JP3426332B2 - 複合記録媒体 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録と光記録によ
る高密度複合記録を、信頼性高く実現するための記録媒
体に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来の数値や文字を主体とする情報に加
えて、静止画や動画、音声などの情報を含む、いわゆる
マルチメディア関連の情報記録量が急激に増加しつつあ
る。それに伴い、大容量でしかも転送速度とアクセス速
度が速い高密度記録ディスクの重要性は更に増しつつあ
る。このような背景の下に、ハードディスクやフロッピ
ーディスクに代表される磁気ディスクと、再生専用、追
記用、書き換え用の３種の光ディスクは、技術進歩の著
しい記録ディスクである。しかし、磁気ディスクと光デ
ィスクは、それぞれの特徴が異なり、用途に応じて使い
分けされているのが現状である。トラック密度の点で
は、光ディスクが勝り、面密度も磁気ディスクより高い
が、線密度の点では磁気記録の方が高く転送速度も速
い。両者の特徴を生かし、且つ低コストで製造が可能な
記録媒体として、光記録と磁気記録の複合記録を可能と
する記録媒体が考えられる。 【０００３】その一例として、光磁気記録と磁気記録の
複合記録による複合記録媒体が、特願平５ー１１６１３
９とし提案した。この複合記録媒体は、透明基板上に光
磁気記録部と磁気記録部が、この順番で形成されてお
り、透明基板側からの光照射と磁気記録部側からの磁界
印加によって光磁気記録を行うと共に、磁気記録部側か
ら磁気ヘッドによって磁気記録を可能としたものであ
る。ここで、光磁気記録層と磁気記録層のキュリー点と
室温及び高温での抗磁力が適切に設定されているため
に、両者が隣接するにかかわらず、それぞれの記録情報
が破壊されることはない。この複合記録媒体の光記録時
のトラッキングは、透明基板上の光記録部側の面に形成
された溝や凹凸ピット列を、反対面側から入射した光に
よって検出することで行われる。しかし、光記録部の厚
みは薄いうえ、特に真空成膜技術によって形成される光
磁気記録や相変化型記録の場合、基板上の凹凸がほとん
どそのまま表面に反映するため、溝やピットの凹凸が、
光記録部の表面に反映してしまう。このため、その上に
形成される磁気記録部の底面に凹凸を生じることにな
り、磁気記録部の表面に凹凸を生じたり、磁気記録部の
厚みが不均一になる。磁気記録部の表面凹凸は、磁気記
録の際のノイズの原因になり、Ｓ／Ｎの低下をもたら
す。また、一般的に磁気記録層の厚みは、使用する記録
波長や垂直磁界成分の多寡によって最適化されているた
め、厚みの不均一は記録再生性能の低下をもたらす。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な光磁気記録などの光記録部と磁気記録部を透明基板の
片面側にこの順番に形成された複合記録媒体の記録再生
性能を更に高め、信頼性の高い記録媒体を提供すること
を目的とするものである。より具体的には、透明基板上
のトラッキング用の溝や凹凸ピット列によって生じる磁
気記録部表面の凹凸や、厚みの変動を軽減し、磁気記録
部の記録再生性能を向上させることにある。 【０００５】 【課題を解決するための手段】上記本発明の目的は、透
明基板の片面にトラッキング用のピット列もしくはトラ
ッキング用の溝が形成されており、その上に光記録部が
あり、該光記録部の上には非磁性中間層を介して磁気記
録部があり、該非磁性中間層はその厚さが前記ピット列
もしくは前記溝の深さよりも厚く０．１〜２０μｍであ
って、且つ前記ピット列もしくは前記溝の凹凸がその該
非磁性中間層の表面に現れない程度に平坦化されてなる
複合記録媒体により達成される。 【０００６】本発明の複合記録媒体では媒体の厚さ方向
に磁気記録層と光記録層とが配置されているので、面当
たりの記録容量がそれだけ大きくすることができる。そ
して、その光記録部と磁気記録部の間に、トラッキング
用凹凸ピット列もしくは溝によって生じる光記録部の磁
気記録部側表面の凹凸を平坦化する非磁性の中間層を設
けたことにより、前記トラッキング用の凹凸が光記録部
の表面もしくは磁気記録部の底面に及ばないようにして
いるので、磁気記録部表面の凹凸や厚み変動を最小限に
留めることが可能となり、より信頼性の高い記録再生性
能を備えさせることが可能となる。 【０００７】本発明による複合記録媒体は、基本的に片
