JP2703005B2 - 電子線描画装置及び描画方法 - Google Patents
電子線描画装置及び描画方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子線描画装置の改良に関し、とくに描画
すべき図形を高精度かつ高速で描画することができるよ
うに改良された電子線描画装置に関する。
すべき図形を高精度かつ高速で描画することができるよ
うに改良された電子線描画装置に関する。
電子線描画装置において、良く知られている“近接効
果”による図形の変形を軽減させるために、描画すべき
図形をその輪郭部図形部分と内部図形部分とに分解し、
電子線の照射量を輪郭部図形と内部図形とで変化させる
ことにより、図形を高精度に描画する方法が知られてい
る（例えば、特開昭59−167018号公報参照）。
果”による図形の変形を軽減させるために、描画すべき
図形をその輪郭部図形部分と内部図形部分とに分解し、
電子線の照射量を輪郭部図形と内部図形とで変化させる
ことにより、図形を高精度に描画する方法が知られてい
る（例えば、特開昭59−167018号公報参照）。
しかしながら、上述した従来方法にあつては、描画す
べき図形データを輪郭部図形データと内部図形データと
に変換する処理（これを輪郭分解と云う）を電子線描画
装置全体を制御する制御用計算機とは別に設けた大型計
算機中におけるソフトウエアによつて実現させていた。
このため、上記大型計算機中で輪郭分解のために処理す
べきデータ量が膨大なものとなり、かつまた描画装置側
への分解された図形データの転送に多くの時間がかか
り、したがつて描画スピードの低下はまぬがれ得ない。
このように、従来方法では、高精度の図形描画は可能と
なるが、描画装置としてのスループツトが著るしく低下
してしまうと云う問題があつた。
べき図形データを輪郭部図形データと内部図形データと
に変換する処理（これを輪郭分解と云う）を電子線描画
装置全体を制御する制御用計算機とは別に設けた大型計
算機中におけるソフトウエアによつて実現させていた。
このため、上記大型計算機中で輪郭分解のために処理す
べきデータ量が膨大なものとなり、かつまた描画装置側
への分解された図形データの転送に多くの時間がかか
り、したがつて描画スピードの低下はまぬがれ得ない。
このように、従来方法では、高精度の図形描画は可能と
なるが、描画装置としてのスループツトが著るしく低下
してしまうと云う問題があつた。
本発明の目的は、描画すべき図形を高精度で、しかも
高速で描画することのできる電子線描画装置を提供する
ことにある。
高速で描画することのできる電子線描画装置を提供する
ことにある。
上記目的を達成するために、本発明においては、描画
すべき原図形データを輪郭部図形データと内部図形デー
タとに分解処理するための回路手段を描画装置側に設け
ることを一つの特徴としている。これにより、大型計算
機によるデータ処理量を減らし、かつまた描画装置側へ
転送すべきデータ量を減らし、もつて高精度描画の利点
を保持したまま、描画装置としてのスループツトを大幅
に向上させることが可能となる。
すべき原図形データを輪郭部図形データと内部図形デー
タとに分解処理するための回路手段を描画装置側に設け
ることを一つの特徴としている。これにより、大型計算
機によるデータ処理量を減らし、かつまた描画装置側へ
転送すべきデータ量を減らし、もつて高精度描画の利点
を保持したまま、描画装置としてのスループツトを大幅
に向上させることが可能となる。
本発明のもう一つの重要な特徴として、上記した原図
形データを輪郭部図形データと内部図形データとに分解
処理するための回路手段（輪郭分解回路）は、原図形デ
ータから得られた輪郭部図形データと内部図形データと
のうち少なくともいずれか一方に、それが輪郭部図形デ
ータか内部図形データかの判別をするためのフラグを付
加して出力する。このフラグの判別により、描画に際し
て輪郭部図形と内部図形とで露光量（電子線照射量）を
変えてやることができる。
形データを輪郭部図形データと内部図形データとに分解
処理するための回路手段（輪郭分解回路）は、原図形デ
ータから得られた輪郭部図形データと内部図形データと
のうち少なくともいずれか一方に、それが輪郭部図形デ
ータか内部図形データかの判別をするためのフラグを付
加して出力する。このフラグの判別により、描画に際し
て輪郭部図形と内部図形とで露光量（電子線照射量）を
変えてやることができる。
本発明のさらに他の特徴は、上記の輪郭分解回路がそ
こに入力される原図形の寸法が指定された量小寸法より
小さい場合には原図形データの分解処理は行なわず、原
図形の寸法が指定された最小寸法より大きい場合にのみ
原図形データの分解処理を行なうように構成されている
ことである。これにより、輪郭分解回路の負担を軽減
し、描画の高速化が可能となる。
こに入力される原図形の寸法が指定された量小寸法より
小さい場合には原図形データの分解処理は行なわず、原
図形の寸法が指定された最小寸法より大きい場合にのみ
原図形データの分解処理を行なうように構成されている
ことである。これにより、輪郭分解回路の負担を軽減
し、描画の高速化が可能となる。
上述したように、輪郭分解処理を行なわせる回路手段
を描画装置側に設けることにより、大型計算機による大
量のデータ処理を要することなく、しかも制御用計算機
から描画装置側へのデータ転送量も大幅に減少できるた
め、描画装置としてのスループツトを向上させ得る。
を描画装置側に設けることにより、大型計算機による大
量のデータ処理を要することなく、しかも制御用計算機
から描画装置側へのデータ転送量も大幅に減少できるた
め、描画装置としてのスループツトを向上させ得る。
また、上述したように、輪郭分解処理によつて得られ
た輪郭部図形データと内部図形データとを識別するため
のフラグを付加することにより、描画に際して輪郭部図
形と内部図形とで電子線露光量に差を持たせてやること
が可能となり、輪郭分解処理による近接効果の軽減効果
