JPH03188153A - 熱硬化性組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、表面平滑性に優れた膜を形成し得る熱硬化性
組成物に関する。

（従来の技術） 従来より表示素子や固体撮像素子の劣化や損傷を防止す
るために、保護膜層を形成することが広く行われている
。保護膜層とは、表示素子の製造工程中に溶剤、酸、ア
ルカリ溶液等に浸漬処理する必要があったり、配線電極
層のスパッタリング処理による製膜時に表面に局部的に
高温がかかるため、これらの刺激によって素子が変質し
ないために設ける薄膜層で、通常これらの処理に対する
耐性の優れた有機膜が用いられている。このような保護
膜においては、基体又は下層への接着性が高く、塗膜が
平滑で強靭であること、透明であること、耐熱性および
耐光性が高く長期にわたって着色、黄変、白化等の変質
をしないこと、および耐水性、耐溶剤性、耐酸性、耐ア
ルカリ性等が優れること等の性能が要求される。

この様な要求を満たす保護膜を形成し得る材料としては
、例えば特開昭６０−２１７２３０号に開示されている
ような組成物が知られており、色分離フィルターを内蔵
したカラー液晶表示素子やカラー固体撮像素子の表面の
保護膜、素子表面の保護平坦化膜等として広く使用され
ている。

（発明が解決すべき問題点） しかし、表示素子の大型化および多面材は化に伴い保護
膜を形成すべき面積が広くなったために、これらの材料
を一般的な回転塗布法で塗布すると、微細なストリエー
ション、基板周辺または基板端部での塗り残し等が発生
する場合がでてきた。また、高密度化された薄膜トラン
ジスタを有する表示素子や固体憑像素子の表面は凹凸の
段差が比較的大きく、凹凸間隔が狭いために、回転塗布
時に中心から遠心方向の凸部の陰に塗布異常を生じ、平
坦化性が悪くなる場合がある。

したがって本発明は、大型でかつ凹凸の段差が比較的大
きい基板にも、通常の回転塗布法によって、欠陥がなく
表面平滑性に優れた保護膜を形成し得る熱硬化性組成物
を提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手段） 即ち本発明の熱硬化性組成物は、 （Ａ）下記式、 １ で表わされる構造単位を有する熱硬化性重合体および分
子末端にエポキシ基を有する熱硬化性化合物から成る群
より選択された少なくとも１種類の熱硬化性成分、 および、 （Ｂ）フッ素系界面活性剤およびアルキレングリコール
系界面活性剤から成る群より選択された少なくとも１種
類の界面活性剤成分、 を必須成分として含有しているものである。

Ａ　　　　　　〜 本発明の熱硬化性組成物において、熱硬化性成分は、前
記式（１）で表わされる構造単位を有する熱硬化性重合
体（ａ　−１）と、分子末端にエポキシ基を有する熱硬
化性化合物（ａ−２）から成る群より選択された少なく
とも一種である。

（ａ−１）熱硬化性重合体； この熱硬化性重合体（ａ　−１）は、前述した様な式（
Ｉ）で表わされる単位を有するものであり、この式（Ｉ
）において、Ｒ’の低級アルキル基としては、メチル基
、エチル基、プロピル基等を挙げることができ、Ｒ３と
してはメチレン基、エチレン基、プロピレン基、ペンタ
メチレン基、オクタメチレン基等の炭素数１〜８のアル
キレン基、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、プロ
ピルベンゼン等の炭素数１〜１０の芳香族化合物から水
素原子を２個除いた基を挙げることができる。

このような熱硬化性重合体としては、具体的には、アク
リル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチ
ルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−プロピルアクリル酸
グリシジル、α−ｎ−ブチルアクリル酸グリシジル、ア
クリル酸−３，４−エポキシブチル、メタクリル酸−３
，４−エポキシブチル、メタクリル酸−４，５−エポキ
シペンチル、アクリル酸−６，７−エポキシペンチル、
メタクリル酸−６，７−エポキシペンチル、α−エチル
アクリル酸−６，７−エポキシペンチル、Ｎ−［４−（
２，３−エポキシプロポキシ）−３，５−ジメチルベン
ジル１アクリルアミド、Ｎ　−［４−（２，３−エポキ
シプロポキシ）−３，５−ジメチルフェニルエチル１　
アクリルアミド、Ｎ−［４−（２，３−エポキシプロポ
キシ）−３，５−ジメチルフェニルプロピル１アクリル
アミド等の単量体から得られる熱硬化性重合体を例示す
ることができる。