面に記録部が形成されているため、貼り合わせ型の光デ
ィスクのような、貼り合わせによるコスト増加がなく、
且つ貼り合わせによる重量増加や厚み増加がない。それ
でいながら、磁気記録層と光記録とが厚さ方向に重なり
合う形で形成されているため、記録面積が両面型と同等
であり、記録容量も両面型とほぼ同等のものが可能であ
る。また、基板への凹凸ピットや溝は、光ディスクと同
様の手法、即ちスタンパを用いる射出成型や２Ｐ法など
によって、容易に低コストで形成可能である。 【０００８】本発明の磁気記録部と光記録部の間に、凹
凸ピット列または溝の凹凸の影響を軽減するための平坦
化層として非磁性中間層設けることにより、磁気記録層
のトラックピッチを、光記録部のトラックピッチに制限
されることなく、独立に最適化することができるので、
それぞれの記録方式の特徴を生かした設計が可能とな
る。特に、磁気記録は光記録より線密度を上げることが
容易なので、その分トラック幅を広げることによって、
Ｓ／Ｎの低下を補償することが可能となる。また、磁気
記録層表面に凹凸が現れないので、磁気ヘッドの走行安
定性に懸念がない。即ち、非磁性中間層の厚さをトラッ
キング用に形成された前記ピット列や前記溝の深さより
も厚くすることにより、凹凸が非磁性中間層の表面に現
れないようにして、その表面を平坦化しているのであ
る。本発明における光記録部としては、特願平５ー１１
６１３９号明細書に記載されている光磁気記録層の他
に、相変化型記録層、有機色素による追記型記録層、凹
凸ピットによる再生専用記録層等を採用することができ
る。 【０００９】前記光記録部は、それを書き換え型にした
いのであれば、光磁気記録層もしくは相変化型光記録層
を、追記型にしたいのであれば有機色素による追記型記
録層を、再生専用にしたいのであれば再生専用記録層を
選択すればよい。また、これらを組み合わせたハイブリ
ッド型の光記録部とすることも可能である。また、前記
光記録部の上に非磁性中間層を介して形成する磁気記録
層としても、特に制限はなく、従来より公知の種々の磁
気記録層を使用することができる。例えば、強磁性微粉
末を結合剤樹脂で分散した塗布膜、蒸着法やスパッタリ
ング法で成膜した強磁性金属薄膜等である。前記光記録
部と磁気記録層との間に設ける非磁性中間層としては、
具体的には、紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂をスピンコー
ティング法やリバースロール法、ドクターブレード法、
コイルバー方式などの方法で塗布した後、硬化させた塗
布層等である。中でも特に好ましいのは、紫外線硬化樹
脂をスピンコーティングした後、紫外線硬化させる方法
で形成される紫外線硬化樹脂層が簡便で且つインライン
化しやすいという点で好適である。本発明の複合記録媒
体に使用する、透明基板の材料には、通常の光磁気記録
媒体で用いられているポリカーボネートやアモルファス
ポリオレフィン、ガラスなどが好適である。その他、Ｐ
ＭＭＡ等透明樹脂なども使用可能である。複屈折が小さ
く、透過率が高く、吸湿率が小さく、反りや変形が生じ
にくい素材が望ましく、具体的には、ポリカーボネー
ト、ガラス、ＰＭＭＡ、ＡＰＯ等を用いることが好まし
い。特に、ポリカーボネートは、射出成形性が優れてお
り、吸湿による反りなどが起こり難く安価であるので本
発明の複合記録媒体においても透明基板として好適であ
る。 【００１０】本発明の複合記録媒体は、前記透明基板の
片面にトラッキング用のピット列もしくはトラッキング
用の溝が形成されている。形成されている面は、光入射
側とは反対側の、記録部が形成されている方の面であ
る。その最適深さは、トラッキング方式としてプッシュ
プル方式を採用する場合には、一般的に両者とも、λ／
（８ｎ）で与えられる。ここで、λは使用する光源の波
長、ｎは透明基板の屈折率である。ＣＤ（コンパクトデ
ィスク）のように情報信号も凹凸ピットの反射信号で検
出する場合には、信号変調度が最大となるピット深さで
あるλ／（４ｎ）との中間の値が採られている。トラッ
キングのためのピット列もしくは溝は、光ディスクの製
造方法として一般的な方法で形成される。即ち、フォト
レジストが塗布された石英ガラス原盤に、トラッキング
用の溝やピット列をレーザー光でカッティングし、現像
後、これをニッケルメッキによって転写してスタンパを
作製する。次にこれを用いて、ポリカーボネートやＰＭ
