JPH1173682A

JPH1173682A - 光記録媒体、光ヘッド及び光記録装置

Info

Publication number: JPH1173682A
Application number: JP9244844A
Authority: JP
Inventors: Satoru Onuki; 悟大貫; Toshinori Sugiyama; 寿紀杉山; Takeshi Maro; 毅麿
Original assignee: Hitachi Maxell Ltd
Current assignee: Maxell Holdings Ltd
Priority date: 1997-08-27
Filing date: 1997-08-27
Publication date: 1999-03-16

Abstract

(57)【要約】【課題】光ヘッドと記録媒体との衝突による記録媒体
表面への摺動傷をなくし、エバネッセント光による高密
度記録を実現する。【解決手段】光磁気記録媒体４００は、基板５６と反
対側の最上層に自己潤滑性を有する保護膜５１が形成さ
れ、保護膜５６側から記録または再生光が入射される。
保護膜５６の厚さ及び屈折率は、エバネッセント光を保
護膜５６内を伝播させるか否かで所定条件にて選択され
る。エバネッセント光を利用して高密度記録及びその再
生が可能となる。光ヘッドのスライダ底面の光記録媒体
と対向する面にも自己潤滑性を有する保護膜を形成する
ことができる。光ヘッドが光記録媒体表面上に接触して
も、光ヘッドが記録媒体表面上を滑るため摺動傷が生じ
にくくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、固体イマージョン
レンズを用いた光ヘッド及びそれを用いて記録再生が行
われる光記録媒体に関し、さらに詳細には、特に固体イ
マージョンレンズを用いた光ヘッドと光記録媒体との耐
摺動性が向上した光ヘッド及び光記録媒体並びに該光ヘ
ッドを装着した光記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、情報記録装置のマルチメディア化
に対応して、大容量のデータを高密度で記録し、迅速に
再生ができる情報記録装置として光記録装置が使用され
ている。この光記録装置には、ＣＤ、レーザーディスク
のようにディスク作製時に情報をディスク上にスタンピ
ングしてあり情報再生だけが可能な再生専用ディスクを
用いたもの、ＣＤ−Ｒのように一度だけ記録が可能な追
記型ディスクを用いたもの、光磁気記録方式や相変化記
録方式を用いて何度でもデータの書き換え消去が可能な
書換え型ディスクを記録媒体として用いたものがある。
これら、光記録装置では、データの記録・再生はレーザ
ー光をレンズで回折限界にまで絞り込んだ光スポットを
用いて行われる。この光スポットのサイズｄは、レーザ
ーの波長をλ、レンズの開口数をＮＡとすると、ｄ＝λ
／ＮＡとなる（角田義人監修、「光ディスクストレージ
の基礎と応用」：社団法人電子情報通信学会（１９９
５）、Ｐ６５）。

【０００３】光記録媒体に情報を一層高密度に記録する
には、記録用のレーザースポットサイズを小さくして微
小なピットや磁気マークを形成する必要がある。光スポ
ットを小さくするするためには、上式よりレーザー波長
（λ）を小さくするか、あるいはレンズの開口数（Ｎ
Ａ）を大きくすればよい。現在用いられている光ディス
ク再生用の半導体レーザーの波長は主に７８０〜６８０
ｎｍであり、これより短波長の６５０ｎｍの橙色レーザ
ーは、デジタルバーサタイルディスク（ＤＶＤ−ＲＯ
Ｍ）等において使用され始めている。しかしながら、橙
色レーザーより短波長の緑、青色発光の短波長レーザー
については未だ開発途上であり、レーザー波長を小さく
することでスポットサイズを小さくすることには限界が
ある。

【０００４】一方、レンズの開口数（ＮＡ）は、図１に
示すようにレンズの絞り半角をφとするとＮＡ＝ｓｉｎ
φとあらわされ、１より小さい値となる。現在使用され
ているレンズのＮＡが０．５程度であり、理論上限界に
近いＮＡ＝０．９を達成したとしてもレーザースポット
サイズはせいぜい１／１．８にしか縮小することができ
ない。一方、ＮＡを大きくするとレンズ系の焦点深度が
浅くなり、記録面上で焦点を維持するための制御系が複
雑になるという問題が生じるため、ＮＡをむやみに大き
くすることはできず、通常の光記録装置では最大でＮＡ
＝０．６程度のレンズが用いられている。

【０００５】レーザー光のスポットサイズを小さくする
ため固体イマージョンレンズ（Solid Immersion Lens）
を使用して実効的にレンズのＮＡを上げる方法が提案さ
れている（日経エレクトロニクス、６８６号、１３〜１
４ページ、１９９７．４．７）。図２（a）に示すよう
に半球状の固体イマージョンレンズを用いレーザー光を
レンズ表面に対し垂直に入射させた場合、光学系の等価
なＮＡは固体イマージョンレンズの屈折率をｎとすると
ｎ×ＮＡとなる。また、図２（b）に示したように超半
球状（Super Spherical）固体イマージョンレンズを用
いレーザービームを超半球レンズの底面で焦点を結ばせ
るように入射した場合は、等価のＮＡはｎ２×ＮＡにな
る。固体イマージョンレンズをガラスで作成した場合、
ガラスの屈折率は約１．８程度であることから、半球状
の固体イマージョンレンズを用いたときには、スポット
サイズは１／１．８に、また超半球状の固体イマージョ
ンレンズでは１／３．２に、それぞれ、通常の対物レン
ズを用いた場合に比べて小さくすることができる。

【０００６】固体イマージョンレンズを用いる場合に
は、固体イマージョンレンズから浸み出るエバネッセン
ト光を用いて記録再生を行うが、エバネッセント光の減
衰距離は光源の波長の１／４程度であることから、上記
エバネッセント光の減衰距離以内になるように、固体イ
マージョンレンズを媒体に近接させる必要がある。例え
ば、光源として波長６８０ｎｍの赤色レーザーを用いた
場合、減衰距離は１７０ｎｍとなり、この値は通常の光
記録装置の光ヘッドと光記録媒体間の間隔の数ｍｍと比
べるとはるかに小さい。このため、固体イマージョンレ
ンズとエバネッセント光を組み合わせて用いる場合に
は、固定型磁気ディスク（ハードディスク）の磁気ヘッ
ドで用いられているような浮上型のスライダーを用いる
ことが必要となる。図３にかかる浮上型のスライダーを
用いた光磁気記録媒体用の光ヘッドの構造の一例を示
す。光ヘッドは、浮上型スライダー１０２に、対物レン
ズ７１、固体イマージョンレンズ１００、及び記録用の
磁界発生コイル１０４が組み込まれて構成されている。

