消耗が著しいという欠点が
あった。
また、水晶発振回路においてのみlVt、l及び1Vt
Nを低減化すると、この為にはしきい値電圧コントロー
ル用のフォトマスクを2枚とイオン注入工程を2工程追
加しなければならず製造工数が増加するという欠点があ
った。
Nを低減化すると、この為にはしきい値電圧コントロー
ル用のフォトマスクを2枚とイオン注入工程を2工程追
加しなければならず製造工数が増加するという欠点があ
った。
さらに、この場合水晶発振器の発振停止時の消費電流が
著しく増加するという欠点もあった。
著しく増加するという欠点もあった。
(ニ)課題を解決するための手段
本発明は前述の課題に鑑みてなされ、CMOS半導体集
積回路において、水晶発振回路の増幅器に用いられるC
MOSインバータを形成する一導電型チヤンネルのMO
Sトランジスタのしきい値電圧が逆導電型チャンネルの
MOSトランジスタのしきい値電圧よりも小さく設定さ
れ、前記逆導電型チャンネルのMOS)−ランジスタを
発振停止信号によってオフさせるスイッチング手段が設
けられている構成によって前述の課題を解決するもので
ある。
積回路において、水晶発振回路の増幅器に用いられるC
MOSインバータを形成する一導電型チヤンネルのMO
Sトランジスタのしきい値電圧が逆導電型チャンネルの
MOSトランジスタのしきい値電圧よりも小さく設定さ
れ、前記逆導電型チャンネルのMOS)−ランジスタを
発振停止信号によってオフさせるスイッチング手段が設
けられている構成によって前述の課題を解決するもので
ある。
0〉作用
前述の如き構成によれば水晶発振回路の発振開始電圧は
前記CMOSインバータを形成する一導電型のMOSト
ランジスタのしきい値電圧を低下させることによって低
減することができる。
前記CMOSインバータを形成する一導電型のMOSト
ランジスタのしきい値電圧を低下させることによって低
減することができる。
しかも発振停止時はこれよりも高いしきい値電圧をもつ
逆導電型のMOS)−ランジスタがオフするように構成
されているので、前記一導電型のMOSトランジスタの
しきい値電圧を低下させても、消費電流の増大を招くこ
とがない。
逆導電型のMOS)−ランジスタがオフするように構成
されているので、前記一導電型のMOSトランジスタの
しきい値電圧を低下させても、消費電流の増大を招くこ
とがない。
さらに、他の回路構成を形成する一導電型のMOSトラ
ンジスタのしきい値電圧を比較的高く設定することによ
って、CMO5集積回路全体としてのスタンバイ消費電
流を増加させることなく、低電圧動作が可能となる。
ンジスタのしきい値電圧を比較的高く設定することによ
って、CMO5集積回路全体としてのスタンバイ消費電
流を増加させることなく、低電圧動作が可能となる。
(へ)実施例
第1図u本発明に係る第1の実施例を説明するための図
であり、増幅作用をするCMOSインバータ(1)と、
帰還用抵抗として用いる発振停止信号5TOPをゲート
に入力したCMO5型O5ログスイッチ(2〉と、外付
された水晶振動子XTAL及び容量Cとからなる水晶発
振回路である。
であり、増幅作用をするCMOSインバータ(1)と、
帰還用抵抗として用いる発振停止信号5TOPをゲート
に入力したCMO5型O5ログスイッチ(2〉と、外付
された水晶振動子XTAL及び容量Cとからなる水晶発
振回路である。
ここで、CMOSインバータにおいては、vtN> +
!/lP+ (タトエばVtN=1.OV、Vt、=−
0,4V)との関係に設定され、CMOSインバータ(
1)の入力ノード(3)にドレインが接続され、ソース
が接地され、ゲートに前記発振停止信号5TOPが入力
されたNチャンネルMO3Lランジスタ(4〉がスイッ
チング手段として設けられている。
!/lP+ (タトエばVtN=1.OV、Vt、=−
0,4V)との関係に設定され、CMOSインバータ(
1)の入力ノード(3)にドレインが接続され、ソース
が接地され、ゲートに前記発振停止信号5TOPが入力
されたNチャンネルMO3Lランジスタ(4〉がスイッ
チング手段として設けられている。
本発明の特徴とするかくの如き構成によれば、水晶発振
回路のCMOSインバータ(1)においてVt、が−0
,4vと低く設定されているので、発振開始電圧を(1
,4+α)V(α=0.2〜0゜3)と低減でき、1,
5v〜2V程度の低電圧動作が可能である。
回路のCMOSインバータ(1)においてVt、が−0