勿論、これら単量体が単独で重合されたものであっても
よいし、２種以上の組み合わせで共重合されたものであ
ってもよい。

またこれらの単量体を、エポキシ基を有していない他の
単量体と共重合させて得られた熱硬化性重合体も使用す
ることができる。この様な他の単量体としては、例えば
アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エ
チル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタク
リル酸ブチル、メタクリル酸−２−エチルへキシル、ア
クリル酸フェニル、メタクリル酸フェニル等のアクリル
酸もしくはアクリル酸のエステルやスチレン、αメチル
スチレン、ｐ−メチルスチレン、ビニルナフタレン等の
ビニル芳香族化合物を挙げることができる。かかる他の
単量体との共重合体において、前記式（１）で表される
構造単位が占める割合は、本発明の目的が損われない限
り、特にその制限はないが、通常、該重合体中、４０重
量％以上、特に６０重量％以上の範囲にあることが好ま
しい。

また上述した熱硬化性重合体（ａ　−１）の分子量は、
得られる熱硬化性組成物の塗布性が損われない範囲であ
れば特に限定されないが、通常、ポリスチレン換算重量
平均分子量が５０００〜３０００００の範囲にあるもの
が好ましく、形成する保護膜の厚さ、塗布条件、目的等
によって適宜選択的に使用する。

（ａ−２）熱硬化性化合物； 本発明においては、上記（ａ−１）の熱硬化性重合体に
代えて、あるいはこれと組み合わせで分子末端にエポキ
シ基を有する熱硬化性化合物を熱硬化性成分（Ａ）とし
て使用することができる。

この様な熱硬化性化合物としては、特に分子中に２個以
上のエポキシ基を有する化合物、例えばテトラグリシジ
ルメタキシレンジアミン、テトラグリシジル−１，３−
ビスアミノメチルシクロヘキサノン、テトラグリシジル
ジアミノジフェニルメタン、トリグリシジル−ｐ−アミ
ノフェノール、トリグリシジル−ｍ−アミノフェノール
、ジグリシジルアニリン、ジグリシジオルソトルイジン
、ジ（ビスグリシジルオキシフェニル）メタン等を挙げ
ることができる。

これらの熱硬化性化合物は、１種でも２種以上併用して
も使用することができる。

Ｂ　　　′ 本発明においては、（ｂ−１）フッ素系界面活性剤およ
び（ｂ−２）アルキレングリコール系界面活性剤から成
る群より選択された少な（とも１種類の界面活性剤成分
を使用する。

（ｂ−１）フッ素系界面活性剤； ここでフッ素系界面活性剤とは末端、主鎖、側鎖の少な
くともいずれかの部位にフルオロアルキルまたはフルオ
ロアルキレンを有する化合物であり、例えば−数式（Ｉ
Ｉ）〜（Ｖ）で示される化合物を例示することができる
。

Ｒｆ、　　ＯＲｆｚ　　　　　　　　（ＩＩ）Ｒｆｔ　
　　ＯＸ−Ｒｆｔ　　　　　（ＩＩ［）Ｒｆ　、　−５
Ｏ３Ｎａ　　　　　　　　　　（ＩＶ）Ｒｆ、−Ｒ’　
　　　　　　　　　　（Ｖ）ここで、Ｒｆ、、Ｒｆ、は
、１．１，２．２−テトラフロロオクチル基、１，１．
２．２−テトラフロロプロピル基、１．１，２，２，３
．３−へキサフロロペンチル基等の炭素数３〜５０のフ
ロロアルキル基を示し、 Ｒ４は、メチル基、エチル基、プロピル基、オクチル基
、エイコシル基等の炭素数３〜５０のアルキル基または
水素原子を示し、 Ｘは、＋ｃｏｚｃｏｚｏ　＋、　＋ＣＨ２ＣＨＯ−）−
、またはＣＨ。