【０００７】通常の光磁気記録装置では光磁気記録媒体
の透明基板を通じて光が記録層に照射される。しかしな
がら、固体イマージョンレンズを用いた光ヘッドでは、
前述のように固体イマージョンレンズと光記録媒体との
間隔が制限されることから、光磁気記録媒体は基板上に
反射層、第１誘電体層、光磁気記録層及び第２誘電体層
の順に積層した構造を採用するとともに、記録及び再生
光を基板と反対側から、すなわち、第２誘電体層側から
照射する必要がある。記録及び再生光を基板と反対側か
ら入射させるタイプの光記録媒体及び記録再生装置は、
例えば、米国特許第５，２０２，８８０号に開示されて
いる。

【０００８】また、通常の光ディスクでは、基板と反対
側の記録膜表面側は記録膜を保護するため紫外線硬化型
樹脂や大気中で硬化するＳｉ樹脂を塗布して保護膜を数
μｍ〜数十μｍ形成しているが、固体イマージョンレン
ズによるエバネッセント光を用いる方式では、この樹脂
保護膜がエバネッセント光の減衰距離より厚くなるため
樹脂保護膜を第２誘電体層上に形成することはできな
い。そのため、この方式では、固定型磁気ディスク装置
と同様に、最上層である第２誘電体膜上約１００ｎｍの
ところを記録再生光ヘッドが移動するため、光ヘッドが
移動中に浮上姿勢を変動すると第２誘電体膜と接触して
その表面に傷をつける場合がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】光磁気記録媒体の最上
層の第２誘電体膜は、窒化シリコン、酸化シリコン、窒
化アルミ、炭化シリコンなどの硬質な材料から形成さ
れ、その膜厚は５０〜１００ｎｍと磁気ディスクに比べ
２〜５倍厚く、また記録再生用光ヘッドの浮上高さは、
固体イマージョンレンズによるエバネッセント光を用い
る場合には１００〜１５０ｎｍと磁気ディスクに比べ２
〜３倍程度高くできることから、光ヘッドの姿勢変動で
起こるイレギュラーな摺動で誘電体膜の表面に入る傷は
記録膜に達するほど深い傷とはならず、光ヘッド走行方
向に、数μｍから数百μｍ程度の幅で、深さ数十ｎｍ程
度の擦ったようなすじ状の傷となって入る場合が主であ
る。通常の光磁気ディスク等の光ディスクでは、透明基
板を通して再生を行うため基板表面でのレーザースポッ
トサイズは小さくとも１ｍｍ程度あり、基板表面につい
た数μｍ〜数十μｍ程度の傷は記録再生には殆ど問題と
ならない。しかしながら、固体イマージョンレンズによ
るエバネッセント光を用いる方式では、回折限界にまで
絞り込んだレーザー光の滲み出しを利用するため、誘電
体膜表面上に生じた数μｍ幅の傷でも、その傷のエッジ
部分での干渉により反射光量すなわち再生光量が変動し
再生エラーとなりやすいという問題があった。

【００１０】また、固定イマージョンレンズを用いてエ
バネッセント光により記録または再生を行う場合には、
光記録媒体の構造並びにそれに応じて固定イマージョン
レンズと光記録媒体との位置関係を適正に調整しなけれ
ばならないという問題もあった。

【００１１】本発明は、前記従来技術の問題を解決する
ためになされたものであり、その目的は、光ヘッドと記
録媒体との衝突で記録媒体表面に傷が入りにくくすると
ともに、たとえ媒体表面に傷が入ったとしても再生時に
エラーとならない程度の傷となるようにした光記録媒体
を提供することにある。

【００１２】更に、本発明の別の目的は、エバネッセン
ト光を利用して情報の記録または再生を良好に行わせる
ために、媒体の構造や媒体との位置関係を適正に調整さ
せた光記録媒体を提供することにある。

【００１３】また、本発明は、光ヘッドと記録媒体との
衝突で記録媒体表面に傷が入りにくくするとともに、た
とえ媒体表面に傷が入ったとしても再生時にエラーとな
らない程度の傷となるようにした光ヘッド及びそれを用
いた光記録媒体のための記録再生装置を提供することに
ある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様に従
えば、基板上に記録層を有する光記録媒体において、基
板と反対側の最上層に自己潤滑性を有する固体保護層を
備え、自己潤滑性を有する固体保護層の側から記録光ま
たは再生光を入射させることを特徴とする光記録媒体が
提供される。

【００１５】本発明の光記録媒体は、基板上に反射層、
第１誘電体層、記録層、第２誘電体層を有する構成にす
ることができ、光ヘッドと対向する第２誘電体層上には
自己潤滑性を有する固体保護層が積層されている。これ
により、光ヘッドの浮動位置が変動して光記録媒体表面
上を摺動しても、光ヘッドが記録媒体表面上を滑るため
該表面で引っかかることがなくなり摺動傷が生じにくく
なる。また、自己潤滑性を有する保護膜は層状に剥離し
やすいため、光ヘッドが記録媒体と激しく衝突（摺動）
しても、まず保護膜が層状に剥離することで光ヘッドや
第２誘電体層に鋭利な傷が発生することが防止される。
従って、光記録媒体の再生光照射側表面の傷が原因とな
る再生信号のエラー、欠陥を抑制することができる。

【００１６】本発明の第２の態様に従えば、浮上型スラ
イダ内に固体イマージョンレンズを装着し且つ光記録媒
体を記録または再生するための光ヘッドにおいて、少な
くとも上記浮上型スライダの光記録媒体と対向する面
に、自己潤滑性を有する固体保護層が形成されてなるこ
とを特徴とする光ヘッドが提供される。

【００１７】本発明の光ヘッドは、少なくとも浮上型ス
ライダの光記録媒体と対向する面上に自己潤滑性を有す
る固体保護層を有する。これにより、光ヘッドの浮動位
置が変動して光ヘッドが光記録媒体表面上に接触して
も、光ヘッドが記録媒体表面上を滑るため該表面で引っ
かかることがなくなり光記録媒体表面または光ヘッドの
摺動面に摺動傷が生じにくくなる。また、自己潤滑性を
有する保護膜は層状に剥離しやすいため、激しく光ヘッ
ドと記録媒体が摺動しても、まず保護膜が層状に剥離す
ることで光ヘッドや光記録媒体表面に鋭利な傷が発生す
ることが抑制される。従って、光ヘッドや光記録媒体の
再生光照射側表面の傷が原因となる再生信号のエラー、
欠陥が減少する。

