JPH03201215A - 磁気記録媒体および磁気記録再生方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、磁気記録媒体および磁気記録再生方法に関す
る。

〈従来の技術〉 計算機等に用いられる磁気ディスク駆動装置には、剛性
基板上に磁性層を設層したハードタイプの磁気ディスク
と浮上型磁気ヘッドとが用いられている。

このような磁気ディスク駆動装置においては従来、塗布
型の磁気ディスクが用いられていたが、磁気ディスクの
大容量化に伴い、磁気特性、記録密度等の点で有利なこ
とから、スパッタ法等の気相成膜法等により設層される
連続薄膜型の磁性層を有する薄膜型磁気ディスクが用い
られるようになっている。

薄膜型磁気ディスクとしては、Ａｎ系のディスク状金属
板にＮ１−Ｐ下地層をめっきにより設層するか、あるい
はこの金属板表面を酸化してアルマイトを形成したもの
を基板とし、この基板上にＣｒ層、Ｃｏ−Ｎｉ等の金属
磁性層、さらにＣ等の保護潤滑膜をスパッタ法により順
次設層して構成されるものが一般的である。

しかし、Ｇｏ−Ｎｉ等の金属磁性層は耐食性が低く、さ
らに硬度が低く、信頼性に問題が生じる。　これに対し
、特開昭６２−４３８１９号公報、同６３−１７５２１
９号公報に記載されているような酸化鉄を主成分とする
磁性薄膜は化学的に安定なため腐食の心配がなく、また
、充分な硬度を有している。

〈発明が解決しようとする課題〉 磁気ディスク駆動装置において高密度記録を達成するた
めには、線記録密度の向上および記録トラック密度の向
上が必要とされる。

線記録密度の向上は、上記した薄膜型磁気ディスクによ
りある程度達成されている。

一方、記録トラック密度を上げるためには、磁気ヘッド
の位置決めを制御するサーボが必要となる。

サーボ方式としては、通常、位置情報が磁気記録された
サーボ面をデータが記録されるデータ面とは独立して設
けるサーボ面サーボ方式、あるいは、位置情報が磁気記
録された面にデータを記録するデータ面サーボ方式が用
いられる。

サーボ面サーボ方式は、アクセス時間が極めて短くでき
、また、位置決め精度も良好であるが、磁気ディスクの
少なくとも１面をサーボ面に割く必要があり、大容量化
の障害になる。

一方、データ面サーボ方式は、アクセス時間はサーボ面
サーボ方式に劣るが、データ面と同一面に記録されてい
るサーボ情報により位置決めを行なえるため、位置決め
精度が極めて高い。　しかし、データ面サーボ方式では
データ面の一部をサーボ情報の記録に利用するため、高
密度記録が困難である。

これらのサーボ方式に対し、特公昭６４−９６６７号公
報には、光学サーボを利用した磁気ディスクが提案され
ている。

これは、磁気記録層上に被覆層を設けたものである。　
この被覆層はＲｈ、Ｐｔ、Ｒｄ等の金属膜とシリコンと
の積層膜であり、被覆層にレーザ光を照射することによ
りＲｈａＳｉ等が生じて光反射率が変化し、この光反射
率の変化を検出してサーボ情報を読み取るものである。

この磁気ディスクではサーボ情報を磁気記録されたデー
タに重ねて記録できるため、記録容量を高くすることが
でき、しかもサーボ情報がデータ面上に存在するため、
位置決め精度も高い。

ところで、高記録密度を達成するためにはトラック密度
を高くするとともに線記録密度を高くする必要があり、
線記録密度を高くするためには短波長記録を行なう必要
がある。

短波長記録を行なう場合のスペーシングロスの影響を避
けるために、浮上型磁気ヘッドの浮上置（ディスク表面
と磁気ヘッドフロント面との距離）は、通常、０．３−
以下、特に上記したような薄膜型磁気磁気ディスクでは
０．２７ａ以下、すなわち２００　ｎｍ以下とされる。

ところが上記公報に示される例では、波長８２０ｎｍの
レーザダイオードを用いる場合には厚さ４５ｎｍのＲｈ
層と厚さ３５ｎＩＩＩのＳｉ層とを組み合わせた被覆層
を選択する旨が記載されており、この被覆層の厚さは８
０ｎｍとなる。

このような被覆層を設けた場合％磁気ヘッドの浮上量を
小さくしても磁気記録層表面と浮上型磁気ヘッドとの距
離を一定程度以上縮めることはできなくなり、スペーシ
ングロスの影響により線記録密度を高めることが困難と
なる。