ＭＡなどの透明プラスチックへ、射出成型によって複製
転写することによって、得られる。また、透明基板とし
てガラス基板を用いる場合には、２Ｐ法やダイレクトカ
ッティング法がよく用いられる。 【００１１】上記のようにトラッキングの為に、ピット
列もしくは溝を形成した透明基板上に光記録部を形成す
る。光記録部は、書き換え型の光磁気記録や相変化型光
記録の場合には、一般的にスパッタリングによって形成
され、再生専用の場合には反射層が蒸着もしくはスパッ
タリング法によって形成される。色素型の追記型光記録
の場合には、有機色素が塗布された後、反射層が蒸着も
しくはスパッタリングされるのが一般的である。 【００１２】光記録部の厚さとしては、各記録方式によ
って異なるが、例えば、４層型の光磁気記録層を例にと
って説明すると、光学的な最適化条件を満たすものとし
て、反射層が２０〜８０ｎｍ、第２誘電体層が１０〜６
０ｎｍ、光磁気記録層が２０〜４０ｎｍ、第１誘電体層
が８０〜１３０ｎｍが望ましい。こうすることにより、
入射光のうち、光磁気記録層に吸収されなかった光も、
反射層からの反射光によって効率よく記録に寄与させる
ことができると共に、誘電体層によるエンハンス効果も
高めることができる。また、適度に熱を逃がすシンク作
用を持つことによって、記録ピットの熱干渉やにじみ最
小限に留めることができる。但し、これらの最適な厚み
は、レーザー光の波長等によっても変わってくる。上記
の例は、波長７８０〜８３０ｎｍの例である。 【００１３】この光記録部の上に非磁性中間層が形成さ
れるが、前述したように紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂
を、スピンコーティングやリバースロール、ドクターブ
レード方式、コイルバー方式などによって塗布した後、
紫外線照射や熱風吹き付けなどの方法によって硬化させ
て形成されたものがこのような構造の光記録部にとって
も有効である。 【００１４】その際、光磁気記録層の反射層の耐候性を
高めるため、窒素雰囲気中で処理するなどの点に留意す
る必要がある。 【００１５】本発明の複合記録媒体における非磁性中間
層の厚さとしては、透明基板上に形成したトラッキング
用の溝や反射ピットを反映して光記録部の表面に形成さ
れた凹凸より少なくとも厚くする必要がある。望ましく
は、透明基板上に形成されたトラッキング用の溝や反射
ピットの深さそのものより厚くした方がよく、更に望ま
しくは、その２倍以上に厚くした方がよい。これより薄
いと、上記の方法によって効率よく光記録部表面の凹凸
を緩和することができなくなるからである。通常、上記
の塗布方法によるコーティングでは、０．１μｍから数
百μｍ程度の範囲の厚みの非磁性中間層が作製しやす
い。余り厚くなると、材料コストが高くなる。従って、
非磁性中間層の厚さは、０．１〜２０μｍとする。 【００１６】本発明の複合記録媒体における前記磁気記
録部は、現在磁気テープや磁気ディスクに用いられてい
る通常の磁気記録材料を用いることができる。即ち、強
磁性体粒子を塩ビ系樹脂、ポリウレタン樹脂や硬化剤等
からなる結合剤用樹脂（バインダー）中に分散した塗布
膜あるいはスパッタリングや真空蒸着などの真空成膜技
術により成膜した薄膜等である。塗布型の強磁性微粒子
としては、針状もしくは米粒状の、金属性粉末、Ｃｏド
ープγ-Ｆｅ₂Ｏ₃、Ｃｏ 被着γ-Ｆｅ₂Ｏ₃、γ-Ｆｅ
₂Ｏ₃、あるいは六角板状のＢａフェライト等が用いられ
る。 【００１７】図１は、本発明の複合記録媒体１００の一
例を示す要部断面図である。ここで１０５は透明樹脂基
板、１０８はトラッキング用の溝である。１５は光入射
方向を示しており、磁気記録用の磁気ヘッドは光が入射
する側とは反対側の面上に設置される。透明基板１０５
上には、光記録部１０４と非磁性中間層１０３、磁気記
録部３６がこの順に形成されている。光磁気記録部１０
４は、基板側より順に第１誘電体層１３１、光磁気記録
層１３０、第２誘電体層１２９、反射層１２８が形成さ
れている。本発明の非磁性中間層１０３が前記トラッキ
ング用の溝１０８の深さに比し充分に厚い厚みを持って
いるため、光トラッキング用の溝を反映して形成された
光磁気記録部１０４（さらに詳細には反射層１２８の磁
気記録部側の表面）上の凹凸は、非磁性中間層１０３上
（磁気記録部側との界面）では平坦化できている。これ
により磁気記録部３６は平坦な表面と均一な厚みを得る
ことができる。 【００１８】この例では、磁気記録部３６は、非磁性中