【００１８】本発明において「自己潤滑性を有する」と
は、例えば、グラファイトや二硫化モリブデンのよう
に、材料自体が単独で潤滑性を有することを意味する。
本発明の光記録媒体及び光ヘッドに形成される自己潤滑
性を有する保護膜を構成する物質としては、カーボン
膜、二硫化モリブデン、酸化鉛、酸化カドニウム、酸化
ボロン等の無機物、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ
エチレン、ナイロンなどの高分子化合物等を用いること
ができる。このうち、光記録媒体の記録膜が通常スパッ
タなどの物理的真空成膜法で形成されることから、保護
膜も同様に物理的真空成膜法で成膜しやすいものが望ま
しい。また、保護膜は記録再生時にレーザー光を減衰さ
せることなく透過させることが望ましいことから、消衰
係数が小さいカーボン膜またはダイヤモンドライクカー
ボン膜が好ましい。

【００１９】本発明の光記録媒体は、固体イマージョン
レンズを搭載した光ヘッドを用い、固体イマージョンレ
ンズから滲み出るエバネッセント光を利用して記録また
は再生を行うことができる。本発明では、エバネッセン
ト光を利用した光記録媒体として、エバネッセント光の
伝播経路に応じて以下に示すような２つのタイプの光記
録媒体に分けられる。第１のタイプの光記録媒体とし
て、下記条件式（１）を満足する自己潤滑性を有する保
護膜を、基板と反対側の最上層に形成させたことを特徴
とする光記録媒体にすることができる。

【００２０】

【数１】１≦ｎ₀ｓｉｎθ＜ｎ・・・・・・・・・・・・・・・（１）ここで、ｎ₀は固体イマージョンレンズの屈折率、ｎは
自己潤滑性を有する保護膜の屈折率、θは固体イマージ
ョンレンズの光射出面に対する光の入射角である。すな
わち、図２に示すように、固体イマージョンレンズ内に
入射した光が固体イマージョンレンズの光射出面に対し
て入射角θをなしている場合に、上記条件式（１）の１
≦ｎ₀ｓｉｎθの関係を満足することにより、固体イマ
ージョンレンズの光射出面と空気層との界面で光の全反
射が起こるとともに、エバネッセント光が光射出面から
空気層側に滲み出る。エバネッセント光は空気層を伝播
して光記録媒体の保護層の表面に到達する。ここで、上
記条件（１）のｎ₀ｓｉｎθ＜ｎを満足しているので、
保護層表面に到達したエバネッセント光は通常の光とな
って保護層内を伝播する。そのため、保護層の膜厚にか
かわらずヘッドの浮上量（空気層の厚み）をエバネッセ
ント光の減衰距離以内にすればよい。

【００２１】第２のタイプの光記録媒体として、下記条
件式（２）、（３）を満足する自己潤滑性を有する保護
膜を基板と反対側の最上層に形成させたことを特徴とす
る光記録媒体にすることができる。

【００２２】

【数２】ｎ≦ｎ₀ｓｉｎθ・・・・・・・・・・・・・・（２）ｔ≦（λ−４ｈ）／４ｎ・・・・・・・・・・・（３）ここで、ｎ₀は固体イマージョンレンズの屈折率、ｎは
自己潤滑性を有する保護膜の屈折率、θは固体イマージ
ョンレンズの光射出面に対する光の入射角、λは光源の
波長、ｈは固体イマージョンレンズの光射出面と保護膜
表面との距離である。自己潤滑性を有する保護膜の屈折
率ｎは１≦ｎであるので、上記条件式（２）において１
≦ｎ₀ｓｉｎθを満足する。それゆえ、図２に示すよう
に、固体イマージョンレンズ内に入射した光が固体イマ
ージョンレンズの光射出面に対して入射角θをなしてい
る場合に、固体イマージョンレンズの光射出面と空気層
との界面で光の全反射が起こるとともに、エバネッセン
ト光が光射出面から空気層側に滲み出る。エバネッセン
ト光は空気層を伝播して光記録媒体の保護層の表面に到
達する。ここで、上記条件（２）のｎ≦ｎ₀ｓｉｎθを
満足するため、空気層と保護膜表面との界面で全反射条
件が成立し、再びエバネッセント光が空気層と保護膜表
面との界面から保護膜側に滲み出る。ここで、固体イマ
ージョンレンズの光射出面から保護膜の底面までエバネ
ッセント光を伝播させるためには、それらの間の光路長
（ｈ＋ｎｔ）をエバネッセント光の減衰距離、すなわ
ち、光の波長の１／４以下にする必要がある。第２のタ
イプの光記録媒体は上記条件式（３）を満足しているの
で、エバネッセント光は保護膜内を伝播して保護膜の底
面まで到達する。その後は通常の光となって記録層に到
達して情報の記録または再生が行われる。

【００２３】このように、固体イマージョンレンズとエ
バネッセント光を用いて情報の記録または再生を行う場
合、使用する固体イマージョンレンズの屈折率や保護層
の材質などによって、第１のタイプの光記録媒体を利用
するか第２のタイプの光記録媒体を利用するかを適宜選
択することができる。例えば、超半球状の固体イマージ
ョンレンズは半球状の固体イマージョンレンズと比較し
て、固体イマージョンレンズの表面に入射させた光の角
度よりも一層大きな角度で光射出面に集光させることが
できるので、ＮＡが一層大きくなり、その結果スポット
サイズはより小さくなる。このため、超半球状の固体イ
マージョンレンズを用いれば半球状の固体イマージョン
レンズを用いた場合よりも小さな微小記録マークを形成
させることができ、より高密度記録が可能となる。しか
しながら、入射角θが大きくなることに伴って上記条件
式（１）を満足する固体保護層の材料の選定が困難にな
ってくる。したがって、超半球状の固体イマージョンレ
ンズを用いて高密度記録及びその再生を行うための光記
録媒体としては、第２のタイプの光記録媒体が好適であ
る。

【００２４】また、本発明の光記録媒体においては、自
己潤滑性を有する保護膜とこの保護膜に接する第２誘電
体層の屈折率が大きく異なると、両者の界面でレーザー
光が反射されて有効にレーザー光が利用されないため、
保護膜の屈折率は第２誘電体層の屈折率との差の絶対値
が０．５以内にすることが望ましい。また、保護膜の消
衰係数は、レーザー光の減衰を抑制するため第２誘電体
層の消衰係数との差の絶対値が０．２以内にすることが
望ましい。

【００２５】また、本発明の光記録媒体において、更に
摺動性を向上させるという理由から自己潤滑性を有する
保護膜上に更に潤滑層を形成させることができる。例え
ば、シリコン系の潤滑剤からなる層を１ｎｍ〜５ｎｍの
膜厚で形成させてもよい。

【００２６】本発明の光記録媒体及び光ヘッドにおいて
は、自己潤滑性を有する保護膜としてカーボン膜を用い
る場合には、カーボン膜に水素、窒素、フッ素などを含
有させることによって膜質の硬度及び光学特性を制御し
てもよい。自己潤滑性を有する保護膜の膜厚は、５ｎｍ
以上５０ｎｍ以内とすることが望ましい、５ｎｍ未満で
は十分な摺動特性を得ることが困難である。摺動特性に
関して保護膜の膜厚の上限はないが、厚いと光学的な損
失の原因となり得るので、自己潤滑性を有する保護膜の
膜厚の上限は５０ｎｍとすることが望ましい。