＋　ＣＨｚＣＨｚＣＨｚＯ士を示し、 ｎは、１〜１００の整数を示す。

この樺なフッ素系界面活性剤としては、具体的には１，
１，２．２−テトラフロロオクチル（１，１，２，２−
テトラフロロプロピル）エーテル、１，１．２．２−テ
トラフロロオクチルアルコールヘキシルエーテル、オク
タエチレングリコールジ（１，１，２，２−テトラフロ
ロブチル）エーテル、ヘキサエチレングリコールジ（１
，１，２，２，３，３−ヘキサフロロペンチル）エーテ
ル、オクタプロピレングリコールジ（１，１，２，２−
テトラフロロブチル）エーテル、ヘキサブロビレングリ
コールジ（１，１，２，２，３，３−へキサフロロペン
チル）エーテル、パーフロロドデシルスルホン酸ナトリ
ウム、１．１，２，２．８，８，９，９，１０．１０−
デカフロロドデカン、１，１．２，２，３．３−ヘキサ
フロロデカン等を、好ましくはオクタエチレングリコー
ルジ（１，１，２，２−テトラフロロブチル）エーテル
、ヘキサエチレングリコールジ（１，１，２，２，３，
３−へキサフロロペンチル）エーテル等を挙げることが
でき、ＢＭ−１０００，ＢＭ−１１００（ＢＭ　ＣｔＩ
ＥＭＩＥ社製）、メガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２
、同Ｆ１７３、同Ｆ１８３　（大日本インキ化学工業■
社製）等の名称で市販されているフッ素系界面活性剤を
そのまま使用することもできる。

（ｂ−２）アルキレングリコール系界面活性剤；本発明
において、上記フッ素系界面活性剤の代わりに、あるい
はこれと組合わせて使用されるアルキレングリコール系
界面活性剤とは、主鎖および／または側鎖にエチレング
リコール基、プロピレングリコール基等のアルキレング
リコール基を有する化合物から成るものであり、例えば
下記−数式（Ｖｌ）〜（■）で表わされる化合物を例示
することができる。

Ｒ’−Ｃ１（−Ｒ’ Ｘ、−）１ （Ｖｌ） Ｒ’−０−Ｘ、−Ｒ”　　　　　　　　　　（■）ＣＩ
、３　０ １ ＧＯ，−Ｃ−Ｃ−０−Ｘ、−Ｈ（■） ここで、Ｒｓ、Ｒｈは、アルキル基または水素原子を示
し、 Ｘおよびｎは、前記−数式（ＩＩＩ）と同様である、こ
の様なアルキレングリコール系界面活性剤として、具体
的にはオクタエチレングリコールイソフチルエーテル、
ヘキサエチレングリコールイソプロピルエーテル、ヘキ
サプロピレングリコールモノエチルエーテル、ヘプタプ
ロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、テトラ
エチレングリコールモノメタクリレート、ヘキサプロピ
レングリコールモノメタクリレート等を例示することが
でき、ＰＥＧ６００、ＰＥＧ　６０００、ＰＥＧ２００
００、ブレンマー　ＰＥ　−９０、同２００、同３５０
（日本油脂■製）等の名称で市販されている市販のアル
キレングリコール系界面活性剤をそのまま使用すること
もできる。

これらの界面活性剤成分（Ｂ）は、熱硬化性成分（Ａ）
の種類、配合される硬化剤の種類、溶液の濃度（硬化剤
および溶液については後述）、ならびに用いる界面活性
剤成分（Ｂ）の種類によっても相違するが、一般に熱硬
化性成分（Ａ）１００重量部当たり０．０００５〜５重
量部、特に０．００１〜２重量部の範囲で使用されるの
が好ましい。この界面活性剤成分（Ｂ）の使用量が少な
すぎると塗布性改善に十分な効果がなく、また多すぎる
と、塗布性に影響はないが、発泡、相分離、白濁等の不
都合を生ずることがある。

他意Ｎ金裟分 本発明の熱硬化性組成物においては、上記成分に加えて
、熱硬化性成分（Ａ）の硬化剤や必要に応じて基体との
接着性を向上させるための接着助剤を配合することがで
きる。

