JPH03171748A - リードフレームに電気回路を形成する装置 - Google Patents
リードフレームに電気回路を形成する装置Info
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- JPH03171748A JPH03171748A JP2305878A JP30587890A JPH03171748A JP H03171748 A JPH03171748 A JP H03171748A JP 2305878 A JP2305878 A JP 2305878A JP 30587890 A JP30587890 A JP 30587890A JP H03171748 A JPH03171748 A JP H03171748A
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- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
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- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
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- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67144—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K3/00—Tools, devices, or special appurtenances for soldering, e.g. brazing, or unsoldering, not specially adapted for particular methods
- B23K3/08—Auxiliary devices therefor
- B23K3/087—Soldering or brazing jigs, fixtures or clamping means
-
- H—ELECTRICITY
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
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- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4821—Flat leads, e.g. lead frames with or without insulating supports
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、リードフレームに電気回路を形成する装置に
関する。前記リードフレームは、プロセスポイントに配
置された少なくとも1つの電子要素と、前記プロセスポ
イントの周りに配置された複数の結線フィンガーとを備
える。前記リードフレームは、個々の結線フィンガーの
前記電子要素との電気的結合を達成するために、加熱さ
れる支承部材と、少なくとも1つの凹所を備える支持プ
レートとの間に配置される。
関する。前記リードフレームは、プロセスポイントに配
置された少なくとも1つの電子要素と、前記プロセスポ
イントの周りに配置された複数の結線フィンガーとを備
える。前記リードフレームは、個々の結線フィンガーの
前記電子要素との電気的結合を達成するために、加熱さ
れる支承部材と、少なくとも1つの凹所を備える支持プ
レートとの間に配置される。
(従来の技術および発明が解決しようとする課題)
シーケンスを処理するオートメーションにおいて、特に
、比較的薄い金属リードフレーム片に電気回路を形成す
るとき、最も変化に富むデザインを有する結線フィンガ
ーであってプロセスポイントであるチップ支持面の周り
にほぼ一定に配置され、極めて接近して並列ざれる結線
フィンガーの接触端が、前記チップの前・記結線フィン
ガーとの完全に満足ゆく結合を得るため、接合、すなわ
ち超音波接合の間、位置的に安定した方法で保持されな
ければならない、という問題がある。@通の超音波パワ
ー伝達と対応する熱伝達とを得るため、前記リードフレ
ームを損傷することなく、前記リードフレームを前記支
承部材に一様に押し付ける必要がある。
、比較的薄い金属リードフレーム片に電気回路を形成す
るとき、最も変化に富むデザインを有する結線フィンガ
ーであってプロセスポイントであるチップ支持面の周り