間層１０３の上にスパッタ法によって、下地層２７と磁
気記録層２６、保護層３２とが形成されている。磁気記
録層２６としては、ＣｏＮｉＣｒやＣｏＣｒＴａ、Ｃｏ
ＰｔＣｒ、Ｃｏ、ＣｏＮｉ、ＣｏＣｒなどが用いられ
る。また、下地層２７としては、磁気特性や耐蝕性を向
上させる目的でＣｒなどが用いられる。更に下地層２７
と非磁性中間層１０３の間に、ＮｉＰなどのメッキ層を
設けてもよい。保護層３２としては、ダイアモンドライ
クカーボン（ＤＬＣ）などの堅い保護層が用いられるこ
とが多い。ＤＬＣは、ＣＶＤ方によって形成することも
できる。保護層３２の上には、更に潤滑層３５が、スピ
ンコーティングなどの方法によって設けることにより磁
気ヘッドとの摺動を円滑に行うことができる。 【００１９】磁気記録層３２の厚さとしては、記録波長
により異なるが、一般的には０.０５〜５μｍ程度であ
る。余り薄いと、再生時の漏れ磁束が小さくなり、十分
な再生出力を得ることができず、また余り厚いと、記録
磁化が回転磁化モードを形成し、かえって高出力が得ら
れなくなるので好ましくない。以上、本発明の複合記録
媒体の透明基板上に形成される光記録部、非磁性層中間
層及び磁気記録部の厚さの配分としては、特に制約はな
く、それぞれの記録方式に応じて、前述の最適化を図れ
ばよい。 【００２０】本発明の複合記録媒体を用いた記録方法に
おいて使用する磁気ヘッドや光ピックアップについても
特に制限はなく、従来公知のものもそのまま使用できる
点も本発明の複合記録媒体の利点の一つである。磁気ヘ
ッドは、軟磁性コアにコイルが巻かれた通常の磁気記録
用ヘッドである。また、光磁気記録と磁気記録の複合記
録の場合には、光磁気記録用磁気ヘッドと磁気記録用磁
気ヘッドがひとつの磁気ヘッドスライダーに一体に組み
込まれた形態が、光磁気記録時と磁気記録時のヘッド制
御系を簡素化でき、また高精度の位置決めが可能とな
る。 【００２１】光学ピックアップは、光記録に使用されて
いる通常の半導体レーザーを光源とする光学ピックアッ
プが使用できるが、その機能はフォーカシング及びトラ
ッキングである。光記録との複合記録の場合には、光記
録信号の記録再生機能がこれに加わる。また、必要に応
じて反射ピットやトラッキング用溝のウォブリング信号
の再生機能を有する。また、フォーカシングとトラッキ
ングの方式には種々の方法があり、特に限定されるもの
ではなく、夫々の用途に応じて選択される。 【００２２】本発明の複合記録媒体の構成をその要部断
面図である図２を用いて、また、本発明の複合記録媒体
を使用して記録再生をする際の光学ピックアップ及び磁
気ヘッドの位置関係を示すためのサーボトラッキング系
を示す図３の配置図を用いて、本発明の複合記録媒体の
特徴を具体的に説明する。 【００２３】図２に図示された本発明の複合記録媒体１
は、透明基板５の片面側に、通常の光ディスクと同様の
マスタリングによって作成されたスタンパを用いた射出
成型によって光トラッキング用溝８が転写されている。 【００２４】この溝の形状は、光源の波長をλ、屈折率
をｎとするとき、最適深さがλ／（８ｎ）で与えられ
る。光源に７８０ｎｍの半導体レーザーを用い、透明基
板としてポリカーボネートを用いた場合、最適深さは
０．１３μｍ程度となる。また、その幅は、ランド部
（入射光の反対側の平坦面）に光記録する場合、０．４
〜０．６μｍ程度のものである。次にこれと同じ面側
に、光記録部４をスパッタリング法により成膜する。光
記録部４は、前述のように厚みが非常に薄く、且つスパ
ッタリング法によって成膜されるので、光トラッキング
用溝８の凹凸を反映しないように平坦化層として紫外線
硬化樹脂等の塗膜からなる非磁性中間層３が１〜１０μ
ｍ程度の厚さで窒素雰囲気中下でのスピンコーティング
した後、紫外線を照射して硬化させることにより形成さ
れる。更にその上に、針状のメタル系磁性体をポリウレ
タン及び塩化ビニル系樹脂を主成分とするバインダー中
に分散した磁性塗布液を同じくスピンコーティング法に
よって塗布し、熱硬化させて、磁気記録層２を、０．１
〜３μｍの厚さで形成する。 【００２５】ここで、磁気記録トラック６の幅は、必ず
しも光記録トラック７の幅に一致する必要はなく、それ
ぞれの記録方式に応じた最適化が可能である。尚、磁気
記録トラック６は、ガードバンド９によって分離されて
いる。アジマス記録方式を採る場合には、このようなガ
ードバンドを省略することもできる。 【００２６】このようにして作成された複合記録媒体１
