JPH03184318A

JPH03184318A - 図形データの分割変換に対する誤差処理回路

Info

Publication number: JPH03184318A
Application number: JP1323268A
Authority: JP
Inventors: Juichi Yano; 谷野　寿一
Original assignee: Ando Electric Co Ltd
Current assignee: Ando Electric Co Ltd
Priority date: 1989-12-13
Filing date: 1989-12-13
Publication date: 1991-08-12
Anticipated expiration: 2011-03-04
Also published as: US5177692A; JPH0821537B2; DE4039667A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コこの発明は、荷電粒子ビーム描画装置において、マスク
などの図形データを荷電粒子ビームで露光できる大きさ
まで小さく分割変換する場合の誤差処理回路についての
ものである。

［従来の技術］荷電粒子ビーム描画装置は、ウェハ上に荷電粒子ビーム
を直接当てて露光する装置である。

荷電粒子ビーム描画装置の入力図形データが荷電粒子ビ
ームで一度に露光できる大きさは小さいので、大きい図
面データを露光する場合には、データを複数の部分に分
割して露光をする。

次に、入力図形データを複数のブロックに分割した状態
図を第３図により説明する。

第３図の２１が入力図形、２２が分割図形のひとつであ
る。入力図形２１は実線で示されており、分割図形２２
は鎖線で示されている。

入力図形２１を分割する場合、境界線での誤差を最小限
にするため、必要とする値以下の単位までを計算し、ｌ
＆終的に必要とする分解能で四捨五入する。

例えば、第３図の分割後の図形２３と図形２４の境界部
分を第４図と第５図により説明する。

第４図の縦線の間隔は図形データの最小分解能Ｌ０であ
る。

分割の結果、図形２３の座標点及び辺の長さが最小分解
能Ｌ０未満の誤差を含んでいるとき、データを必要最小
分解能り。に一致させるように、丸め処理として単に四
捨五入をすると、図形２３と図形２４の間に隙間、重な
りが生じる。

例えば、第４図でＸ座標データだけを考えると、図形２
３の始点の座標がＸ１１、Ｘ１１の座標データの最小分
解能Ｌ０未満の誤差がり１、辺の長さがＬ１１図形２３
の終点の座標がＸ１２、図形２４の始点の座標がＸ１２
、Ｘ、２の座標データの最小分解能Ｌ０未満の誤差がＬ
３である。

また、Ｌ　１＜　Ｌ　ｏ　／　２、Ｌ３≧Ｌｏ／２、Ｉ
、−Ｌｌ＜Ｌ。とする。

ここで丸めの処理をすると、図形２３の始点の座標の誤
差り、は四捨五入で切り捨てられて、第４図つに示すよ
うに座標Ｘ１となる。

したがって、新しい座標点から辺の長さを考えると、図
形２３の辺の終点の座標ｘ、２はＬｌだけ小さくなり、
Ｘ１３となる。辺の長さの誤差（Ｌ３−Ｌ１）はり。７
２未満のため、四捨五入をすると切り捨てられて、第４
図工に示すように、図形２３の終点座標ｘ１□は座標Ｘ
４となる。

図形２４の始点の座標Ｘ、２は誤差Ｌ３の値がＬＯ／２
以上のため四捨五入で切り上げられ、第４図才の座標点
Ｘ５となる。

また、第５図に示すように、Ｌ１≧Ｌｏ／２、Ｌ３＜ｒ
−ｏ／２、（ＬＯＬＬ）＋Ｌ３≧Ｌｏ／２の場合、丸め
処理をすると、図形２３の始点の座標の誤差り、は四捨
五入で切り上げられて、第５図つに示すように、座標Ｘ
２となる。

したがって、新しい座標点からの辺の長さを考えると、
図形２３の終点の座標Ｘ、２はり。−Ｌ。

だけ大きくなり、Ｘ、３となる。

辺の長さの誤差Ｌ３＋Ｌｏ−Ｌ、はＬｏ／２以上なので
、四捨五入すると切り上げられて、図形２３の終点座標
Ｘ１３は、第５図工に示すようにＸ５となる。

図形２４の始点座標Ｘ、２は、誤差Ｌ３がり。／２であ
るため、四捨五入で切り捨てられ、第５図才の座標点Ｘ
、となる。

［発明が解決しようとする問題点］第４図の図形２３と図形２４の間には最小分解能Ｌ０の
隙間が生じる。

第５図の図形２３と図形２４の間には最小分解１１旨Ｌ
０の重なりか生じる。

電子ビームによる描画装置など、サブミクロン領域を描
画する装置では、描画パターンが微少なために、入力図
形データを分割する場合、分割データに隙間や重なりが
あると、露光した結果、図形の周辺部にへこみ、出っ張
りがあられれるという問題がある。