熱硬化性成分（Ａ）の硬化剤としては、多価カルボン酸
無水物または多価カルボン酸、アミン類等を挙げること
ができる。多価カルボン酸無水物の具体例としては、無
水フタル酸、無水イタコン酸、無水コハク酸、無水シト
ラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバニ
ル酸、無水マレイン酸、無水へキサヒドロフタル酸、無
水メチルテトラヒドロフタル酸、無水ハイミック酸のよ
うな脂肪族ジカルボン酸無水物：　１．２，３．４−ブ
タンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンクンテトラ
カルボン酸二無水物等の脂肪族多価カルボン酸二無水物
：無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、無水ベン
ゾフェノンテトラカルボン酸等の芳香族多価カルボン酸
無水物：エチレングリコールビス無水トリメリティト、
グリセリントリス無水トリメリティト等のエステル基含
有酸無水物を挙げることができる。このうち特に芳香族
多価カルボン酸無水物を含有することが耐熱性の点から
望ましい。またこのカルボン酸無水物としては、市販の
無色の酸無水物からなるエポキシ硬化剤も好適に使用す
ることができ、具体例としてアデカハードナーＥＨ−７
００（旭電化工業■製）、リカ、ジッドＨＨ１同ＭＨ−
７００（新日本理化■製）、エビキニア１２６、同Ｙ　
Ｈ−３０６、同ＤＸ−１２６（油化シェルエポキシ■製
）等を挙げることができる。また、多価カルボン酸の具
体例としては、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ブ
タンテトラカルボン酸、マレイン酸、イタコン酸等の脂
肪族多価カルボン酸：ヘキサヒドロフタル酸、１．２シ
クロヘキサンカルボン酸、１．２．４−シクロヘキサン
トリカルボン酸、シクロペンクンテトラカルボン酸等の
脂環族多価カルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレ
フタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、１，２，
５．８−ナフタレンテトラカルボン酸等の芳香族多価カ
ルボン酸を挙げることができる。特に芳香族多価カルボ
ン酸が反応性および耐熱性の点から好ましい。さらにア
ミン類の具体例としては、ジエチルアミノプロビルアミ
ン、ジメチルアミノプロピルアミン、アミノエチルピペ
ラジン等の１級モノアミン；ｍ−フェニレンジアミン、
ジアミノジフェニルエーテル、ジアミノジフェニルメタ
ン、ジアミノジフェニルスルホンメタキシレンジアミン
、メタアミノベンジルアミン、ベンジジン等の１級ジア
ミンを挙げることができる。

上記の硬化剤は、単独または２種以上の組合わせで使用
することができ、一般に熱硬化性成分（Ａ）１００重量
部当たり１〜６０重量部、特に３〜５０重量部の割合で
使用されるのが好ましい。

また基体との接着性を向上させるために使用される接着
助剤としては、官能性シランカップリング剤が有効であ
る。ここで、官能性シランカップリング剤とは、カルボ
キシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポ
キシ基等の反応性置換基を有するシランカップリング剤
を意味し、具体例としてはトリメトキシシリル安息香酸
、Ｔ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビ
ニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン
、Ｔ−イソシアナトプロピルトリエトキシシラン、γ−
グリシドキシプロビルトリメトキシシラン、β−（３，
４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラ
ン等を挙げることができる。

これらの接着助剤は、単独でも２種以上の組合わせでも
使用することができ、その配合量は、般に、熱硬化性成
分１００重量部当たり０．０１〜２０重量部、特に０．
０５〜１０重量部の範囲にあることが好適である。

本発明の熱硬化性組成物においては更に、その用途等に
応じて、塗布性の改善という本発明の目的を損わない範
囲において、老化防止剤、紫外線吸収剤、顔料、充填剤
等を配合することが可能である。

則誠謬りｊ１菫 本発明の熱硬化性組成物は、上述した各成分を均一に混
合することによって得られるが、特に適当な溶媒に各成
分を溶解させることによって溶液の形で容易に調製する
ことができる。さらに必要に応じて、各成分を別々に同
一または異種の溶媒に溶解して２以上の溶液を調製し、
これらの溶液を使用直前に混合して本発明の熱硬化性組
成物の溶液を調製することもできる。

この調製において用いられる溶剤は、熱硬化性成分（Ａ
）、界面活性剤成分（Ｂ）、および硬化剤等の他の配合
成分が均一に溶解しかつ各成分と反応しないようなもの
であれば特に限定されないが、一般には塗膜形成のし易
さから、セロソルブアセテート系の溶剤が好ましく、特
にエチルセロソルブアセテート、エチルカルピトールア
セテートが好適である。また溶剤の使用量は、塗布作業
性の面から、通常、２５℃における熱硬化性組成物溶液
の粘度が１〜２０００ｃｐｓ、特に３〜５ｏ。

