JPH03174289A - 配管の洗浄方法 - Google Patents
配管の洗浄方法Info
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- JPH03174289A JPH03174289A JP1315006A JP31500689A JPH03174289A JP H03174289 A JPH03174289 A JP H03174289A JP 1315006 A JP1315006 A JP 1315006A JP 31500689 A JP31500689 A JP 31500689A JP H03174289 A JPH03174289 A JP H03174289A
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- cleaning
- washing
- pipeline
- cooling water
- flow
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- Pending
Links
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- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 3
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Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
冷却水等を流す配管を有する装置の配管洗浄方法に関し
。
。
洗浄時間を短くしても完全に洗浄できるようにし、洗浄
のための設備遊休時間を短くして生産性を向上すること
を目的とし 装置内の配管の洗浄を行う際に、配管内に洗浄液を一方
向に流して洗浄し9次いで洗浄液の流れの方向を反転し
て洗浄する過程を有するように構成する。
のための設備遊休時間を短くして生産性を向上すること
を目的とし 装置内の配管の洗浄を行う際に、配管内に洗浄液を一方
向に流して洗浄し9次いで洗浄液の流れの方向を反転し
て洗浄する過程を有するように構成する。
本発明は冷却水等を流す配管を有する装置の配管洗浄方
法に関する。
法に関する。
本発明は2反応室の周囲やヒータ(RFコイル)内等に
冷却水を流す配管を有する気相成長(CVD)装置等の
配管洗浄に適用できる。
冷却水を流す配管を有する気相成長(CVD)装置等の
配管洗浄に適用できる。
以下の記述においては、装置の冷却水配管の洗浄を例に
とり説明する。
とり説明する。
上記装置の冷却水配管は長時間使用中に水垢等が管内に
堆積し、冷却効率を低下させて装置の稼動に支障をきた
さないように随時洗浄する必要がある。
堆積し、冷却効率を低下させて装置の稼動に支障をきた
さないように随時洗浄する必要がある。
第3図は従来の配管洗浄を説明する図である。
図において、対象装置1が稼動中は、装置l内には冷却
水が冷却水人口11から流量計12を通ってヒータ13
内に導入されヒータ13を冷却して冷却水出口14から
排出されている。
水が冷却水人口11から流量計12を通ってヒータ13
内に導入されヒータ13を冷却して冷却水出口14から
排出されている。
従来の配管洗浄は、洗浄剤の入った洗浄槽2から洗浄液
がポンプ3により汲み出され冷却水人口11に注入され
て、装置内の配管内を洗浄し洗浄槽2に排出していた。
がポンプ3により汲み出され冷却水人口11に注入され
て、装置内の配管内を洗浄し洗浄槽2に排出していた。
(発明が解決しようとする課題)
この際、装置内の配管が長いため、除去された塵が配管
内に引っ掛かり洗浄に長時間を要し、効率よく洗浄がで
きなかった。
内に引っ掛かり洗浄に長時間を要し、効率よく洗浄がで
きなかった。
本発明は洗浄時間を短くしても完全に洗浄できるように
し、洗浄のための設備遊休時間を短くして生産性を向上
することを目的とする。
し、洗浄のための設備遊休時間を短くして生産性を向上
することを目的とする。
(課題を解決するための手段)
上記課題の解決は、装置内の配管の洗浄を行う際に、配
管内に洗浄液を一方向に流して洗浄し次いで洗浄液の流
れの方向を反転して洗浄する過程を有する配管の洗浄方
法にまり達成される。
管内に洗浄液を一方向に流して洗浄し次いで洗浄液の流
れの方向を反転して洗浄する過程を有する配管の洗浄方
法にまり達成される。
本発明は洗浄液の反転させることにより冷却水出口側の
塵を効率良く除去することにより1次の第2図に示され
るように洗浄時間の短縮を行うようにしたものである。
塵を効率良く除去することにより1次の第2図に示され
るように洗浄時間の短縮を行うようにしたものである。
第2図は洗浄の経過時間に対する洗浄液の流量変化を示
す図である。
す図である。
この図は、第1図の実施例に対応する流量変化の図であ
る。
る。
図のA点で洗浄液の流れを反転する。この際1量計の抵
抗等の影響で流量は低下する。
抗等の影響で流量は低下する。
次に、B点で元に戻すと流量が激増した。
一方向のみの洗浄を行った場合は図の点線のようになり
1反転を行った場合の流量に到達するには更に長時間の
洗浄が必要なことがわかる。
1反転を行った場合の流量に到達するには更に長時間の
洗浄が必要なことがわかる。
第1図は本発明の一実施例の配管洗浄を説明する図であ
る。
る。
図において、対象装置1が稼動中は、装置l内には冷却
水が冷却水人口11から流量計12を通ってヒータ13
内に導入されヒータ13を出て冷却水出口14から排出
されている。
水が冷却水人口11から流量計12を通ってヒータ13
内に導入されヒータ13を出て冷却水出口14から排出
されている。
実施例の配管洗浄は次のように行った。
■ 洗浄剤の入った洗浄槽2から洗浄液をポンプ3によ
り汲み出し冷却水人口11に注入して、配管内を洗浄し
洗浄槽2に排出する。この状態で約2時間洗浄すると流
量は0.8 Kg/分から1.8 Kg/分に上昇した
。
り汲み出し冷却水人口11に注入して、配管内を洗浄し
洗浄槽2に排出する。この状態で約2時間洗浄すると流
量は0.8 Kg/分から1.8 Kg/分に上昇した
。
■ 次に、第1図のように洗浄液を冷却水出口14から
入れ、冷却水人口11から出すようにして洗浄液の流れ
を反転する。この時流量は0.8に61分に低下し、こ
の状態で約1時間30分間洗浄する。
入れ、冷却水人口11から出すようにして洗浄液の流れ
を反転する。この時流量は0.8に61分に低下し、こ
の状態で約1時間30分間洗浄する。
■ 洗浄液の流れを元に戻すと流量は3.8に87分に
激増した。この状態で約2時間洗浄したが流量の変化は
見られなかった。
激増した。この状態で約2時間洗浄したが流量の変化は
見られなかった。
