JPH03171786A - パルス・レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 この発明は電子式パルス・レーザ装置に関する。

好ましい実施例では、この発明は眼科手術又はその他の
医療用に適した電子式パルス・レーザ装置を提供する。

発明の背景 眼科手術及びその他の医療用には連続波レーザ装置を用
いるのが普通である。然し、従来の連続波レーザ装置は
、このような用途に用いた時、大量の廃熱を発生し、そ
の理由で、廃熱を散逸するために、外部の冷却水源（又
はその他の外部の冷却手段）を用いていた。

従来の或る連続波レーザ装置は、レーザ出力ビームを機
械的にパルス状出力ビームに変換するために、レーザビ
ーム通路内に機械的なシャッタ装置を用いていた。然し
、このような機械的なシャッタ装置は遅い。更に、この
ような機械的なシャッタ装置は、利用者が装置を作動す
る時には、何時でも耳障りなカチッという音を出すのが
典形的であり、これは処置を受ける患者を萎縮させる傾
向があるので望ましくない。

手術室内で（光凝固のような）医療用に用いられる従来
の或る連続波レーザ装置は、空冷であって可搬式である
。然し、この装置は手術室に温かい空気を押込むために
送風機を使うが、そのために室が快適さを失う程熱くな
る場合が多い。

この発明以前Ｊこは、医療用レーザ装置を音もせずに効
率よくどのように冷却するかは分かっていなかった。こ
の発明は、音もせず、可動の機械的な部品も用いずに、
レーザ装置を電子的にパルス駆動して、装置のデューテ
ィサイクル（並びにそれに伴って、装置によって発生さ
れる時間平均の熱）を減少することにより、この問題を
解決する。

この電子式パルス駆動方法により、この発明の装置は自
蔵式の内部の水冷手段で動作することができ、そのため
、装置は外部の給水接続部を必要とせず、可搬式である
。

発明の要約 この発明の装置はレーザと、予め選ばれたパラメータに
合うようなパルスの振幅、形及び、持続時間を持つパル
ス状レーザ出力ビームを発生するために、レーザに供給
される電力を変調する手段を含む電源とを有する。この
装置の電子式パルス動作モードは、装置の動作中に発生
される熱量を少なくし、このため装置は自蔵式の内部の
水冷手段で作用し得る。好ましい一実施例では、この発
明は、一杯のＣＷ電力で６及び７キロワットの間の熱を
発生し得るアルゴン・レーザ管を用いるがこの発明の電
子式パルス動作モードの間、僅か２．５キロワットの平
均エネルギしか発生しない。

出力ビームのパルス駆動のためにこの発明で使われる電
子式スイッチング回路は無音であって、機械的なビーム
・チョッパ手段よりもずっと速い（即ち、パルスの立上
り時間及び立下り時間がずっと短くなる）。好ましい一
実施例では、パルスの立上り時間は、約１／２ミリ秒で
あり、パルスの立下り時間はＩ／２ミリ秒よりずっと短
い。

装置の動作を安定にするため、出力ビームからのフィー
ドバックを電源制御手段で処理する。測定された出力エ
ネルギが予想値と合わない場合、レーザに対する電流を
変更する。測定された出力エネルギが選ばれた量（即ち
、２０％）よりも多く、予想値を越える場合、装置全体
が自動的に運転停止になる。

この発明の別の一面は冗長な安全手段である。

これは、出力ビームから２つのサンプル・ビームを抽出
するためのｌ個のビーム取出し装置を用いることが好ま
しい。一方のサンプル・ビームが電源制御手段に入って
処理される。他方のサンプル●ビームが安全回路に入り
、これは安全でない状態を表示するために、それ（並び
に装置のその他の動作パラメータ）を独立に監視する。

この発明は、眼科及び手術用に特に適しているが、その
他の用途にも役立つ。

好ましい実施例の詳しい説明 この発明の好ましい実施例の装置を第１図、第２図及び
第３図について説明する。第１図の装置はセラミック／
タングステンーアルゴン・レーザ管２を含み、これは適
当に給電された時、出力ビーム３を放出する。ビーム３
はそのエネルギ・スペクトルの主な部分が、４８８乃至
５１４ナノメータの波長範囲内にある。制御装ｆｌ６　
（後で説明する）からの制御信号（これは「緑のみ」フ
ィルタ信号とも呼ばれる）に応答して、作動装置４０が
制御信号を発生し、自動的にフィルタ４１をビーム３の
通路内に位置ぎめする。ビーム３の通路内に位置ぎめさ
れた時、フィルタ４ｌはビーム３の長い方の（緑の）波
長を通過させ、短い方（青）の波長の大部分を阻止する
。

別の実施例では、第１図の実施例で用いられるアルゴン
・レーザ管２の代わりに、種々のレーザ媒質のどれを用
いてもよい。この発明は連続波（ＣＷ）動作ができるレ
ーザでも、或いはＣＷ動作ができないレーザ（例えばダ
イオード・レーザ）でも使うことができる。

直流レーザ電源４が、制御装置６からの電気制御信号に
応答して、レーザ管２に高圧電力を供給する。各々の制
御信号に応答して、電源４が、管２から所望の持続時間
を持つパルスを放出させるのに十分な時間の間、管２に
電力を供給する。電源４が、管２に管電流を供給するＭ
ＯＳＦＥＴ通過バンク（７８）、管の中の媒質を電離す
るのに十分な高圧パルスを管２の陽極に供給する管始動
回路（又は「管パルス始動装置ｊ）（８２）、管２を取
巻く磁石を制御する磁石制御回路（８４）、及び管と並
列の電流に対する低インピーダンス通路を作ることによ
って、管２の非常に急速な運転停止を行なうクローバー
回路（８０）を含む。電源４は後で第３図について更に
詳しく説明する。

この発明の好ましい実施例を直流電源４の場合について
説明するが、この発明の他の実施例では、電源４は他の
形式の電源（例えば交流電源）に置換えることができる
。この発明の装置で使われる電源は（この発明の好まし
い実施例に於けるように）ＭＯＳＦＥＴ通過バンクを含
む必要がないが、予め選ばれたパラメータに合う振幅、
形及び持続時間を持つ出力パルスをレーザから放出させ
るために、（制御信号に応答して）レーザに対する電力
を変調することができなければならない。

この発明の好ましい実施例の装置（直流電源４を含む）
は、交流電源６４から給電される。これは単相形（好ま
しくは５Ｇ−６０１！の２０１１−２３０　ＶＡＣを用
いる）であるか、或いは３相形（好ましくは＋９５−２
５０　ＶＡＣ又は３８Ｇ−４１５　ＶＡＣを用イル）の
何れかである。電源６４が電気的に遮断器６２（単相の
２０８−　２３０　Ｖ　Ａ　Ｃ電源に使う場合は、好ま
しくは４０アンペアの遮断器）、主接触器５６、リレー
盤＋６（これが制御装置６に３４　　ＶＤＣ電力を供給
する）、隔離変圧器１Ｇ　（これが制御装１１６に１２
ＶＡＣ電力を供給する）、低圧電源１２、直流電源４、
陰極のヒータｌ４、冷却装置のポンプ２４、冷却装置の
ファン３０、並びにヒューズ５８を介して補助電力ソケ
ット６０に接続される。