本発明はこのような事情からなされたものであり、記録
トラック密度および線記録密度のいずれをも高くするこ
とができる磁気記録媒体を提供することを目的とする。

く課題を解決するための手段〉 このような目的は、下記（１）〜（８）の本発明により
達成される。

（１）基板上に光記録層を有し、この光記録層上に磁気
記録層を有することを特徴とする磁気記録媒体。

（２）前記光記録層が、光学的に読み取り可能なサーボ
情報を担持し得る上記（１）に記載の磁気記録媒体。

（３）前記磁気記録層が、γ−Ｆｅ２ｒｓを主成分とす
る連続薄膜である上記（１）または（２）に記載の磁気
記録媒体。

（４）前記光記録層が、光磁気記録層である上記（１）
ないしく３）のいずれかに記載の磁気記録媒体。

（５）前記光記録層が、光を照射することにより反射率
変化を生じる上記（１）ないしく３）のいずれかに記載
の磁気記録媒体。

（６）前記光記録層が、相変化膜である上記（５）に記
載の磁気記録媒体。

（７）前記光記録層が、色素を含有する上記（５）に記
載の磁気記録媒体。

（８）磁気ディスクを回転し、この磁気ディスク上に磁
気ヘッドを浮上させて記録再生を行なうに際し、 上記（１）ないしく７）のいずれかに記載の磁気記録媒
体を磁気ディスクとして用い、この磁気ディスクの光記
録層に記録されている情報の再生手段を有する磁気ヘッ
ドを用い、この磁気ヘッドの浮上量を０．３−以下とし
て記録再生を行なうことを特徴とする磁気記録再生方法
。

〈イ乍用〉 本発明の磁気記録媒体は、基板と磁気記録層との間に光
記録層を有する。

この光記録層には、通常、サーボ情報やアドレス情報等
のデータ情報以外の情報が記録され、これらの情報は光
学的に読み取られる。

このため、磁気記録層のデータ記録領域がサーボ情報や
アドレス情報の記録に割かれることがなくなり、大容量
化が可能となる。

また、データ面とサーボ面とが媒体の同一面上に存在す
るため、高精度な位置決めが可能となり、極めて高いト
ラック密度の実現が可能となる。

例えば、従来１５００ＴＰＩ　　（トラックパーインチ
）程度であったトラック密度を２５００ＴＰＩ以上とす
ることも可能である。

しかも、サーボ情報層を磁気記録層上に設けることによ
るスペーシングロスの増加がないため、線記録密度が減
少することがない。

く具体的構成〉 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。

第１図に、本発明の磁気記録媒体の好適実施例を示す。

本発明の磁気記録媒体１は、基板２上に光記録層３を有
し、光記録層３上に磁気記録層４を有する。

本発明の磁気記録媒体は、通常、磁気ディスクとして用
いられる。　このため、基板としては、通常、ディスク
状の剛性基板を用いる。

このような基板としては、下地層などを設層する必要が
なく製造工程が簡素になること、また、研磨が容易で表
面粗さの制御が簡単であること、耐熱性が高いことなど
から、ガラスを用いることが好ましい。

ガラスとしては、強化ガラス、特に、化学強化法による
表面強化ガラスを用いることが好ましい。

基板の表面粗さ（Ｒｍａｘ）は、好ましくは１０−１０
０人、より好ましくは４０〜８０人、さらに好ましくは
４０〜６０人とされる。　剛性基板のＲｗａｘをこの範
囲とすることにより、磁気記録媒体の耐久性が向上し、
また、後述するような媒体の磁気記録層側表面のＲｗａ
ｘが容易に得られる。

なお、Ｒｍａｘは、ＪＩＳ　Ｂ　０６０１に従い測定す
ればよい。

このような表面粗さは、例えば、特開昭６２−４３８１
９号公報、同６３−１７５２１９号公報に記載されてい
るようなメカノケミカルポリッシングなどにより得るこ
とができる。

