JPH0316226B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0316226B2
JPH0316226B2 JP59273597A JP27359784A JPH0316226B2 JP H0316226 B2 JPH0316226 B2 JP H0316226B2 JP 59273597 A JP59273597 A JP 59273597A JP 27359784 A JP27359784 A JP 27359784A JP H0316226 B2 JPH0316226 B2 JP H0316226B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
welding
image
arc
optical system
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP59273597A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61154771A (ja
Inventor
Nobuo Shibata
Akira Hirai
Jun Nakajima
Kenji Mori
Toshio Akatsu
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP59273597A priority Critical patent/JPS61154771A/ja
Priority to CA000498380A priority patent/CA1250765A/en
Priority to US06/812,844 priority patent/US4667082A/en
Priority to DE8585116618T priority patent/DE3565485D1/de
Priority to EP85116618A priority patent/EP0188817B1/en
Publication of JPS61154771A publication Critical patent/JPS61154771A/ja
Publication of JPH0316226B2 publication Critical patent/JPH0316226B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K9/00Arc welding or cutting
    • B23K9/12Automatic feeding or moving of electrodes or work for spot or seam welding or cutting
    • B23K9/127Means for tracking lines during arc welding or cutting
    • B23K9/1272Geometry oriented, e.g. beam optical trading
    • B23K9/1274Using non-contact, optical means, e.g. laser means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q35/00Control systems or devices for copying directly from a pattern or a master model; Devices for use in copying manually
    • B23Q35/04Control systems or devices for copying directly from a pattern or a master model; Devices for use in copying manually using a feeler or the like travelling along the outline of the pattern, model or drawing; Feelers, patterns, or models therefor
    • B23Q35/08Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work
    • B23Q35/12Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work involving electrical means
    • B23Q35/127Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work involving electrical means using non-mechanical sensing
    • B23Q35/128Sensing by using optical means
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/45Nc applications
    • G05B2219/45135Welding
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/47Tracing, tracking
    • G05B2219/4701Edge detector, project line, inclined camera detects discontinuity

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、光学系を用いてアーク画像及び被溶