陰極ヒータ１４は鉄共振フィラメント変圧器を含むこと
が好ましく、その一次巻線が接触器５６に接続され、二
次巻線が管２の陰極に対して一層低い交流電圧（典形的
には２５アンペアで、３ＶＡＣ）を供給する。低圧電源
１２は、制御装置６に＋５ＶＤＣ，１２　　ＶＤＣ，　
＋１５　　ＶＤＣ及び−１５ＶＤＣ電力（シャーシの大
地を基準として）を供給することが好ましく、この制御
装置がそれらを装置全体に分配する。接触器回路５６は
、装置のオペーレー夕が表示装置８のキー●スイッチを
作動したことに応答して、表示装置８から接触器回路５
６に送られるか、或いは（センサ２０．　３２．　４４
．　４６を含む装置の１つ又は更に多くのセンサからの
危険信号を受取った時に自動的に発生される）制御装ｌ
ｌＩ６からリレー盤１６を介して接触器回路５６へ送ら
れる適当な指令に応答して、交流電源６４を装置の他の
部分から切離す。

ボンプ２４が、装置の冷却剤閉ループの中に水（又はそ
の他の冷却剤流体）を循環させる。水は電源４の中にあ
るＭＯＳＦＥＴ通過バンクの中を循環してから、冷却剤
フィルター２２、レーザ管２、熱交換器２８及び貯蔵槽
２６を通る。ファン３０が強制的に熱交換器２８に空気
を通し、その後通気口（図面に示してない）を介して装
置の外へ出し、管２及びＭＯＳＦＥＴ通過バンクから冷
却水に伝わった熱を取去る。ファン３０の速度が、熱交
換器２８内の空気温度を表わす信号（好ましくは、熱交
換器２８内にある、図面に示してない温度センサによっ
て発生される）に応答して制御される。センサ２０，３
２が、夫々冷却剤流体の流量と温度を表わす信号を発生
し、これらの信号を制御装置６の中にあるＣＰＵＩＧＯ
（第２図に示す）に供給し、特定の流置及び温度状態が
発生した時、装置を不作動にするための制御信号を発生
するのに使う。好ましい実施例では、センサ３２が、０
°乃至＋６５℃の範囲の外側の冷却剤の流れの温度を示
した場合、又はセンサ２０が０．　５１ｐｍ未満の冷却
剤の流量を示した場合、制御装置６がレーザを不作動に
し、表示装置８によって適当な誤りメッセージを表示さ
せる。

この装置は、その状態で管２を動作させる電子的にパル
ス駆動するやり方のために、外部の冷却水流なしに動作
することができる。管２は、（後で説明する制御手段か
ら）電源４内にあるＭＯＳＦＥＴ通過バンクに供給され
る有限の持続時間の制御パルスに応答して、電離状態に
駆動される（そしてこの状態に保たれる）。こう云うパ
ルスの合間は管電流が流れず、従って、レーザ媒質に管
電流が連続的に供給される従来のレーザ装置よりも、発
生される熱がずっと少ない。

制御装置６が装置の全体的な制御作用を行ない、“６８
００Ｇ”マイクロプロセッサ（モータローラ社から入手
し得る）　、ＥＰＲＯＭ及びＲＡＭ回路、アナログ●デ
ィジタル及びディジタル・アナログ変換回路、カウンタ
／タイマ、監視タイマ、Ｒｓ２３２及びＲ　Ｓ　４８５
ボート及びディジタル人力／出力回路を含んでいる。マ
イクロプロセッサが、ＲＯＭに永久的に記憶されている
１組のソウトウェア命令を実行して装置の性能を監視し
、オペレータの入力に応答してレーザを安全に動作させ
る。制御回路６は後で第２図について更に詳しく説明す
る。

表示装ｌＩ８が直列通信回線（Ｒ　Ｓ　４８５回線が好
ましく、この場合、装置８はＲ　Ｓ　４８５ボートを持
っている）によって、制御装置６と接続される。

装置８は、装置のオペレータ用の種々の制御部及び表示
器を取付ける前面パネル、“８ｏ３２”マイクロブロッ
セ（第１図ノＣ　Ｐ　Ｕ　　８　１）、ＲＯＭ回路、及
びマイクロプロセッサを前面パネルの制御部及び表示器
とインタフェース接続する回路を持っている。表示装置
８内のＲＯＭは、制御装置６との通信、（エネルギ・レ
ベル、患者の露出時間、状態灯のような）表示される情
報の管理、及び（「待機」又は「準備完了」動作モード
の指令、エネルギ増減指令、患者の露出の設定等のよう
な）オペレータの入力の検出と云う３つの機能を監視す
るようにプログラムしておくことが好ましい。

電源３４から給電されるヘリウム・ネオン・レーザ３６
が、レーザ２からの出力ビーム３の照準を合わせるのに
使うためのＨｅＮｅ照準ビーム３７を発生する。照準ビ
ーム３７が折り曲げ鏡４３によって、ビーム３の内、鏡
４３を（右向きに）透過した部分と一緒なるように、方
向ぎめされる。遠隔制御が可能なビーム減衰器３８が、
レーザ３６と鏡４３の間でビーム３７の通路に取付けら
れる。減衰器３８は、ビーム３７を減衰させるために、
装置４０からの制御信号によって作動することができる
。

電力を節約するために、ＨｅＮｅビーム３７は電源４が
オフである時、（即ち、ビーム３がない時）光ファイバ
取付け部６８に向けることができ、こうしてレーザ２及
び電源４の電力を消費せずに、装置の光学部品を整合さ
せることができる。アルゴン・レーザ出力ビーム３と共
にＨｅＮｅ　ビーム３７を使うと、（可動の目安全フィ
ルタであると、装置の異なる動作モードの間、ビームの
通路に出し入れしなければならないが、その代わりに）
固定の目安全フィルタを送出し装置７０の中に使うこと
ができると云う利点がある。

（ビーム３からと共にビーム３７からのエネルギを含む
が、以下簡単のためにビーム３と呼ぶ）ＡＨ合せビーム
がビーム標本化手段４２を通って伝搬し、安全シャッタ
４８を通り、送出し装置７０へ達する。

この装置は、ビームを光ファイバ６９（第４図に示す）
に結合するための光ファイバ取付け部６８（第４図に一
番よく示されている）を含む。

ビーム標本化手段４２は、組合わせビームの２つの部分
を光センサ４４．　４．６に方向転換する種々の手段の
どれを持っていてもよい。例えば、ビーム標本化手段４
２は、何れもビームの一部分を光センサ４４，　４６の
一方に反射する一対の部分的に反射性の素子で構成して
もよい。第４図に示すように、ビーム標本化手段４２は
くさび形ビーム分割器であることが好ましく、前面６２
（これは入ってくるビーム３に対して４９°に略等しい
角度を持つ向きに配置することが好ましい）、及び後面
１６２（これは入ってくるビーム３に対して４９°より
若干大きい角度の向きに配置することが好ましい）を持
っている。ビーム３一部分３Ａが面６２で反射され、（
基部４５に取付けられた）エネルギ光電池４４へと伝搬
する。ビーム３の部分３Ｂが後面＋６２で反射され、そ
の後くさび形ビーム分割器４２の中から面６２を通って
安全光電池４６（基部４５に取付けられている）へと外
へ伝搬する時に、面６４で屈折する。

入ってきたビーム３の残りの部分３Ｃがビーム分割器４
２を透過し、面６２に入って面１６２から出ていき、入
ってきたビーム３に対して小さな角度（第１図の実施例
では、略３．４７°に等しい）でビーム分割器４２から
出ていく。その後、これは光ファイバ取付け部６８へ伝
搬し、この取付け部がビームを光ファイバ６９へ送出す
。

出力ビーム・エネルギを表わす、光電池４４からの出力
信号が（第１図に示す場合は）制御装置６へ供給され、
並びに／又は（第３図に示す場合は）直流電源４内の制
御回路へ直接的に供給される。