【００２７】光ヘッドに自己潤滑性を有する保護膜を設
ける場合には、光記録媒体と対向し且つ摺動する可能性
のある部分にのみ形成すれば十分である。固体イマージ
ョンレンズ部に保護膜が形成されないならば、光ヘッド
に設ける自己潤滑性を有する保護膜は、光透過性は問わ
ない。逆に、固体イマージョンレンズ部にも自己潤滑性
を有する保護膜を形成する場合には、前記記録媒体の最
上層に形成される自己潤滑性を有する保護膜と同様に光
透過性材料を用いることが望ましい。

【００２８】本発明の光記録媒体は、ＣＤ、ＣＤ−ＲＯ
Ｍ、ＤＶＤ−ＲＯＭのように、凹凸ピットや穴の有無、
結晶層とアモルファス相との反射率の違いから情報を再
生する再生専用の光記録媒体や、ＣＤ−Ｒのように有機
色素層やＴｅ化合物などの無機物層にレーザーで穴を空
け記録する追記型光記録媒体や、ＴｂＦｅＣｏやＤｙＦ
ｅＣｏなどの希土類金属と遷移金属の合金層を記録層と
する光磁気記録媒体及び、Ｇｅ合金やＩｎ合金等の記録
膜を光照射により結晶相と非晶質相と間で可逆的に変化
させることができる相変化型光記録媒体のような書換え
型光記録媒体など何れの光記録媒体をも対象とする。

【００２９】本発明の光記録媒体で用いられる基板は、
ポリカーボネート、ポリオレフィン、ポリメチルアクリ
レート、ポリスチレン、ナイロンなどの樹脂のほかに、
ガラス、シリコン、熱酸化シリコン、Ａｌ、Ｔｉなどの
金属製ディスク基板を用いることができる。

【００３０】本発明では自己潤滑性を有する保護層を、
少なくとも光ヘッドの光記録媒体と対向する面かあるい
は光記録媒体の光ヘッドと対向する面のいずれかに形成
することにより本発明の効果を奏することができるが、
自己潤滑性を有する保護膜を光ヘッド及び記録媒体の互
いに対向する面に形成することが一層好ましい。

【００３１】本発明の第３の態様に従えば、光ヘッドを
備え、光記録媒体に情報を記録または再生するための光
記録装置において、上記光ヘッドが、浮上型スライダと
該浮上型スライダに装着された固体イマージョンレンズ
とを有し、少なくとも上記浮上型スライダの光記録媒体
と対向する面に自己潤滑性を有する固体保護層が形成さ
れてなることを特徴とする光記録装置が提供される。

【００３２】本発明の光記録装置は、少なくとも浮上型
スライダの光記録媒体と対向する面に自己潤滑性を有す
る固体保護層が形成された光ヘッドを備えるため、光ヘ
ッドの浮動位置が変動して光ヘッドが光記録媒体表面上
で摺動しても、光記録媒体表面または光ヘッドの摺動面
に摺動傷が生じにくい。従って、本発明の光記録装置を
用いて光記録媒体を再生すれば、再生信号のエラーが極
めて少なく、良好なＣ／Ｎが得られる。

【００３３】本発明の光記録装置は、光磁気記録媒体を
記録再生するための装置にすることができ、この場合、
上記光ヘッドが磁気コイル等の磁界印加手段を備える。

【００３４】本発明の光ヘッド及び光記録装置におい
て、上記固体イマージョンレンズは、半球状の固体イマ
ージョンレンズまたは超半球状の固体イマージョンレン
ズにすることができる。本発明の光記録装置で記録また
は再生される光記録媒体としては、基板上に、反射層、
第１誘電体層、記録層、第２誘電体層を順次有し且つ第
２誘電体側から情報記録または再生光が照射される光記
録媒体であって、上記第２誘電体層上に自己潤滑性を有
する固体保護層が形成されてなる光記録媒体であること
が好ましい。これにより、光ヘッドの浮動位置が変動し
て光ヘッドが光記録媒体表面上で摺動しても、光記録媒
体表面または光ヘッドの摺動面に摺動傷が生じることが
一層抑制される。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の光記録媒体、光ヘ
ッド及び光記録装置の実施の形態及び実施例について図
面を用いて具体的に説明する。

【００３６】実施例１図４は、本発明の光記録媒体の一具体例を示す光磁気記
録媒体４００の断面図である。この構造の光磁気記録媒
体４００は、以下に示した方法で作製した。最初に、射
出圧縮成形機でポリカーボネートを射出成形してポリカ
ーボネート樹脂ディスク基板５６を作製した。基板５６
は、直径９５ｍｍ、厚さ１．２ｍｍ、内径２５ｍｍであ
った。次いで、基板５６上に、インライン式ＤＣマグネ
トロンスパッタ装置を用いて、ＡｌＴｉ合金反射層５５
を５０ｎｍ、窒化シリコン層５４（第１誘電体層）を３
０ｎｍ、ＴｂＦｅＣｏ合金層５３（記録層）を２５ｎ
ｍ、再度、窒化シリコン層５２（第２誘電体層）を８０
ｎｍの膜厚でそれぞれ成膜した。次いで、同マグネトロ
ンスパッタ装置にて、自己潤滑性を有する保護膜として
ダイヤモンドライクカーボン層５１を２０ｎｍの膜厚で
成膜した。

【００３７】上記スパッタリングにおいて、ＡｌＴｉ反
射膜５５は、Ｔｉ含有量が２ａｔ％のＡｌＴｉ合金ター
ゲットを用い、スパッタガスとしてのＡｒガスを流量８
０ｓｃｃｍ（真空度１．２Ｐａ）で流し、投入パワー２
ｋＷで成膜した。窒化シリコン層５４，５２（第１及び
第２誘電体層）は、シリコンターゲットを用い、Ａｒ−
Ｎ２混合ガス（混合比１：１）を８０ｓｃｃｍ（真
空度１．２Ｐａ）の流量で用いて、投入パワー２ｋＷで
成膜した。ＴｂＦｅＣｏ合金層５３は、Ｔｂ₂₃Ｆｅ₆₇Ｃ
ｏ₁₀（ａｔ％）合金ターゲットを用い、Ａｒガスを流量
１００ｓｃｃｍ（真空度１．５Ｐａ）で流して、投入パ
ワー５００Ｗの条件で成膜した。ダイヤモンドライクカ
ーボン層５１は、アモルファスカーボンターゲットを用
い、Ａｒ−メタン混合ガス（混合比１：１）をガス流量
３００ｓｃｃｍ（真空度５Ｐａ）で流し、投入パワー２
ｋＷで成膜した。このとき、基板側に２００ＷのＲＦ電
力を印加して基板側にも負のバイアス電圧が印加され、
バイアススパッタとなるようにした。

