JPH03169062A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 6
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16135—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/16145—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
-
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32135—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/32145—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置に関し、特に複数の半導体チップを
内蔵する半導体装置に関する.〔従来の技術〕 従来の半導体装置は、同一アイランド上に複数の半導体
チップを平面的に配置して搭載し、アイランドの周囲に
配置した内部リードと半導体チップ間又は半導体チップ
相互間を電気的に接続して構成していた. 〔発明が解決しようとする課題〕 上述した従来の半導体装置は、平面的に複数の半導体チ
ップを配置しているため、半導体装置の面積が大きくな
るという欠点がある. 特に現在の半導体装置はプリント基板への実装の関係か
ら外部リードの間隙等平面的な寸法の規格が決まってい
る為、従来の構造では半導体チップの寸法を小さくする
以外に高集積化は不可能である. 〔課題を解決するための手段〕 本発明の半導体装置は、第1の半導体チップと、前記第
1の半導体チップ上に搭載して前記第1の半導体チップ
と電気的に接続した第2の半導体チップとを有する. 〔実施例〕 次に、本発明について図面を参照して説明する。
内蔵する半導体装置に関する.〔従来の技術〕 従来の半導体装置は、同一アイランド上に複数の半導体
チップを平面的に配置して搭載し、アイランドの周囲に
配置した内部リードと半導体チップ間又は半導体チップ
相互間を電気的に接続して構成していた. 〔発明が解決しようとする課題〕 上述した従来の半導体装置は、平面的に複数の半導体チ
ップを配置しているため、半導体装置の面積が大きくな
るという欠点がある. 特に現在の半導体装置はプリント基板への実装の関係か
ら外部リードの間隙等平面的な寸法の規格が決まってい
る為、従来の構造では半導体チップの寸法を小さくする
以外に高集積化は不可能である. 〔課題を解決するための手段〕 本発明の半導体装置は、第1の半導体チップと、前記第
1の半導体チップ上に搭載して前記第1の半導体チップ
と電気的に接続した第2の半導体チップとを有する. 〔実施例〕 次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の第1の実施例の模式的断面図である.
第1図に示すように、アイランド5の上に第1の半導体
チップ1をマウントし、アイランド5の周囲に設けた内
部リード6と半導体チップ1の周縁部に設けたバット電
極7との間を金属細線4で接続する。次に、バット電極
7の内側に設けたバット電極8に対応して設けたバンブ
3を有する第2の半導体チッ72を搭載してバット電極
8とバンプ3を圧着し、半導体チップ1と半導体チップ
2を電気的に接続する。
チップ1をマウントし、アイランド5の周囲に設けた内
部リード6と半導体チップ1の周縁部に設けたバット電
極7との間を金属細線4で接続する。次に、バット電極
7の内側に設けたバット電極8に対応して設けたバンブ
3を有する第2の半導体チッ72を搭載してバット電極
8とバンプ3を圧着し、半導体チップ1と半導体チップ
2を電気的に接続する。
ここで、アイランド5の代りにセラミック容器やフィル
ムキャリアテープ等を用いても良い。
ムキャリアテープ等を用いても良い。
第2図は本発明の第2の実施例の模式的断面図である.
第2図に示すように、第1の実斃例と同様にアイランド
5の上に搭載して内部リード6との間を金属細線4で接
続した半導体チップ1の上に絶縁性接着剤9により裏面
を接着して半導体チップ2を搭載する.次に、半導体チ
ップ2の上面に設けたバット電極10と半導体チップ1
のバット電極8との間を金属細線11で接続する. この実施例では半導体チップ2の表面側が上方に向いて
いるので、さらに半導体チップ2の上に第3の半導体チ
ップを重ねて積み上げられる利点がある。
5の上に搭載して内部リード6との間を金属細線4で接
続した半導体チップ1の上に絶縁性接着剤9により裏面
を接着して半導体チップ2を搭載する.次に、半導体チ
ップ2の上面に設けたバット電極10と半導体チップ1
のバット電極8との間を金属細線11で接続する. この実施例では半導体チップ2の表面側が上方に向いて
いるので、さらに半導体チップ2の上に第3の半導体チ
ップを重ねて積み上げられる利点がある。
第3図は本発明の第3の実施例の模式的断面図である。
第3図に示すように、半導体チップ1上に接着剤9を用
いてアイランド5及び内部リード6を接着し、アイラン
ド5の上に接着剤9により半導体チップ2をマウントす
る。次に、半導体チップ1のバット電極7と内部リード
6との間を金属細線4で接続し、半導体チップ2と内部
リード6との間を金属細線11で接続する。
いてアイランド5及び内部リード6を接着し、アイラン
ド5の上に接着剤9により半導体チップ2をマウントす
る。次に、半導体チップ1のバット電極7と内部リード
6との間を金属細線4で接続し、半導体チップ2と内部
リード6との間を金属細線11で接続する。
以上説明したように本発明は半導体チップを立体的に積
み重ねていく事により半導体装置の面積を縮小して半導
体装置の回路基板上への実装占有面積を小さくし、回路
基板の集積度を向上させることができるという効果があ
る。
み重ねていく事により半導体装置の面積を縮小して半導
体装置の回路基板上への実装占有面積を小さくし、回路
基板の集積度を向上させることができるという効果があ
る。
第1図乃至第3図は本発明の第1乃至第3の実施例の模
式的断面図である。 1.2・・・半導体チップ、3・・・バンプ、4・・・
金属細線、5・・・アイランド、6・・・内部リード、
7.8・・・バット電極、9・・・接着剤、10・・・
バット電極、11・・・金属細線。
式的断面図である。 1.2・・・半導体チップ、3・・・バンプ、4・・・
金属細線、5・・・アイランド、6・・・内部リード、
7.8・・・バット電極、9・・・接着剤、10・・・
バット電極、11・・・金属細線。
Claims (1)
- 第1の半導体チップと、前記第1の半導体チップ上に搭
載して前記第1の半導体チップと電気的に接続した第2
の半導体チップとを有することを特徴とする半導体装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1310161A JPH03169062A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1310161A JPH03169062A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03169062A true JPH03169062A (ja) | 1991-07-22 |
Family
ID=18001895
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1310161A Pending JPH03169062A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03169062A (ja) |
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5291061A (en) * | 1993-04-06 | 1994-03-01 | Micron Semiconductor, Inc. | Multi-chip stacked devices |
US5801448A (en) * | 1996-05-20 | 1998-09-01 | Micron Technology, Inc. | Conductive lines on the back side of wafers and dice for semiconductor interconnects |
US5917242A (en) * | 1996-05-20 | 1999-06-29 | Micron Technology, Inc. | Combination of semiconductor interconnect |
US5952725A (en) * | 1996-02-20 | 1999-09-14 | Micron Technology, Inc. | Stacked semiconductor devices |