接部の開先光切断画像を検出し、溶接すべき位置
を検出する、全自動アーク溶接ロボツトの溶接線
倣い装置に好適な溶接位置検出装置に関するもの
である。
〔発明の背景〕
従来、光学系を用いた溶接位置検出装置には第
5図及び第6図に示すものがあつた。第5図に示
す装置は、投光手段1からの例えばレーザ光をス
リツト(図示せず)を通して線状に鋭く集光させ
た光(線状集光光線)を被溶接材2の開先面3に
斜め上方から照射し、開先面3からの反射光を
ITVカメラなどの受光手段4で検出し、得られ
た画像を解析することによつて溶接すべき位置を
求めるものであつた。
この装置を前記溶接ロボツトに適用し、溶接ト
ーチ5を制御する場合には、溶接前に一度開先面
3を倣つて外部記憶手段(図示せず)に開先情報
を記憶させ、溶接時に記憶情報に基づいてトーチ
5を制御する方法と、溶接ワイヤ6に電力を供給
し、アーク7を発生させて実際に溶接しながら開
先面3を倣い、トーチ5の位置制御を行う方法と
があつた。
しかしいずれの方法でも、上述従来装置はワイ
ヤ6先端を直接観測していないため、ワイヤ6の
曲がりや突出し量の変化などを検出できず、この
ため溶接線に対して正確にトーチ5を倣わせるこ
とができなかつた。
一方第6図に示す装置は、溶接中のアーク7点
からの光(アーク光)をフイルタ群8を介して受
光手段4に取込み、得られた画像を解析してワイ
ヤ6先端のアーク7発生位置を求めるものであつ
た。
しかしこの装置では、ワイヤ6の曲がりや突出
し量などを検出することはできるが、トーチ5と
被溶接材2の相対位置関係は検出できず、倣うべ
き溶接線の検出に適用できなかつた。このため、
この装置に、アーク光自体を光源として開先位置
を検出する装置を併用することが考えられるが、
アーク光強度は変動が大きいので観測系のレベル
設定が困難であつた。
そこで、上述諸問題を全て解消するために、第
5図及び第6図に示す両装置を用いて1つの溶接
位置検出装置を構成することが考えられるが、こ
れでは装置が大型かつ複雑化し、実用的でないと
いう問題点があつた。
〔発明の目的〕
本発明は上記のような問題点を解消するために
なされたもので、ワイヤの曲がりや突出し量が検
出できると共に溶接線の検出にも適用でき、しか
もこれらが小型かつ簡単な構成で達成できる、全
自動アーク溶接ロボツトに好適な溶接位置検出装
置を提供することを目的とする。
〔発明の概要〕
本発明装置は、アークを観測用光学系で観測す
る一方で、アーク点に先行した、通常、アーク点
近傍の開先面に線状集光光線を照射させ、その反
射光を前記観測用光学系でアーク観測と同時に観
測するように光学系を配置することで、アーク画
像と開先光切断画像を1つの観測用光学系の2次
元光位置検出器の視野内に直接入るようにし、簡
易な構成で前記両画像が同時に検出されるように
してアーク溶接の自動化に便宜を計つたものであ
る。
〔発明の実施例〕
以下第1図〜第4図を参照して本発明の実施例
を説明する。第1図は本発明による溶接位置検出
装置の一実施例を概略的に示す斜視図で、図中
2,3,5及び6は各々第5図と同様である。1
1は線状集光光線照射用光学系で、アーク点Pに
先行するアーク点P近傍位置の開先面3に線状集
光光線を照射する。12は、例えばITVカメラ
あるいはCCDセンサなどからなる2次元光位置
検出器12a、干渉フイルタ12b及び減光フイ
ルタ12cなどで構成された観測用光学系で、ア
ーク点Pの光(アーク光)と前記線状集光光線の
開先面3での反射光との両方が前記検出器12a
の受光面に入射すべく各部材12a〜12cの選
定やそれらの配置位置設定、光軸調整がなされて
いる。ここでは、検出器12aの光軸を開先面3
上のアーク点Pと線状集光光線の開先面での反射
部分との中央部に向け、かつその中央部と検出器
12aの間隔を適宜設定することで前記アーク光
と反射光が検出器12a受光面に入射すべくなさ
れている。
線分Q1〜Q5は光学系11からの線状集光光線
よつて開先面3上に生じる光切断線を表わす。
即ち本発明は、例えば上述したように構成する
ことで、アーク画像と開先光切断画像とが観測用
光学系12の視野内に直接入るようになされ、そ
れら両画像が同時に検出されるようにしたもので
ある。ここでは、開先面3上の光切断画像は、前
記光切断線部分からの反射光を、前記線状集光光
線と同じ波長領域の光のみを透過する特性をもつ
た干渉フイルタ12bを介して検出器12aに入
射させることにより、検出器12aで検出され
る。また開先光切断画像は、アーク光を減光フイ
ルタ12cにより前記光切断線部分から反射され
る散乱光強度と同程度になるよう減光した後、干
渉フイルタ12bを介して検出器12aに入射さ
れ、検出器12aで前記開先光切断画像検出と同
時に検出される。
第2図は上述本発明装置が適用された全自動ア
ーク溶接ロボツトの一例を概略構成図で、図中
2,5,6及び7は各々第5図と同様である。2
1は上記光学系11,12を一括内蔵してなる上
述本発明装置部(以下、センサ部という)であ
る。このセンサ部21でアーク画像と開先光切断
画像が同時に検出されて得られた画像信号は、画
像処理装置22に入力される。画像処理装置22
では、アーク画像及び開先光切断画像の各々が記
録された特定領域の画像信号について所定の画像
処理を行なう。このうち開先光切断画像から開先
位置を検出し、この信号を遅延回路23を介して
遅延処理をした後、ロボツト制御装置24に出力
させる。また、アーク画像から溶接ワイヤ6の曲
がり、突出し量を検出し、この信号をロボツト制
御装置24に出力させると共に、アーク情報を溶
接機制御装置25に送る。前記ロボツト制御装置
24は、前記遅延処理後の開先位置情報と前記ア