にほぼ一定に配置され、極めて接近して並列ざれる結線
フィンガーの接触端が、前記チップの前・記結線フィン
ガーとの完全に満足ゆく結合を得るため、接合、すなわ
ち超音波接合の間、位置的に安定した方法で保持されな
ければならない、という問題がある。@通の超音波パワ
ー伝達と対応する熱伝達とを得るため、前記リードフレ
ームを損傷することなく、前記リードフレームを前記支
承部材に一様に押し付ける必要がある。
本発明の目的は、超音波接合の間、結線フィンガーの個
々の接触端を備えるリードフレームを支持面に位纜的に
安定した方法で支持することにある。
々の接触端を備えるリードフレームを支持面に位纜的に
安定した方法で支持することにある。
(課題を解決するための手段)
本発明によれば、リードフレームに載る支持プレートが
、間隔をおいた2つのスタッドであってそれぞれがばね
要素に配置された2つのスタッドに、凹所の中心を通り
かつ前記2つのスタッドを相互に連結する軸線であって
前記支持プレートの長手方向へ伸びる少なくとも1つの
軸線の回りに可動に取り付けられる。
、間隔をおいた2つのスタッドであってそれぞれがばね
要素に配置された2つのスタッドに、凹所の中心を通り
かつ前記2つのスタッドを相互に連結する軸線であって
前記支持プレートの長手方向へ伸びる少なくとも1つの
軸線の回りに可動に取り付けられる。
(実旅例)
本発明を概略的に示すため、電子要素すなわちチップを
備えるリードフレーム片1に電気回路および結線を製作
できる装置50を斜視的に示す第1図を参照するに,前
記装置50は、基本的に、ベースプレート10と、該ベ
ースプレートに直交してκ置されたウすールプレート1
1と、共同する第lの垂直部材12および支持プレート
16とを含む。支持プレートl6は、線図的に表された
軸線15′の回りに可動な支持部15に作動可能に連結
されている。支持プレート16は、垂直部材12から有
限距離14をおいて支持部15によって配置され、図示
しない方法でロッド13に作動可能に連結されている。
備えるリードフレーム片1に電気回路および結線を製作
できる装置50を斜視的に示す第1図を参照するに,前
記装置50は、基本的に、ベースプレート10と、該ベ
ースプレートに直交してκ置されたウすールプレート1
1と、共同する第lの垂直部材12および支持プレート
16とを含む。支持プレートl6は、線図的に表された
軸線15′の回りに可動な支持部15に作動可能に連結
されている。支持プレート16は、垂直部材12から有
限距離14をおいて支持部15によって配置され、図示
しない方法でロッド13に作動可能に連結されている。
ロッド13は、ベースプレート10に固定された垂直部
材!2内に配置され、垂直部材12によって案内されて
いる。
材!2内に配置され、垂直部材12によって案内されて
いる。
支持プレート16から距離17をおいてヒータ18が設
けられている。ヒータ18は、図示しないねじのような
固定手段によって支持プレート16に支持されている。
けられている。ヒータ18は、図示しないねじのような
固定手段によって支持プレート16に支持されている。
リードフレーム1に一致して構成される支承部材19が
、ヒータ18上に配置されている。支承部材19は、リ
ードフレーム1の調和した加熱のため、ヒータ18によ
って加熱される。
、ヒータ18上に配置されている。支承部材19は、リ
ードフレーム1の調和した加熱のため、ヒータ18によ
って加熱される。
ウォールプレートttの他方側には、第1図に一部だけ
示すように、さらに2つの垂直部材20、21が設けら
れており、これら垂直部材20、21は、互いに間隔を
おいて、図示しない手段によってベースプレート10に
固定されている。垂直部材12と同じ方法で、図示しな
いロッドが各垂直部材内に配置されている。2本のロッ
ドは、支持プレート22によって相互に連結されている
。支持プレート22は、リードフレーム1のための支持
装置25を受け入れる。
示すように、さらに2つの垂直部材20、21が設けら
れており、これら垂直部材20、21は、互いに間隔を
おいて、図示しない手段によってベースプレート10に
固定されている。垂直部材12と同じ方法で、図示しな
いロッドが各垂直部材内に配置されている。2本のロッ
ドは、支持プレート22によって相互に連結されている
。支持プレート22は、リードフレーム1のための支持
装置25を受け入れる。
リードフレームの支持装置25を分解した斜視状態で示
す第2図を参照すると、間隔をおいた2つの支持アーム
30、30′を見ることができる。これら支持アーム3
0、30′の間に、り−トフレーム1に一致して構成さ
れる支持プレート40が、取換え可能に配置され、支持