が容易に実現できる。
た輪郭部図形データと内部図形データとを識別するため
のフラグを付加することにより、描画に際して輪郭部図
形と内部図形とで電子線露光量に差を持たせてやること
が可能となり、輪郭分解処理による近接効果の軽減効果
が容易に実現できる。
さらに、輪郭分解回路に上述した輪郭分解の要否を判
定する機能を持たせたことにより、原図形の寸法が輪郭
分解を要しない程度に小さい場合には、輪郭分解処理は
実行せずにそのまま原図形データを出力させるようにし
たので、その分処理時間が軽減され、高速描画が可能と
なる。
定する機能を持たせたことにより、原図形の寸法が輪郭
分解を要しない程度に小さい場合には、輪郭分解処理は
実行せずにそのまま原図形データを出力させるようにし
たので、その分処理時間が軽減され、高速描画が可能と
なる。
以下、本発明の実施例につき、図面を参照して詳説す
る。
る。
実施例の具体的な説明を行なう前に、まず図形の定義
と輪郭分解の方法について説明する。
と輪郭分解の方法について説明する。
第３図は描画すべき原図形301とその図形データ302を
示す。原図形301は、原図形データ302上では、原図形の
図種S0（この場合は矩形）を表わすデータワード302A、
原図形の基準位置P0の座標X0,Y0をそれぞれ表わすデー
タワード302B,302C、並びに原図形の巾W0、高さH0をそ
れぞれ表わすデータワード302D,302Eの５ワードで表わ
される。
示す。原図形301は、原図形データ302上では、原図形の
図種S0（この場合は矩形）を表わすデータワード302A、
原図形の基準位置P0の座標X0,Y0をそれぞれ表わすデー
タワード302B,302C、並びに原図形の巾W0、高さH0をそ
れぞれ表わすデータワード302D,302Eの５ワードで表わ
される。
第４図は、本発明にしたがつて、輪郭分解回路により
輪郭分解された後の部分図形401〜405とそれらに対応す
る部分図形データ406〜410を示す。輪郭分解は、第４図
に示すように、指定された分解寸法ｌに従つて、原図形
を巾ｌを持つ輪郭部図形401〜404と残りの内部図形405
とに分割する。輪郭分解回路における図形分解の順序
は、まず輪郭部図形401,402,403,404を分割してそれぞ
れに対応する図形データ406,407,408,409を出力し、最
後に残りの内部図形405に対応する図形データ410を出力
する。分解後の出力図形データは、それぞれ図種Ｓ、各
図形の基準点のＸ座標X,Y座標Y,幅W,高さＨを表わす５
ワードで構成され、それぞれの図種データＳを表わすワ
ードの一部にその図形データが輪郭部図形のものが内部
図形のものかを識別するためのフラグＦ（F1〜F5）が付
加される。このフラグＦは、例えば、輪郭部図形データ
の場合は“1"とされ、内部図形データの場合は“0"とさ
れる。
輪郭分解された後の部分図形401〜405とそれらに対応す
る部分図形データ406〜410を示す。輪郭分解は、第４図
に示すように、指定された分解寸法ｌに従つて、原図形
を巾ｌを持つ輪郭部図形401〜404と残りの内部図形405
とに分割する。輪郭分解回路における図形分解の順序
は、まず輪郭部図形401,402,403,404を分割してそれぞ
れに対応する図形データ406,407,408,409を出力し、最
後に残りの内部図形405に対応する図形データ410を出力
する。分解後の出力図形データは、それぞれ図種Ｓ、各
図形の基準点のＸ座標X,Y座標Y,幅W,高さＨを表わす５
ワードで構成され、それぞれの図種データＳを表わすワ
ードの一部にその図形データが輪郭部図形のものが内部
図形のものかを識別するためのフラグＦ（F1〜F5）が付
加される。このフラグＦは、例えば、輪郭部図形データ
の場合は“1"とされ、内部図形データの場合は“0"とさ
れる。
以下、本発明の実施例を説明する。
第１図は、本発明による輪郭分解回路を有する電子線
描画装置のシステム構成を示すブロツク図である。
描画装置のシステム構成を示すブロツク図である。
第１図において、１は描画装置全体の制御を行なうと
共に描画すべき原図形データを送出するためのホストコ
ンピユータ、２は描画すべき原図形データを格納してお
くためのバツフアメモリ、３は本発明にしたがつて描画
すべき原図形データを輪郭部図形データと内部図形デー
タとに分解して出力するための輪郭分解回路、４は整形
電子ビームの大きさ（最大投射スポツトサイズ）以下の
単位図形データにさらに分割するための図形分解回路、
５は露光時間を輪郭部図形と内部図形とで変化させて露
光するための露光時間制御回路、６は分解された各図形
についてのX,Yデータ（デイジタルデータ）を電子ビー
ムの偏向電圧に変換するためのD/A変換器、７は電子
銃、８はビームブランキングプレート、９は電子ビーム
を上記の偏向電圧にしたがつて偏向するための静電偏向
板、10は被描画試料（例えば半導体ウエハ）、36は電子
ビーム、37はビーム整形回路、38はビーム整形スリツト
である。
共に描画すべき原図形データを送出するためのホストコ
ンピユータ、２は描画すべき原図形データを格納してお
くためのバツフアメモリ、３は本発明にしたがつて描画
すべき原図形データを輪郭部図形データと内部図形デー
タとに分解して出力するための輪郭分解回路、４は整形
電子ビームの大きさ（最大投射スポツトサイズ）以下の
単位図形データにさらに分割するための図形分解回路、
５は露光時間を輪郭部図形と内部図形とで変化させて露
光するための露光時間制御回路、６は分解された各図形
についてのX,Yデータ（デイジタルデータ）を電子ビー
ムの偏向電圧に変換するためのD/A変換器、７は電子
銃、８はビームブランキングプレート、９は電子ビーム
を上記の偏向電圧にしたがつて偏向するための静電偏向
板、10は被描画試料（例えば半導体ウエハ）、36は電子
ビーム、37はビーム整形回路、38はビーム整形スリツト
である。
本システム構成において描画は以下のように行なわれ
る。