ガラス基板の寸法に特に制限はないが、通常、厚さは０
．５〜５ｍｍ程度、直径は２５〜３００ｍｍ程度である
。

基板２上には、光記録層３が設けられる。

光記録層３には、レーザ光等の記録光照射により情報の
記録が行なわれる。

光記録層３に記録される情報としては、サーボ情報が好
ましく、あるいはこれに加え、アドレス情報等の他の制
御用情報が記録されてもよい。

光記録層３が担持するこれらの情報は、光学的に読み出
される。

光学的に読み出し可能な構成としては、再生光を照射し
たときに、情報記録部と未記録部とで反射率が異なるよ
うな構成が好ましい。

また、本発明では、光記録層が担持する情報により、磁
気記録層へのデータ情報の記録およびその再生が悪影響
を受けないような構成とすることが好ましい。

これらの条件を満足する光記録層としては、レーザ光等
の光照射で加熱されて相変化を生じる相変化膜が好まし
い。

これらは、アモルファス相−結晶相の変化、あるいは結
晶相において低温相−高温相や安定相−準安定相の変化
などを生じるものであり、例えば、Ｔｅ−３ｅ％Ｔｅ−
５ｅ−Ｓｎ、Ｔｅ−Ｇｅ、Ｔｅ−Ｉｎ％Ｔｅ−５ｎ％Ｔ
ｅ−Ｇｅ−３ｂ−５．Ｔｅ−Ｇｅ−Ａｓ−８ｉ、Ｔｅ−
３ｉ、Ｔｅ−Ｇｅ−３ｉ−Ｓｂ％Ｔｅ−Ｇｅ−８１％Ｔ
ｅ−Ｇｅ−Ｉｎ−Ｇａ％Ｔｅ−５ｉ−Ｂ　ｉ−Ｔｇ、Ｔ
ｅ−Ｇｅ−Ｂ　ｉ　−１ｎ　−Ｓ％Ｔｅ−Ａｓ−Ｇｅ−
Ｓｂ％Ｔｅ−Ｇｅ−５ｅ−Ｓ、　　Ｔｅ−Ｇｅ−５ｅ　
％　Ｔｅ−Ａｓ　　−Ｇｅ−Ｇａ、　　Ｔｅ−Ｇｅ−５
−Ｉｎ％　Ｓｅ　　−Ｇｅ−Ｔ　β、　５ｅ−Ｔｅ−Ａ
ｓ、　　５ｅ−Ｇｅ　−Ｔｊ２−Ｓｂ％５ｅ−Ｇｅ−Ｂ
ｉ、５ｅ−Ｓ　（以上、特公昭５４−４１９０２号、特
許第１００４８３５号など） Ｔ　ｅ　ＯＸ　　（特開昭５８−５４３３８号、特許第
９７４２５７号記載のＴｅ酸化物中に分散されたＴｅ） Ｔ　ｅ　ＯＸ　＋　Ｐ　ｂ　Ｏｘ　　（特許第９７４２
５８号） Ｔｅａ、＋ＶＯＸ　　（特許第９７４２５７号）　その
他、Ｔｅ−Ｔｊ２、Ｔｅ−Ｔｊ２−Ｓ　ｉ％５ｅ−Ｚｎ
−Ｓｂ％Ｔｅ−８ｅ−Ｇａ。

ＴｅＮ、等のＴｅ、Ｓｅを主体とするカルコゲン系 Ｇｅ−５ｎ、５ｔ−Ｓｎ等の非晶質−結晶質転移を生じ
る合金 Ａｇ−Ｚｎ、Ａｇ−Ａｊ！　−〇ｕ％Ｃｕ−Ａｌ２等の
結晶構造変化によって色変化を生じる合金、Ｉｎ−５ｂ
等の結晶粒径の変化を生じる合金などがある。

このような物質から構成される光記録層は、スパッタ法
または蒸着法により形成されることが好ましい。

また、本発明では、光記録層として色素を含有する膜を
用いることもできる。

本発明では、後述するように磁気記録層としてγ−Ｆｅ
ａｒｓを主成分とする連続薄膜を用いることが好ましい
。　しかし、この磁気記録層形成にはスパッタ法が用い
られるので光記録層は加熱されることになり、また、酸
化のための熱処理工程を含むので、これによっても光記
録層は加熱されることになる。　従って、用いる色素は
耐熱性を有することが好ましい。

このような色素としては、フタロシアニン系ないしナフ
タロシアニン系色素が好適である。

色素を含有する光記録層は、磁気記録層の表面性低下を
抑えるために、スパッタ法により形成されることが好ま
しい。

色素を含有する光記録層に磁気記録層を通して記録光を
照射すると、照射部の色素が昇華、融解２分解等する。

　これにより、通常、空洞部が生じて反射率が低下する
。

なお、記録光照射により生じる空洞部が磁気記録層の表
面性や厚さに影響を与える場合には、磁気記録層形成前
に記録光照射を行なってもよい。　そして、光照射によ
りピット（穴）が形成された光記録層上に、色素よりも
屈折率が低い物質、例えばＳ　ｉ　Ｏｘなどの゛薄膜を
スパッタ法等により形成し、これにより空洞部を埋めて
ほぼ平滑面とし、この上に磁気記録層を形成してもよい
。

これら光照射により反射率変化を生じる光記録層の他、
光磁気記録可能な膜を光記録層に用いることも好ましい
。

光磁気記録では、レーザ光等の光によって光記録層をキ
ュリー温度付近まで加熱し、必要に応じて外部から磁界
を印加して加熱部分の磁化を反転させることにより情報
の記録を行なう。