【００３８】実施例２図５に本発明の光ヘッド５００の一具体例の要部構成断
面図を示す。光ヘッド５００は、浮上型スライダ１０
２、固体イマージョンレンズ１００、磁気コイル１０４
及び浮上型スライダ１０２の光記録媒体との対向面（摺
動面）に形成された保護膜１０５から主に構成されてい
る。光ヘッド５００は、以下に示したような方法で作製
することができる。最初に、浮上型スライダ１０２を作
製するために、Ａｌ₂Ｏ₃ −ＴｉＣ複合セラミックウェ
ハを用意し、その片方の面に、図６に示すような凹凸パ
ターンの摺動面を形成する。このパターンは機械加工も
しくはエッチングで形成される。

【００３９】パターン形成後、余分な部分を切断して光
ヘッドのスライダ１０２を切り出し、パターン形成面に
光磁気記録媒体上に保護膜を形成したのと同様にスパッ
タリングによりダイヤモンドライクカーボン保護膜１０
５を１０ｎｍの厚みで成膜する。次に、固体イマージョ
ンレンズ１００と記録磁界発生用コイル１０４を設置す
るための穴を機械加工もしくはエッチングで形成し、そ
こに固体イマージョンレンズ１００と磁気コイル１０４
を図５に示すように設置する。ここに、固体イマージョ
ンレンズ１００は超半球状の固体イマージョンレンズで
ある。

【００４０】図６に示した摺動面のパターンは光ヘッド
の浮上特性が安定するよう、空気流を制御するために設
ける。このようなパターンは種々検討されており、光ヘ
ッドの大きさと浮上量にあわせて設計可能である。この
実施例では、スライダ１０２が負圧正圧併用型スライダ
となるようにした。図６のスライダ１０２の底面図、左
側側面図及びＡＡ線断面図からわかるように、スライダ
１０２の底面８１には底面８１からわずかに突出し（図
６では紙面前方に突出）且つ図中矢印で示したディスク
（光磁気記録媒体）進行方向に延在する凸部８０が形成
されている。凸部８０はディスク進行方向に沿ってその
幅（ディスク進行方向と直交する方向の長さ）が変化す
るように形成されている。スライダ１０２に対してディ
スク（光磁気記録媒体）がターンテーブル等により回転
駆動したときに発生する気流は矢印Ｂに示すように凸部
８０の間を通り抜ける。この際、気流は凸部８０の幅広
（ＡＡ線上）部分８０ａに挟まれた狭い領域で圧縮され
た後、幅狭部分８０ｂに挟まれた幅の広い領域に拡散す
るためにその圧力が低下する。この低下した圧力（負
圧）によりスライダ１０２にディスクからの吸引力が働
き、一方で、スライダ１０２には原盤の回転による浮力
が作用し、これらの力がバランスすることによりスライ
ダ１０２はディスクとの間で一定の間隔を維持すること
ができる。負圧正圧併用型スライダの詳細は、例えば、
「ＭＲ／ＧＭＲヘッド技術」、第１１２頁（トリケップ
ス出版）に記載の磁気ディスクへの適用例の欄を参照す
ることができる。

【００４１】実施例１及び実施例２で作製した光磁気記
録媒体４００及び光ヘッド５００は、図７に示すように
光記録装置に組み込まれる。光ヘッド３２は、ロータリ
ーアクチュエータ３７に取り付けられたスウィングアー
ム３５の先端に組み込まれる。光ヘッド５００内の固体
イマージョンレンズにレーザー光を絞り込む対物レンズ
３４は、同じロータリーアクチュエータ３７に組み込ま
れ、且つスウィングアーム３５と機械的に固定され一緒
に動くアーム３６上に固定されている。スウィングアー
ム３５及びアーム３６は磁気ディスク装置の場合と同様
に板バネ等により構成することができる。対物レンズ３
４は、図８に示すように、常に、固体イマージョンレン
ズ１００の底面上に焦点を結ぶよう、対物レンズ３４と
固体イマージョンレンズ１００の間隔を一定に維持する
ためのコイル４４と磁石４５を用いた駆動機構（ボイス
コイル型アクチュエータ）が設けられている。レーザー
光４６を常に固体イマージョンレンズの底面上で焦点を
結ばせるためのフォーカシングサーボは、通常の光記憶
装置で常にレーザー光を光ディスク面上に焦点を合わせ
続けるために用いるフォーカシングサーボと同じ方法を
用いて、固体イマージョンレンズからの戻り光に対し
て、非点収差法、ナイフエッジ法などでフォーカスエラ
ー信号を作り出し、この信号を元にフォーカシングサー
ボをかければ良い。

【００４２】記録または再生時に固体イマージョンレン
ズ１００を光磁気記録媒体４００の表面に対して所定の
間隔すなわち４０ｎｍ〜６０ｎｍで隔離させて、エバネ
ッセント光を用いて記録または再生を行わせるために
は、浮上型スライダ５００の底面（８１）の高さ位置を
制御すればよい。この制御は、例えば、磁気ディスク装
置の場合と同様に、浮上型スライダ５００の底面に形成
されたパターン（図６参照）及びディスクの回転数、デ
ィスクとスライダのなす角（スキュー）等をスライダが
ディスク表面に対して上記所定の間隔（浮上量）になる
ように設計または調整することによって実現することが
できる。

【００４３】本発明の光記録装置の全体の光学系の具体
例を図９に示す。図９は光磁気記録装置の場合の光学系
である。図９中、固定光学系については通常の光磁気記
録媒体を記録・再生するためのドライブの同様の光学系
を使用することができる。すなわち、レーザー光源５７
から射出されたレーザー光は、レンズ５８、プリズム５
９ａ，５９ｂ、ビームスプリッタ６０を通過し、ミラー
７０，６９で反射された後、対物レンズ７１に入射し、
さらに固体イマージョンレンズ１００で集光されて固体
イマージョンレンズ１００の底面に焦点を結ぶ。固体イ
マージョンレンズ１００の底面から滲み出した光は光磁
気記録媒体４００の記録層に達して記録信号に応じた磁
気マークを形成する。なお、記録の際、光磁気記録媒体
４００には記録用磁界が印加されており、光変調方式、
磁界変調方式、光磁界変調方式のいずれの方式でも記録
は可能である。