この場合、それが処理されて、装置の誤り及び制御信号
を発生する。同様に、出力ビーム・エネルギを表わす光
電池４６からの出力信号が安全モニタ５４に供給され、
そこで処理されて、装置の誤り及び制御信号を発生する
。制御装置６は、センサ２０，３２の出力のような装置
のこの他のセンサ信号をも受取る。

くさび形ビーム分割器４２が整合外れになるか或いは（
例えば、装置に損傷が加わった結果として、偶発的に）
全く外れた場合、ビーム３は、ビーム分割器４２が第４
図に示すように正しく整合している場合とは、ファイバ
取付け部６８上の異なる場所に入射する。取付け部６８
を正しく設計することにより（即ち、それが十分小さい
開口を持つように設計することにより）、ビーム３は、
ビーム分割器４２が整合外れであるか、或いはなくなっ
た時、ファイバ６９に入らないようにすることができる
。

これは、光検出器４４．　４６からのビーム・サンプル
信号がない場合、安全モニタ５４及び制御装置６が意図
するように動作しない（そしてどんな場合でも、安全で
ない動作状態を防止しない）ので、望ましいことである
。

好ましい実施例では、装置のセンサ信号の処理及び誤り
及び制御信号の発生が分布していて、そ動作のあるもの
は安全モニタ回路５４内で行なわれる。例えば、好まし
い実施例では、モニタ５４が、安全シャッタ４８が開い
ているか閉じているかを示すセンサ信号（これは図面に
示してないが、作動装置及びセンサ装置５０にあるセン
サからくる）を受取り、センサ４６からの出力ビーム・
エネルギ信号はモニタ５４にも送られる。モニタ５４内
の測定及び論理回路が、出力ビーム・エネルギが、オペ
レータによって要請された（又はモニタ５４の自己試験
のために制御回路６によって設定された）レベルを越え
たと判定すると、モニタ５４がレーザの運転を停止する
信号を発生し、安全シャツタを閉じ、表示装置に誤りメ
ッセージを表示する。主な運転停止方法は、電力ＭＯＳ
ＦＥＴ通過バンク７８によってレーザ電流をターンオフ
することである。

電源４内にあるクローバー回路８０によって冗長な運転
停止手段が構威されている。これがレーザから電流を方
向転換する。これによって、電力ＭＯＳＦＥＴ通過バン
ク７８が故障（短絡）した場合でも、レーザの運転停止
が保証される。

モニタ５４内の論理回路は、フットスイッチからの露出
信号がない状態で、安全シャッタ４８が開いていて、レ
ーザ出力が検出された場合にも、接触器５６により、主
交流電源をターンオフする。非常に大きなレーザ出力（
即ち、３．９５ワットより大きい出力）が発生した場合
も、接触器５６をターンオフする。

モニタ５４は、始動時自己試験プログラムの際、制御回
路６によって試験することが好ましい。これは安全シャ
ッタ４８を閉じた状態で行なわれる。

制御回路６によって直流電源４及びモニタ５４に送られ
るレーザ出力エネルギ及び時間の値は、運転停止装置を
作動するように調節される。

次に好ましい実施例の制御装置６を第２図について説明
する。マイクロプロッセサ１００（好ましくはモータロ
ーラ社から入手し得る６８００Ｇ集積回路）が、バス１
０２を介して、制御回路のメモリ回路、ＥＰＲＯＭ　＋
０４及び非揮発性ＲＡＭ　（ＮＶＲＡＭ）１０６、及び
制御装置のその他の部品と連絡する。

メモリ・マップ復号回路＋０８が、メモリ回路１０４，
１０６に対する復号及びタイミング信号を供給する。

マイクロプロッセサ１００が水晶クロック１０１からの
クロック・パルス、及び（装置のオペレータから供給さ
れる「電力オフ」及び「電カオン」指令１３４、及びデ
ィジタルＩ／Ｏ回路１４０から供給される割込み復号回
路１３６からの指令のような）外部で発生された指令を
受取り、装置の性能を監視して、レーザを安全に運転す
るために、Ｅ　Ｐ　Ｒ　Ｏ．Ｍ　＋０４に永久的に記憶
されている１組のソウトウエア命令を実行する。回路１
０６は、装置の電力が切れた場合でも、データを保存す
るための内部リチウム蓄電池を持つことが好ましい。

マイクロプロッセサ１００からのディジタル信号がバス
１０２を介してディジタルＩ／Ｏ回路１４０に送られ、
或いはバス１Ｇ２及びバッファ＋１０を介してディジタ
ル・アナログ変換器１１４．　１１６に送られる。Ｄ／
Ａ変換器１１６が（その時レーザが供給することが要請
されている出力エネルギ・レベルを表わす）ディジタル
制御信号をアナログ形式に変換し、その形で電源インタ
フェース１２０を介して電源４及び安全モニタ５４に送
られる。Ｄ／Ａ変換器１１４が（レーザが供給すること
が要請されている出力エネルギ・レベルを表わす）ディ
ジタル制御信号をアナログ形式に変換し、その形で安全
モニタ・インタフェース！１８を介して安全モニタ５４
に供給される。基準電圧源＋１２がＤ／Ａ変換器１１４
，　　１１６に対する直流基準電圧（−＋１１Ｖである
ことが好ましい）を供給する。通常の動作の間、変換器
１１４，　　１１６が受取る信号は同一であるが、自己
検査モード（装置の電源を投入する度に、このモードに
自動的に入ることが好ましい）の間、それらが受取る値
は異なることがある。

アナログ・ディジタル変換器１２６が安全モニタ５４及
び送出し装置７０から（インタフェース１１８及びマル
チプレクサ１２８を介して）多重化されたアナログ信号
を受取り、バス１０２に伝送するために、それらをディ
ジタル形式に変換する。

カウンタ／タイマ回路１２２は少なくとも２つの２　８
５３６集積回路を持つことが好ましい。一方の２８５３
６は、「露出時間」信号を発生するために使われるが、
その値は、マイクロプロッセサ１００によってその中の
タイマにロードされるパラメータによって決定され、そ
れがインタフェース１２０を介してレーザ電源４に送ら
れる。２番目の２　８５３６を使って、「安全モニタ露
出タイマ」信号を発生する。その値が、マイクロプロッ
セサ１００によってその中のタイマにロードされたパラ
メータによって決定され、それがインタフェース１１０
を介して安全モニタ５４に送られる（そこでモニタ５４
内の他の安゜全回路に対する付能として、並びに時間オ
ーバ及び時間不足欠陥信号を発生するために使われる）
。

ディジタルＩ／Ｏ回路１４０は３つの２　８５３６集積
回路を持つことが好ましく、その各々が２２個の入力／
出力ボートを持っている。各々のボートは、マイクロプ
ロセッサ１００からの指令により、入力ボート、出力ボ
ート又は両方向ポートとして動作するように独立にその
形式を定めることができ、種々のモードのどのモードに
もすることができる。好ましい実施例では、３個１組の
２　８５３６集積回路が回路１２２及び回路１４０の両
方として作用をする。