この発明は、図形データを描画できる大きさの図形デー
タに分割変換する場合、個々の図形データを偏向系の最
小分解能り。に合わせて丸めるときに発生する隣どうし
の図形の隙間、重なりをなくすことを目的とする。

王課題を解決するための手段］この目的を遠戚するため、この発明では、原点（Ｘ１）
から距離り、（７）第１の座標（Ｘ１ｔ）を入力とし、
第１の座標（Ｘ１１）に最小分解能Ｌ０の１／２を加算
し、この第１の加算値に対して最小分解能Ｌ０未満を切
り捨て、出力を原点（Ｘ、）にする第１の演算器（１）
と、第１の座標（Ｘｔ１）を入力とし、第１の座標（ｘ
　ｉ　、）から第１の演算器（１）の出力を減算する減
算器（２）と、減算器（２）の出力と辺の長さ（Ｌ１）
を加算し、この第２の加算値を出力とする加算器（３）
と、第２の加算値と最小分解能Ｌ０の１／２を加算し、
この第３の加算値に対して最小分解能Ｌ０未満を切り捨
てる第２の演算器（４）とを備える。

次に、この発明による図形データの分割変換に対する誤
差処理回路の構成国を第１図により説明する。

第１図の上は演Ｗ、器、２は減算器、３は加算器、４は
演算器である。

演算器１は、原点Ｘ、から距離Ｌ１の座標Ｘ、。

を入力とし、座標Ｘ１．に最小分解能Ｌ０の１／２を加
算し、この加算値に対して小数点以下を切り捨て、出力
を原点Ｘ１にする。

減算器２は、座標Ｘ、１を入力とし、座標ｘ１．から演
算器上の出力を減算する。

加算器３は、減算器２の出力と辺の長さＬ２を加算し、
この加算値を出力とする。

演算器４は、この加算値と最小分解能Ｌ０の１／２を加
算し、この第３の加算値に対して最小分解能未満を切り
捨てる。

［作用］次に、第１図の作用を第２図により説明する。

第１図はＸ座標の回路なので、Ｙ軸についても同じ回路
が必要になる。

第２図の図形２３の始点座標データＸ、１は演算器１に
よりり。／２を加算して、最小分解能り。

未満を切り捨てることにより、第２図つに示すように、
補正された始点座標データＸ、を出力する。

減算器２は、補正された始点データＸ１と補正前の始点
データＸ１．の差をとり、加算器３で図形２３の辺の長
さＬ２に加える。

図形２３の始点の座標データの誤差Ｌ１を辺の長さＬ２
に加えると、図形２３の辺の終点の座標は、第２図才に
示すように、座標データの四捨五入によって変化せず、
ｘ１□となる。

次に、演算器４で、演算器１と同様に゛終点座標ｘ１２
にり。／２を加算して、最小分解能Ｌ０未満を切り捨て
る。

辺の長さの誤差はＬ３のままで、四捨五入することによ
り、図形２３の終点の座標はＸ５となり、図形２４の始
点座標もｘ５となって、隙間は生じない。

以上のようにして、第２図の図形２３の終点の座標ｘ５
を得る。

［発明の効果］この発明によれば、分割した図形データを最終的に必要
な最小分解能に四捨五入する処理をする場合に、図形デ
ータの始点で生じた誤差を補正してからその補正分を図
形データの辺の長さに加算し、終点座標を四捨五入する
ことにより、隣どうしの図形の隙間、重なりをなくすこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による図形データの分割変換に対する
誤差処理回路の構成図、第２図は第１図の作用説明図、
第３図は入力図形データを複数のブロックに分割した状
態図、第４図と第５図は第３図の図形２３と図形２４の
境界線の拡大図である。工・・・・・・演算器、　２・・・・・・減算器、　３
・・・・・・加算器、４・・・・・・演算器。

Claims

【特許請求の範囲】１、原点（Ｘ＿１）から距離Ｌ＿１の第１の座標（Ｘ＿
１＿１）を入力とし、第１の座標（Ｘ＿１＿１）に最小
分解能Ｌ＿０の１／２を加算し、この第１の加算値に対
して最小分解能Ｌ＿０未満を切り捨て、出力を原点（Ｘ
＿１）にする第１の演算器（１）と、第１の座標（Ｘ＿１＿１）を入力とし、第１の座標（Ｘ
＿１＿１）から第１の演算器（１）の出力を減算する減
算器（２）と、減算器（２）の出力と辺の長さ（Ｌ＿２）を加算し、こ
の第２の加算値を出力とする加算器（３）と、第２の加算値と最小分解能Ｌ＿０の１／２を加算し、こ
の第３の加算値に対して最小分解能Ｌ＿０未満を切り捨
てる第２の演算器（４）とを備えることを特徴とする図
形データの分割変換に対する誤差処理回路。