ーク情報(ワイヤ6の曲がり、突出し量)に基づ
いて溶接トーチ5の位置を制御する。同様に、前
記溶接機制御装置25は、アーク情報に基づき、
溶接電流、アーク電圧の制御を実行するものであ
る。
上述ロボツトによれば、1つの検出器12a
(第1図参照)を備えた1つのセンサ部21で、
換言すれば小型かつ簡単な構成でアーク画像と開
先光切断画像を取込むことができる。そして、開
先光切断画像の観測によつて溶接線を検出でき、
また、アーク画像の観測によつて溶接中のワイヤ
6の曲がりや突出し量も同時に検出してトーチ5
位置を溶接線に倣つて制御できるため、位置決め
精度の高い溶接が可能となる。さらに、アーク情
報の検出によつて適正な溶接条件のもとでの溶接
が可能になる。
第3図は前述本発明装置(上記センサ部21)
の具体例を示す断面図で、この図において第1図
及び第2図と同一符号は同一又は相当部分を示
す。11aは発光素子、11bはこの発光素子1
1aからの光線に指向性をもたせるための集光レ
ンズ、11cはミラー、11dはシリンドリカル
レンズで、これらは線状集光光線照用光学系11
を構成する。この光学系11は、ここではトーチ
5を挾んで対称位置に一対(一方は図示省略)、
設け、それらの光学系11,11からの各光線l1
が直線状に接がるよう配置されている。12dは
レンズ、12eは耐熱ガラス板で、検出器12
a、干渉フイルタ12b及び減光フイルタ12c
とで観測用光学系12を構成している。
上述本発明装置において、ワイヤ6の先端を含
むアーク画像は、アーク光が狭い開口31を通
り、耐熱ガラス板12e、減光フイルタ12c、
干渉フイルタ12b及びレンズ12dを介して検
出器12aに入射されることにより検出器12a
で検出される。また開先光切断画像は、光切断線
Q部分からの反射光が開口32を通り、耐熱ガラ
ス板12e、干渉フイルタ12b及びレンズ12
dを介して検出器12aに入射されることによ
り、検出器12aで前記アーク画像検出と同時に
検出される。ここで、検出器12a及びレンズ1
2dは、その光軸がアーク点Pと光切断線Qとの
中央部と交叉し、前記画像が検出器12aの視野
内に直接入るように配置されている。なお図中3
3は、溶接中に発生するスパツタ、ヒユームなど
が開先光切断画像を検出する視野内に侵入するこ
とを防止するために設けられたもので、これによ
り鮮明な開先光切断画像を得ることができる。
上述第3図に示す例によれば、 (1) ワイヤ6先端部を含むアーク部分のみの像を
狭い開口31を通し、それ以外の像は除去され
て観測されるので、アーク点P及びワイヤ6先
端位置を求める際の画像処理が容易になり、 (2) 検出器12aの観測視野内にアーク画像と開
先光切断画像が入るようにすることでアーク点
Pに近い開先光切断画像を得ることができ、か
つ装置(センサ部21)全体を小型化でき、 (3) 検出器12aの受光面に結像される上記両面
像が互いに重なり合うことがなく分離された像
となつているので、画像処理の際には各々の画
像領域のみについて処理を行えばよく、処理構
成が容易となる、 などの効果がある。
第4図は前述本発明装置の他の具体例を示す断
面図で、この図において、第3図と同一符号は同
一又は相当部分を示す。11e,12fは各々オ
プチカルフアイバを多数束ねてなる光フアイバケ
ーブル、11fは光フアイバケーブル11eの端
面11gで広がる光線を平行光にするためのレン
ズ、12gは光フアイバケーブル12fで伝達さ
れた画像を検出器12aの受光面に結像させるた
めの接眼レンズである。
即ち上述例は、両光学系11,12の光線
(像)の伝送路に光フアイバケーブル11e,1
2fを用い、かつ検出器12a及び発光素子11
aをトーチ5から離れた位置に設けたもので、こ
れによれば、検出器12a及び発光素子11aが
熱や電気などによる外乱の影響を抑制できるとい
う効果もある。
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明によれば、溶接ワイヤ
の曲がりや突出し量が検出できると共に溶接線の
検出にも適用でき、しかもこれらが小型かつ簡単
な構成で達成でき、従つて全自動アーク溶接ロボ
ツトに適用して大なる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明装置の一実施例を概略的に示す
斜視図、第2図は本発明装置が適用された全自動
アーク溶接ロボツトの一例の概略構成図、第3図
及び第4図は各々本発明装置の具体例を示す断面
図、第5図及び第6図は各々従来装置の概略構成
図である。 2……被溶接材、3……開先面、5……溶接ト
ーチ、6……溶接ワイヤ、7……アーク、11…
…線状集光光線照射用光学系、11e,12f…
…光フアイバケーブル、12……観測用光学系、
12a……2次元光位置検出器、P……アーク
点、Q……光切断線。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 溶接トーチから繰出される溶接ワイヤによつ
    て溶接される被溶接部材の溶接すべき位置を検出
    する溶接位置検出装置において、 線状集光光線を、該被溶接部材の開先面であつ
    て、溶接時に発生するアーク位置よりも先行する
    位置に照射し、該被溶接部材上に開先光切断画像
    を形成する集光光線照射用光学系と、 該開先光切断画像と溶接時に発生するアークお
    よび該溶接ワイヤ先端部を含むアーク画像とを画
    像信号として入力する観測用光学系とを備え、 該観測用光学系は、該溶接ワイヤ先端部を中心
    に該溶接トーチ軸から溶接進行方向に傾斜させて
    該溶接トーチ側方に形成され、該溶接ワイヤ先端
    部を含むアーク部分のみの該アーク画像を検出手