【００４４】再生時に、光磁気記録媒体４００からの反
射光は、ミラー６９，７０で反射された後、ビームスプ
リッタ６０で反射されてビームスプリッタ６１で２つの
ビームスプリッタ６４，６５に向かう光に分割される。
ビームスプリッタ６５に入射した反射光はさらにそこで
分割されてフォーカシング検出用検出器６８ｃとトラッ
キング信号検出用検出器６８ｄにそれぞれ入射する。ま
た、１／２波長板６３及びレンズ６７を通過してビーム
スプリッタ６４に入射した反射光は、互いに直交する偏
光成分の光を検出する光検出器６８ａ，６８ｂに入射
し、再生信号を検出する。

【００４５】相変化方式、追記方式を用いる場合は、相
変化型光記録媒体及びＣＤ−Ｒ等の追記型光記録媒体を
それぞれ記録・再生するためのドライブの同様の光学系
を使用することができ、これらの光学系では信号検出の
ための検出器が１個で足り、検出器の直前のビームスプ
リッター６４も不要となる。

【００４６】比較例１実施例１において窒化珪素膜５２上に保護膜５１を形成
しなかった以外は、実施例１と同様にして光磁気記録媒
体を作製した。

【００４７】比較例２実施例２において浮上型スライダ１０２の底面、すなわ
ち、光記録媒体と対向する面には保護膜１０５を形成し
なかった以外は、実施例２と同様にして光ヘッドを作製
した。

【００４８】［光磁気信号の再生エラーの測定］光磁気
記録媒体の窒化珪素膜５２（第２誘電体層）及び光ヘッ
ドのスライダ底面上に形成した自己潤滑性を有する保護
膜の効果を以下に示す方法で調べた。光記録装置に、表
１に示す組み合わせで光磁気記録媒体と光ヘッドを上述
した光記録装置に組み込み、半径２５ｍｍから半径４５
ｍｍの間でランダムに１００，０００回光ヘッドをシー
クさせた。表１中、実施例１で作製した光磁気記録媒体
をＭ１、実施例２で作製した光ヘッドをＨ１でそれぞれ
表し、比較例１で作製した光磁気記録媒体をＭ２、実施
例２で作製した光ヘッドをＨ２でそれぞれ表した。光記
録媒体上には、予めレーザー測長儀とフォーマッタを組
み合わせて、使用する光ヘッドで位置決めのためのアド
レス信号用パターンとトラッキングサーボを行うための
サンプルサーボ用パターンをトラックピッチ０．８μ
ｍ、最短マーク長０．４μｍで書き込んでおいた。光磁
気記録媒体の回転数は４５００ｒｐｍとした。この時の
光ヘッドの浮上量は光磁気記録媒体表面から５０ｎｍと
なった。

【００４９】

【表１】光記録媒体光ヘッド実施例３Ｍ１Ｈ１実施例４Ｍ１Ｈ２実施例５Ｍ２Ｈ１実施例６Ｍ２Ｈ２

【００５０】各光ヘッドと媒体の組み合わせについて、
光ヘッドの１００，０００回ランダムシーク前後での欠
陥個数を測定した。欠陥は、半径３０から４０ｍｍのあ
いだの全トラック（１２５００トラック）、マーク長１
μｍの比較的長いパターンを書き込み、再生したときの
光磁気信号で振幅が６５％以下（エラー信号）となる部
分を欠陥とした。測定中の周りの環境からの塵埃が媒体
上に付着する欠陥となることを防ぐため、測定はクリー
ン度１００の測定室の中で、さらに測定に使用した光記
録装置自体をクリーンブースで覆い欠陥測定を行った。

【００５１】

【表２】欠陥の個数ランダムシーク前ランダムシーク後欠陥の増加率実施例３１２５０１５００１．２０実施例４１４００１８５０１．３２実施例５１１５０１７８０１．５４実施例６１２５０３２４０２．５９

【００５２】表中、欠陥の増加率は、次の式に従って求
めた。欠陥の増加率＝（ランダムシーク後の欠陥の個
数）／（ランダムシーク前の欠陥の個数）。表２から分
かるように保護膜を設けなかった光ヘッドと光磁気記録
媒体の組み合わせで欠陥の増加率が最も高い。欠陥が発
生した箇所に相当する光磁気記録媒体の光照射側表面部
分を光学顕微鏡及び走査形電子顕微鏡（ＳＥＭ）で調べ
たところ、欠陥個所の９０％以上で幅数μｍから数十μ
ｍに擦ったような跡が観察された。また、実施例６の光
ヘッドと光磁気記録媒体の組合せで記録再生した場合
に、発生した傷が最も角が鋭利で鋭かった。また、１０
０，０００回シーク後の光ヘッドの摺動面を光学顕微鏡
で観察したところ、実施例６で用いた光ヘッドでは極め
て多くの傷が観察された。それに対し、他の実施例３，
４，５では傷はほとんど観察されなかった。

【００５３】この結果より、光磁気記録媒体あるいは光
ヘッドの光磁気記録媒体に対向する面の何れか少なくと
も一方にカ−ボン等の自己潤滑性を有する保護膜を設け
ることで、光ヘッドのシーク時の移動にともなうヘッド
の姿勢変動によるヘッドと光磁気記録媒体のイレギュラ
ーな摺動で生じる傷の発生を抑制し、傷の発生に伴う欠
陥を低減することができることが分かる。

【００５４】実施例７エバネッセント光を利用した本発明の第１のタイプの光
磁気記録媒体、すなわち、自己潤滑性を有する保護膜内
にエバネッセント光を伝播させることなく情報の記録ま
たは再生を行う光磁気記録媒体を製造した。該光磁気記
録媒体の製造においては、自己潤滑性を有する保護膜と
して屈折率ｎ＝１．８のカーボン膜を膜厚１０ｎｍで成
膜し、更に、潤滑層としてシリコン系潤滑剤を膜厚２ｎ
ｍで該保護膜上に成膜した以外は実施例１と同様の方法
で光磁気記録媒体を作製した。

【００５５】本実施例で作製した光記録媒体に情報を記
録または再生する光磁気記録装置として、実施例２で用
いた光磁気記録装置における超半球状の固体イマージョ
ンレンズ１００を図２（ａ）に示したような半球状の固
体イマージョンレンズ１に置き換えた光磁気記録装置が
好適である。半球状の固体イマージョンレンズ１は、例
えば、直径１ｍｍ、屈折率ｎ₀が１．９のフリントガラ
ス製にすることができる。記録または再生光としては波
長６８０ｎｍのレーザー光を用い、固体イマージョンレ
ンズの底面に対して約５３°の入射角で入射させること
ができる。このとき、固体イマージョンレンズの底面か
ら滲み出たエバネッセント光は自己潤滑性を有する保護
膜に到達するが、自己潤滑性を有する保護膜の屈折率は
１．８であってｎ₀ｓｉｎ５３°＝１．５よりも大き
い。すなわち、上記条件式（１）を満足するため、エバ
ネッセント光は保護膜内では通常の光として伝播し、第
２誘電体層を伝播して記録層に達する。この際、エバネ
ッセント光によるスポットサイズは通常の対物レンズを
用いた場合に比べて、１／１．９に縮小されているので
微小な磁気マークを再生することができる。