に対して、図３に示すように、光学ピックアップ１４を
前記透明基板５側に配置し、磁気ヘッドスライダー１０
を記録面側に配置する。 【００２７】光記録部が光磁気記録層である場合には、
前記光学ピックアップ１４では、通常の光磁気記録用ピ
ックアップと同様に、半導体レーザーからの出射光が、
適宜、整形、偏光処理される。そのレーザー光１５は対
物レンズを通して、複合記録媒体１の透明基板側から、
光記録部に照射されると共に、その反射光が光学ピック
アップ１４で検出される。トラッキング法としては、一
般に知られている種々の方法が用いうるが、そのうちの
ひとつであるプッシュプル法では、溝部からのプッシュ
プル信号を２分割光検出系で検出することにより、トラ
ッキング信号が得られる。 【００２８】光学ピックアップ１４と磁気ヘッドスライ
ダー１０は、図３に示すように、連動アーム２２で連結
されており、粗調トラッキング用駆動部２１によって、
オープンループ制御にて、機械的な半径方向の位置決め
がなされる。この点は、通常の磁界変調オーバーライト
型の光磁気ディスクドライブと同様である。更に、微調
トラッキングが、次のように行われる。光学ピックアッ
プ１４で検出された反射光からトラッキングエラー信号
がトラッキングエラー検出系１８によって検出され、光
学ピックアップ用トラッキングサーボ１９を通して光学
ピックアップ可動機構１６により、光記録トラック７へ
のトラッキングが行われる。磁気記録トラック６への微
調トラッキングについては、トラッキングエラー信号が
トラッキングエラー検出系１８から磁気ヘッドスライダ
用トラッキングサーボ２０へと伝達され、磁気ヘッドス
ライダ可動機構１７が制御されることにより行われる。 【００２９】オフトラックは、複合記録媒体１をスピン
ドルモータ２４のモータ軸にチャッキングプレート２５
でチャッキングする際に生じる偏心成分や、複合記録媒
体１自身の歪等による光トラッキング用溝８の変形等に
よって生じている。光記録トラックへのトラッキング
が、オープンループによる粗調トラッキングと光学ピッ
クアップ１４組み込まれた光学ピックアップ可動機構１
６の組合せによってなされている点は、通常の光磁気記
録と同様である。また、磁気ヘッドスライダー１０が、
連動アーム２２によって、光学ピックアップ１４と連結
され、粗調トラッキングされる点については、磁界変調
オーバーライト型の光磁気ドライブと同様であるが、光
磁気記録の場合には、記録点の位置決めが光学ピックア
ップ１４によるレーザースポットで決まっており、光磁
気記録の際の磁界の印可は、磁気記録とは比べものなら
ないほど広い範囲（例えば１ｍｍφ）に渡って印加され
ればよく、したがって磁気ヘッドスライダー１０の位置
決めも非常に粗いもので差し支えない。しかし、本発明
における複合記録媒体１への記録は、光記録だけでなく
磁気記録も行うもので、磁気記録トラック６への位置決
めには極めて高い精度が要求される。前述の粗調トラッ
キングだけでは、磁気記録に必要な精度が得られず、高
トラック密度での磁気記録は不可能である。本発明で
は、粗調トラッキングに加えて、光トラッキング用溝８
から得られるトラッキングエラー信号による磁気記録ト
ラック６への微調トラッキング系を設けたことにより、
高トラック密度での磁気記録を可能にしている。ここ
で、トラッキングエラー検出系１８からのトラッキング
エラー信号により、粗調トラッキング用駆動部２１を直
接フィードバック制御する方法も考えられるが、光学ピ
ックアップ１４及び磁気ヘッドスライダー１０、更に連
動アーム２２、粗調位置決め用キャリッジ２３迄も一体
に高速制御することが必要となり、これらの慣性力と必
要なサーボ周波数を考慮すると現実的でなく、光記録と
磁気記録とで個別の微調トラッキングが必要である。
尚、光記録再生と磁気記録再生を同時に行う場合には、
両者の微調トラキングを同時に行う必要があるが、光記
録再生だけを行う場合には、磁気ヘッドスライダー１０
の微調トラッキングは不要である。 【００３０】 【実施例】本発明の複合記録媒体の新規な特徴を以下の
実施例により、さらに具体的に説明する。 【００３１】［実施例ー１］以下の条件で図１に示した
ような層構成を有する複合記録媒体１００を作成した。
厚さ１.２ｍｍ、外徑３.５吋のガラス基板１０５上にト
ラッキング用の溝１０８をトラックピッチ１.６μｍで
ドライエッチング法により形成した。光磁気記録は１.