る。
描画すべき原図形の図形データ302はホストコンピユ
ータ１からバツフアメモリ２へ転送され、そこに格納さ
れる。描画動作の起動がホストコンピユータ１から指令
されると、バツフアメモリ２に格納されている原図形デ
ータ302は輪郭分解回路３によつて輪郭部図形データ406
〜409と内部図形データ410とに分割され、各図形データ
には輪郭部図形データと内部図形データとを識別するた
めのフラグＦ（F1〜F5）が付加されて出力される。輪郭
部図形データと内部図形データとに分割された後の図形
データ406〜410は、さらにその後、図形分解回路４によ
り、可変整形電子ビームの最大投射スポツトサイズ以下
の単位図形のデータに分割された上で、電子ビーム36に
よる描画に供される（第７図参照）。
ータ１からバツフアメモリ２へ転送され、そこに格納さ
れる。描画動作の起動がホストコンピユータ１から指令
されると、バツフアメモリ２に格納されている原図形デ
ータ302は輪郭分解回路３によつて輪郭部図形データ406
〜409と内部図形データ410とに分割され、各図形データ
には輪郭部図形データと内部図形データとを識別するた
めのフラグＦ（F1〜F5）が付加されて出力される。輪郭
部図形データと内部図形データとに分割された後の図形
データ406〜410は、さらにその後、図形分解回路４によ
り、可変整形電子ビームの最大投射スポツトサイズ以下
の単位図形のデータに分割された上で、電子ビーム36に
よる描画に供される（第７図参照）。
輪郭分解回路３への入力データ（つまり、原図形デー
タ）302のフオーマツトは第３図に示した通りであり、
出力データ406〜410のフオーマツトは第４図に示した通
りである。
タ）302のフオーマツトは第３図に示した通りであり、
出力データ406〜410のフオーマツトは第４図に示した通
りである。
輪郭分解回路３は、第４図に示すように５個の図形デ
ータ406,407,408,409,410を出力するが、その際輪郭部
図形データ406,407,408,409については、それらが輪郭
部図形のデータであることを識別するために、それぞれ
のフラグ部データＦ（F1〜F4）を“1"として出力し、内
部図形データ410については、それが内部図形のデータ
であることを示すために、フラグ部データＦ（F5）を
“0"として出力する。
ータ406,407,408,409,410を出力するが、その際輪郭部
図形データ406,407,408,409については、それらが輪郭
部図形のデータであることを識別するために、それぞれ
のフラグ部データＦ（F1〜F4）を“1"として出力し、内
部図形データ410については、それが内部図形のデータ
であることを示すために、フラグ部データＦ（F5）を
“0"として出力する。
輪郭分解回路３により分解された図形は、図形分解回
路４により、図種データ部分Ｓ（S1〜S5）を参照して、
可変整形電子ビームの最大投射サイズ以下のサイズを有
する単位図形（第７図の401−１〜401−6,402−１〜402
−6,403−１〜403−6,404−１〜404−６、並びに405−
１〜405−30）にさらに細分割され、この細分割された
各単位図形に対応するデータ（S,F,x,y,w,h）中のs,w,h
を表わすデータ部分はビーム整形回路37に入力され、ビ
ーム整形スリツト38を調整して、ビームスポツトサイズ
の制御のために用いられる。また、x,yを表わすデータ
部分はD/A変換器６を介して電子ビーム偏向電圧に変換
され、該偏向電圧が偏向板９に印加されて、電子ビーム
を偏向制御する。一方、輪郭分解回路３によつて付加さ
れた輪郭部図形データか内部図形データかを識別するた
めのフラグデータＦは露光時間制御回路５に入力され、
該露光時間制御回路５は、上記のフラグデータＦによる
認識に基づいて、輪郭図形部分については露光時間を長
くし、内部図形部分については露光時間を短かくするよ
うに、ビームブランキングプレート８に印加するブラン
キング電圧のタイミングをコントロールする。輪郭部図
形と内部図形とでの露光時間の差は使用する電子線レジ
ストの感度などを考慮して前もつて適当に定められる。
路４により、図種データ部分Ｓ（S1〜S5）を参照して、
可変整形電子ビームの最大投射サイズ以下のサイズを有
する単位図形（第７図の401−１〜401−6,402−１〜402
−6,403−１〜403−6,404−１〜404−６、並びに405−
１〜405−30）にさらに細分割され、この細分割された
各単位図形に対応するデータ（S,F,x,y,w,h）中のs,w,h
を表わすデータ部分はビーム整形回路37に入力され、ビ
ーム整形スリツト38を調整して、ビームスポツトサイズ
の制御のために用いられる。また、x,yを表わすデータ
部分はD/A変換器６を介して電子ビーム偏向電圧に変換
され、該偏向電圧が偏向板９に印加されて、電子ビーム
を偏向制御する。一方、輪郭分解回路３によつて付加さ
れた輪郭部図形データか内部図形データかを識別するた
めのフラグデータＦは露光時間制御回路５に入力され、
該露光時間制御回路５は、上記のフラグデータＦによる
認識に基づいて、輪郭図形部分については露光時間を長
くし、内部図形部分については露光時間を短かくするよ
うに、ビームブランキングプレート８に印加するブラン
キング電圧のタイミングをコントロールする。輪郭部図
形と内部図形とでの露光時間の差は使用する電子線レジ
ストの感度などを考慮して前もつて適当に定められる。
以上のように、輪郭部図形については電子線照射量を
多くし、内部図形については電子線照射量を少なくして
露光をすることによつて、近接効果による図形の変形を
防止し、もつて高精度な図形の描画を行なうことができ
る。このためにも、上記のフラグデータＦは重要な役割
をもつている。
多くし、内部図形については電子線照射量を少なくして
露光をすることによつて、近接効果による図形の変形を
防止し、もつて高精度な図形の描画を行なうことができ
る。このためにも、上記のフラグデータＦは重要な役割