されている。2つの支持アーム30、30′は、ほぼ同
に構成されている。したがって、説明を簡単にするため
、以降、一方の支持アーム30の構成についてのみ述べ
る。
す第2図を参照すると、間隔をおいた2つの支持アーム
30、30′を見ることができる。これら支持アーム3
0、30′の間に、り−トフレーム1に一致して構成さ
れる支持プレート40が、取換え可能に配置され、支持
されている。2つの支持アーム30、30′は、ほぼ同
に構成されている。したがって、説明を簡単にするため
、以降、一方の支持アーム30の構成についてのみ述べ
る。
支持アーム30は、基本的に、第1部分36と、該第I
Pl5分36に形作られ、類似に構成された第2部分2
6とからなる。第1部分36は、支持プレート22上に
配置され、第2図に示してないねじによって支持プレー
ト22に固定されている。第2部分26は、支持アーム
3oの前方範囲に位置し、第1部分36に対して偏って
おり、その縦断而において第1部分36よりも、たとえ
ば幾分広い。第2部分26は、第1支持面27と、詠第
1支持而に対して傾斜した第2支持而28と、支持プレ
ート40を支えるための棚状突起29とをイfする。
Pl5分36に形作られ、類似に構成された第2部分2
6とからなる。第1部分36は、支持プレート22上に
配置され、第2図に示してないねじによって支持プレー
ト22に固定されている。第2部分26は、支持アーム
3oの前方範囲に位置し、第1部分36に対して偏って
おり、その縦断而において第1部分36よりも、たとえ
ば幾分広い。第2部分26は、第1支持面27と、詠第
1支持而に対して傾斜した第2支持而28と、支持プレ
ート40を支えるための棚状突起29とをイfする。
リードフレーム1に一致して構成された支持プレート4
0は、該支持プレートを貫通する凹所45を備えている
。支持プレート40の各端部には、棚状突起41、41
′が設けられている。棚状突起41、41′は、支持ア
ーム30の棚状突起29または支持アーム30′の棚状
突起29′に係合する。間隔をおいた2つの朋穴43、
43′が第1の軸線S上で、前記凹所45の第2の軸線
Mから等距ll1iaをおいて支持プレート40の頂I
s 4 2に設けられている。
0は、該支持プレートを貫通する凹所45を備えている
。支持プレート40の各端部には、棚状突起41、41
′が設けられている。棚状突起41、41′は、支持ア
ーム30の棚状突起29または支持アーム30′の棚状
突起29′に係合する。間隔をおいた2つの朋穴43、
43′が第1の軸線S上で、前記凹所45の第2の軸線
Mから等距ll1iaをおいて支持プレート40の頂I
s 4 2に設けられている。
リードフレーム1の構成に一致して凹所45と皿穴43
、43′との中央を通っている軸線Sは、支持プレート
40の対称軸線S′のいずれかの側に、または支持プレ
ート40の対称軸線S′に位置させることができる、と
いうことをここで指摘する。しかし、2つの皿穴43、
43′が第1の軸線S上に正確に、かつ凹所45の第2
の軸iQMに対して等距111aに位置することが重要
である。第2の軸線Mは、四所45の中心に正確に位置
する。
、43′との中央を通っている軸線Sは、支持プレート
40の対称軸線S′のいずれかの側に、または支持プレ
ート40の対称軸線S′に位置させることができる、と
いうことをここで指摘する。しかし、2つの皿穴43、
43′が第1の軸線S上に正確に、かつ凹所45の第2
の軸iQMに対して等距111aに位置することが重要
である。第2の軸線Mは、四所45の中心に正確に位置
する。
第2図はまた、板状の支持片33と2つのねじ31、3
2と共に、板状のばね要素34を示している。ばね要素
34は、支持プレート40に対面する下側にスタッド3
5を備える。スタッド35は、′dSl図および4図に
示すように,組立て状憇では、支持プレート40の対応
して構成された皿穴43に嵌まる. 既に述べたように、第2の支持アーム30’は、第1の
支持アーム30と同じ構成であり、7jSlの支持アー
ム30’ に関連する部品34′33’ 32’.
31’ は、第2図に示すように、前記部品34、33
、32、31と同様に構成されている。
2と共に、板状のばね要素34を示している。ばね要素
34は、支持プレート40に対面する下側にスタッド3
5を備える。スタッド35は、′dSl図および4図に
示すように,組立て状憇では、支持プレート40の対応
して構成された皿穴43に嵌まる. 既に述べたように、第2の支持アーム30’は、第1の
支持アーム30と同じ構成であり、7jSlの支持アー
ム30’ に関連する部品34′33’ 32’.