ｃｐｓの範囲となる様な量とするのが好ましい。

塗股夏皿或 本発明の熱硬化性組成物は、上記の様にして調製された
溶液を所定の基体表面に塗布し、加熱硬化を行なうこと
によって保護膜となる。

基体表面への塗布方法は特に限定されず、例えばスプレ
ー法、ロールコート法、回転塗布法等の任意の方法を採
用でき、膜厚が通常０．０５〜３０μｍ、好ましくは０
．１〜ＩＯμｍの塗膜を形成することができる。

加熱硬化条件は、熱硬化性組成物中の各成分の種類や配
合量等によっても異なるが、通常、８０〜２５０℃の温
度で０．２５〜５時間程度である。

〔実施例〕

次に実施例によって本発明を更に詳細に説明するが、本
発明はこれら実施例により限定されるものではない。

尖施尉土 ポリメタクリル酸グリシジル（ポリスチレン換算重量平
均分子置駒８０，０００）　６０　ｇをガラス容器中で
エチルセロソルブアセテート４９０ｇ中に加え、完全に
溶解するまで室温で撹拌した。

このようにして得た溶液に、アデカハードナーＥＨＸ−
７００（旭電化工業■製）６ｇ、ｒ−グリシドキシプロ
ピルトリメトキシシラン３ｇおよびメガファックＦ１７
２　（大日本インキ化学工業■製）　０．１　ｇを加え
、均一に混合するまで攪拌し、本発明の組成物を得た。

得られた組成物の２５°Ｃにおける溶液粘度は１ｌｃｐ
ｓ、表面張力は２７．　Ｏｄｙｎｅ／ｃｍであった。

尖搭桝Ｉ メタクリル酸グリシジルとメタクリル酸メチルの共重合
体（共重合比・・・アクリル酸グリシジル：メタクリル
酸メチル＝８０：２０（重量比）ポリスチレン換算重量
平均分子量８４，０００）　６０　ｇをガラス容器中で
エチルセロソルブアセテート２６０ｇ中に加え、完全に
溶解するまで室温で攪拌した。

このようにして得た溶液にトリメリット酸を１．８ｇ、
ｒ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン３ｇおよ
び、ポリオキシプロピレンフルオロアルキルエーテルと
パーフルオロアルキルスルホン酸ナトリウムを含む界面
活性剤であるＢＭ−１０００（ＢＭ　Ｃｈｅｍｉｅ社製
）０．１ｇを加え、均一に混合するまで攪拌し、本発明
の組成物を得た。

得られた溶液の２５℃における溶液粘度は５０ｃｐｓ　
、表面張力２７．１　ｄｙｎｅ／　ｃｍであった。

尖施桝主 実施例１における界面活性剤の種類をメガファックＦ１
７２からポリオキシエチレンフルオロアルキルエーテル
を含む界面活性剤であるＢＭ−１１００（ＢＭ　Ｃｈｅ
ａ＋ｉｅ社製）とした以外は実施例１と同様にして組成
物を調製した。

得られた溶液の２５°Ｃにおける溶液粘度は１１ｃｐｓ
、表面張力は２６．８　ｄｙｎｅ　／　ｃｍであった。

尖施桝土 実施例２におけるＢＭ−１０００にかえて、オクタエチ
レングリコールジ（１，１，２，２−テトラフロロブチ
ル）エーテル０．０５　ｇとした以外は実施例２と同様
にして組成物を調製した。

得られた溶液の２５°Ｃにおける溶液粘度は１ｌｃｐｓ
、表面張力は２６．５　ｄｙｎｅ／Ｃｍであった。

跋荻桝土 実施例１〜４で得られた組成物を孔径０．２μｍのフィ
ルターで濾過した後、スピンコーターを用いて表面の平
滑な３０ｃｍ角の液晶用ガラス板に回転数２００Ｏｒｐ
ｍ＋で回転塗布した。塗布後、ガラス板を１５０°Ｃの
オーブン中で１時間熱処理して塗膜を硬化させた。

得られた塗膜の表面は極めて滑らかであり、膜あれは全
く見られなかった。

跋狂１ 試験例１における表面の平滑な３０ｃｍ角の液晶用ガラ
ス板にかえて、３０ｃｍ角ガラメガラス上法にて作製し
たカラーフィルターが多面とりされている基板、４イン
チシリコンウェハ上に固体撮像素子を多面とりにて作成
した基板、４インチの円形シリコンウェハ上にポジレジ
ストにより微細パターンが形成されている基板および３
０ｃｍ角ガラメガラス上アルミニウムにて１０μｍ幅で
１μｍの段差の凹凸を形成した基板を使用し、その他は
試験例１と同様にしてそれぞれ塗布、硬化を行った。