    段に入射させる第1の光通路と、該溶接トーチの
    側方でしかも該第1の光通路とは仕切壁を介して
    独立に形成され、該開先光切断画像を該検出手段
    に入射させる第2の光通路と、該第1の光通路を
    通過した該アーク画像および該第2の光通路を通
    過した該開先光切断画像を同一視野内で受光し、
    該画像信号に変換する前記検出手段とを含んでい
    る溶接位置検出装置。 2 前記線状集光光線照射用光学系及び観測用光
    学系は、溶接トーチと一体的に構成したことを特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載の溶接位置検
    出装置。 3 前記第1の光通路の途中に前記アーク画像の
    光強度を前記検出手段での変換に適した値に減光
    フイルタを設けたことを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の溶接位置検出装置。 4 前記線状集光光線照射用光学系及び観測用光
    学系は、その光線及び観測像の伝送路に各々光フ
    アイバケーブルを用いたことを特徴とする特許請
    求の範囲第1項記載の溶接位置検出装置。
JP59273597A 1984-12-27 1984-12-27 溶接位置検出装置 Granted JPS61154771A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59273597A JPS61154771A (ja) 1984-12-27 1984-12-27 溶接位置検出装置
CA000498380A CA1250765A (en) 1984-12-27 1985-12-20 Welding position detecting apparatus
US06/812,844 US4667082A (en) 1984-12-27 1985-12-23 Welding position detecting apparatus
DE8585116618T DE3565485D1 (en) 1984-12-27 1985-12-27 Welding position detecting apparatus
EP85116618A EP0188817B1 (en) 1984-12-27 1985-12-27 Welding position detecting apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59273597A JPS61154771A (ja) 1984-12-27 1984-12-27 溶接位置検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61154771A JPS61154771A (ja) 1986-07-14
JPH0316226B2 true JPH0316226B2 (ja) 1991-03-05

Family

ID=17529992

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59273597A Granted JPS61154771A (ja) 1984-12-27 1984-12-27 溶接位置検出装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4667082A (ja)
EP (1) EP0188817B1 (ja)
JP (1) JPS61154771A (ja)
CA (1) CA1250765A (ja)
DE (1) DE3565485D1 (ja)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61279491A (ja) * 1985-05-31 1986-12-10 株式会社安川電機 視覚機器付産業用ロボット
US4670974A (en) * 1985-11-06 1987-06-09 Westinghouse Electric Corp. Windshield insertion system for a vehicle on a moving conveyor apparatus
WO1988000508A1 (en) * 1986-07-15 1988-01-28 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Seisakusho Method of detecting position data in arc welding
CA1280807C (en) * 1987-09-11 1991-02-26 National Research Council Of Canada Adaptive welding control vision head
US5017082A (en) * 1988-03-07 1991-05-21 Tokyo Electron Limited Handling apparatus
DE3830892C1 (ja) * 1988-09-10 1989-09-28 Fried. Krupp Gmbh, 4300 Essen, De
US4831233A (en) * 1988-09-28 1989-05-16 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Optically controlled welding system
GB2236846B (en) * 1988-11-22 1992-10-14 Fiat Auto Spa Laser welding monitoring systems.