をもつている。
第２図は、輪郭分解回路３の詳細構成例を示す図であ
る。第２図中、11,12,13,14,15は原図形データが入力格
納される入力レジスタであり、レジスタ11には図種デー
タS0、レジスタ12にはX0、レジスタ13にはY0、レジスタ
14にはW0、レジスタ15にはH0がそれぞれ入力格納されて
いる。また、16,17は分解パラメータレジスタである。
レジスタ16は分解判定寸法レジスタと呼ばれ、該レジス
タ16には近接効果による図形歪を防止するために、どの
程度の図形サイズ以上で輪郭分解を実行すべきかの基準
値を示すデータＬが入力、格納されている。レジスタ17
は分解寸法レジスタと呼ばれ、該レジスタ17には、輪郭
分解を実行する場合の輪郭部図形の切り出し幅を示すデ
ータｌが入力、格納されている。18は分解判定および分
解シーケンス制御を行なうための回路であり、分解判定
寸法Ｌ、分解寸法ｌおよび原図形の巾W0と原図形の高さ
H0と図種データS0とによつて、輪郭分解を行なうか否か
を判定すると共に、分解演算のシーケンスコントロール
を行なうための制御信号208〜212を出力すると共に、図
種データＳとフラグデータＦとを図種データレジスタ29
とフラグデータレジスタ29′とにそれぞれ出力する。
る。第２図中、11,12,13,14,15は原図形データが入力格
納される入力レジスタであり、レジスタ11には図種デー
タS0、レジスタ12にはX0、レジスタ13にはY0、レジスタ
14にはW0、レジスタ15にはH0がそれぞれ入力格納されて
いる。また、16,17は分解パラメータレジスタである。
レジスタ16は分解判定寸法レジスタと呼ばれ、該レジス
タ16には近接効果による図形歪を防止するために、どの
程度の図形サイズ以上で輪郭分解を実行すべきかの基準
値を示すデータＬが入力、格納されている。レジスタ17
は分解寸法レジスタと呼ばれ、該レジスタ17には、輪郭
分解を実行する場合の輪郭部図形の切り出し幅を示すデ
ータｌが入力、格納されている。18は分解判定および分
解シーケンス制御を行なうための回路であり、分解判定
寸法Ｌ、分解寸法ｌおよび原図形の巾W0と原図形の高さ
H0と図種データS0とによつて、輪郭分解を行なうか否か
を判定すると共に、分解演算のシーケンスコントロール
を行なうための制御信号208〜212を出力すると共に、図
種データＳとフラグデータＦとを図種データレジスタ29
とフラグデータレジスタ29′とにそれぞれ出力する。
つぎに、19は４入力データセレクタであり、制御信号
208により、４つの入力データすなわち分解寸法ｌ、原
図形巾W0、原図形高さH0、分解後の図形幅Ｗの演算途中
結果Ｗ′のうちいずれか一つ、または“0"を選択して出
力する。20は４入力データセレクタであり、制御信号20
9により、分解寸法ｌ、原図形幅W0、原図形高さH0、分
解後の図形高さＨの演算途中結果Ｈ′および“0"のうち
のいずれか１個を選択して出力する。
208により、４つの入力データすなわち分解寸法ｌ、原
図形巾W0、原図形高さH0、分解後の図形幅Ｗの演算途中
結果Ｗ′のうちいずれか一つ、または“0"を選択して出
力する。20は４入力データセレクタであり、制御信号20
9により、分解寸法ｌ、原図形幅W0、原図形高さH0、分
解後の図形高さＨの演算途中結果Ｈ′および“0"のうち
のいずれか１個を選択して出力する。
21,23は２入力データセレクタであり、一方のセレク
タ21は、制御信号210により、原図形幅W0、分解図形幅
の途中演算結果Ｗ′のうちのいずれか一つを選択して出
力し、他方のセレクタ23は、制御信号210により、原図
形高さH0、分解図形高さの途中演算結果Ｈ′のうちのい
ずれか一つを選択して出力する。
タ21は、制御信号210により、原図形幅W0、分解図形幅
の途中演算結果Ｗ′のうちのいずれか一つを選択して出
力し、他方のセレクタ23は、制御信号210により、原図
形高さH0、分解図形高さの途中演算結果Ｈ′のうちのい
ずれか一つを選択して出力する。
22,24は４入力データセレクタであり、一方のセレク
タ22は、制御信号211により、分解寸法ｌ、原図形幅
W0、原図形高さH0および分解図形幅の途中演算結果Ｗ′
のうちのいずれか一つを選択して出力し、他方のセレク
タ24は、制御信号212により、分解寸法ｌ、原図形幅
W0、原図形高さH0、分解図形高さの途中演算結果Ｈ′の
うちのいずれか一つを選択して出力する。25は加算器で
あり、原図形の基準点P0のＸ座標データX0とセレクタ19
で選択されたデータ値との加算を行なう。26は加算器で
あり、原図形のＹ座標データY0とセレクタ20で選択され
たデータ値との加算を行なう。27は減算器であり、セレ
クタ21の出力とセレクタ22の出力との減算またはセレク
タ21の出力マイナス“0"の演算を行なう。28は減算器で
ありセレクタ23の出力とセレクタ24の出力の減算または
セレクタ23の出力マイナス“0"の演算を行なう。
タ22は、制御信号211により、分解寸法ｌ、原図形幅
W0、原図形高さH0および分解図形幅の途中演算結果Ｗ′
のうちのいずれか一つを選択して出力し、他方のセレク
タ24は、制御信号212により、分解寸法ｌ、原図形幅
W0、原図形高さH0、分解図形高さの途中演算結果Ｈ′の
うちのいずれか一つを選択して出力する。25は加算器で
あり、原図形の基準点P0のＸ座標データX0とセレクタ19
で選択されたデータ値との加算を行なう。26は加算器で
あり、原図形のＹ座標データY0とセレクタ20で選択され
たデータ値との加算を行なう。27は減算器であり、セレ
クタ21の出力とセレクタ22の出力との減算またはセレク
タ21の出力マイナス“0"の演算を行なう。28は減算器で
ありセレクタ23の出力とセレクタ24の出力の減算または
セレクタ23の出力マイナス“0"の演算を行なう。
29,29′,30,31,33,35は分解後の図形データの出力レ
ジスタであり、29は図種Ｓ、29′はフラグＦ、30はX,31