１μｍ幅のランド部１０７で行ない、磁気記録は幅４．
３μｍのトラック部１０６で、幅０．５μｍのガードバ
ンド１０９を設けて行った。光磁気記録部１０４の各４
層の厚みと材料は以下の通りである。 反射層１２８ Ａｌ ７５ｎｍ 第２誘電体層１２９ Ｓｉ₃Ｎ₄ ４０ｎｍ 光磁気記録層１３０ ＴｂＦｅＣｏＣｒ ２５ｎｍ 第１誘電体層１３１ Ｓｉ₃Ｎ₄ １１０ｎｍ 反射層１２８へは、耐食性向上と熱伝導を最適化するた
め、Ｔｉを２ａｔ％添加した。そして、上記のガラス基
板１０５上に、第１誘電体層１３１、光磁気記録層１３
０、第２誘電体層及１２９び反射層１２８の順に、第１
誘電体１３１層及び第２誘電体層１２９は、反応性ＲＦ
スパッタリングにより、また光磁気記録層１３０は合金
ターゲットのＤＣスパッタリングにより、さらに反射層
１２８はＤＣスパッタリングによりに成膜して光記録部
１０４を形成した。 【００３２】非磁性中間層１０３としては、紫外線硬化
樹脂を窒素雰囲気中でスピンコーティングした後、紫外
線硬化させ、厚さ７μｍの紫外線硬化樹脂膜を形成し
た。磁気記録部３６には、次の４層からなる層構成を採
用した。 潤滑層３５ フッ素系潤滑剤フォンブリンAM2001 ３ｎｍ カーボン保護層３２ ダイアモンドライクカーボン ３０ｎｍ 磁気記録層２６ ＣｏＰｔＣｒ ５０ｎｍ 下地層２７ Ｃｒ ３００ｎｍ 【００３３】そして、上記の各層を上記の光磁気記録部
の金属反射層の上に、下地層２７、磁気記録層２６及び
カーボン保護層３２をＤＣマグネトロンスパッタリング
により成膜して、さらにカーボン保護層３２の上に潤滑
層３５をスピンコーティングして磁気記録部３６を形成
した。 【００３４】光磁気記録層１３０と磁気記録層２６のキ
ュリー温度Ｔｃと、磁気記録する際の室温（２３℃）で
の抗磁力Ｈｃ（ｒ）、光磁気記録する際の温度２００℃
での抗磁力Ｈｃ（ｈ）は下記の通りであった。 【００３５】なお、キュリー温度及び抗磁力を振動試料
磁束計（ＶＳＭ）により測定した結果以下の通りであっ
た。 光磁気記録層１３０ ＴｂＦｅＣｏＣｒ キュリー温度Ｔc：２００℃ 抗磁力Ｈc（ｒ）： ９Oe 抗磁力Ｈc（ｈ）：０．１Oe以下 磁気記録層２６ ＣｏＰｔＣｒ キュリー温度Ｔc：５００℃ 以上 抗磁力Ｈc（ｒ）：１．８Oe 抗磁力Ｈc（ｈ）：１．６Oe 【００３６】この複合記録媒体を図４にその要部断面図
を示す光磁気記録用磁気ヘッド３３及び磁気記録用磁気
ヘッド３４を使用して記録再生を行った。光磁気記録用
磁気ヘッド３３は、磁気ヘッドスライダー１０に組み込
んだ。磁気ヘッドスライダー１０はホイットニー型フレ
クシャに搭載し、磁気記録層の表面に接触走行させた。
磁気記録用磁気ヘッド３４は、ギャップ長０.３μｍの
リング型磁気ヘッ ドを用い、記録と再生に兼用した。
また、光磁気記録用磁気ヘッド３３は、主磁極にコイル
を巻き付け、磁束を補助磁極から還流させる方式を採
り、主磁極コア先端部と、光磁気記録層３０との実質的
なスペーシング量は０.１５ｍｍとした。 磁気ヘッドス
ライダー１０は、走行方向が４ｍｍ、半径方向が３ｍ
ｍ、厚さが２ｍｍのほぼ直方体形状をしており、光磁気
記録用磁気ヘッド３３と磁気記録用磁気ヘッド３４の組
み込み位置は、２ｍｍの間隔を置くように組み込んだ。
トラッキングに際しては、図３に示すように先ず粗調ト
ラッキング用駆動部２１にて目的トラックへの粗調トラ
ッキングを行い、次に微調トラッキングを行った。微調
トラッキングは、同じく図３に示したように、光学ピッ
クアップ１４で検出したＲＦ信号を、トラッキングエラ
ー検出系１８でトラッキングエラーとして検出し、一方