例えば、一実施例では、１番目の２　８５３６回路が、
次のように構威されたボートを持っている。

「サービス・モード」スイッチ（これは装置のオペレー
タにより、装置のサービスを一層容易に行なうことがで
きるようなモードを開始するために、閉じることができ
る）及び「診断モード」スイッチ（これは装置の自己試
験モードを開始するために装置のオペレータによって閉
じることができる）の状態を監視するための入力ボート
、マイクロプロッセサ１００からの指令に応答して、接
触器を引き外すために主接触器５６に接続されている出
力ポート、電源４からのクローバー回路状態信号を監視
するための入力ポート、管の始動に備えて、管電圧を傾
斜状に増加し始めるように電源４に指示するため、電源
４に接続された出力ボート、電源４内の管始動回路を作
動するために電源４に接続された出力ボート、電源４内
のクローバー回路を作動するために電源４に接続された
出力ポート、作動及びセンサ装置５０内にあるセンサ（
このセンサは安全シャッタ４８がその直流電源に接続さ
れているかどうか従って、シャッタ４８が開いているか
閉じているかを示す）の状態を監視するための入力ポー
ト、送出し装置７０にあるフット・スイッチを押したこ
とを模擬するようにモニタ５４に指示するため、安全モ
ニタ５４に接続された出力ボート、Ｄ／Ａ変換器１１４
．　　１１６に付能信号を送るための出力ポート、電源
４内の管磁石回路を作動するために電源４に接続された
出力ポート、及び露出の開始、持続時間及び終わり（即
ち、送出し装置７０を通ってきたレーザ出力ビームに対
する患者の露出）を表わす正確なタイミングのパルスを
発生するために、電源４に接続された出力ボートとして
構威されている。

２番目の２８５３６回路は、次のように構成されたボー
トを持つことが好ましい。（レーザ電源４内にあるＭＯ
ＳＦＥＴ通過バンク７８に送られる露出制御信号を同期
させるのに使うための）交流電源からの交流電力信号が
ゼロ・ボルトと交差する度に、パルスを発生するゼロ交
差検出手段（電源４内にある）の状態を監視する入力ボ
ート、Ａ／Ｄ変換器１　２　６の状態を監視する入力ボ
ート、作動装置４０の状態を監視する入力ポート、送出
し装置に制御信号を供給して、レーザ出力ビーム３に患
者が露出される前に、その中の医者の目に対する安全フ
ィルタを作動するように、送出し装５１７０に接続され
た出力ボート、送出し装置７０内の目安全フィルタの状
態を監視する入力ボート、（偏光フィルタを含む実施例
の場合）な（ＨｅＮｅビーム３７の通路内で偏光フィル
タを回転させるための信号を供給する出力ポート、Ｈｅ
Ｎｅレーザの電源３４を制御するために作動装置４０に
オン／オフ信号を供給する出力ポート、及び患者の露出
の開始、持続時間及び終わりを表わす正確なタイミング
のパルスを発生するために、安全モニタ５４に接続され
た出力ポートとして構成される。

３番目の２　８５３６回路は、次のように構成されたポ
ートを持つことが好ましい。（可聴増幅器及びスピーカ
を駆動するために）ビーツ音回路１５２に電圧パルスを
供給する出力ボート、安全シャッタ４８を付能／不作動
にするために作動装置５０に対する直流供給電圧（好ま
しくは＋２　　ＶＤＣ）を付能／不作動にする出力ボー
ト、安全シャッタ４８の状態を監視する入力ボート、送
出し装１１Ｆ７０内にあるオペレータが作動し得るフッ
ト・スイッチの状態を監視する入力ボート、アナログ・
マルチプレクサ１２ｇに付能パルスを供給する出力ボー
ト、フィルタ４ｌを作動するために作動装置４０に制御
信号を供給する出力ボート、フィルタ４ｌの状態を監視
する入力ボート、閉ループ冷却剤流回路による冷却剤流
センサの状態（これは冷却剤の流れがなくなったことを
知らせ、レーザの運転停止を要求する）を監視する入力
ポート、及びマルチプレクサ１２８に対する１つ又は更
に多くのアナログ入力を選択する出力ポートとして構成
されている。

好ましい実施例では、表示装置８が、ＵＡＲＴ１４２及
びＲ　Ｓ　４８５ポート１４８を含むＲ　Ｓ　４８５バ
スを介して、制御装置６と連絡する。制御装置６はバス
・マスクとして作用し、表示装置８内のＣＰＵ　　８ｇ
がバス・スレーブとして作用する。

ＣＰＵ　　８１が、８０３２マイクロプロセッサである
好ましい実施例では、ＣＰＵ　　８１が、比較的速度の
遅いバスをＣＰＵ　　８！内の高速のマイクロコントロ
ーラ回路とインタフェース接続するための内部ＵＡＲＴ
を含む。

ＵＡＲＴ　１４２が水晶クロック装［１４４によって発
生されたクロック信号を利用し、（制御装ｌ！６の外部
の周辺装置と連絡するため）ＣＰＵＩＯＯとＲ　Ｓ　４
８５ボート１４６の間、並びに（サービス端末と連絡す
るため）　ＣＰＵ　　１０ＧとＲ　Ｓ　２３２ポート１
５０の間の信号の流れを扱う。

次に第３図について好ましい実施例の直流電源４を説明
する。第３図の実施例は、単相２０８−２３０ＶＡＣ電
力が交流電源６４から接触器５６を介して供給される場
合に使うように設計されている。

電源４がレーザ管２に給電するための直流電圧（コンデ
ンサ貯蔵バンク７４の出力端子の間のＢ＋／Ｂ一電圧）
を発生し、制御装置６からデイジタル及びアナログ制御
信号（並びにレーザビーム出力エネルギ・フィードバッ
ク信号）に応答して、管２の電離をトリガーし、特定さ
れた露出期間の間、管２を所望のレーザ出力ビーム・エ
ネルギ・レベルに保つ手段を含んでいる。各々の露出の
始めにレーザ管２を始動し、露出の合間はそれをターン
オフすることにより、レーザ管によって発生される時間
平均の熱量は（レーザが連続的に給電される場合に比べ
て）大幅に減少する。

ＳＣＲ予備調整装置７２内にある半導体制御整流器（Ｓ
ＣＲ）７５及び７７が、接触器５６から夫々交流入力線
７１．　７３と直列に接続されている。コンデンサ貯蔵
バンク７４と記された１組のコンデンサに、Ｂ　＋／Ｂ
一電圧が、ＳＣＲ　　Ｔ５．　７７の位相角制御の点弧
によって発生される。バンク７４は並列に接続した３個
の１４，　０００マイクロファラッドのコンデンサを持
つことが好ましい。露出の合間、電圧Ｂ＋は＋５５ＶＤ
Ｃに保たれる。管の始動時刻の時、電圧Ｂ十を１７０Ｖ
ＤＣまで傾斜状に上げ、露出の間、実際の管電圧より一
定レベル（好ましくは１２ＶＤＣ）高い値に保たれる。

予備調整器７２内のＳＣＲ　　７５に対する高圧交流入
力がＳＣＲ　　７７に対する高圧交流入力に対して正で
ある各々の半サイクルの間、ＳＣＲ回路７７内にあるダ
イオードが導電し（こうして負の線の電圧をＢ一線に通
し）、この半サイクル全体の間、ＳＣＲ　　７７のゲー
トはオフにとりまり、点弧制御回路７９を付能して、半
サイクルの間の任意の時に（Ｂ＋コンデンサに給電する
のに必要なように）ＳＣＲ回路７５のゲートを点弧する
。次の半サイクルの間、ＳＣＲ　　７５、及び７７の役
割りが入れ換わり、ＳＣＲ　　７５のゲートがオフで、
ＳＣＲ　　７７の点弧が付能される。回路７６内の点弧
制御回路７９が、ＳＣＲ予備調整器７２内にあるＳＣＲ
　　７５．　７７を交互に点弧して、露出の合間、Ｂ十
電圧を１５５ＶＤＣに保ち、管の始動時刻の時に、Ｂ十
電圧を１５５ＶＤＣから１７０ＶＤＣへ傾斜状に高め、
露出の間、実際の管の電圧より一定レベル（好ましくは
１２ＶＤＣ）高いレベルにＢ十電圧を保つ。