【００５６】実施例８エバネッセント光を利用した本発明の第２のタイプの光
磁気記録媒体、すなわち、自己潤滑性を有する保護膜内
にエバネッセント光を伝播させて情報の記録または再生
を行う光磁気記録媒体を製造した。該光磁気記録媒体の
製造においては、実施例１で自己潤滑性を有する保護膜
として屈折率ｎ＝１．５のカーボン膜を膜厚１０ｎｍで
成膜し、更に、潤滑層としてシリコン系潤滑剤を膜厚２
ｎｍで該保護膜上に成膜した以外は同様の方法で光磁気
記録媒体を作製した。

【００５７】本実施例においては、実施例２で示した光
磁気記録装置を使って、光磁気記録媒体に情報を記録ま
たは再生させることができる。この光磁気記録装置で使
用されている固体イマージョンレンズは、図２（ｂ）に
示したような超半球状の固体イマージョンレンズ２であ
り、直径ｒ＝１ｍｍの球の一部を切断して形成された屈
折率１．９のフリントガラス製の固体イマージョンレン
ズである。固体イマージョンレンズ２の切断面、すなわ
ち固体イマージョンレンズの光射出面は入射光の光軸に
対して垂直に切断されており、切断位置は球の中心から
約０．２６ｍｍの距離である。光磁気記録媒体に情報を
記録するために、レーザー光として波長６８０ｎｍのレ
ーザー光を、固体イマージョンレンズの光射出面に対す
る入射角が約６５°をなすように入射させる。固体イマ
ージョンレンズの光射出面と光磁気記録媒体の最上層面
との間隔（浮上高さ）は１００ｎｍである。このとき、
固体イマージョンレンズの底面から滲み出たエバネッセ
ント光は自己潤滑性を有する保護膜に到達する。自己潤
滑性を有する保護膜の屈折率ｎは１．５であってｎ₀ｓ
ｉｎ６５°＝１．７よりも小さいので、前記条件式
（２）を満足し、エバネッセント光は保護膜内を伝播し
て第２誘電体層に到達する。第２誘電体層の屈折率は通
常２．０程度であるので、全反射条件を満足せず通常の
光となって第２誘電体層を伝播して記録層に達する。こ
こでは、超半球状の固体イマージョンレンズを使ってい
るので、記録媒体上のスポット径を空気中で得られる最
小スポット径よりも１／３．６１倍の大きさにすること
ができる。例えば、記録パワー５ｍＷのレーザー光を用
いて、光磁界変調方式により上記光磁気記録媒体に記録
することにより、０．２μｍのマーク長、トラックピッ
チ０．４μｍの磁気マークを記録層上に形成することが
できる。

【００５８】以上、本発明の光記録媒体及び光ヘッド並
びに光記録装置を、光磁気記録媒体を記録再生する場合
を例に挙げて具体的に説明してきたが、本発明の光記録
媒体は光磁気記録媒体に限定されず、相変化型の光記録
媒体や有機色素を記録層に持つ追記型の光記録媒体、あ
るいは再生専用光記録媒体等、任意の光記録媒体とする
ことができる。すなわち、本発明の対象とする光記録媒
体は、光照射により情報が記録または再生される光記録
媒体において、光記録媒体の光が照射される側の最上層
に自己潤滑性を有する固体保護層が形成されてなること
を特徴とする光記録媒体である。通常の光記録媒体は基
板上に保護層等を介してあるいは直接記録層を備えた構
造を有し、基板側から記録または再生光が照射される
が、本発明に従う光記録媒体では基板と反対側の最上層
に自己潤滑性を有する固体保護層が形成され、該固体保
護層の側から記録または再生層の光が照射される。

【００５９】エバネッセント光を用いる第１、第２のタ
イプの光磁気記録媒体の具体例を実施例７及び８で説明
してきたが、自己潤滑性を有する保護層の材料や厚みな
どは条件式（１）または（２）及び（３）を満足する範
囲内で種々のものに変更し得る。また、光磁気記録媒体
の層構成を変更することも可能であり、磁性層や非磁性
層などを各層の間に設けてもよい。例えば、上記実施例
の光磁気記録媒体を、磁気超解像再生用または磁気拡大
再生用の光磁気記録媒体として用いるために、再生層や
中間層などの磁性層や非磁性層などの補助層を適宜追加
することができる。

【００６０】また、上記実施例では、光ヘッドとして光
磁気記録媒体を記録再生のための光ヘッドを例を挙げて
説明してきたが、光ヘッドの構成は図に示した構造に限
定されず種々の構造を採用し得る。例えば、相変化型光
記録媒体、色素を記録層に含む追記型光記録媒体及び再
生専用光記録媒体を記録または再生する場合には、磁界
印加手段として磁気コイルは不要となる。

【００６１】

【発明の効果】本発明では、光記録媒体若しくは光ヘッ
ドの光記録媒体に対向する面の何れか少なくとも一方に
カ−ボン等の自己潤滑性を有する保護膜を設けること
で、光ヘッドのシーク時の移動にともなうヘッドの姿勢
変動によるヘッドと媒体のイレギュラーな摺動で生じる
傷の発生を抑制し、傷の発生に伴う再生エラーを低減す
ることができる。それゆえ、本発明の光ヘッドを組み込
んだ光記録装置は、光記録媒体の高密度記録及びその再
生に好適である。

【００６２】また、本発明の光記録媒体は、固体イマー
ジョンレンズの屈折率、レーザー光の入射角及び波長な
どに基づく条件から自己潤滑性を有する保護膜の膜厚や
材質が適宜調整されるので、エバネッセント光を利用し
て情報の記録または再生を確実に行うことができる。し
たがって、本発明の光記録媒体は固体イマージョンレン
ズを用いて記録再生することにより超高密度記録及びそ
の再生が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】レンズによるレーザー光の絞り込みを説明する
図である。

【図２】固体イマージョンレンズを使用したときの光路
を説明する図であり、（a）は半球状の固体イマージョ
ンレンズを、(b) は超半球状の固体イマージョンレンズ
をそれぞれ示す。