また、記録された情報の再生は、レーザ光等の再生光を
光記録層表面に照射し、その反射光の偏光面のカー効果
による回転を検出することにより行なう。

この場合の光記録層は、光磁気記録が行なえるものであ
ればその材質に特に制限はないが、希土類金属と遷移金
属との合金を、スパッタ、蒸着法等により非晶質膜とし
て形成したものであることが好ましい。

希土類金属としては、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｎｄ、Ｇｄ、Ｓｍ、
Ｃｅのうちの１種以上を用いることが好ましい。

遷移金属としては、ＦｅおよびＣｏが好ましい。

好適に用いられる光記録層の組成としては、ＴｂＦｅＣ
ｏ％ＤｙＴｂＦｅＣｏ、ＮｄＤｙＦｅＣｏ、ＮｄＧｄＦ
ｅＣｏ等があり、さらには、ｐｔとＣＯの多層膜を光記
録層として用いる方法もある。

なお、光記録層を光磁気記録可能な薄膜で構成する場合
、光記録層が有する磁気により磁気記録層の情報再生時
にノイズが発生することもあるので、磁気記録層と光記
録層との間に磁気遮蔽層を必要に応じて設けてもよい。

磁気遮蔽層は記録光および再生光の透過を極端に妨げな
いものが好ましく、例えばＳ　ｉ　Ｎ　ｘ、ＳｉＡ［Ｏ
Ｎ、Ｌａ５ｉＯＮ等、エンハンス効果も備えたものがよ
り好ましい。

光記録層３上には、磁気記録層４が形成される。

磁気記録層４の構成に特に制限はないが、本発明では記
録光および再生光を媒体表面側から、すなわち磁気記録
層を通して光記録層に照射して記録再生を行なうため、
記録光および再生光が透過可能である必要がある。

このような特性を有し、かつ高密度記録が可能な磁気記
録層としては、スパッタ法等で形成される連続薄膜が好
ましく、特にγ−Ｆｅ２Ｏ３を主成分とする連続薄膜が
好ましい。

γ−Ｆｅ＊Ｏｓを主成分とする連続薄膜型の磁気記録層
は、一般に直接法または間接法により形成される。

直接法は、まずスパッタ法によりＦｅ５０４膜を形成し
、これを酸化してγ−Ｆｅ＊Ｏｓ膜を得る方法である。

直接法においてＦｅ５０４膜を形成する方法としては、
Ｆｅを主成分とするターゲットを用いて０２ガスを含有
するＡｒガス雰囲気中にて反応性スパッタを行なう直接
酸化法、ターゲットにα−Ｆｅｉｇｎを用いて還元性雰
囲気にてスパッタを行なう直接還元法、ターゲットにＦ
ｅ５０４を用いて中性雰囲気中にてスパッタを行なう直
接中性法が挙げられる。

これらのうち直接酸化法は、スパッタ制御が容易で成膜
速度が高いことなどから最も好ましい。

なお、直接法によるＦｅ５０４薄膜形成の詳細Ｇｅｌ：
　電子通信学会論文誌’８０／９　Ｖｏｌ、Ｊ６３−Ｃ
ｋｇ９、６０９〜６１６に記載されており、これに準じ
て磁気記録層の形成を行なうことが好ましい。

また、間接法は、０２ガスを含有するＡｒガス雰囲気中
において、Ｆｅを主成分とするターゲットを用いて反応
性スパッタを行なってα−Ｆｅ２Ｏ３膜を形成し、これ
を還元してＦｅｉｇｎ膜とし、さらに酸化を行なってγ
−Ｆｅ２Ｏ３膜を得る方法である。

本発明では、これらのいずれの方法を用いてもよい。

本発明では光記録層に情報を記録するに際し、媒体表面
側から、すなわち磁気記録層を通して記録光を照射し、
情報の再生時にも磁気記録層を通して光記録層に再生光
を照射する。

従って、記録光が十分に光記録層に吸収され、また、情
報再生光の十分な反射がとれ、かつ反射率変化あるいは
反射光の偏光面回転の検出が容易となるように、磁気記
録層および光記録層の厚さ、使用する記録光波長および
再生光波長における反射率、屈折率等の各種光学特性を
設計し、また−１磁気記録層の光学特性に応じた記録光
波長および再生光波長とそれらのパワーを選択すること
が好ましい。