回路７２内にある点弧制御回路７９が一対の変圧器を含
み、その各々の二次側がＳＣＲ　　７５及びＴ７の内の
一方に接続され、更に各々の変圧器の一次側にトリガー
・パルスを供給する回路を含む。各々のトリガー・パル
ス発生回路は、ＬＭ５５６集積回路を含むことが好まし
く、制御装１１６からの制御信号と、制御回路７６のゼ
ロ交差検出回路の出力とに応答して、そのＲＳＴ入力が
高（トリガー●バルスを発生させる）又は低に駆動され
る。

予備調整器７２は電源８３、ダイオード８５及び誘導子
８７をも含む。電源８３が入力線７１．　７３の間に接
続され、大きさ（Ｂ−）、（Ｂ−）−　（１２ボルト）
及び（Ｂ−）＋　（＋２ボルト）を持つ直流電圧信号を
出力する。誘導子８７が、ＳＣＲ　　７５及び７７を通
過した正の交流半サイクルをコンデンサ・バンク７４へ
と濾波する。ダイオード８５がスウイングパック・ダイ
オードとして作用し、ＳＣ７　　７５．　　７７の両方
がオフである時、誘導子８７が蓄積エネルギをコンデン
サ・バンク７４に放出することができるようにする。コ
ンデンサ・バンク７４の両端の電圧がＢ十供給電圧であ
る。

普通の動作では、光制御信号（後で説明する）を使って
、管２を通る電流を、表示装置８で要請された出力ビー
ム・エネルギを供給するのに必要なレベルに保つ。電流
が（管とＢ一端子の間で）管２と直列のＭＯＳＦＥＴ通
過バンク７８内にある４個の並列ＭＯＳＦＥＴの導電を
制御することによって制御される。制御装置６が電源４
内にある制御回路７６に対し、（典形的には約５０ミリ
ワット乃至約２．５ワ・ットの範囲内の）必要とする電
力レベルを表わすアナログ電圧を供給する。電カセンサ
４４が、実際の出力ビーム・エネルギに比例するフィー
ドバック信号を回路７６に供給する。センサ４４の出力
は、制御装置６からのアナログ電力要請電圧と同じ電圧
範囲となるように較正される。制御回路７６がパンク７
８内にあるＭＯＳＦＥＴの導電を増減して、センサ４４
からのフィードバック電圧が電力要請電圧と釣合うよう
にする。

好ましい一実施例では、回路７６は電流制御モード（こ
の時装置のサービスを行なうのが一層容易になる）でも
動作し、この時、ＭＯＳＦＥＴの導電を設定して一定の
管電流を供給する。

交流電源６４が３相信号を発生する実施例では、直流電
源４が両波ブリッジ整流器及び１組のインラインＦＥＴ
　（電界効果トランジスタ）を含んでいて、３相交流電
力信号からＢ十電圧を発生することが好ましい。

蓄積バンク７４のＢ十端子に直結になった管の磁石２ｍ
が、毎回の露出より交流電力ゼロ交差３回前の時刻に（
回路７６からの制御信号に応答して）磁石スイッチ８４
によってターンオンされ、（Ｂ＋が１５５ＶＤＣを越え
るまでは。越えた場合磁石２１はコンデンサを１５５Ｖ
ＤＣのレベルまで放電させる状態に保たれ、その点で磁
石をターンオフする）露出の終わりにターンオフされる
。

陰極ヒータｌ４は鉄共振フィラメント変圧器を含むこと
が好ましく、その一次巻線が電源６４に接続され、その
二次巻線がＭＯＳＦＥＴ通過バンク７８及び管２の陰極
に接続される。フィラメント変圧器が広い範囲の交流供
給電圧に自動的に合わせて調節して、管２の陰極に選ば
れた交流電力（典形的には２５アンペアで３　　ＶＡＣ
）を供給し、取付ける時に、変圧器のタップの取り直し
をする必要がない。回路７６からの制御信号に応答して
、管パルス始動器８２が管２を通る電流の流れを監視す
る。

ＳＣＲ予備調整器７２内にあるゼロ交差検出回路が、交
流電源の各々のゼロ交差の開始を示す信号を回路７６に
供給する。回路７６はこのゼロ交差信号を用いて、その
電力要請及びＢ＋の上向きの傾斜を調時して、この要請
がゼロ交差の時に始まるようにする。

電源４に送られる、又はそれから出てくる全ての論理及
びアナログ電圧は、ディジタル又はアナログの大地を基
準とする。電源４の中にあって、ディジタル又はアナロ
グの大地を基準とする回路は、ｒ＋／−＋５　　ＶＤＣ
及び＋５　　ＶＤＣＪ電源１２　（制御装ｒＩｌ６に接
続されている）からの直流動作電圧を用いる。この電源
は制御装置６を介して電源４と連絡する。電源４内にあ
るこの他の回路は、電圧Ｂ一を基準として＋／−１２　
　ＶＤＣで動作する。光隔離器を使って、アナログ又は
デイジタルの大地を基準とする回路とＢ−を基準とする
回路との間で信号をやり取りする。

クローバー回路８Ｄが、安全モニタ５４及び制御回路７
６の両方からの指令に応答し、管２に非常に抵抗値の小
さい分路を作ることにより、露出を速やかに終了させる
ことができる。

制御装１１７６内にある通過バンク駆動回路が制御信号
（信号Ｂ−を基準とする）を発生し、この制御信号を、
通過バンク７８内にあるＭＯＳＦＥＴに対するゲート電
圧を制御する４つの増幅器に送る。

制御信号は、電カセンサ４４からのフィードバック電力
信号に応答して発生され、レーザの出力エネルギを装置
のオペレータによって要請されたビーム・エネルギ・レ
ベルと釣合わせるのに必要な管電流を表わす（このため
、例えば、測定された出力ビーム●エネルギがオペレー
タによって要請されたビーム・エネルギ・レベルを越え
る場合、制御信号は管電流を減少させる傾向がある）。

各々の増幅器の出力が、通過バンク７８内で並列に接続
された４つのＭＯＳＦＥＴの内の１つのゲートを駆動す
る。ＭＯＳＦＥＴの導電が管２を通る電流を決定し、４
つのＭＯＳＦＥＴの各々が全管電流の１／４を通す。

管パルス始動回路８２が、管を電離するのに十分な高圧
パルスを管の陽極に供給する。回路８２が変圧器、ＦＥ
Ｔ及びコンデンサを含むことが好ましい。ＦＥＴをター
ンオンして、コンデンサを変圧器の一次側を介して放電
させる。コンデンサが放電すると、変圧器の二次側に大
きい直流電圧を誘起される。二次側が管の陽極に接続さ
れ、このため、（磁石２ａがオンであり、通過バンクの
駆動がまだ存在していて、回路７２内の上向き傾斜回路
が電圧Ｂ十を適正なレベル（好ましくは１７０ＶＤＣ）
までもってきたと仮定すると）、管はこの大きな直流電
圧に応答して始動する。

装置のオペレータは、送出し装置７０内のあるフット・
スイッチを押すことによって、露出をトリガーすること
ができる。制御装ａ６が「フット・スイッチ作動」信号
を、フット・スイッチを押している間電源４に供給し、
電源４に、「フット・スイッチ作動」信号の持続時間の
間、直流電力パルスをレーザ２に供給させる（それと共
に、ＭＯＳＦＥＴ通過バンク７８にこの期間中、所望の
レーザ管電流を誘起させる）。同様に、表示装置８（又
は送出し装ｆｉ７Ｇ）の制御キー又はスイッチを作動す
ることにより、オペレータが入力した露出要請に応答し
て、制御装１６がオペレータによって特定された持続時
間を持つ「露出タイマ」信号を電源４に送り、「露出タ
イマ」信号の持続時間の間、電源４に直流電力パルスを
レーザ２に供給させる。