,4vと低く設定されているので、発振開始電圧を(1
,4+α)V(α=0.2〜0゜3)と低減でき、1,
5v〜2V程度の低電圧動作が可能である。
しかも、発振停止は発振停止信号5TOPをハイレベル
にすることにより、前記NチャンネルMOSトランジス
タ(4)がオンし、接地電位がCMOSインバータ〈1
)の入力ノード(3)に印加され、CMOSインバータ
(1)のNチャンネルMOSトランジスタ(5)がオフ
することによって、なされる。
にすることにより、前記NチャンネルMOSトランジス
タ(4)がオンし、接地電位がCMOSインバータ〈1
)の入力ノード(3)に印加され、CMOSインバータ
(1)のNチャンネルMOSトランジスタ(5)がオフ
することによって、なされる。
これによって、CMOSインバータ(1)のPチャンネ
ルMOSトランジスタ(6)のVt、を−0゜4Vと低
く設定しても、CMOSインバータ(1)の停止時消費
電流が増大することがない。
ルMOSトランジスタ(6)のVt、を−0゜4Vと低
く設定しても、CMOSインバータ(1)の停止時消費
電流が増大することがない。
ここで、発振停止時には前記CMO8型O8ログスイッ
チ(2)もオフするので、Pチ勺ンネルトランジスタ(
6)−CMO5型O5ログスイッチ(2)−Nチャンネ
ルMOSトランジスタ(4)間のリーク電流経路を遮断
しさらに消費電流が減少できる。
チ(2)もオフするので、Pチ勺ンネルトランジスタ(
6)−CMO5型O5ログスイッチ(2)−Nチャンネ
ルMOSトランジスタ(4)間のリーク電流経路を遮断
しさらに消費電流が減少できる。
また、水晶発振器を除く他の回路構成においては、Pf
ヤンネルMOSトランジスタのしきい値電圧をたとえば
−1,Ovと高く設定し、NチャンネルトランジスタM
OSトランジスタのしきい値電圧は水晶発振回路とキし
く1.OVと設定すれば、前述の如き特別な構成をなさ
なくてもスタンバイ時の消費電流が増大することがない
。
ヤンネルMOSトランジスタのしきい値電圧をたとえば
−1,Ovと高く設定し、NチャンネルトランジスタM
OSトランジスタのしきい値電圧は水晶発振回路とキし
く1.OVと設定すれば、前述の如き特別な構成をなさ
なくてもスタンバイ時の消費電流が増大することがない
。
第2図は本発明の第2の実施例を説明するための図面で
ある。この場合は第1の実施例に対しMOSトランジス
タのしきい値電圧が逆の関係に設定されている。
ある。この場合は第1の実施例に対しMOSトランジス
タのしきい値電圧が逆の関係に設定されている。
すなわちlVtN1< 1VtPl(タ、!: エ4−
1’VtN= 0 、4 V、Vt、=−1,OV)と
設定されており、この場合は、CMOSインバータ(1
1)と、発振停止信号5TOPをゲートに入力したCM
O3型O3ログスイッチ(12〉と、入力ゲート(13
)にはドしインが接続され、ソースは電源電位Vcoに
、ゲートは発振停止信号5TOPが入力されたPチャン
ネルMOSトランジスタ(14)がスイッチング手段と
して設けられている。
1’VtN= 0 、4 V、Vt、=−1,OV)と
設定されており、この場合は、CMOSインバータ(1
1)と、発振停止信号5TOPをゲートに入力したCM
O3型O3ログスイッチ(12〉と、入力ゲート(13
)にはドしインが接続され、ソースは電源電位Vcoに
、ゲートは発振停止信号5TOPが入力されたPチャン
ネルMOSトランジスタ(14)がスイッチング手段と
して設けられている。
したがって、発振停止時はしきい値電圧の低いNチャン
ネルMOSトランジスタ(15)がオンし、しきい値電
圧の高いPチャンネルMOSトランジスタ(16〉が才
)することにより貫通電流の増加を防止するものである
。
ネルMOSトランジスタ(15)がオンし、しきい値電
圧の高いPチャンネルMOSトランジスタ(16〉が才
)することにより貫通電流の増加を防止するものである
。
ここで、Vt、=0.4V程度の低しきい値電圧に設定
することはN+型ポリシリコンゲートMOSトランジス
タにおいて、低不純物濃度のPウェル表面(5X 10
atom7cm” 〜I X 10 ”atom/c
m ” )にチ勺ンネル領域を設け、ゲートe化膜厚を
400人程庇上することによって実現できる。
することはN+型ポリシリコンゲートMOSトランジス
タにおいて、低不純物濃度のPウェル表面(5X 10
atom7cm” 〜I X 10 ”atom/c
