JPH0821537B2 - 図形データの分割変換に対する誤差処理回路 - Google Patents
図形データの分割変換に対する誤差処理回路Info
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- JPH0821537B2 JPH0821537B2 JP1323268A JP32326889A JPH0821537B2 JP H0821537 B2 JPH0821537 B2 JP H0821537B2 JP 1323268 A JP1323268 A JP 1323268A JP 32326889 A JP32326889 A JP 32326889A JP H0821537 B2 JPH0821537 B2 JP H0821537B2
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- Japan
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/302—Controlling tubes by external information, e.g. programme control
- H01J37/3023—Programme control
- H01J37/3026—Patterning strategy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/317—Processing objects on a microscale
- H01J2237/3175—Lithography
- H01J2237/31761—Patterning strategy
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、荷電粒子ビーム描画装置において、マス
クなどの図形データを荷電粒子ビームで露光できる大き
さまで小さく分割変換する場合の誤差処理回路について
のものである。
クなどの図形データを荷電粒子ビームで露光できる大き
さまで小さく分割変換する場合の誤差処理回路について
のものである。
［従来の技術］ 荷電粒子ビーム描画装置は、ウェハ上に荷電粒子ビー
ムを直接当てて露光する装置である。
ムを直接当てて露光する装置である。
荷電粒子ビーム描画装置の入力図形データが荷電粒子
ビームで一度に露光できる大きさは小さいので、大きい
図面データを露光する場合には、データを複数の部分に
分割して露光をする。
ビームで一度に露光できる大きさは小さいので、大きい
図面データを露光する場合には、データを複数の部分に
分割して露光をする。
次に、入力図形データを複数のブロックに分割した状
態図を第３図により説明する。
態図を第３図により説明する。
第３図の21が入力図形、22が分割図形のひとつであ
る。入力図形21は実線で示されており、分割図形22は鎖
線で示されている。
る。入力図形21は実線で示されており、分割図形22は鎖
線で示されている。
入力図形21を分割する場合、境界線での誤差を最小限
にするため、必要とする値以下の単位までを計算し、最
終的に必要とする分解能で四捨五入する。
にするため、必要とする値以下の単位までを計算し、最
終的に必要とする分解能で四捨五入する。
例えば、第３図の分割後の図形23と図形24の境界部分
を第４図と第５図により説明する。
を第４図と第５図により説明する。
第４図の縦線の間隔は図形データの最小分解能L0であ
る。
る。
分割の結果、図形23の座標点及び辺の長さが最小分解
能L0未満の誤差を含んでいるとき、データを必要最小分
解能L0に一致させるように、丸め処理として単に四捨五
入をすると、図形23と図形の間に隙間、重なりが生じ
る。
能L0未満の誤差を含んでいるとき、データを必要最小分
解能L0に一致させるように、丸め処理として単に四捨五
入をすると、図形23と図形の間に隙間、重なりが生じ
る。
例えば、第４図でＸ座標データだけを考えると、図形
23の始点の座標がX11、X11の座標データの最小分解能L0
未満の誤差がL1、辺の長さがL2、図形23の終点の座標が
X12、図形24の始点の座標がX12、X12の座標データの最
小分解能L0未満の誤差がL3である。
23の始点の座標がX11、X11の座標データの最小分解能L0
未満の誤差がL1、辺の長さがL2、図形23の終点の座標が
X12、図形24の始点の座標がX12、X12の座標データの最
小分解能L0未満の誤差がL3である。
また、L1＜L0/2、L3≧L0/2、L3−L1＜L0とする。
ここで丸めの処理をすると、図形23の始点の座標の誤
差L1は四捨五入で切り捨てられて、第４図ウに示すよう
に座標X1となる。
差L1は四捨五入で切り捨てられて、第４図ウに示すよう
に座標X1となる。
したがって、新しい座標点から辺の長さを考えると、
図形23の辺の終点の座標X12はL1だけ小さくなり、X13と
なる。辺の長さの誤差（L3−L1）はL0/2未満のため、四
捨五入をすると切り捨てられて、第４図エに示すよう
に、図形23の終点座標X12は座標X4となる。
図形23の辺の終点の座標X12はL1だけ小さくなり、X13と
なる。辺の長さの誤差（L3−L1）はL0/2未満のため、四
捨五入をすると切り捨てられて、第４図エに示すよう
に、図形23の終点座標X12は座標X4となる。
図形24の始点の座標X12は誤差L3の値がL0/2以上のた
め四捨五入で切り上げられ、第４図オの座標点X5とな
る。
め四捨五入で切り上げられ、第４図オの座標点X5とな
る。
また、第５図に示すように、L1≧L0/2、L3＜L0/2、
（L0−L1）＋L3≧L0/2の場合、丸め処理をすると、図形
23の始点の座標の誤差L1は四捨五入で切り上げられて、
第５図ウに示すように、座標X2となる。
（L0−L1）＋L3≧L0/2の場合、丸め処理をすると、図形
23の始点の座標の誤差L1は四捨五入で切り上げられて、
第５図ウに示すように、座標X2となる。
したがって、新しい座標点からの辺の長さを考える
と、図形23の終点の座標X12はL0−L1だけ大きくなり、X
13となる。
と、図形23の終点の座標X12はL0−L1だけ大きくなり、X