制御装置６は、「露出タイマ」又は「フット・スイッチ
作動」信号の前縁から調時した「始動」をも発生する。

「始動」信号に応答して、電源４内にある始動回路８２
が直流電力をレーザに通して、管を電離する。

好ましい実施例では、制御回路７６が、「露出タイマ」
又は「フット・スイッチ作動」信号と同じ持続時間を持
つ光制御信号を通過バンク７８内にある４個１組の増幅
器に供給する。各々の増幅器が、通過バンク７８内にあ
る１つのＭＯＳＦＥＴに対スるゲート電圧を制御する。

各々の増幅器の出力が関連するＭＯＳＦＥＴのゲートを
、ＭＯＳＦＥＴに所望の電流が流れるようにするレベル
へ駆動し、この結果、所望のレーザ管電流が流れる。好
ましくは各々のＭＯＳＦＥＴは２ＯＡのヒューズによっ
て保護し、各々のゲート駆動増幅器の入力は０．０５Ａ
のヒューズによって保護する。これらのヒューズは、故
障のＭＯＳＦＥＴを切離すものであり、残りのＭＯＳＦ
ＥＴを使って装置の動作を続けることができるようにす
る。

クローバー回路８０が制御回路７６からの制御信号に応
答して点弧される。この制御信号は、制御装置６から、
又は制御装置６を通じて安全モニタ５４からの「運転停
止」信号に応答して発生される。

クローバー回路８０が点弧されると、電源８３からの大
きさ（Ｂ−）−１２Ｖを持つ直流電圧が（光制御信号と
して）通過バンク７８内の増幅器に供給され、各々のＭ
ＯＳＦＥＴのゲート駆動をターンオフすると共に、通過
バンク７８内の各々のＭＯＳＦＥＴのゲート駆動線に直
接的に供給されて、ＭＯＳＦＥＴをターンオフする。ク
ローバー回路８０が点弧された時、クローバー回路８０
内のＳＣＲ回路が管電流をレーザ管から分路する（従っ
て管は電離しなくなる）。

磁石制御スイッチ８４は、制御回路７６からの「磁石」
信号が作動状態になった時に管の磁石２１をターンオン
するが、これは、管始動回路８２が管２の電流をトリガ
ーするよりも少し前（好ましくは電源６４１からの交流
信号の３ゼロ交差前）にターンオンする。一旦磁石２Ｍ
がターンオンになると、これは露出の持続時間の間、オ
ンにとＶまることが好ましい（即ち、「磁石」信号は、
上に述べた「露出タイマ」又は「フット・スイッチ作動
」信号と同じ持続時間の間作用状態にとＶまる）。露出
の終わりに、「磁石」信号が不作動になり、回路８４は
（電圧Ｂ＋が１５５ＶＤＣより大きくなければ）磁石２
１を遮断し、或いは電圧Ｂ＋がＩＳ５ＶＤＣに下がるま
で磁石２１をオンに保つ（こうして電圧Ｂ＋を放出する
のを助ける）。

好ましい実施例では、制御回路７６が電圧Ｂ十を監視し
、Ｂ十が２１０■を越えると制御装厘６に制御信号を送
る。これに対して制御装置６が「接触器引き外し」線（
第１図に示す）を介してリレー盤ｌ６に制御信号を送り
、（それに対する２４　　Ｖの供給を遮断することによ
って）主接触器５６を開き、こうして装置に対する交流
電力を遮断する。

この発明の範囲内で当業者には、この発明の構造及び作
用に種々の変更を加えることが容易に考えられよう。こ
の発明を特定の好ましい実施例に関連して説明したが、
特許請求の範囲はこのような具体的な実施例のみに不当
に制限されないことを承知されたい。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の好ましい実施例の回路図、第２図は
第１図の実施例の制御装置のブロック図、第３図は第１
図の実施例の直流電源のブロック図、第４図は第１図の
実施例の光学装置の一部分の略図である。 ４・・・電源 ６・・・制御装置 １２・・・レーザ管