はＹ、33はＷ、35はＨのデータをそれぞれ格納する。
ジスタであり、29は図種Ｓ、29′はフラグＦ、30はX,31
はＹ、33はＷ、35はＨのデータをそれぞれ格納する。
また、32,34はＷおよびＨの演算途中結果Ｗ′および
Ｈ′を一時保持するレジスタである。
Ｈ′を一時保持するレジスタである。
以下、第２図の輪郭分解回路による輪郭分解演算の一
例を第３図，第４図，第５図および第６図を参照して説
明する。
例を第３図，第４図，第５図および第６図を参照して説
明する。
第３図に示す原図形データを構成する各データワード
SO,X0,Y0,W0,H0は、入力レジスタ11,12,13,14,15にそれ
ぞれ入力される。分解判定寸法Ｌおよび分解寸法ｌはレ
ジスタ16,17にそれぞれ格納される。
SO,X0,Y0,W0,H0は、入力レジスタ11,12,13,14,15にそれ
ぞれ入力される。分解判定寸法Ｌおよび分解寸法ｌはレ
ジスタ16,17にそれぞれ格納される。
分解判定および分解シーケンス制御回路18により、分
解判定寸法Ｌと分解寸法ｌ、図種データS0と原図形の巾
W0と原図形の高さH0とを用いて輪郭分解を行なうかどう
かを判定する。すなわち、予め設定された分解判定寸法
Ｌより原図形の巾W0または高さH0が小さい場合には輪郭
分解は行なわず、入力のX0,Y0,W0,H0データそれぞれを
出力レジスタ30,31,33,35にそのまま出力するように制
御する。
解判定寸法Ｌと分解寸法ｌ、図種データS0と原図形の巾
W0と原図形の高さH0とを用いて輪郭分解を行なうかどう
かを判定する。すなわち、予め設定された分解判定寸法
Ｌより原図形の巾W0または高さH0が小さい場合には輪郭
分解は行なわず、入力のX0,Y0,W0,H0データそれぞれを
出力レジスタ30,31,33,35にそのまま出力するように制
御する。
出力データX,Y,W,Hの各演算は分解シーケンス制御回
路の制御データ出力208,209,210,211,212によりセレク
タ19,20,21,22,23,24を制御して加算器25,26、減算器2
7,28を介して行なわれる。
路の制御データ出力208,209,210,211,212によりセレク
タ19,20,21,22,23,24を制御して加算器25,26、減算器2
7,28を介して行なわれる。
輪郭分解を行なわない場合は出力データX,Y,W,Hはそ
れぞれ次のような演算を行なうことによつて得られる
（第５図参照）。
れぞれ次のような演算を行なうことによつて得られる
（第５図参照）。
出力データＸについては、セレクタ19により“0"を選
択し、加算器25により入力データX0との加算を行ない
“X0＋0"を出力レジスタ30に出力することによつてX1＝
X0として得られる。
択し、加算器25により入力データX0との加算を行ない
“X0＋0"を出力レジスタ30に出力することによつてX1＝
X0として得られる。
出力データＹについては、Ｘの場合と同様に、セレク
タ20により“0"を選択し、加算器26により入力データY0
との加算を行ない“Y0＋0"を出力レジスタ31に出力する
ことによつてY1＝Y0として得られる。
タ20により“0"を選択し、加算器26により入力データY0
との加算を行ない“Y0＋0"を出力レジスタ31に出力する
ことによつてY1＝Y0として得られる。
出力データＷについては、セレクタ21,22とも入力デ
ータW0を選択し、出力レジスタ33にはW0をそのまま出力
する（W1＝W0）。また、減算器27により“W0−O"の演算
を行ない、その結果を途中結果レジスタ32へ格納する
（W1′＝W0）。
ータW0を選択し、出力レジスタ33にはW0をそのまま出力
する（W1＝W0）。また、減算器27により“W0−O"の演算
を行ない、その結果を途中結果レジスタ32へ格納する
（W1′＝W0）。
出力データＨについても、Ｗの場合と同様に、セレク
タ23と24はともに入力データH0を選択し、出力セレクタ
35にはH0をそのまま出力する（H1＝H0）。
タ23と24はともに入力データH0を選択し、出力セレクタ
35にはH0をそのまま出力する（H1＝H0）。
また、減算器28によつて“H0−O"の演算を行ない、そ
の結果を途中結果レジスタ34へ出力する（H1′＝H0）。
の結果を途中結果レジスタ34へ出力する（H1′＝H0）。
以上の輪郭分解を行なわないときの演算を表にまとめ
たものが第５図である。
たものが第５図である。
なお、このときの図種データＳは原図形の図種S0（矩
形）として出力され、フラグデータＦは“1"として出力
される。すなわち、輪郭分解を行なわない場合の図形デ
ータについては、輪郭分解を行つた場合の輪郭図形部分
と同じフラグ“1"が付加され、輪郭図形の場合と同じ電
子線照射量で露光が行なわれる。
形）として出力され、フラグデータＦは“1"として出力
される。すなわち、輪郭分解を行なわない場合の図形デ
ータについては、輪郭分解を行つた場合の輪郭図形部分
と同じフラグ“1"が付加され、輪郭図形の場合と同じ電
子線照射量で露光が行なわれる。
一方、分解判定および分解シーケンス制御回路18によ
り分解の要否判定を行ない、分解判定寸法Ｌと図形の巾
W0または高さH0が等しいか大きい場合には輪郭分解を行
なう。
り分解の要否判定を行ない、分解判定寸法Ｌと図形の巾
W0または高さH0が等しいか大きい場合には輪郭分解を行
なう。
輪郭分解を行なう場合の演算例を第６図に示す。
第６図の輪郭分解演算は、第４図の401,402,403,404,
405のそれぞれの図形の演算式である。
405のそれぞれの図形の演算式である。
輪郭分解を行なう場合、分解シーケンス制御回路18は
１から５までの５クロツクサイクルで１個の入力原図形
データの分解を行なうように制御する。
１から５までの５クロツクサイクルで１個の入力原図形
データの分解を行なうように制御する。
最初のシーケンスである分解シーケンス１においては
第４図の図形401の図形データを出力する。
第４図の図形401の図形データを出力する。