31’ は、第2図に示すように、前記部品34、33
、32、31と同様に構成されている。
支持装置25を平面状態で示す第3図を参照すると、間
隔をおいた支持アーム3o、30’ と、これら支持ア
ームの間の凹所45を備える支持プレート40とを、ね
じ31、32とねじ31′32′とによって支持アーム
3o、30’ に固定された2つのばね要素34、34
′と共に見ることができる。
隔をおいた支持アーム3o、30’ と、これら支持ア
ームの間の凹所45を備える支持プレート40とを、ね
じ31、32とねじ31′32′とによって支持アーム
3o、30’ に固定された2つのばね要素34、34
′と共に見ることができる。
第3図の4−4線に沿って切断した断面で支持装@25
を示す第4図を参照すると、2つの支持アーム30、3
0′と、棚状突起41、41′を個々の支持アーム30
、30′の棚状突起29、29′に係合させ、支持アー
ム間に配置された支持プレート40とを見ることができ
る。2つのばね要素34、34′は、あるブリテンショ
ンを有し、支持プレート40が取り除かれるとき、支持
アームの第2部分26、26′の個々の支持面28、2
8′に載る。支持プレート4oが嵌め込まれるとき、ば
ね要素34、34′が対応してたわみ、嵌め込んだ状態
では、支持プレー}40は、ばね要素34、34′の弾
性によって支持される。ばね要素34、34′に固定さ
れたスタッド35、35′は2つの皿穴43、43′に
嵌まる。第4図には示してないリードフレームに対面す
る側で支持プレート40に、閉じた支持フレーム46が
設けられている。支持フレーム46は、凹所45に対称
に配置され、傾斜側部47、47′を備えている。支持
フレーム46は、支持プレート40に形作ることが好ま
しい。
を示す第4図を参照すると、2つの支持アーム30、3
0′と、棚状突起41、41′を個々の支持アーム30
、30′の棚状突起29、29′に係合させ、支持アー
ム間に配置された支持プレート40とを見ることができ
る。2つのばね要素34、34′は、あるブリテンショ
ンを有し、支持プレート40が取り除かれるとき、支持
アームの第2部分26、26′の個々の支持面28、2
8′に載る。支持プレート4oが嵌め込まれるとき、ば
ね要素34、34′が対応してたわみ、嵌め込んだ状態
では、支持プレー}40は、ばね要素34、34′の弾
性によって支持される。ばね要素34、34′に固定さ
れたスタッド35、35′は2つの皿穴43、43′に
嵌まる。第4図には示してないリードフレームに対面す
る側で支持プレート40に、閉じた支持フレーム46が
設けられている。支持フレーム46は、凹所45に対称
に配置され、傾斜側部47、47′を備えている。支持
フレーム46は、支持プレート40に形作ることが好ま
しい。
第4図の円Aによって指示された支持プレート40の部
分を拡大して詳細に示す第5図を参照すると、ほぼ12
0゜の角度で穴開けされた橿穴43と、組立て状態で肌
穴43に嵌まるスタツド35とを見ることができる。ス
タツド35は、皿穴43に対面する端部で、たとえば丸
みを付けられる。
分を拡大して詳細に示す第5図を参照すると、ほぼ12
0゜の角度で穴開けされた橿穴43と、組立て状態で肌
穴43に嵌まるスタツド35とを見ることができる。ス
タツド35は、皿穴43に対面する端部で、たとえば丸
みを付けられる。
図示した皿穴43、43′はまた、支持プレート40を
1’{通ずる座ぐり穴として構成することができる。ス
タツド35または35′が、円錐面上を白山に動くよう
に取り付けられることが瑣要である。
1’{通ずる座ぐり穴として構成することができる。ス
タツド35または35′が、円錐面上を白山に動くよう
に取り付けられることが瑣要である。
金属のリードフレーム片1の部分を線図的に表した第6
図を参照するに、リードフレーム片1に一列に品置され
た支持面2が設けられている。支持面2は、線図的に表
された半導体チップ8を受け入れるように構成されてい
る。はっきり限定されたフード形状を形成する結線フィ
ンガー5の接触部4が、個々の支持面2の周りに互いか