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　レーザと、制御信号に応答して電力パルスを発生す
   る電子スイッチング手段を含んでいて、前記レーザにパ
   ルス電力を供給する電源と、前記制御パルスを前記電源
   に供給する制御手段とを有するパルス・レーザ装置。 ２　特許請求の範囲１に記載したパルス・レーザ装置に
   於いて、前記レーザが出力ビームを発生し、前記電源が
   直流電源であって、交流電力を受取って、該交流電力を
   高圧直流電力に変換する変換器手段と、該変換器手段に
   接続されていて、前記高圧直流電力及び始動制御信号に
   応答して前記レーザを始動させる手段を含むレーザ始動
   回路と、光制御信号に応答してレーザの出力ビームを調
   節するレーザ電流手段とを含んでおり、該光制御信号が
   露出期間を決定するパルス・レーザ装置。 ３　特許請求の範囲２に記載したパルス・レーザ装置に
   於いて、前記交流電力が単相交流２０８乃至２３０Ｖの
   電力であるパルス・レーザ装置。 ４　特許請求の範囲２に記載したパルス・レーザ装置に
   於いて、前記交換器手段が、前記交流電力を受取って、
   点弧制御信号に応答して、それから整流電力を発生する
   半導体制御整流器装置と、該半導体制御整流器装置に接
   続されたコンデンサ貯蔵バンクとを含み、該コンデンサ
   貯蔵バンクが整流された電力を濾波された高圧直流電力
   に変換するパルス・レーザ装置。 ５　特許請求の範囲４に記載したパルス・レーザ装置に
   於いて、前記変換器手段が、点弧制御回路、及び一対の
   半導体制御整流器回路を含み、該点弧制御回路が点弧制
   御信号を発生し、該点弧制御信号が交互に半導体制御整
   流器回路を点弧するパルス・レーザ装置。 ６　特許請求の範囲２に記載したパルス・レーザ装置に
   於いて、前記レーザ電流手段が、光制御信号に応答して
   、前記露出期間の間、選ばれたレーザ電流を前記レーザ
   に流れさせる ＭＯＳＦＥＴ通過バンクを含むパルス・レーザ装置。 ７　特許請求の範囲２に記載したパルス・レーザ装置に
   於いて、前記直流電源に接続された安全モニタを有し、
   前記直流電源が、該安全モニタからの運転停止信号に応
   答して、前記レーザからレーザ電流を分路するクローバ
   ー回路を含むパルス・レーザ装置。 ８　特許請求の範囲７に記載したパルス・レーザ装置に
   於いて、前記レーザ電流手段が、 光制御信号に応答して、前記露出期間の間、選ばれたレ
   ーザ電流を前記レーザに流れさ せるＭＯＳＦＥＴ通過パンクを含み、該 ＭＯＳＦＥＴ通過バンクが、安全モニタからの運転停止
   信号に応答してターンオフされるパルス・レーザ装置。 ９　特許請求の範囲１に記載したパルス・レーザ装置に
   於いて、前記電源が直流電源であって、前記高圧交流電
   力から高圧直流電力を発生する手段を含み、更に、前記
   直流電源に接続された接触器回路を有し、該接触器回路
   は、引き外し信号に応答して、閉じた状態から、前記高
   圧交流電力が直流電源に達しないようにする開いた状態
   へ切換え可能であり、前記制御手段が、前記引き外し信
   号を発生すると共に、該引き外し信号を接触器回路に供
   給して該接触器回路を開く手段を含んでおり、こうして
   高圧交流電力が直流電源に達しないようにするパルス・
   レーザ装置。 １０　特許請求の範囲１に記載したパルス・レーザ装置
   に於いて、前記レーザ及び電源を通り越すように冷却剤
   流体を循環させる冷却剤流の閉ループを有するパルス・
   レーザ装置。 １１　特許請求の範囲１に記載したパルス・レーザ装置
   に於いて、冷却剤流体が水であり、更に、前記制御手段
   に冷却剤温度信号を供給する冷却剤温度センサと、冷却
   剤流量信号を前記制御手段に供給する冷却剤流量センサ
   とを有し、制御手段は、冷却剤温度信号及び冷却剤流量
   信号の少なくとも一方が異常な動作状態を示した場合、
   前記電源を不作動にする信号を発生するパルス・レーザ
   装置。 １２　特許請求の範囲１に記載したパルス・レーザ装置
   に於いて、レーザが、前記制御手段によって選定された
   露出期間の間、出力ビームを放出し、更に、第１の出力
   電圧を発生する第１の光電池と、第２の出力電圧を発生
   する第２の光電池と、前記出力ビームの第１の部分を第
   １の光電池に方向転換すると共に、前記出力ビームの第
   ２の部分を第２の光電池に方向転換するビーム標本化手
   段とを有するパルス・レーザ装置。 １３　特許請求の範囲１２に記載したパルス・レーザ装
   置に於いて、ビーム標本化手段がくさび形ビーム分割器
   であり、前記出力ビームの第１の部分がビーム分割器の
   前面から反射されるパルス・レーザ装置。 １４　特許請求の範囲１２に記載したパルス・レーザ装
   置に於いて、前記第２の出力電圧、並びにオペレータに
   よって要請された出力ビーム・エネルギを表わす要請電
   圧を受取って、第２の出力電圧及び要請電圧が安全でな
   い動作状態を示した場合、電源の運転を停止する制御信
   号を発生する安全モニタを有するパルス・レーザ装置。 １５　ガス・レーザ管を含むレーザ手段と、交流電力を
   受取つて該交流電力を高圧直流電力に変換する変換器手
   段、前記高圧直流電力並びに始動制御信号に応答して、
   前記ガス・レーザ管を電離する始動手段、及び前記レー
   ザ手段からレーザ出力ビームを発生させるように、露出
   信号によって決定された持続時間の間、選ばれたレーザ
   電流を前記レーザ管に流れさせるレーザ電流手段を含む
   直流電源と、前記露出信号及び始動信号を発生するよう
   にプログラムされたＣＰＵ、及び前記露出信号を前記レ
   ーザ電流手段に、そして始動信号を始動手段に供給する
   手段を含む制御手段とを有する電子式パルス・レーザ装
   置。 １６　特許請求の範囲１５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、前記制御手段に接続された表示手段
   を有し、該表示装置は、前記持続時間の間ＣＰＵに前記
   露出信号を発生するように指示する手段を含んでいる電
   子式パルス・レーザ装置。 １７　特許請求の範囲１５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、前記レーザ出力ビームを受取る送出
   し手段を有し、該送出し手段が前記制御手段に接続され
   、該送出し手段は、前記持続時間の間前記露出信号を発
   生するようにＣＰＵに指示するために、オペレータによ
   って作動し得るフット・スイッチを含む電子式パルス・
   レーザ装置。 １８　特許請求の範囲１５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、出力ビーム・エネルギを表わす第１
   の出力電圧を発生する第１の光電池を含み、前記制御手
   段は、前記第１の出力電圧、並びにオペレータによって
   要請された出力ビーム・エネルギを表わす要請電圧の両
   方に応答して、前記選ばれたレーザ電流を特定する電流
   制御信号を発生する手段と、オペレータによって要請さ
   れた出力ビーム・エネルギを達成するように、前記電流
   制御信号を前記レーザ電流手段に供給する手段とを含む
   電子式パルス・レーザ装置。 １９　特許請求の範囲１５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、出力ビーム・エネルギを表わす第１
   の出力電圧を発生する第１の光電池と、出力ビーム・エ
   ネルギを表わす第２の出力電圧を発生する第２の光電池
   と、前記第２の出力電圧、及びオペレータによって要請
   された出力ビーム・エネルギを表わす要請電圧を受取っ
   て、該第２の出力電圧及び要請電圧が安全でない動作状
   態を示した場合、前記直流電源の運転を停止する制御信
   号を発生する安全モニタとを有し、前記制御手段は、前
   記第１の出力電圧を受取って、該第１の出力電圧並びに
   前記要請電圧の両方に応答して、前記選ばれたレーザ電
   流を特定する電流制御信号を発生する手段、及び該電流
   制御信号をレーザ電流手段に供給する手段を含む電子式
   パルス・レーザ装置。 ２０　特許請求の範囲１９に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、前記出力ビームの第１の部分を第１
   の光電池に方向転換すると共に、前記出力ビームの第２
   の部分を第２の光電池に方向転換するビーム標本化手段
   を有する電子式パルス・レーザ装置。 ２１　特許請求の範囲２０に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、前記ビーム標本化手段がくさび形ビ
   ーム分割器であり、前記出力ビームの第１の部分がビー
   ム分割器の前面から反射される電子式パルス・レーザ装
   置。 ２２　特許請求の範囲１５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、交流電力が単相交流２０８乃至２３
   ０Ｖの電力である電子式パルス・レーザ装置。 ２３　特許請求の範囲１５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、前記変換器手段が、前記交流電力を
   受取って、点弧制御信号に応答してそれから整流された
   電力を発生する半導体制御整流器装置と、該半導体制御