出力データＸについては、セレクタ19により“0"が選
択され、加算器25により“X0＋0"を演算し、出力レジス
タ30に出力する（X1＝X0）。
択され、加算器25により“X0＋0"を演算し、出力レジス
タ30に出力する（X1＝X0）。
出力データＹについては、セレクタ20により“0"が選
択され、加算器26により“Y0＋0"を演算し、出力レジス
タ31に出力する（Y1＝Y0）。
択され、加算器26により“Y0＋0"を演算し、出力レジス
タ31に出力する（Y1＝Y0）。
出力データＷについては、セレクタ21により入力レジ
スタ14の内容W0が、セレクタ22により分解寸法レジスタ
17の内容ｌがそれぞれ選択される。したがつて、出力レ
ジスタ33にはそのままｌが出力される（W1＝ｌ）。また
減算器27により“W0−l"の演算を行ない、その結果を途
中結果レジスタ32に格納する（W1′＝W0−ｌ）。
スタ14の内容W0が、セレクタ22により分解寸法レジスタ
17の内容ｌがそれぞれ選択される。したがつて、出力レ
ジスタ33にはそのままｌが出力される（W1＝ｌ）。また
減算器27により“W0−l"の演算を行ない、その結果を途
中結果レジスタ32に格納する（W1′＝W0−ｌ）。
出力データＨについては、セレクタ24により入力レジ
スタ15の内容H0が選択され、出力レジスタ35にはそのま
まH0が入力される（H1＝H0）。また減算器28により“H0
−0"の演算を行ない、その結果を途中結果レジスタ34に
格納する（H1′＝H0）。
スタ15の内容H0が選択され、出力レジスタ35にはそのま
まH0が入力される（H1＝H0）。また減算器28により“H0
−0"の演算を行ない、その結果を途中結果レジスタ34に
格納する（H1′＝H0）。
以上の演算を１クロツクサイクルで行ない、各出力レ
ジスタにデータを出力すると同時に分解シーケンス制御
回路は次のシーケンス（シーケンス２）になり、第４図
の図形402の演算を行なうための制御信号が信号線208,2
09,210,211,212に出力される。これにより、Ｘについて
はセレクタ19と加算器25により“X0＋W1′”の演算が行
なわれ、その演算結果であるX0＋W0−ｌなるデータが出
力レジスタ30に格納される（X2＝X0＋W0−ｌ）。Ｙにつ
いてはセレクタ20と加算器26により“Y0＋0"なる演算が
行なわれ、その結果Y0が出力レジスタ31に格納される
（Y2＝Y0）。Ｗについてはセレクタ22でｌが選択され、
出力レジスタ33にはｌが格納される（W2＝ｌ）。同時に
セレクタ21,22と減算器27により“W1′−l"なる演算が
行なわれ、その結果W0−2lなる値がレジスタ32に格納さ
れる（W2′＝W0−2l）。Ｈについてはセレクタ24により
H1′が選択され、出力レジスタ35にはH0なる値が格納さ
れる（H2＝H0）。同時にセレクタ23,24と減算器28によ
り“H1′−0"の演算が行なわれ、その結果としてH0なる
値が出力レジスタ34に格納される（H2′＝H0）。
ジスタにデータを出力すると同時に分解シーケンス制御
回路は次のシーケンス（シーケンス２）になり、第４図
の図形402の演算を行なうための制御信号が信号線208,2
09,210,211,212に出力される。これにより、Ｘについて
はセレクタ19と加算器25により“X0＋W1′”の演算が行
なわれ、その演算結果であるX0＋W0−ｌなるデータが出
力レジスタ30に格納される（X2＝X0＋W0−ｌ）。Ｙにつ
いてはセレクタ20と加算器26により“Y0＋0"なる演算が
行なわれ、その結果Y0が出力レジスタ31に格納される
（Y2＝Y0）。Ｗについてはセレクタ22でｌが選択され、
出力レジスタ33にはｌが格納される（W2＝ｌ）。同時に
セレクタ21,22と減算器27により“W1′−l"なる演算が
行なわれ、その結果W0−2lなる値がレジスタ32に格納さ
れる（W2′＝W0−2l）。Ｈについてはセレクタ24により
H1′が選択され、出力レジスタ35にはH0なる値が格納さ
れる（H2＝H0）。同時にセレクタ23,24と減算器28によ
り“H1′−0"の演算が行なわれ、その結果としてH0なる
値が出力レジスタ34に格納される（H2′＝H0）。
以下同様にシーケンス3,4,5と第６図に示す演算を行
なうことにより輪郭分解を行なう。その際、本発明にお
いては、各分解シーケンス毎に輪郭部図形データと内部
図形データとを識別するフラグを付加して出力する。す
なわち、分解シーケンス1,2,3,4で演算して得られた図
形データは輪郭部図形のものであるからこのフラグF1〜
F4を“1"として出力レジスタ29′に出力し、シーケンス
５で演算して得られた図形データは内部図形のものであ
るからこのフラグF5を“0"として出力レジスタ29′に出
力する。このフラグは、描画に際して、輪郭部図形と内
部図形とで電子ビーム照射量を変えてやるための識別標
識としての重要な役割をもつている。なお、フラグは輪
郭部図形データか内部図形データかのいずれか一方に付
加してやればよいものであることは云うまでもない。
なうことにより輪郭分解を行なう。その際、本発明にお
いては、各分解シーケンス毎に輪郭部図形データと内部
図形データとを識別するフラグを付加して出力する。す
なわち、分解シーケンス1,2,3,4で演算して得られた図
形データは輪郭部図形のものであるからこのフラグF1〜
F4を“1"として出力レジスタ29′に出力し、シーケンス
５で演算して得られた図形データは内部図形のものであ
るからこのフラグF5を“0"として出力レジスタ29′に出
力する。このフラグは、描画に際して、輪郭部図形と内
部図形とで電子ビーム照射量を変えてやるための識別標
識としての重要な役割をもつている。なお、フラグは輪
郭部図形データか内部図形データかのいずれか一方に付
加してやればよいものであることは云うまでもない。
以上のように、５クロツクサイクルで図形の輪郭分解
を行ない、５個の図形データを出力する。つまり１クロ