13となる。
辺の長さの誤差L3＋L0−L1はL0/2以上なので、四捨五
入すると切り上げられて、図形23の終点座標X13は、第
５図エに示すようにX5となる。
入すると切り上げられて、図形23の終点座標X13は、第
５図エに示すようにX5となる。
図形24の始点座標X12は、誤差L3がL0/2であるため、
四捨五入で切り捨てられ、第５図オの座標点X4となる。
四捨五入で切り捨てられ、第５図オの座標点X4となる。
［発明が解決しようとする問題点］ 第４図の図形23と図形24の間には最小分解能L0の隙間
が生じる。
が生じる。
第５図の図形23と図形24の間には最小分解能L0の重な
りが生じる。
りが生じる。
電子ビームによる描画装置など、サブミクロン領域を
する装置では、描画パターンが微少なために、入力図形
データを分割する場合、分割データに隙間や重なりがあ
ると、露光した結果、図形の周辺部にへこみ、出っ張り
があらわれるという問題がある。
する装置では、描画パターンが微少なために、入力図形
データを分割する場合、分割データに隙間や重なりがあ
ると、露光した結果、図形の周辺部にへこみ、出っ張り
があらわれるという問題がある。
この発明は、図形データを描画できる大きさの図形デ
ータに分割変換する場合、個々の図形データを偏向系の
最小分解能L0に合わせて丸めるときに発生する隣どうし
の図形の隙間、重なりをなくすことを目的とする。
ータに分割変換する場合、個々の図形データを偏向系の
最小分解能L0に合わせて丸めるときに発生する隣どうし
の図形の隙間、重なりをなくすことを目的とする。
［課題を解決するための手段］ この目的を達成するため、この発明では、原点（X1）
から距離L1の第１の座標（X11）を入力とし、第１の座
標（X11）に最小分解能L0の1/2を加算し、この第１の加
算値に対して最小分解能L0未満を切り捨て、出力を原点
（X1）にする第１の演算器（１）と、第１の座標
（X11）を入力とし、第１の座標（X11）から第１の演算
器（１）の出力を減算する減算器（２）と、減算器
（２）の出力と辺の長さ（L2）を加算し、この第２の加
算値を出力とする加算器（３）と、第２の加算値と最小
分解能L0の1/2を加算し、この第３の加算値に対して最
小分解能L0未満を切り捨てる第２の演算器（４）とを備
える。
から距離L1の第１の座標（X11）を入力とし、第１の座
標（X11）に最小分解能L0の1/2を加算し、この第１の加
算値に対して最小分解能L0未満を切り捨て、出力を原点
（X1）にする第１の演算器（１）と、第１の座標
（X11）を入力とし、第１の座標（X11）から第１の演算
器（１）の出力を減算する減算器（２）と、減算器
（２）の出力と辺の長さ（L2）を加算し、この第２の加
算値を出力とする加算器（３）と、第２の加算値と最小
分解能L0の1/2を加算し、この第３の加算値に対して最
小分解能L0未満を切り捨てる第２の演算器（４）とを備
える。
次に、この発明による図形データの分割変換に対する
誤差処理回路の構成図を第１図により説明する。
誤差処理回路の構成図を第１図により説明する。
第１図の１は演算器、２は減算器、３は加算器、４は
演算器である。
演算器である。
演算器１は、原点X1から距離L1の座標X11を入力と
し、座標X11に最小分解能L0の1/2を加算し、この加算値
に対して小数点以下を切り捨て、出力を原点X1にする。
し、座標X11に最小分解能L0の1/2を加算し、この加算値
に対して小数点以下を切り捨て、出力を原点X1にする。
減算器２は、座標X11を入力とし、座標X11から演算器
１の出力を減算する。
１の出力を減算する。
加算器３は、減算器２の出力の辺の長さL2を加算し、
この加算値を出力とする。
この加算値を出力とする。
演算器４は、この加算値と最小分解能L0の1/2を加算
し、この第３の加算値に対して最小分解能未満を切り捨
てる。
し、この第３の加算値に対して最小分解能未満を切り捨
てる。
［作用］ 次に、第１図の作用を第２図により説明する。
第１図はＸ座標の回路なので、Ｙ軸についても同じ回
路が必要になる。
路が必要になる。
第２図の図形23の始点座標データX11は演算器１によ
りL0/2を加算して、最小分解能L0未満を切り捨てること
により、第２図ウに示すように、補正された始点座標デ
ータX1を出力する。
りL0/2を加算して、最小分解能L0未満を切り捨てること
により、第２図ウに示すように、補正された始点座標デ
ータX1を出力する。
減算器２は、補正された始点データX1と補正前の始点
データX11の差をとり、加算器３で図形23の辺の長さL2
に加える。
データX11の差をとり、加算器３で図形23の辺の長さL2
に加える。
図形23の始点の座標データの誤差L1を辺の長さL2に加
えると、図形23の辺の終点の座標は、第２図オに示すよ
うに、座標データの四捨五入によつて変化せず、X12と
なる。
えると、図形23の辺の終点の座標は、第２図オに示すよ
うに、座標データの四捨五入によつて変化せず、X12と
なる。
次に、演算器４で、演算器１と同様に終点座標X12にL
0/2を加算して、最小分解能L0未満を切り捨てる。
0/2を加算して、最小分解能L0未満を切り捨てる。
辺の長さの誤差はL3のままで、四捨五入することによ
り、図形23の終点の座標はX5となり、図形24の始点座標
もX5となって、隙間は生じない。
り、図形23の終点の座標はX5となり、図形24の始点座標
もX5となって、隙間は生じない。
以上のようにして、第２図の図形23の終点の座標X5を
得る。
得る。
［発明の効果］ この発明によれば、分割した図形データを最終的に必
要な最小分解能に四捨五入する処理をする場合に、図形
データの始点で生じた誤差を補正してからその補正分を
図形データの辺の長さに加算し、終点座標を四捨五入す
ることにより、隣どうしの図形の隙間、重なりをなくす
ことができる。
要な最小分解能に四捨五入する処理をする場合に、図形
データの始点で生じた誤差を補正してからその補正分を
図形データの辺の長さに加算し、終点座標を四捨五入す
ることにより、隣どうしの図形の隙間、重なりをなくす
ことができる。
第１図はこの発明による図形データの分割変換に対する