は光学ピックアップ用トラッキングサーボ１９へ送り光
学ピックアップ可動機構１６を制御して光記録トラック
７へのトラッキングを行い、他の一方の一方の信号は磁
気ヘッドスライダ用トラッキングサーボ２０に送って磁
気ヘッドスライダ可動機構１７を制御して磁気記録トラ
ック６へのトラッキングを行なった。 【００３７】次に、この複合記録媒体を用いて以下のよ
うなデジタル記録再生を試みた。光学ピックアップ１４
から照射されるレーザー光１５は、波長７８０ｎｍであ
り、記録時に５ｍＷ、再生時に０.７ｍＷの光パワー
で、光磁気記録層３０に焦点を結ぶようフォーカスサー
ボをかけつつレンズで集光した。ディスクの走行速度
は、１.２ｍ/ｓとした。 【００３８】磁気記録層３６への磁気記録にはオーバー
ライト方式のディジタル磁気記録を行い、光磁気記録部
４への光磁気記録には磁界変調オーバーライト方式のデ
ィジタル記録を行っている。磁気記録と光磁気記録を安
定に行うための記録再生原理は、図５の温度と抗磁力の
相関を示すグラフで明らかである。即ち、室温における
光磁気記録層１３０のＨ_cは、磁気記録層２６のＨ_cより
充分大きいため、室温で磁気記録するときに光磁気記録
層１３０の記録済み情報が消去されることはない。ま
た、磁気記録層２６のキュリー点は光磁気記録層１３０
のキュリー点より充分高く、且つ光磁気記録時に印可さ
れる記録磁界より充分高いＨ_cを有しているため、レー
ザー光を照射して光磁気記録する際にも、磁気記録層２
６に記録されている情報が消去される恐れはないという
ものである。 【００３９】上記の方法により磁気記録層２６、光磁気
記録層３０共、安定に記録再生できることを確認し、し
かもそれぞれ種々の信号パターンで記録再生を繰り返し
ても、他方の記録信号品質を劣化させることなく、信頼
性の高い記録再生を行うことができた。これにより、光
磁気記録もしくは磁気記録単独の場合に比べて、概ね２
倍の記録容量を確保でき、且つ磁気記録と光磁気記録を
同時に行うことによる２倍の転送速度が得られた。更
に、磁気記録を単独で行う際に、走行速度を１２ｍ/ｓ
とすることにより、光磁気記録 の１０倍の転送速度が
得られた。また、磁気記録のトラッキングも光学的にグ
ルーブを検出して行ったので高精度の位置決めが可能と
なり、大幅にトラック密度を上げることができた。 【００４０】［実施例ー２］実施例１において、磁気記
録部として非磁性中間層の上に下記の塗布型の磁性層を
形成した以外は、実施例１と同一の条件で複合型記録媒
体を作成した。下記の組成物をボールミルで均一になる
まで混練分散して磁性塗料を調製した。 強磁性金属微粉末 １０００重量部 （組成 ：Ｆｅ９６ｗｔ％、Ｎｉ４ｗｔ％） （比表面積：４５ｍ²） 塩化ビニル・酢酸ビニル・無水マレイン酸共重合体 ９７重量部 （４００Ｘ１１０Ａ、日本ゼオン社製） ポリウレタン系樹脂 ３５重量部 （ニッポランＮー２３０４、日本ポリウレタン社製） ポリイソシアネート化合物 ７５重量部 （コロネートＬ、日本ポリウレタン社製） カーボンブラック １０重量部 （平均粒子徑：０.０４μｍ） Ｃｒ₂Ｏ₃ １００重量部 （平均粒子徑：０.３３μｍ） アミルステアレート １００重量部 ブトキシエチルステアレート １５重量部 メチルエチルケトン １７４０重量部 シクロヘキサノン １１６０重量部 【００４１】非磁性中間層に用いる塗布液として、上記
強磁性金属粉末に代えＴｉの微粉末を１０００重量部を
使用した組成物を、上記と同様に混練分散した。この塗
布液を、ドクターブレード法により厚さ１０μｍとなる