ここで、洗浄に用いたポンプは洗浄液に侵されないよう
にマグネットポンプを用いた。
にマグネットポンプを用いた。
又、洗浄剤として市販の酸性洗浄液を用いた。
比較のために、中性洗浄剤を用いたが、一方向の流れで
8日間洗浄後も流量は0.8に87分にしかならなかっ
た。
8日間洗浄後も流量は0.8に87分にしかならなかっ
た。
以上のように、洗浄中の流量変化を見ることにより、実
施例の洗浄効果が顕著であり1洗浄時間が極端に短縮さ
れたことが確認された。
施例の洗浄効果が顕著であり1洗浄時間が極端に短縮さ
れたことが確認された。
以上説明したように本発明によれば、洗浄時間を短くシ
、洗浄のための設備遊休時間を短くして生産性を向上す
ることができた。
、洗浄のための設備遊休時間を短くして生産性を向上す
ることができた。
第1図は本発明の一実施例の配管洗浄を説明する図。
第2図は洗浄の経過時間に対する洗浄液の流量変化を示
す図。 第3図は従来の配管洗浄を説明する図である。 図において。 1は洗浄対象装置。 11は冷却水入口。 l2は流量計。 13はヒータ。 14は冷却水出口。 2は洗浄槽。 3はポンプ 丼たザ・1の説明図 第1図 軽 皿 時 間(時間) 洗浄液の:L量交叉化ホ丁面 第2図
す図。 第3図は従来の配管洗浄を説明する図である。 図において。 1は洗浄対象装置。 11は冷却水入口。 l2は流量計。 13はヒータ。 14は冷却水出口。 2は洗浄槽。 3はポンプ 丼たザ・1の説明図 第1図 軽 皿 時 間(時間) 洗浄液の:L量交叉化ホ丁面 第2図
Claims (1)
- 装置内の配管の洗浄を行う際に、配管内に洗浄液を一
方向に流して洗浄し、次いで洗浄液の流れの方向を反転
して洗浄する過程を有することを特徴とする配管の洗浄
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1315006A JPH03174289A (ja) | 1989-12-04 | 1989-12-04 | 配管の洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1315006A JPH03174289A (ja) | 1989-12-04 | 1989-12-04 | 配管の洗浄方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03174289A true JPH03174289A (ja) | 1991-07-29 |
Family
ID=18060285
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1315006A Pending JPH03174289A (ja) | 1989-12-04 | 1989-12-04 | 配管の洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03174289A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013177254A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Fz法による単結晶製造装置の誘導加熱コイルの洗浄方法 |
WO2017147680A1 (en) * | 2016-03-02 | 2017-09-08 | Envirologics Engineering Inc. | Cleaning inside and adjacent service connections in preparation for pipe lining method |
GB2558904A (en) * | 2017-01-18 | 2018-07-25 | The Haigh Eng Company Ltd | Screen plate apparatus and auger apparatus |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01258784A (ja) * | 1988-04-06 | 1989-10-16 | Toshiba Mach Co Ltd | 飲料ディスペンサの飲料流路の洗浄装置 |
-
1989
- 1989-12-04 JP JP1315006A patent/JPH03174289A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01258784A (ja) * | 1988-04-06 | 1989-10-16 | Toshiba Mach Co Ltd | 飲料ディスペンサの飲料流路の洗浄装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013177254A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Fz法による単結晶製造装置の誘導加熱コイルの洗浄方法 |
WO2017147680A1 (en) * | 2016-03-02 | 2017-09-08 | Envirologics Engineering Inc. | Cleaning inside and adjacent service connections in preparation for pipe lining method |
GB2552637A (en) * | 2016-03-02 | 2018-01-31 | Envirologics Eng Inc | Cleaning inside and adjacent service connections in preparation for pipe lining method |
GB2552637B (en) * | 2016-03-02 | 2018-10-10 | Envirologics Eng Inc | Cleaning inside and adjacent service connections in preparation for pipe lining method |
GB2558904A (en) * | 2017-01-18 | 2018-07-25 | The Haigh Eng Company Ltd | Screen plate apparatus and auger apparatus |
GB2558904B (en) * | 2017-01-18 | 2022-05-11 | The Haigh Eng Company Ltd | Screen plate apparatus and auger apparatus |
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