これら各種条件は理論的あるいは実験的に求めればよい
が、例えば下記のようなものである。

記録光波長および再生光波長は４００〜９００ｎｍ程度
であり、光源としてはレーザダイオード等の各種レーザ
光源が使用される。

また、光記録層の厚さは、通常、２００〜２０００人程
度であり、磁気記録層の厚さは、通常、ｉ　ｏｏｏ〜２
０００人程度である。

記録光波長および再生光波長での磁気記録層の光透過率
は、５０％以上、特に７０％以上であることが好ましい
。

磁気記録層４上には、潤滑膜５が設けられることが好ま
しい。

潤滑膜は有機化合物を含有することが好ましく、特に極
性基ないし親水性基、あるいは親水性部分を有する有機
化合物を含有することが好ましい。

用いる有機化合物に特に制限はなく、また、液体であっ
ても固体であってもよく、フッ素糸有機化合゛物、例え
ば欧州特許公開第０１６５６５０号およびその対応日本
出願である特開昭６１−４７２７号公報、欧州特許公開
第０１６５６４９号およびその対応日本出願である特開
昭６１−１５５３４５号公報等に記載されているような
パーフルオロポリエーテル、あるいは公知の各種脂肪酸
、各種エステル、各種アルコール等から適当なものを選
択すればよい。

潤滑膜の成膜方法に特に制限はなく、塗布法等を用いれ
ばよい。

潤滑膜の表面は、水との接触角が７０”以上、特に９０
”以上であることが好ましい。

このような接触角を有することにより、磁気ヘッドと磁
気記録媒体との吸着が防止される。

潤滑膜の厚さは、成膜方法および使用化合物によっても
異なるが、４〜３００人程度であることが好ましい。

４Å以上とすると耐久性が向上し、３００Å以下とする
と吸着や磁気ヘッドのクラッシュが減少する。　なお、
より好ましい膜厚は４〜１００人であり、さらに好まし
い膜厚は４〜８０人である。

本発明の磁気記録媒体は、磁気記録層側の表面粗さ（Ｒ
ｍａｘ）が５０〜２００人であることが好ましい。

このようなＲｍａｘとすることにより、媒体表面と浮上
型磁気ヘッドの浮揚面との距離を０．３μ以下、特にＯ
，１−以下に保って記録および再生を行なうことができ
、しかも浮上型磁気ヘッドと磁気記録媒体との吸着が発
生せず、高密度記録が可能となる。　また、γ−Ｆｅ２
ｒｓを主成分とする連続薄膜の磁気記録層においてこの
ようなＲｍａｘとした場合、耐久性が向上する。

本発明の磁気記録媒体は、通常、磁気ディスクに適用さ
れ、浮上型磁気ヘッドにより記録再生が行なわれる。

この場合、磁気ディスクと浮上型磁気ヘッドとは、磁気
ディスク装置に組み込まれて使用される。

磁気ディスク装置においては、磁気ディスクはプリフォ
ーマットされていることが通常である。　従って、光記
録層へのサーボ情報等の記録は、磁気ディスク装置に組
み込まれる前、あるいは組み込む際に行なわれる。

一方、光記録層に記録されているサーボ情報やアドレス
情報等の再生は、磁気ディスク装置使用時に行なわれる
ので、光記録層に記録されている情報の再生手段は、磁
気ヘッドと連動して移動する必要がある。

このためには、前記再生手段が磁気ヘッドと一体化され
ていることが好ましい。

第２ａ図に、本発明に用いる浮上型磁気ヘッドの好適例
を示す。

第２ａ図において、本発明の磁気記録媒体１は磁気ディ
スクに適用されており、図中矢印方向に回転している。

浮上型磁気ヘッド１０は、ヘッドスライダ２０を有し、
その後端面の両側に薄膜磁気ヘッド素子１１．１１を有
する。　薄膜磁気ヘッド素子１１．１１は、一方だけが
磁気変換器として使用される。

浮上型磁気ヘッド１０はジンバル２２により懸架され、
磁気記録媒体１の回転により磁気ディスク上に浮上して
いる。

第２ｂ図は第２ａ図に示される浮上型磁気ヘッド１０を
磁気記録媒体１側から見た底面図であり、第２Ｃ図は第
２ｂ図のｌＩｃ−ｌ１ｃ線断面図である。

これらの図に示されるように、ヘッドスライダ２０内に
は、光学変換器２１が設けられている。　光学変換器２
１は、ジンバル２２による懸架位置付近に設けられ、浮
上型磁気ヘッド１０の重量バランスの狂いを最小限に抑
えた構成となっている。

磁気記録媒体１の磁気記録層４のデータトラックＤＴに
は、薄膜磁気ヘッド素子１１により記録および再生が行
なわれる。

この記録および再生時には、光記録層３に形成されてい
るサーボトラックＳＴに光学変換器２１から再生光が照
射されており、光学変換器２１に戻る反射光の反射率変
化や偏光面回転を検出して、浮上型磁気ヘッド１０のサ
ーボトラックＳＴからのずれを検出する。　これにより
ジンバル２２に接続されているアクチュエータを制御し
て光学変換器２１のサーボトラックＳＴからのずれを修
正する。　光学変′換器２１とサーボトラックＳＴとの
位置ずれが修正されれば、薄膜磁気ヘッド素子１１とデ
ータトラックＤＴとの位置ずれも修正されることになる
。