ツクサイクル毎に１個の図形データを得ることができ
る。
を行ない、５個の図形データを出力する。つまり１クロ
ツクサイクル毎に１個の図形データを得ることができ
る。
第７図は第４図のような輪郭分解をして得られた図形
データが第１図の図形分解回路４によりさらに分解され
た結果の図形を示すものであり、図形分解回路４により
401−１〜401−６のような整形電子ビームの最大スポツ
トサイズよりも小さい単位図形に分解された後描画が行
なわれる。
データが第１図の図形分解回路４によりさらに分解され
た結果の図形を示すものであり、図形分解回路４により
401−１〜401−６のような整形電子ビームの最大スポツ
トサイズよりも小さい単位図形に分解された後描画が行
なわれる。
以上説明したところから明らかなように、本発明によ
れば、輪郭分解は、描画装置側に設けられた輪郭分解回
路により行なわれるので、従来のホストコンピユータと
は別に大型計算機を設け、該大型計算機内のソフトによ
り輪郭分解を行なう場合に比べ、大型計算機によるデー
タ処理量が大幅に減り、かつまた該大型計算機からの図
形データ転送量が最大1/5に減少し、データ処理並びに
データ転送に要する時間が大幅に短かくなり、電子線描
画装置として高い描画精度を保持したままでそのスルー
プツトを大巾に向上させることができるという効果が得
られる。とくに、輪郭分解された後の各図形データにそ
れが輪郭部図形データか内部図形データかを示すフラグ
を付加したため、輪郭部図形と内部図形とで電子線照射
量を異ならせることにより、近接効果の防止を行なうこ
とが容易となつた。
れば、輪郭分解は、描画装置側に設けられた輪郭分解回
路により行なわれるので、従来のホストコンピユータと
は別に大型計算機を設け、該大型計算機内のソフトによ
り輪郭分解を行なう場合に比べ、大型計算機によるデー
タ処理量が大幅に減り、かつまた該大型計算機からの図
形データ転送量が最大1/5に減少し、データ処理並びに
データ転送に要する時間が大幅に短かくなり、電子線描
画装置として高い描画精度を保持したままでそのスルー
プツトを大巾に向上させることができるという効果が得
られる。とくに、輪郭分解された後の各図形データにそ
れが輪郭部図形データか内部図形データかを示すフラグ
を付加したため、輪郭部図形と内部図形とで電子線照射
量を異ならせることにより、近接効果の防止を行なうこ
とが容易となつた。
第１図は、本発明の一実施例になる電子線描画装置のシ
ステム構成を示すブロツク図である。 第２図は、第１図における輪郭分解回路の具体的回路構
成の一例を示すブロツク回路図である。 第３図は、描画すべき原図形と原図形データとの対応関
係を示す説明図である。 第４図は、輪郭分解回路により輪郭分解された図形とそ
れに対応する図形データとの関係を示す説明図である。 第５図は、輪郭分解回路が輪郭分解を実行しない場合の
演算処理の方式を示す説明図である。 第６図は、輪郭分解回路が輪郭分解を実行する場合の演
算処理方式を示す説明図である。 第７図は、輪郭分解された各部分図形を実際に描画して
いくときの図形細分割の様子を示す説明図である。 図中、 １……ホストコンピユータ、２……バツフアメモリ、３
……輪郭分解回路、４……図形分解回路、５……露光時
間制御回路、６……D/A変換器、７……電子銃、８……
ブランキングプレート、９……静電偏向板、10……被描
画試料、36……電子ビーム、37……ビーム整形回路、39
……ビーム整形スリツト、11〜15……原図形データ入力
レジスタ、16……分解判定寸法入力レジスタ、17……分
解寸法入力レジスタ、18……分解判定および分解シーケ
ンス制御回路、19〜24……セレクタ、25,26……加算
器、27,28……減算器、29……図種データ出力レジス
タ、29′……フラツグデータ出力レジスタ、30……Ｘ出
力レジスタ、31……Ｙ出力レジスタ、33……Ｗ出力レジ
スタ、35……Ｈ出力レジスタ、S0,X0,Y0,W0,H0……原図
形データ、S,F,X,Y,W,H……輪郭分解後の図形データ、
S,F,x,y,w,h……図形分解後の細分割図形データ、401〜
404……輪郭部図形、405……内部図形、406〜409……輪
郭部図形データ、410……内部図形データ。
ステム構成を示すブロツク図である。 第２図は、第１図における輪郭分解回路の具体的回路構
成の一例を示すブロツク回路図である。 第３図は、描画すべき原図形と原図形データとの対応関
係を示す説明図である。 第４図は、輪郭分解回路により輪郭分解された図形とそ
れに対応する図形データとの関係を示す説明図である。 第５図は、輪郭分解回路が輪郭分解を実行しない場合の
演算処理の方式を示す説明図である。 第６図は、輪郭分解回路が輪郭分解を実行する場合の演
算処理方式を示す説明図である。 第７図は、輪郭分解された各部分図形を実際に描画して
いくときの図形細分割の様子を示す説明図である。 図中、 １……ホストコンピユータ、２……バツフアメモリ、３
……輪郭分解回路、４……図形分解回路、５……露光時
間制御回路、６……D/A変換器、７……電子銃、８……
ブランキングプレート、９……静電偏向板、10……被描
画試料、36……電子ビーム、37……ビーム整形回路、39
……ビーム整形スリツト、11〜15……原図形データ入力
レジスタ、16……分解判定寸法入力レジスタ、17……分
解寸法入力レジスタ、18……分解判定および分解シーケ
ンス制御回路、19〜24……セレクタ、25,26……加算
器、27,28……減算器、29……図種データ出力レジス
タ、29′……フラツグデータ出力レジスタ、30……Ｘ出
力レジスタ、31……Ｙ出力レジスタ、33……Ｗ出力レジ
スタ、35……Ｈ出力レジスタ、S0,X0,Y0,W0,H0……原図
形データ、S,F,X,Y,W,H……輪郭分解後の図形データ、
S,F,x,y,w,h……図形分解後の細分割図形データ、401〜
404……輪郭部図形、405……内部図形、406〜409……輪
郭部図形データ、410……内部図形データ。