ら非常に小さな間隔をおいて配置されている。結線フィ
ンガー5は、結合された片要素3によって適所に保持さ
れている。結合の間、結線フィンガー5は、接触部4の
フード形状に一致して構成された支持プレート40の支
持フレーム46の支持面で保持され、その結果、完全に
満足ゆく結合が可能である。支持プレート40の凹所4
5とさらに支持フレーム46とは、前記リードフレーム
の接触部4の前記フード形状に一致して構成されている
。横方向エッジにあり、特定の周期的な距離をおいた六
6、6′は、支持面2から特定の間隔を有する。その結
果、第1図において矢印Xによつて指向された、結合ス
テーションである装置50への供給動きにおいて六6、
6′は、基準の幾何学的κ置として使用することができ
る。
図を参照するに、リードフレーム片1に一列に品置され
た支持面2が設けられている。支持面2は、線図的に表
された半導体チップ8を受け入れるように構成されてい
る。はっきり限定されたフード形状を形成する結線フィ
ンガー5の接触部4が、個々の支持面2の周りに互いか
ら非常に小さな間隔をおいて配置されている。結線フィ
ンガー5は、結合された片要素3によって適所に保持さ
れている。結合の間、結線フィンガー5は、接触部4の
フード形状に一致して構成された支持プレート40の支
持フレーム46の支持面で保持され、その結果、完全に
満足ゆく結合が可能である。支持プレート40の凹所4
5とさらに支持フレーム46とは、前記リードフレーム
の接触部4の前記フード形状に一致して構成されている
。横方向エッジにあり、特定の周期的な距離をおいた六
6、6′は、支持面2から特定の間隔を有する。その結
果、第1図において矢印Xによつて指向された、結合ス
テーションである装置50への供給動きにおいて六6、
6′は、基準の幾何学的κ置として使用することができ
る。
装置50は下記のように機能する。第1図に線図的に示
したように、電気回路を形成するため、個々のリードフ
レームlは、矢印方向Xへ装置50に向けて、たとえば
同期制御される方法で供給される。支示部材19を備え
るヒータ18は、図示しない方法で矢印方向Z′へわず
かに下降され、支持プレー}40を備える支持装置25
は、矢印方向Zへわずかに上昇される。リードフレーム
1の第1のチツプ8が、窓状の凹所45に到達すると直
ちに、支承部材19を備えるヒータ18は矢印方向2へ
上昇され、支持プレート40を備える支持装置25は、
矢印方向Z′へ下降される。ヒータ18と支承部材19
との動きおよび支持装置25と支持プレート40との動
きは、図示しない電動機によって行われるもので、開閉
によって逆方向へ同期して導かれる。
したように、電気回路を形成するため、個々のリードフ
レームlは、矢印方向Xへ装置50に向けて、たとえば
同期制御される方法で供給される。支示部材19を備え
るヒータ18は、図示しない方法で矢印方向Z′へわず
かに下降され、支持プレー}40を備える支持装置25
は、矢印方向Zへわずかに上昇される。リードフレーム
1の第1のチツプ8が、窓状の凹所45に到達すると直
ちに、支承部材19を備えるヒータ18は矢印方向2へ
上昇され、支持プレート40を備える支持装置25は、
矢印方向Z′へ下降される。ヒータ18と支承部材19
との動きおよび支持装置25と支持プレート40との動
きは、図示しない電動機によって行われるもので、開閉
によって逆方向へ同期して導かれる。
支持プレート40を第1の軸線Sと第2の軸191Mと
の回りに可動に取り付けた結果、リードフレーム1の支
承部材19への一定の押付けが達成される。したがって
、変換器のような接触手段を凹所45に係合することに
よって、個々の結線点への最適な超音波パワー伝達が起
こる。支持プレート40のばねによる弾性取付けは、別
の支持プレートとの迅速な取換えを可能にする一方、高
い再生性を維持する。
の回りに可動に取り付けた結果、リードフレーム1の支
承部材19への一定の押付けが達成される。したがって
、変換器のような接触手段を凹所45に係合することに
よって、個々の結線点への最適な超音波パワー伝達が起