塗膜の状態は極めて滑らかであり、膜あれ、塗膜の欠陥
は全く見られなかった。カラーフィルターの角に当たる
部分も膜厚は均一であり、基板の凹凸は追従していた。

跋狂尉主 試験例１に記載の方法で作製した塗膜を有する基板の膜
物性を測定した。基板の可視領域の吸収スペクトルを、
塗布したものと同じガラス板を対照試料として測定した
ところ、３５０ｎｍ〜８００ｎｍの全領域において光線
透過率は９５％以上であった。

次にこのガラス板に塗布硬化した塗膜の接着性を調べる
ために、テープ剥離による基盤目試験（ＪＩＳＫ−５４
００）を行った。その結果剥離は全く認められなかった
。

またこのガラス板を沸騰水中に入れて５時間放置した後
、同様にして基盤目試験を行ったが、この場合も剥離は
全く見られなかった。また、上記の塗膜つきのガラスを
トルエン中に入れて、５時間加熱還流した後基盤目試験
を行ったが、この場合も剥離は全く認められなかった。

また上記と同様にして作製した塗膜つきのガラス仮につ
いて、２００℃のオープン中で２００時間熱処理を行っ
たが、塗膜にクラックの入ることなく、また吸収スペク
トルの変化も認められなかった。

更に、上記と同様にして作製した塗膜付きのガラス板を
下記の染色浴に入れ、１００°Ｃで３０分間放置した後
、ガラス板を取り出してよく水洗し乾燥した後塗膜の様
子を目視で観察した。クランクや膜荒れなどの異常は認
められず、また塗膜は無色透明のままで全く染色されて
いなかった。

染色浴 酸性染料（ブリリアントブルーＦＣＦ　）・・・　２ｇ
氷酢酸　　　　　　　　　　　　　　・・・　３ｇ蒸留
水　　　　　　　　　　　　　　・・・１００　ｇ跋狂
拠土 試験例２で使用した基板のうちカラーフィルター基板を
利用して、保護膜層形成後に上に更にバターニングした
透明電極層を形成し、通常の方法に従って液晶パネルを
１０組作製した。液晶パネルを駆動させ、表示むら、応
答速度、長時間使用時の耐久性ついて調べたが、１０組
とも異常はなく、優れた表示特性を示した。

を較■土 実施例１においてメガファックＦ１７２を添加せず、そ
のほかの操作は同様にして組成物を調製した。得られた
溶液の２５°Ｃにおける溶液粘度は１１ｃｐｓ　、表面
張力は２　Ｂ、　５　ｄｙｎｅ／ｃｍであった。

止較武荻拠土 比較例１で得られた組成物を試験例２で用いたのと同じ
基板上に塗布し、硬化させた。得られた塗膜は凹凸部で
塗り損じが生じた。

〔発明の効果〕

本発明の熱硬化性組成物は、大型でかつ凹凸の段差が比
較的大きい基板に回転塗布する際の、膜厚むら、塗布む
ら、塗り損じおよびストリエーションの発生がなく、塗
布性が改善されるため、均一な保護膜の形成を必要とす
る場合に極めて有効である。さらに本発明の熱硬化性組
成物を用いて保護膜を形成した液晶表示素子および固体
撮像素子は、異常発生がなく、均質な保護膜を持ってい
るために良好な品質を示すため、その歩留りは改善され
、これら素子は各種機器において有用である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）（Ａ）下記式、 ▲数式、化学式、表等があります▼ 式中、Ｒ＾１は水素原子または低級アルキル基を示し、
   Ｒ＾２は、ＣＯＯＲ＾３またはＣＯＮＨＲ＾３（ここで
   Ｒ＾３は２価の有機基である）で表される２価の基を示
   す、で表わされる構造単位を有する熱硬化性重合体およ
   び分子末端にエポキシ基を有する熱硬化性化合物から成
   る群より選択された少なくとも１種類の熱硬化性成分、 および、 （Ｂ）フッ素系界面活性剤およびアルキレングリコール
   系界面活性剤から成る群より選択された少なくとも１種
   類の界面活性剤成分、 を必須成分として含有していることを特徴とする熱硬化
   性組成物。