US6005778A (en) * | 1995-06-15 | 1999-12-21 | Honeywell Inc. | Chip stacking and capacitor mounting arrangement including spacers |
US6014586A (en) * | 1995-11-20 | 2000-01-11 | Pacesetter, Inc. | Vertically integrated semiconductor package for an implantable medical device |
US6175149B1 (en) * | 1998-02-13 | 2001-01-16 | Micron Technology, Inc. | Mounting multiple semiconductor dies in a package |
US6261865B1 (en) | 1998-10-06 | 2001-07-17 | Micron Technology, Inc. | Multi chip semiconductor package and method of construction |
US6297547B1 (en) * | 1998-02-13 | 2001-10-02 | Micron Technology Inc. | Mounting multiple semiconductor dies in a package |
US6395578B1 (en) | 1999-05-20 | 2002-05-28 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package and method for fabricating the same |
US6552416B1 (en) | 2000-09-08 | 2003-04-22 | Amkor Technology, Inc. | Multiple die lead frame package with enhanced die-to-die interconnect routing using internal lead trace wiring |
US6555917B1 (en) | 2001-10-09 | 2003-04-29 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package having stacked semiconductor chips and method of making the same |
US6642610B2 (en) | 1999-12-20 | 2003-11-04 | Amkor Technology, Inc. | Wire bonding method and semiconductor package manufactured using the same |
US6737750B1 (en) | 2001-12-07 | 2004-05-18 | Amkor Technology, Inc. | Structures for improving heat dissipation in stacked semiconductor packages |
US6784023B2 (en) | 1996-05-20 | 2004-08-31 | Micron Technology, Inc. | Method of fabrication of stacked semiconductor devices |
US6798049B1 (en) | 1999-08-24 | 2004-09-28 | Amkor Technology Inc. | Semiconductor package and method for fabricating the same |
US6879047B1 (en) | 2003-02-19 | 2005-04-12 | Amkor Technology, Inc. | Stacking structure for semiconductor devices using a folded over flexible substrate and method therefor |
US6946323B1 (en) | 2001-11-02 | 2005-09-20 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package having one or more die stacked on a prepackaged device and method therefor |
US7112468B2 (en) | 1998-09-25 | 2006-09-26 | Stmicroelectronics, Inc. | Stacked multi-component integrated circuit microprocessor |
US7154171B1 (en) | 2002-02-22 | 2006-12-26 | Amkor Technology, Inc. | Stacking structure for semiconductor devices using a folded over flexible substrate and method therefor |
US7208826B2 (en) * | 2000-07-05 | 2007-04-24 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
US7211884B1 (en) | 2002-01-28 | 2007-05-01 | Pacesetter, Inc. | Implantable medical device construction using a flexible substrate |
USRE40061E1 (en) | 1993-04-06 | 2008-02-12 | Micron Technology, Inc. | Multi-chip stacked devices |
US7485490B2 (en) | 2001-03-09 | 2009-02-03 | Amkor Technology, Inc. | Method of forming a stacked semiconductor package |
US9768124B2 (en) | 2007-02-21 | 2017-09-19 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package in package |
-
1989
- 1989-11-28 JP JP1310161A patent/JPH03169062A/ja active Pending
Cited By (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USRE40061E1 (en) | 1993-04-06 | 2008-02-12 | Micron Technology, Inc. | Multi-chip stacked devices |
US5291061A (en) * | 1993-04-06 | 1994-03-01 | Micron Semiconductor, Inc. | Multi-chip stacked devices |
USRE36613E (en) * | 1993-04-06 | 2000-03-14 | Micron Technology, Inc. | Multi-chip stacked devices |
US6005778A (en) * | 1995-06-15 | 1999-12-21 | Honeywell Inc. | Chip stacking and capacitor mounting arrangement including spacers |
US6014586A (en) * | 1995-11-20 | 2000-01-11 | Pacesetter, Inc. | Vertically integrated semiconductor package for an implantable medical device |
US5952725A (en) * | 1996-02-20 | 1999-09-14 | Micron Technology, Inc. | Stacked semiconductor devices |
US6337227B1 (en) | 1996-02-20 | 2002-01-08 | Micron Technology, Inc. | Method of fabrication of stacked semiconductor devices |
US6784023B2 (en) | 1996-05-20 | 2004-08-31 | Micron Technology, Inc. | Method of fabrication of stacked semiconductor devices |