m ” )にチ勺ンネル領域を設け、ゲートe化膜厚を
400人程庇上することによって実現できる。
これによって、しきい値電圧コントロール用のマスク及
びイオン注入工程を追加せずにマスクバークン設計の範
囲内で容易にしきい値電圧の設定を行なうことができる
。
びイオン注入工程を追加せずにマスクバークン設計の範
囲内で容易にしきい値電圧の設定を行なうことができる
。
(ト)発明の効果
本発明のCMO3半導体集積回路によれば、MOSトラ
ンジスタのしきい値電圧を下げること番こよって低電源
電圧動作を行なう場合に、スクン/<イ時消費電流が増
大する欠点を取り除くことができるので、電池駆動のC
MO3半導体集積回路として好適である。
ンジスタのしきい値電圧を下げること番こよって低電源
電圧動作を行なう場合に、スクン/<イ時消費電流が増
大する欠点を取り除くことができるので、電池駆動のC
MO3半導体集積回路として好適である。
第1図及び第2図は本発明のCMO8半導体集積回路を
説明するための図面である。
説明するための図面である。
Claims (3)
- (1)水晶発振回路を具備したCMOS半導体集積回路
において、 前記水晶発振回路はCMOS型インバータによる増幅器
と、帰還抵抗とを有し、 前記CMOS型インバータを形成する一導電型チャンネ
ルのMOSトランジスタのしきい値電圧が逆導電型チャ
ンネルのMOSトランジスタのしきい値電圧よりも小さ
く設定され、 前記逆導電型のMOSトランジスタを発振停止信号によ
ってオフさせるスイッチング手段が設けられていること
を特徴とするCMOS半導体集積回路。 - (2)前記一導電型のMOSトランジスタのしきい値電
圧が他の回路構成を形成する一導電型チャンネルのMO
Sトランジスタよりも小さく設定され、かつ前記逆導電
型のMOSトランジスタのしきい値電圧が他の回路を形
成する逆導電型のMOSトランジスタのしきい値電圧と
等しく設定されていることを特徴とする請求項第1項記
載のCMOS半導体集積回路。 - (3)前記帰還抵抗がアナログスイッチによって形成さ
れ、前記アナログスイッチは発振停止信号によってスイ
ッチングすることを特徴とする請求項第1項又は請求項
第2項記載のCMOS半導体集積回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1340812A JPH03201708A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Cmos半導体集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1340812A JPH03201708A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Cmos半導体集積回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03201708A true JPH03201708A (ja) | 1991-09-03 |
Family
ID=18340520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1340812A Pending JPH03201708A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Cmos半導体集積回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03201708A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014074642A (ja) * | 2012-10-04 | 2014-04-24 | Seiko Npc Corp | 発振器 |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP1340812A patent/JPH03201708A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014074642A (ja) * | 2012-10-04 | 2014-04-24 | Seiko Npc Corp | 発振器 |
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