第３ａ図に、本発明に用いる浮上型磁気ヘッド１０の他
の態様を示す。　また、第３ｂ図は、第３ａ図に示され
る浮上型磁気ヘッド１０の底面図である。

これらの図に示される浮上型磁気ヘッド１０は、光学変
換器２１がへラドスライダ２０の後端面に設けられてい
る他は第２ａ図〜第２Ｃ図に示される浮上型磁気ヘッド
１０と同様である。

この態様では、光学変換器２１をヘッドスライダ２０に
設ける作業が簡便であるが、浮上型磁気ヘッド全体の重
量バランスをとることがやや難しくなる。

なお、これらの態様に限らず、ヘッドスライダ２０と一
体的に移動することが可能であれば、光学変換器２１は
どこに設けられていてもよい。

また、本発明により極めて高密度の記録が可能となるの
で、高密度記録可能な薄膜磁気ヘッド素子を有する薄膜
型の浮上型磁気ヘッドを用いることが好ましいが、これ
に限らず、コアがヘッドスライダを兼ねる構成のモノリ
シックタイプの浮上型磁気ヘッドや、非磁性のへラドス
ライダにコアを接合したコンポジットタイプの浮上型磁
気ヘッド等、どのような浮上型磁気ヘッドあってもよい
。

以下、本発明に好ましく用いられる光学変換器および薄
膜型の浮上型磁気ヘッドについて説明する。

光学変換器は、再生光を光記録層に照射し、その反射光
の強度変化や偏光面回転を検出する。

本発明に用いる光学変換器に特に制限はないが、ヘッド
スライダと一体的に浮上する必要があるため、小型・軽
量であることが好ましい。　このため、光学変換器とし
ては、コンパクトディスク、相変化型光記録ディスク、
光磁気記録ディスク等の各種光デイスク用の光ピツクア
ップの構成を利用し、好ましくはさらに小型化したもの
を用いることがよい。

このような光学変換器は、光照射手段、反射光検出手段
を有し、さらに、対物レンズ、コリメータレンズ、１／
４波長板、偏光ビームスプリッタ、検光子等から必要に
応じて選択される光学系を有する。

光照射手段としては、超小型、低電圧駆動が可能である
ことから、可視光レーザダイオード、赤外光レーザダイ
オード等の各種レーザダイオードを用いることが好まし
く、特にスポット径が絞れることから可視光レーザダイ
オードを用いることが好ましい。

反射光検出手段としては、受光部を２分割や４分割した
各種フォトダイオードなどが好ましく用いられる。

なお、このように光照射手段および反射光検出手段を独
立して備える構成に限らず、例えば特公昭６４−９６６
７号公報に示されるように、反射光をレーザダイオード
へ再入射させ、反射光の強度変化によるレーザダイオー
ドの動作電圧変化を検出して情報を読み取る構成として
もよい。

第４図に、薄膜型の浮上型磁気ヘッドの薄膜磁気ヘッド
素子部分の１例を示す。

第４図に示される浮上型磁気ヘッド１０は、ヘッドスラ
イダ２０上に、絶縁層３１．下部磁極層４１、ギャップ
層５０、絶縁層３３、コイル層６０、絶縁層３５、上部
磁極層４５および保護層７０を順次有し、これらが薄膜
磁気ヘッド素子を″構成している。　また、このような
浮上型磁気ヘッド１０の少なくともフロント面、すなわ
ち浮揚面には、必要に応じ、前記と同様な潤滑膜を設け
ることもできる。

なお、フロント面のＲｎｒａｘは、２００Å以下、特に
５０−１５０人であることが好ましい。　このようなＲ
ｍａｘを有する磁気ヘッドと上記したＲ　ｗａｘを有す
る磁気記録媒体とを組み合わせて使用することにより、
磁気記録媒体および磁気ヘッドの耐久性が向上する。

コイル層６０の材質には特に制限はなく、通常用いられ
るＡ［、Ｃｕ等の金属を用いればよい。

コイルの巻回パターンや巻回密度についても制限はなく
、公知のものを適宜選択使用すればよい。　例えば巻回
パターンについては図示のスパイラル型の他、積層型、
ジグザグ型等いずれであってもよい。