US5917242A (en) * | 1996-05-20 | 1999-06-29 | Micron Technology, Inc. | Combination of semiconductor interconnect |
US6080264A (en) * | 1996-05-20 | 2000-06-27 | Micron Technology, Inc. | Combination of semiconductor interconnect |
US5817530A (en) * | 1996-05-20 | 1998-10-06 | Micron Technology, Inc. | Use of conductive lines on the back side of wafers and dice for semiconductor interconnects |
US7371612B2 (en) | 1996-05-20 | 2008-05-13 | Micron Technology, Inc. | Method of fabrication of stacked semiconductor devices |
US5801448A (en) * | 1996-05-20 | 1998-09-01 | Micron Technology, Inc. | Conductive lines on the back side of wafers and dice for semiconductor interconnects |
US6989285B2 (en) | 1996-05-20 | 2006-01-24 | Micron Technology, Inc. | Method of fabrication of stacked semiconductor devices |
US6175149B1 (en) * | 1998-02-13 | 2001-01-16 | Micron Technology, Inc. | Mounting multiple semiconductor dies in a package |
US6297547B1 (en) * | 1998-02-13 | 2001-10-02 | Micron Technology Inc. | Mounting multiple semiconductor dies in a package |
US7112468B2 (en) | 1998-09-25 | 2006-09-26 | Stmicroelectronics, Inc. | Stacked multi-component integrated circuit microprocessor |
US6261865B1 (en) | 1998-10-06 | 2001-07-17 | Micron Technology, Inc. | Multi chip semiconductor package and method of construction |
US6673650B2 (en) | 1998-10-06 | 2004-01-06 | Micron Technology, Inc. | Multi chip semiconductor package and method of construction |
US6458625B2 (en) | 1998-10-06 | 2002-10-01 | Micron Technology, Inc. | Multi chip semiconductor package and method of construction |
US6395578B1 (en) | 1999-05-20 | 2002-05-28 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package and method for fabricating the same |
US6762078B2 (en) | 1999-05-20 | 2004-07-13 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package having semiconductor chip within central aperture of substrate |
US6798049B1 (en) | 1999-08-24 | 2004-09-28 | Amkor Technology Inc. | Semiconductor package and method for fabricating the same |
US6642610B2 (en) | 1999-12-20 | 2003-11-04 | Amkor Technology, Inc. | Wire bonding method and semiconductor package manufactured using the same |
US6803254B2 (en) | 1999-12-20 | 2004-10-12 | Amkor Technology, Inc. | Wire bonding method for a semiconductor package |
US7208826B2 (en) * | 2000-07-05 | 2007-04-24 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
US6552416B1 (en) | 2000-09-08 | 2003-04-22 | Amkor Technology, Inc. | Multiple die lead frame package with enhanced die-to-die interconnect routing using internal lead trace wiring |
US7485490B2 (en) | 2001-03-09 | 2009-02-03 | Amkor Technology, Inc. | Method of forming a stacked semiconductor package |
US6555917B1 (en) | 2001-10-09 | 2003-04-29 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package having stacked semiconductor chips and method of making the same |
US6946323B1 (en) | 2001-11-02 | 2005-09-20 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package having one or more die stacked on a prepackaged device and method therefor |
US6919631B1 (en) | 2001-12-07 | 2005-07-19 | Amkor Technology, Inc. | Structures for improving heat dissipation in stacked semiconductor packages |
US6737750B1 (en) | 2001-12-07 | 2004-05-18 | Amkor Technology, Inc. | Structures for improving heat dissipation in stacked semiconductor packages |
US7211884B1 (en) | 2002-01-28 | 2007-05-01 | Pacesetter, Inc. | Implantable medical device construction using a flexible substrate |
US7154171B1 (en) | 2002-02-22 | 2006-12-26 | Amkor Technology, Inc. | Stacking structure for semiconductor devices using a folded over flexible substrate and method therefor |
US6879047B1 (en) | 2003-02-19 | 2005-04-12 | Amkor Technology, Inc. | Stacking structure for semiconductor devices using a folded over flexible substrate and method therefor |
US9768124B2 (en) | 2007-02-21 | 2017-09-19 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package in package |
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