こる。支持プレート40のばねによる弾性取付けは、別
の支持プレートとの迅速な取換えを可能にする一方、高
い再生性を維持する。
第1図は、電子要素を与えられたリードフレームに電気
回路を形成する装置の概略を示す斜視図、第2図は、第
1図に示した装置のためのリードフレーム支持装置の分
解斜視図、第3図は、第2図に示した支持装置の平面図
、第4図は、第3図のIV− IV線に沿って切断した
支持装置の断面図、第5図は、第4図の円Aによって指
示された支持装置の部分の詳細図、第6図は、リードフ
レーム片の一部を示す平面図である。 1:リードフレーム片、 8:チップ、 18:ヒータ、 19:支承部材、 25:支持装置、 40:支持プレート、 45:四所。 代岬人
回路を形成する装置の概略を示す斜視図、第2図は、第
1図に示した装置のためのリードフレーム支持装置の分
解斜視図、第3図は、第2図に示した支持装置の平面図
、第4図は、第3図のIV− IV線に沿って切断した
支持装置の断面図、第5図は、第4図の円Aによって指
示された支持装置の部分の詳細図、第6図は、リードフ
レーム片の一部を示す平面図である。 1:リードフレーム片、 8:チップ、 18:ヒータ、 19:支承部材、 25:支持装置、 40:支持プレート、 45:四所。 代岬人
Claims (7)
- (1)プロセスポイントに配置された少なくとも1つの
電子要素と、前記プロセスポイントの周りに配置された
複数の結線フィンガーとを備えるリードフレームであっ
て個々の結線フィンガーの前記電子要素との電気的結合
を達成するために、加熱される支承部材と、少なくとも
1つの凹所を備える支持プレートとの間に配置されるリ
ードフレームに電気回路を形成する装置であって、前記
リードフレームに載る前記支持プレートが、間隔をおい
た2つのスタッドであってそれぞれがばね要素に配置さ
れた2つのスタッドに、前記凹所の中心を通りかつ前記
2つのスタッドを互いに連結する軸線であって前記支持
プレートの長手方向へ伸びる少なくとも1つの軸線の回
りに可動に取り付けられている、リードフレームに電気
回路を形成する装置。 - (2)前記支持プレートが、該支持プレートの前記長手
方向へ伸びる軸線の回りと、該軸線に直交しかつ前記凹
所の中心を通る軸線の回りとに可動に取り付けられてい
る、請求項(1)に記載の装置。 - (3)前記支持プレートが、間隔をおいた2つの支持ア
ームに支持されており、かつ、2つの前記スタッドであ
ってそれぞれが前記ばね要素に連結されかつ前記支持プ
レートの対応する皿穴に嵌まるスタッドによって前記支
持アームの棚状突起に対して2つの軸線の回りに可動に
取り付けられている、請求項(1)に記載の装置。 - (4)前記支持プレートが、1または複数の凹所を備え
、これら凹所が、前記リードフレームの前記プロセスポ
イントに一致して構成され、かつ対応する相互間隔で配
置されている、請求項(1)に記載の装置。 - (5)前記支持プレートの各凹所の前記リードフレーム
に対面する側に、前記結線フィンガーのフード形状に一
致して構成された支持フレームが設けられている、請求
項(1)および(4)のいずれか1つに記載の装置。 - (6)前記2つの支持アームが、前記ばね要素の弾性に
よって前記棚状突起に係合する前記支持プレートと共に
支持装置として構成されている、請求項(1)および(
3)のいずれか1つに記載の装置。 - (7)ヒータに配置された前記支承部材と、前記支持プ
レートに作動可能に結合された前記支持装置とが、互い
に他に対して垂直方向へ可動である、請求項(1)およ
び(6)のいずれか1つに記載の装置。
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CH04090/89-5 | 1989-11-14 | ||
CH4090/89A CH680176A5 (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 |
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