また、コイル層６０の形成にはスパッタ法等の各種気相
被着法を用いればよい。

ヘッドスライダ２０はＭ　ｎ　−Ｚ　ｎフェライト等の
公知の材料から構成されてもよい。

このような磁気ヘッドを、本発明の磁気記録媒体に対し
て用いる場合、ヘッドスライダ２０は、ビッカース硬度
１０００以上、特に１０００〜３０００程度のセラミッ
クス材料から構成されることが好ましい。　このように
構成することにより、本発明の効果はさらに顕著となる
。

ビッカース硬度１０００以上のセラミックス材料として
は、Ａ　Ｑ　ｚ　Ｏａ　　Ｔ　ｉ　Ｃを主成分とするセ
ラミックス、Ｚ　ｒ　Ｏ２を主成分とするセラミックス
、ＳｉＣを主成分とするセラミックスまたはＡβＮを主
成分とするセラミックスが好適である。　また、これら
には、添加物としてＭｇ、Ｙ、Ｚｒ０ｚ　、ＴｉＯ２等
が含有されていてもよい。

これらのうち、本発明に特に好適なものは、Ａβ、Ｏ，
−Ｔｉｃを主成分とするセラミックス、ＳｉＣを主成分
とするセラミックスまたはＡ４２Ｎを主成分とするセラ
ミックスであり、これらのうち最も好適なものは、γ−
Ｆｅａｒｓを主成分とする薄膜磁気記録層の硬度との関
係が最適であることから、Ａ４２ｔ　ｏｚ−Ｔｉｃを主
成分とするセラミックスである。

下部および上部磁極層４１．４５の材料としては、従来
公知のものはいずれも使用可能であり、例えばパーマロ
イ、センダスト、Ｃｏ系非晶質磁性合金等を用いること
ができる。

磁極は通常、図示のように下部磁極層４１および上部磁
極層４５として設けられ、下部磁極層４１および上部磁
極層４５の間にはギャップ層５０が形成される。

ギャップ層５０は、Ａ４ｇｏｓ、ＳｉＯ□等公知の材料
であってよい。

これら磁極層４１．４５およびギャップ層５０のパター
ン、膜厚等は公知のいずれのものであってもよい。

さらに、図示例ではコイル層６０は、いわゆるスパイラ
ル型として、スパイラル状に上部および下部磁極層４１
．４５間に配設されており、コイル層６０と上部および
下部磁極層４１．４５間には絶縁層３３．３５が設層さ
れている。

また下部磁極層４１とへッドスライダ２０間には絶縁層
３１が設層されている。

絶縁層の材料としては従来公知のものはいずれも使用可
能であり、例えば、薄膜作製をスパッタ法により行なう
ときには、Ｓ　ｉ　Ｏｚ　、ガラス、ＡβｚＯｓ等を用
いることができる。

また、上部磁極４５上には保護層７０が設層されている
。　保護層の材料としては従来公知のものはいずれも使
用可能であり、例えばＡｊ２．ｏａ等を用いることがで
きる。　また、これらに各種樹脂コート層等を積層して
もよい。

このような薄膜磁気ヘッド素子の形成工程は、通常、薄
膜作製とパターン形成とから構成される。

上記各層を構成する薄膜の作成には、上記したように、
従来公知の気相被着法、例えば真空蒸着法、スパッタ法
、あるいはメツキ法等を用いればよい。

各層のパターン形成は、従来公知の選択エツチングある
いは選択デポジションにより行なうことができる。　エ
ツチングとしてはウェットエツチングやドライエツチン
グを用いることができる。

このような浮上型磁気ヘッドは、ジンバル、アーム等の
従来公知のアセンブリーと組み合わせて使用される。

本発明の磁気記録媒体、特に磁気ディスクを用いて記録
再生を行うには、ディスクを回転させ、光記録層に記録
されているサーボ情報によりトラッキング制御を行ない
ながら、磁気ヘッドを浮上させて記録再生を行なう。

ディスク回転数は２０００〜６０００ｒｐｍ程度、特に
２０００〜４０００ｒｐｌＴ１程度である。

また、浮上量は０．３μ以下、特に０．２．ｍ以下、さ
らには０．１−以下、例えば０．０１〜０．０９−とす
ることができ、磁気ディスク表面が上記したようなＲｍ
ａｘを有する場合、良好な浮上特性およびＣ８Ｓ耐久性
を得ることができる。

浮上量の調整は、ヘッドスライダ幅やジンバル荷重を変
えることによって行なう。

〈実施例〉 以下、本発明の具体的実施例を挙げ、本発明をさらに詳
細に説明する。

外径１３０ｍｍ、内径４０ｍｍ、厚さ１．９ｍｍのアル
ミノケイ酸ガラス基板を研磨し、さらに化学強化処理を
施した。　化学強化処理は、４５０℃の溶融硝酸カリウ
ムに１０時間浸漬することにより行なった。