Claims (7)
- 【請求項１】電子銃と、 該電子銃からの電子線をオンオフするブランキングプレ
ートと、 該電子線を所定の投射サイズに整形する可変電子線整形
スリットと、 整形された可変整形電子線を試料上の所定の位置に移動
する偏向手段とから成る電子線描画装置にあって、 入力パターン図形データを所定の寸法に従って、輪郭部
図形データと内部図形データとに分割する輪郭分解手段
と、 該可変整形電子線の投射サイズに変換する図形分解手段
と、 該図形分解手段からのデータにもとづいて該可変整形電
子線のを試料に照射する時間を制御する露光時間制御手
段から成ることを特徴とする電子線描画装置。 - 【請求項２】上記輪郭分解手段は上記入力パターン図形
データを分解できるか否かを判定する分解判定手段と、 分解手順をつかさどる分解シーケンス制御手段と、 パラメータ入力レジスタと、 入力図形データレジスタと、 分解図形データ出力レジスタを含むことを特徴とする請
求項１記載の電子線描画装置。 - 【請求項３】上記パラメータ入力レジスタは、輪郭幅デ
ータと、 近接効果分解判定データを格納していることを特徴とす
る請求項２記載の電子線描画装置。 - 【請求項４】上記入力図形データレジスタは座標データ
と、 図形の種類を示すデータを格納していることを特徴とす
る請求項２記載の電子線描画装置。 - 【請求項５】上記分解図形データ出力レジスタは分解後
の図形の種別を示すデータと、 輪郭データか内部データかを示すデータと、 分解後の座標データを格納していることを特徴とする請
求項２記載の電子線描画装置。 - 【請求項６】上記分解シーケンス制御手段は１クロック
サイクルごとに１図形のデータを演算する構成であるこ
とを特徴とする請求項２記載の電子線描画装置。 - 【請求項７】電子銃と、 該電子銃からの電子線をオンオフするブランキングプレ
ートと、 該電子線を所定の投射サイズに整形する可変電子線整形
スリットと、 整形された可変整形電子線を試料上の所定の位置に移動
する偏向手段とから成る電子線描画装置を用い被描画試
料に描画する電子線描画方法であって、 入力パターン図形データを所定の寸法に従って、輪郭部
図形データと内部図形データとに分割する工程と、 該分割データにもとづいて該可変整形電子線の投射サイ
ズに変換する工程と、 該変換されたデータにもとづいて該可変整形電子線の試
料に照射する時間を制御する工程を含むことを特徴とす
る電子線描画方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31635788A JP2703005B2 (ja) | 1987-12-18 | 1988-12-16 | 電子線描画装置及び描画方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-318808 | 1987-12-18 | ||
| JP31880887 | 1987-12-18 | ||
| JP31635788A JP2703005B2 (ja) | 1987-12-18 | 1988-12-16 | 電子線描画装置及び描画方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02138723A JPH02138723A (ja) | 1990-05-28 |
| JP2703005B2 true JP2703005B2 (ja) | 1998-01-26 |
Family
ID=26568631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31635788A Expired - Fee Related JP2703005B2 (ja) | 1987-12-18 | 1988-12-16 | 電子線描画装置及び描画方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2703005B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0322221U (ja) * | 1989-07-14 | 1991-03-07 | ||
| JP2880350B2 (ja) * | 1992-06-01 | 1999-04-05 | 株式会社日立製作所 | 電子線描画装置、及び、電子線描画方法 |
| JP2005129850A (ja) | 2003-10-27 | 2005-05-19 | Toshiba Corp | 荷電ビーム描画装置及び描画方法 |
| JP2008244194A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Nuflare Technology Inc | 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 |
| JP5126484B2 (ja) * | 2007-05-28 | 2013-01-23 | 大日本印刷株式会社 | 描画データの作成方法 |
| JP5309930B2 (ja) * | 2008-11-28 | 2013-10-09 | 大日本印刷株式会社 | 描画データ作成プログラム、描画データ作成方法、描画データ作成装置、描画システム |
| JP2012134570A (ja) * | 2012-04-11 | 2012-07-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 描画方法 |
-
1988
- 1988-12-16 JP JP31635788A patent/JP2703005B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02138723A (ja) | 1990-05-28 |
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