誤差処理回路の構成図、第２図は第１図の作用説明図、
第３図は入力図形データを複数のブロックに分割した状
態図、第４図と第５図は第３図の図形23と図形24の境界
線の拡大図である。 １……演算器、２……減算器、３……加算器、４……演
算器。
誤差処理回路の構成図、第２図は第１図の作用説明図、
第３図は入力図形データを複数のブロックに分割した状
態図、第４図と第５図は第３図の図形23と図形24の境界
線の拡大図である。 １……演算器、２……減算器、３……加算器、４……演
算器。
Claims (1)
- 【請求項１】原点（X1）から距離L1の第１の座標
（X11）を入力とし、第１の座標（X11）に最小分解能L0
の1/2を加算し、この第１の加算値に対して最小分解能L
0未満を切り捨て、出力を原点（X1）にする第１の演算
器（１）と、 第１の座標（X11）を入力とし、第１の座標（X11）から
第１の演算器（１）の出力を減算する減算器（２）と、 減算器（２）の出力と辺の長さ（L2）を加算し、この第
２の加算値を出力とする加算器（３）と、 第２の加算値と最小分解能L0の1/2を加算し、この第３
の加算値に対して最小分解能L0未満を切り捨てる第２の
演算器（４）とを備えることを特徴とする図形データの
分割変換に対する誤差処理回路。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1323268A JPH0821537B2 (ja) | 1989-12-13 | 1989-12-13 | 図形データの分割変換に対する誤差処理回路 |
| US07/625,271 US5177692A (en) | 1989-12-13 | 1990-12-10 | Method and apparatus for processing errors occurring upon division of pattern to be transferred |
| DE4039667A DE4039667A1 (de) | 1989-12-13 | 1990-12-12 | Verfahren und vorrichtung zum verarbeiten von fehlern, die beim unterteilen eines zu uebertragenden musters auftreten |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1323268A JPH0821537B2 (ja) | 1989-12-13 | 1989-12-13 | 図形データの分割変換に対する誤差処理回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03184318A JPH03184318A (ja) | 1991-08-12 |
| JPH0821537B2 true JPH0821537B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=18152891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1323268A Expired - Lifetime JPH0821537B2 (ja) | 1989-12-13 | 1989-12-13 | 図形データの分割変換に対する誤差処理回路 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5177692A (ja) |
| JP (1) | JPH0821537B2 (ja) |
| DE (1) | DE4039667A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3186359B2 (ja) * | 1993-07-28 | 2001-07-11 | 安藤電気株式会社 | 物理アドレス変換回路 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63199421A (ja) * | 1987-02-16 | 1988-08-17 | Toshiba Corp | 荷電ビ−ム描画方法 |
| US4812962A (en) * | 1987-04-09 | 1989-03-14 | Harris Corp. | Area feature sorting mechanism for neighborhood-based proximity correction in lithography processing of integrated circuit patterns |
| JP2614884B2 (ja) * | 1988-02-04 | 1997-05-28 | 富士通株式会社 | 電子ビーム露光方法及びその装置 |
| JPH03166713A (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-18 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビーム露光方法 |
-
1989
- 1989-12-13 JP JP1323268A patent/JPH0821537B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-12-10 US US07/625,271 patent/US5177692A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-12-12 DE DE4039667A patent/DE4039667A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5177692A (en) | 1993-01-05 |
| DE4039667A1 (de) | 1991-06-20 |
| JPH03184318A (ja) | 1991-08-12 |
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