NL8803156A (nl) * 1988-12-23 1990-07-16 Vmi Epe Holland Centreerinrichting.
US5245409A (en) * 1991-11-27 1993-09-14 Arvin Industries, Inc. Tube seam weld inspection device
US5612785A (en) * 1996-01-03 1997-03-18 Servo Robot Inc. Twin sensor laser probe
US6290117B1 (en) * 1998-02-17 2001-09-18 Hitachi, Ltd. Friction stir welding method and friction stir welding apparatus
SE515709C2 (sv) * 2000-02-11 2001-10-01 Nekp Sweden Ab Skyddsanordning vid metallsvetsning eller - skärning
ITVR20010058A1 (it) * 2001-05-10 2002-11-10 Lacchetti Di Gianfranco E Gia Procedimento e mezzi per la lavorazione mediante saldatura da afflusso laser diretto e continuo, utilizzabile in oreficeria
WO2007053973A1 (de) * 2005-11-14 2007-05-18 Precitec Vision Gmbh & Co. Kg, Eschborn (De), Zweigniederlassung Neftenbach Verfahren und vorrichtung zur bewertung von fügestellen von werkstücken
US20080169277A1 (en) * 2007-01-16 2008-07-17 Illinois Tool Works Inc. Lighted welding torch
US8026456B2 (en) * 2007-02-20 2011-09-27 Illinois Tool Works Inc. TIG welding system and method
JP2009166107A (ja) * 2008-01-18 2009-07-30 Jfe Engineering Corp 自動溶接制御方法及び自動溶接装置
JP2009195977A (ja) * 2008-02-25 2009-09-03 Jfe Engineering Corp 自動溶接制御方法及び自動溶接装置
DE102010011253B4 (de) * 2010-03-12 2013-07-11 Precitec Kg Laserbearbeitungskopf, Robotervorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls
CN104148777B (zh) * 2014-08-18 2016-08-31 上海维宏电子科技股份有限公司 实现波纹板焊接轨迹数据平滑处理的方法及系统

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5550984A (en) * 1978-10-05 1980-04-14 Hitachi Zosen Corp Controlling method for groove tracing
US4450339A (en) * 1982-07-26 1984-05-22 General Electric Company Welding torch with vision attachment
US4491719A (en) * 1982-12-20 1985-01-01 General Electric Company Light pattern projector especially for welding
US4532405A (en) * 1983-11-23 1985-07-30 General Electric Company Arc welding torch with two integral optical systems

Also Published As

Publication number Publication date
EP0188817B1 (en) 1988-10-12
JPS61154771A (ja) 1986-07-14
DE3565485D1 (en) 1988-11-17
US4667082A (en) 1987-05-19
CA1250765A (en) 1989-03-07
EP0188817A1 (en) 1986-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0316226B2 (ja)
CN105643110B (zh) 一种精密激光切割系统
JP2004519697A (ja) 光学測距装置
US4933541A (en) Method and apparatus for active vision image enhancement with wavelength matching
US4054388A (en) Optical control means
JPS59150687A (ja) 溶接深さのオンライン制御の方法と装置
JP2001179470A (ja) レーザ加工状態計測装置
JPS60117102A (ja) 溶接線倣い検出装置
JPH1058179A (ja) レーザ加工装置
JPS5855813A (ja) 光学式距離計
JPS6350109B2 (ja)
JPH0642993B2 (ja) 距離計測装置
JPH05253685A (ja) レーザ加工装置
JPS61103692A (ja) レ−ザ加工機
CA1326774C (en) Method and apparatus for active vision image enhancement
JPH0230643B2 (ja)
CN114264617B (zh) 一种基于共聚焦的多线激光扫描拼缝测量装置及方法
CN215238450U (zh) 一种多信息焊接监控及控制系统
JP2611411B2 (ja) 光照射位置検出装置
JPS63212073A (ja) 溶接位置検出装置
JPS6275308A (ja) 変位変換器
JPS62183969A (ja) 溶接位置検出装置
JPS6350110B2 (ja)
JP2016147293A (ja) レーザ加工装置および出射ユニット
JPH0528762B2 (ja)