次いで、このガラス基板表面をメカノケミカルポリッシ
ングにより平滑化した。　メカノケミカルポリッシング
には、コロイダルシリカを含む研磨液を用いた。

研磨後のガラス基板の表面粗さＲｍａｘは５０人であっ
た。

洗浄後のガラス基板表面に、スパッタ法によりＴｅ−Ｇ
ｅ膜を形成し、光記録層とした。

光記録層の厚さは１０００人とした。

この光記録層の表面に、γ−Ｆｅａｒｓを主成分とする
磁気記録層を直接酸化法により形成した。

まず、Ａｒガス雰囲気中にて予備スパッタを行ない、タ
ーゲット表面の酸化膜を除去した。

なお、ターゲットには、１　ｗｔ％Ｃｏ−Ｆｅ合金を用
いた。

次いで、０２ガスを導入して反応性スパッタを行ない、
光記録層上にＦｅ３Ｏ４膜を形成した。

得られたＦｅ５０４膜を空気中で３１０℃にて１時間酸
化してγ−Ｆｅ２ｅｓ磁気記録層とし、磁気ディスクを
得た。

磁気記録層の厚さは１５００人とした。

この磁気ディスクの光記録層に、レーザダイオードを用
いてトラッキング信号を記録し、サーボトラックを形成
した。　サーボトラックのトラック密度は２５００ＴＰ
Ｉとした。

サーボトラックを形成した磁気ディスクを、第２ａ図に
示す浮上型磁気ヘッドと共に磁気ディスク装置に組み込
んだ。　なお、光学変換器としては、レーザダイオード
からなる光照射手段と４分割フォトダイオードからなる
反射光検出手段を有する光ピツクアップを用いた。

この磁気ディスク装置において、サーボトラックに記録
されたトラッキング信号によりトラッキングサーボを行
ないながら、磁気ヘッド浮上量０．１５７ｚｍにて磁気
記録再生を行なったところ、極めて正確にトラッキング
サーボが行なわれていることが確認された。

以上の実施例の結果から、本発明の効果が明らかである
。

〈発明の効果〉 本発明によれば、トラック密度が高く、しかもスペーシ
ングロスが少ないため線記録密度の高い磁気記録媒体が
実現する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の磁気記録媒体の好適実施例を示す部
分断面図である。 第２ａ図および第３ａ図は、本発明の磁気磁気媒体に対
し、光学変換器を備えた浮上型磁気ヘッドを用いて記録
再生を行なう際の説明図である。 第２ｂ図および第３ｂ図は、それぞれ第２ａ図および第
３ａ図に示される浮上型磁気ヘッドの底面図である。 第２ｃ図は、第２ｂ図のｌＩｃ−ｌＩｃ線断面図である
。 第４図は、薄膜型の浮上型磁気ヘッドの部分断面図であ
る。 符号の説明 １・・・磁気記録媒体 ２・・・基板 ３・・・光記録層 ４・・・磁気記録層 ５・・・潤滑膜 １０・・・浮上型磁気へラド １１・・・薄膜磁気ヘッド素子 ２０・・・ヘッドスライダ ２１・・・光学変換器 ２２・・・ジンバル ＳＴ・・・サーボトラック ＤＴ・・・データトラック 出　　願　　人 代 理 人 同 ティーデイ−ケイ株式会社

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に光記録層を有し、この光記録層上に磁気
   記録層を有することを特徴とする磁気記録媒体。
2. （２）前記光記録層が、光学的に読み取り可能なサーボ
   情報を担持し得る請求項１に記載の磁気記録媒体。
3. （３）前記磁気記録層が、γ−Ｆｅ＿２Ｏ＿３を主成分
   とする連続薄膜である請求項１または２に記載の磁気記
   録媒体。
4. （４）前記光記録層が、光磁気記録層である請求項１な
   いし３のいずれかに記載の磁気記録媒体。
5. （５）前記光記録層が、光を照射することにより反射率
   変化を生じる請求項１ないし３のいずれかに記載の磁気
   記録媒体。
6. （６）前記光記録層が、相変化膜である請求項５に記載
   の磁気記録媒体。
7. （７）前記光記録層が、色素を含有する請求項５に記載
   の磁気記録媒体。
8. （８）磁気ディスクを回転し、この磁気ディスク上に磁
   気ヘッドを浮上させて記録再生を行なうに際し、 請求項１ないし７のいずれかに記載の磁気記録媒体を磁
   気ディスクとして用い、この磁気ディスクの光記録層に
   記録されている情報の再生手段を有する磁気ヘッドを用
   い、この磁気ヘッドの浮上量を０．３μｍ以下として記
   録再生を行なうことを特徴とする磁気記録再生方法。