【図３】固体イマージョンレンズとエバネッセント光を
利用した記録再生方式で用いるスライダー型光ヘッドの
構造を説明する概略断面図である。

【図４】本発明の光記録媒体の一具体例の概略断面であ
る。

【図５】本発明の実施例２で作製した光磁気ヘッドの概
略断面図である。

【図６】実施例２で作製した光ヘッドのスライダ底面に
形成する凹凸パターンを示す図である。

【図７】本発明の光記録装置の概略構造を示す図であ
る。

【図８】図７の光記録装置の対物レンズ部分の構造を拡
大した図である。

【図９】本発明の実施例の光記録装置で使用した光学系
を説明する図である。

【符号の説明】

１半球状の固体イマージョンレンズ２超半球状の固体イマージョンレンズ３レーザー光４光記録媒体３３，６９ミラー３４，７１対物レンズ３５，３６スイングアーム３７ロータリーアクチュエータ３８光学系３９ディスク回転軸４０モータ４１光磁気ディスク４３対物レンズ支持体４４アクチュエータコイル４５アクチュエータ用永久磁石４６レーザー光５７レーザー光源５９ａ，ｂプリズム６０，６１，６４ビームスプリッタ６３１／２λ板６８ａ，ｂ光磁気信号検出器６９，７０ミラー８０スライダ底面７１対物レンズ７２，１００固体イマージョンレンズ１０２スライダ１０４磁気コイル１０５保護膜

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上に記録層を有する光記録媒体にお
いて、基板と反対側の最上層に自己潤滑性を有する固体保護層
を備え、自己潤滑性を有する固体保護層の側から記録光
または再生光を入射させることを特徴とする光記録媒
体。
【請求項２】基板上に、反射層、第１誘電体層、記録
層、第２誘電体層を順次有し、第２誘電体層上に上記自
己潤滑性を有する固体保護層が形成されてなることを特
徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項３】固体イマージョンレンズを搭載した光学
ヘッドを用い、エバネッセント光を利用して情報の記録
及び再生の少なくとも一方を行うことを特徴とする請求
項１または２に記載の光記録媒体。
【請求項４】上記固体イマージョンレンズの屈折率を
ｎ₀、上記固体イマージョンレンズの光射出面に対する
光の入射角をθ、上記自己潤滑性を有する固体保護層の
屈折率をｎとしたとき、１≦ｎ₀ｓｉｎθ＜ｎを満足することを特徴とする請求
項３に記載の光記録媒体。
【請求項５】上記固体イマージョンレンズの屈折率を
ｎ₀、上記固体イマージョンレンズの光射出面に対する
光の入射角をθ、上記固体イマージョンレンズの光射出
面と上記自己潤滑性を有する固体保護層の光入射面との
距離をｈ、光の波長をλ、上記自己潤滑性を有する固体
保護層の屈折率及び膜厚をそれぞれｎ及びｔとしたと
き、ｎ≦ｎ₀ｓｉｎθ、ｔ≦（λ−４ｈ）／４ｎを満足する
ことを特徴とする請求項３に記載の光記録媒体。
【請求項６】上記固体イマージョンレンズが超半球状
の固体イマージョンレンズであることを特徴とする請求
項５に記載の光記録媒体。
【請求項７】上記自己潤滑性を有する固体保護層は、
第２誘電体層の屈折率に対して差の絶対値が０．５以内
である屈折率及び第２誘電体層の消衰係数に対して差の
絶対値が０．２以内である消衰係数を有することを特徴
とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の光記録媒
体。
【請求項８】上記自己潤滑性を有する固体保護層の膜
厚が、５ｎｍ〜５０ｎｍであることを特徴とする請求項
１〜７のいずれか一項に記載の光記録媒体。
【請求項９】上記自己潤滑性を有する固体保護層が、
カーボンを主体とする材料から構成されていることを特
徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の光記録媒
体。
【請求項１０】上記カーボンを主体とする材料から構
成された自己潤滑性を有する固体保護層が、窒素、水素
及びフッ素からなる群から選ばれた少なくとも一種を含
むことを特徴とする請求項９に記載の光記録媒体。
【請求項１１】上記自己潤滑性を有する固体保護層
が、ダイヤモンドライクカーボン膜であることを特徴と
する請求項１〜１０のいずれか一項に記載の光記録媒
体。
【請求項１２】上記自己潤滑性を有する固体保護層上
にさらに別の潤滑層が形成されてなることを特徴とする
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の光記録媒体。
【請求項１３】光磁気記録媒体または相変化型光記録
媒体である請求項１〜１２のいずれか一項に記載の光記
録媒体。
【請求項１４】浮上型スライダ内に固体イマージョン
レンズを装着し且つ光記録媒体を記録または再生するた
めの光ヘッドにおいて、少なくとも上記浮上型スライダの光記録媒体と対向する
面に、自己潤滑性を有する固体保護層が形成されてなる
ことを特徴とする光ヘッド。
【請求項１５】上記自己潤滑性を有する固体保護層の
膜厚が、５ｎｍ〜５０ｎｍであることを特徴とする請求
項１４に記載の光ヘッド。
【請求項１６】上記自己潤滑性を有する固体保護層
が、カーボンを主体とする材料から構成されていること
を特徴とする請求項１４または１５に記載の光ヘッド。
【請求項１７】上記カーボンを主体とする材料から構
成された自己潤滑性を有する固体保護層が、窒素、水素
及びフッ素からなる群から選ばれた少なくとも一種を含
むことを特徴とする請求項１６に記載の光ヘッド。
【請求項１８】上記自己潤滑性を有する固体保護層
が、ダイヤモンドライクカーボン膜であることを特徴と
する請求項１４〜１７のいずれか一項に記載の光ヘッ
ド。
【請求項１９】上記自己潤滑性を有する固体保護層上
にさらに別の潤滑層が形成されてなることを特徴とする
請求項１４〜１８のいずれか一項に記載の光ヘッド。
【請求項２０】さらに、記録または再生用の磁界を印
加するための磁気コイルを備えた請求項１４〜１９のい
ずれか一項に記載の光ヘッド。
【請求項２１】光ヘッドを備え、光記録媒体に情報を
記録または再生するための光記録装置において、上記光ヘッドが、浮上型スライダと該浮上型スライダに
装着された固体イマージョンレンズとを有し、少なくと
も上記浮上型スライダの光記録媒体と対向する面に自己
潤滑性を有する固体保護層が形成されてなることを特徴
とする光記録装置。
【請求項２２】上記光ヘッドが磁界印加手段を備え
て、光磁気記録媒体を記録再生することが可能であるこ
とを特徴とする請求項２１に記載の光記録装置。
【請求項２３】上記固体イマージョンレンズが、半球
状の固体イマージョンレンズまたは超半球状の固体イマ
ージョンレンズであることを特徴とする請求項２１また
は２２に記載の光記録装置。
【請求項２４】上記光記録媒体が、基板上に、反射
層、第１誘電体層、記録層、第２誘電体層を順次有し且
つ第２誘電体側から情報記録または再生光が照射される
光記録媒体であって、上記第２誘電体層上に自己潤滑性
を有する固体保護層が形成されてなる光記録媒体である
ことを特徴とする請求項２１〜２３のいずれか一項に記
載の光記録装置。