   整流器装置に接続されていて、整流された電力を高圧直
   流電力に変換するコンデンサ貯蔵バンクとを含んでいる
   電子式パルス・レーザ装置。 ２４　特許請求の範囲２３に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、前記変換器手段が点弧制御回路及び
   一対の半導体制御整流器回路を含み、点弧制御回路が点
   弧制御信号を発生し、該点弧制御信号が交互に半導体制
   御整流器回路を点弧する電子式パルス・レーザ装置。 ２５　特許請求の範囲１５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、レーザ電流手段が、前記持続時間を
   持つ光制御信号に応答して、前記露出期間の間、前記選
   ばれたレーザ電流を前記ガス・レーザ管に流れさせるＭ
   ＯＳＦＥＴ通過バンクを有する電子式パルス・レーザ装
   置。 ２６　特許請求の範囲１５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、前記直流電流に接続された安全モニ
   タを含み、前記直流電源は、前記安全モニタからの運転
   停止信号に応答して、レーザ電流を前記ガス・レーザ管
   から分路するクローバー回路を有する電子式パルス・レ
   ーザ装置。 ２７　特許請求の範囲２６に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、前記レーザ電流手段が、前記持続時
   間を持つ光制御信号に応答して、前記露出期間の間、前
   記選ばれたレーザ電流を前記ガス・レーザ管に流れさせ
   るＭＯＳＦＥＴ通過バンクを含み、前記安全モニタから
   の運転停止信号が前記ＭＯＳＦＥＴ通過バンクに供給さ
   れ、該ＭＯＳＦＥＴ通過バンクが運停停止信号に応答し
   てターンオフになる電子式パルス・レーザ装置。 ２８　特許請求の範囲１５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、前記直流電源に接続されていて、引
   き外し信号に応答して作動し得る接触器回路を有し、前
   記制御手段は、前記引き外し信号を発生すると共に該引
   き外し信号を前記接触器回路に供給する手段を含んでい
   て、前記接触器回路を開いて、高圧交流電力が直流電源
   に達しないようにする電子式パルス・レーザ装置。 ２９　特許請求の範囲１５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、前記ガス・レーザ管及び直流電源を
   通り越すように冷却剤流体を循環させる冷却剤流の閉ル
   ープを有する電子式パルス・レーザ装置。 ３０　特許請求の範囲１５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、前記冷却剤流体が水であり、更に、
   冷却剤温度信号を制御手段に供給する冷却剤温度センサ
   と、冷却剤流量信号を制御手段に供給する冷却剤流量セ
   ンサとを有し、前記制御手段が、前記冷却剤温度信号及
   び冷却剤流量信号の内の少なくとも一方が異常な動作状
   態を示した場合に、前記直流電源を不作動にする信号を
   発生する電子式パルス・レーザ装置。 ３１　電力が供給された時、レーザ出力パルスを発生し
   得るレーザと、前記レーザ出力パルスの振幅、形及び持
   続時間を予め選ばれたパラメータに合わせるように、該
   レーザに対する電力を変調し得る電源と、該電源の故障
   によって起こるような、レーザ出力パルスの望ましくな
   いパラメータが検出された時、前記レーザ出力パルスを
   終了させる独立の監視装置とを有するパルス・レーザ装
   置。 ３２　特許請求の範囲３１に記載したパルス・レーザ装
   置に於いて、前記独立の監視装置が、第１の光検出器と
   、第２の光検出器と、前記レーザ出力パルスの第１の部
   分を第１の光電池に方向転換すると共に、前記レーザ出
   力パルスの第２の部分を第２の光電池に方向転換するビ
   ーム標本化手段とを含むパルス・レーザ装置。 ３３　特許請求の範囲３２に記載したパルス・レーザ装
   置に於いて、ビーム標本化手段がくさび形ビーム分割器
   であり、出力ビームの第１の部分がビーム分割器の前面
   から反射されるパルス・レーザ装置。 ３４　特許請求の範囲３１に記載したパルス・レーザ装
   置に於いて、電源に光制御信号を供給する制御装置を有
   し、前記電源は、光制御信号に応答して、選ばれた露出
   期間の間、選ばれたレーザ電流を前記レーザに流れさせ
   るレーザ電流制御回路を含んでいるパルス・レーザ装置
   。 ３５　特許請求の範囲３４に記載したパルス・レーザ装
   置に於いて、前記レーザ電流制御回 路がＭＯＳＦＥＴ通過バンクを含み、該 ＭＯＳＦＥＴ通過バンクは独立の監視装置からの運転停
   止信号に応答してターンオフされるパルス・レーザ装置
   。 ３６　特許請求の範囲３１に記載したパルス・レーザ装
   置に於いて、前記独立の監視装置が、前記電源に運転停
   止信号を供給する安全モニタを含み、前記電源は、前記
   運転停止信号に応答して、レーザ電流をレーザから分路
   するクローバー回路を含むパルス・レーザ装置。 ３７　特許請求の範囲３６に記載したパルス・レーザ装
   置に於いて、前記独立の監視装置が、ビーム監視信号を
   安全モニタに供給する第１の光検出器と、第２の光検出
   器と、前記レーザ出力パルスの第１の部分を第１の光検
   出器に方向転換すると共に、前記レーザ出力パルスの第
   ２の部分を第２の光検出器に方向転換するビーム標本化
   手段とをも含み、安全モニタが、前記第１の光検出器か
   らのビーム監視信号に応答して前記運転停止信号を発生
   するパルス・レーザ装置。 ３８　特許請求の範囲３１に記載したパルス・レーザ装
   置に於いて、レーザを通り越すように冷却剤流体を循環
   させる冷却剤流の閉ループを有するパルス・レーザ装置
   。 ３９　特許請求の範囲３８に記載したパルス・レーザ装
   置に於いて、冷却剤流体の温度を表わす冷却剤温度信号
   を発生する冷却剤温度センサと、冷却剤流体の流量を表
   わす冷却剤流量信号を発生する冷却剤流量センサと、冷
   却剤温度信号及び冷却剤流量信号を受取って、該冷却剤
   温度信号及び冷却剤流量信号の内の少なくとも一方が装
   置の異常な動作状態を示す場合に、前記電源を不作動に
   する信号を発生する制御装置とを有するパルス・レーザ
   装置。 ４０　特許請求の範囲３１に記載したパルス・レーザ装
   置に於いて、前記独立の監視装置が前記電源に接続され
   ているパルス・レーザ装置。 ４１　特許請求の範囲１に記載したパルス・レーザ装置
   に於いて、レーザが出力ビームを発生する手段を含み、
   更に、該出力ビームを監視して、出力ビーム状態信号を
   発生する手段と、該出力ビーム状態信号を前記制御手段
   に供給する手段とを有し、前記制御手段は、出力ビーム
   状態信号に応答して、前記制御パルスを発生する手段を
   含むパルス・レーザ装置。 ４２　特許請求の範囲１に記載したパルス・レーザ装置
   に於いて、前記レーザが、電力パルスに応答してパルス
   状出力ビームを発生する手段を有し、該パルス状出力ビ
   ームはパルスを含んでおり、該パルスの立上り時間は約
   １／２ミリ秒以下であり、前記パルスの立下り時間が、
   １／２ミリ秒よりずっと短いパルス・レーザ装置。 ４３　特許請求の範囲１に記載したパルス・レーザ装置
   に於いて、前記レーザが、一杯の連続波エネルギ・モー
   ドで動作する時、第１の熱量を発生することが可能であ
   り、前記レーザは、前記電源からのパルス電力に応答し
   て動作する時、前記第１の熱量の半分未満の平均出力エ
   ネルギを発生するパルス・レーザ装置。 ４４　特許請求の範囲４３に記載したパルス・レーザ装
   置に於いて、前記第１の熱量が６及び７キロワットの間
   の範囲内であり、前記電源からのパルス状電力に応答し
   て動作する時、レーザによって発生される平均出力エネ
   ルギが約２．５キロワットであるパルス・レーザ装置。 ４５　ガス・レーザ管を含むレーザ手段と、電源と、該
   電源からの電圧信号及び始動制御信号に応答して、前記
   レーザ管内のガスを電離する始動手段と、該レーザ手段
   からレーザ出力ビームを発生させるように、露出信号に
   よって決定された持続時間の間、選ばれたレーザ電流を
   前記レーザ管に流れさせるレーザ電流手段と、前記露出
   信号及び始動制御信号を発生するようにプログラムされ
   たＣＰＵ、及び前記露出信号をレーザ電流手段に供給す
   ると共に始動制御信号を始動手段に供給する手段を含む
   制御手段とを有する電子式パルス・レーザ装置。 ４６　特許請求の範囲４５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於いて、前記レーザ出力ビームを監視してビ
   ームを状態信号を発生する手段と、該出力ビーム状態信
   号を前記制御手段に供給する手段とを有し、前記制御手
   段が、出力ビーム状態信号に応答して、前記露出信号及
   び始動制御信号の内の少なくとも一方を発生する手段を
   含んでいる電子式パルス・レーザ装置。 ４７　特許請求の範囲４５に記載した電子式パルス・レ
   ーザ装置に於て、レーザ出力ビームがパルスを含み、該
   パルスの立上り時間が約１／２ミリ秒未満であり、該パ
   ルスの立下り時間が１／２ミリ秒よりずっと短い電子式
   パルス・レーザ装置。