よう塗布乾燥し、光トラッキング用溝の凹凸が磁気記録
層の表面に反映しないようにした。次に、上記磁性塗料
を塗布乾燥し、厚さ０.４μｍの磁気記録層を得た。こ
の塗布型磁気記録層の表面を＃８０００の研磨テープに
て、バーニッシュ処理し、表面の微小欠陥を除去した。 【００４２】塗布型磁気記録層のキュリー温度Ｔ_cと、
磁気記録する際の室温（２３℃）での抗磁力Ｈ
_c（ｒ）、光磁気記録する際の温度２００℃での抗磁力
Ｈ_c（ｈ）は、下記の通りであった。尚、光磁気記録層
は実施例１と同じＴｃ、Ｈｃとした。 キュリー温度Ｔc：７００℃ 以上 抗磁力Ｈc（ｒ）：１．８Oe 抗磁力Ｈc（ｈ）：１．６Oe 磁気記録用磁気ヘッドのコア幅は７μｍとすることで、
磁気記録トラックの幅を７μｍ、トラックピッチを８μ
ｍとした。光記録トラック７の幅は、実施例１と同様、
１.１μｍとした。この複合型記録媒体に、実施例１と
同様の記録再生系によるデジタル記録再生を行い、実施
例１と同様の効果を得た。また、磁気記録については、
低密度領域に至るまで高出力が得られ、耐久性も良好で
あった。 【００４３】 【発明の効果】本発明の複合型記録媒体においては、ト
ラッキング用溝もしくは反射凹凸ピットによる凹凸を、
平坦化のための非磁性中間層を設けることにより、磁気
記録層表面の凹凸や厚みに反映しないようにすることが
できるので、走行安定性に優れ、且つ低ノイズ化が可能
であるとともに、均一な最適磁性層厚みを確保し良好な
記録再生出力が得られる。また、光記録トラックは独立
にトラックピッチを選択できるため、光記録と磁気記録
それぞれの最適トラック幅の選択が可能となる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の複合記録媒体の一例を示す要部断面図 【図２】本発明の複合記録媒体の一例を示す要部断面図 【図３】本発明の複合記録媒体を用いるサーボトラッキ
ング系の一例を示す配置図 【図４】本発明の複合型記録媒体を用いた記録再生装置
の要部断面図 【図５】本発明の複合記録媒体を用いた記録方法の原理
を示すグラフ 【符号の説明】 １００，１ ： 複合記録媒体 ３６，２ ： 磁気記録部 １０３，３ ： 非磁性中間層 １０４，４ ： 光記録部 １０５，５ ： 透明基板 １０６，６ ： 磁気記録トラック １０７，７ ： 光記録トラック １０８，８ ： トラッキング用溝 １０９，９ ： ガードバンド １０ ： 磁気ヘッドスライダー １４ ： 光学ピックアップ １５ ： レーザー光 １６ ： 光学ピックアップ可動機構 １７ ： 磁気ヘッドスライダ可動機構 １８ ： トラッキングエラー検出系 １９ ： 光学ピックアップ用トラッキング
サーボ ２０ ： 磁気ヘッドスライダ用トラッキン
グサーボ ２１ ： 粗調トラッキング用駆動部 ２２ ： 連動アーム ２３ ： 粗調位置決め用キャリッジ ２４ ： スピンドルモータ ２５ ： チャッキングプレート ３３ ： 光磁気記録用磁気ヘッド ３４ ： 磁気記録用磁気ヘッド

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 透明基板の片面にトラッキング用のピッ
   ト列もしくはトラッキング用の溝が形成されており、そ
   の上に光記録部があり、該光記録部の上には非磁性中間
   層を介して磁気記録部があり、該非磁性中間層はその厚
   さが前記ピット列もしくは前記溝の深さよりも厚く０．
   １〜２０μｍであって、且つ前記ピット列もしくは前記
   溝の凹凸がその該非磁性中間層の表面に現れないように
   平坦化されてなる複合記録媒体。