JPH05253685A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
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- JPH05253685A JPH05253685A JP4052161A JP5216192A JPH05253685A JP H05253685 A JPH05253685 A JP H05253685A JP 4052161 A JP4052161 A JP 4052161A JP 5216192 A JP5216192 A JP 5216192A JP H05253685 A JPH05253685 A JP H05253685A
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- laser
- light
- processing
- light source
- processing head
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 正確にノズル穴中心とレーザ光軸の位置のず
れ量を検出することのできるレーザ加工装置を提供す
る。 【構成】 加工テーブル6上に光電検出器20X,20Yを
配置し、この光電検出器20X,20Yの受光面の一部を遮
断する遮蔽板19を設け、この遮蔽板19端部を横切るよう
にレーザ発振器1とは別の光源であるライト17から可視
光を照射しながら加工テーブル6を移動させたときの光
電検出器20X,20Yの光検出位置と、同様にレーザ光を
照射しながら加工テーブル6を移動させたときの光電検
出器20X,20Yの光検出位置とから、ノズル穴中心とレ
ーザ光軸位置のずれ量を検出する。
れ量を検出することのできるレーザ加工装置を提供す
る。 【構成】 加工テーブル6上に光電検出器20X,20Yを
配置し、この光電検出器20X,20Yの受光面の一部を遮
断する遮蔽板19を設け、この遮蔽板19端部を横切るよう
にレーザ発振器1とは別の光源であるライト17から可視
光を照射しながら加工テーブル6を移動させたときの光
電検出器20X,20Yの光検出位置と、同様にレーザ光を
照射しながら加工テーブル6を移動させたときの光電検
出器20X,20Yの光検出位置とから、ノズル穴中心とレ
ーザ光軸位置のずれ量を検出する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工装置に係り、
特にレーザ加工装置のレーザ光軸検出と加工ヘッドのノ
ズル穴中心位置検出に関するものである。
特にレーザ加工装置のレーザ光軸検出と加工ヘッドのノ
ズル穴中心位置検出に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のレーザ加工装置としては、図7に
示すようなものがある。図7において、レーザ発振器1
から出力されたレーザ光2は、反射ミラー3によって反
射して伝送され、加工ヘッド4に収納されている集光レ
ンズ5によって集光され、加工テーブル6上のワーク7
に照射され、熱加工であるレーザ加工が行なわれる。加
工ヘッド4の先端部にはノズル8が取り付けられてお
り、ノズル8先端のノズル穴から加工ガス9がレーザ光
2と同時に射出されている。更に、加工ヘッド4及び加
工テーブル6上のワーク7は数値制御装置10によって位
置決めされている。
示すようなものがある。図7において、レーザ発振器1
から出力されたレーザ光2は、反射ミラー3によって反
射して伝送され、加工ヘッド4に収納されている集光レ
ンズ5によって集光され、加工テーブル6上のワーク7
に照射され、熱加工であるレーザ加工が行なわれる。加
工ヘッド4の先端部にはノズル8が取り付けられてお
り、ノズル8先端のノズル穴から加工ガス9がレーザ光
2と同時に射出されている。更に、加工ヘッド4及び加
工テーブル6上のワーク7は数値制御装置10によって位
置決めされている。
【0003】ここで、良好なレーザ加工が行なわれるた
めには、レーザ発振器1から出力されたレーザ光2が加
工ヘッド4に収納されている集光レンズ5に傾きなく入
射されることが必要であり、さらに、集光レンズ5で集
光されたレーザ光2が加工ヘッド4の先端に取り付けら
れたノズル8のノズル穴中心に位置決めされることが必
要である。
めには、レーザ発振器1から出力されたレーザ光2が加
工ヘッド4に収納されている集光レンズ5に傾きなく入
射されることが必要であり、さらに、集光レンズ5で集
光されたレーザ光2が加工ヘッド4の先端に取り付けら
れたノズル8のノズル穴中心に位置決めされることが必
要である。
【0004】これは、集光レンズの焦点を通る垂直線上
にノズル穴中心点が設けられており、レーザ光軸がノズ
ル穴の中心に位置決めされることで、均一なパワー分布
のレーザ光を得ることができるからである。
にノズル穴中心点が設けられており、レーザ光軸がノズ
ル穴の中心に位置決めされることで、均一なパワー分布
のレーザ光を得ることができるからである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ加工装置
では、レーザ光軸がノズル穴の中心に位置決めされてい
るかどうかの確認方法として、ワーク7とノズル8を接
近させて、金属であるワーク7に低出力のレーザ光2を
照射して、図8に示すように溶融した金属11が加工ヘッ
ド4の周囲に均一に飛散することで確認したり、図9に
示すように、ノズル8の先端にセロテープ12を貼り付
け、低出力のレーザ光2を照射した後はがして、図10に
示すように、セロープ12の粘着側に残ったノズル先端の
跡13とレーザ光2の照射によってあけられた穴14との位
置関係から確認するといった極めて精度が悪い方法がと
られていた。そのため、レーザ光軸がノズル中心に位置
決めされていつかどうかを正確に確認することができな
いという問題点が有った。
では、レーザ光軸がノズル穴の中心に位置決めされてい
るかどうかの確認方法として、ワーク7とノズル8を接
近させて、金属であるワーク7に低出力のレーザ光2を
照射して、図8に示すように溶融した金属11が加工ヘッ
ド4の周囲に均一に飛散することで確認したり、図9に
示すように、ノズル8の先端にセロテープ12を貼り付
け、低出力のレーザ光2を照射した後はがして、図10に
示すように、セロープ12の粘着側に残ったノズル先端の
跡13とレーザ光2の照射によってあけられた穴14との位
置関係から確認するといった極めて精度が悪い方法がと
られていた。そのため、レーザ光軸がノズル中心に位置
決めされていつかどうかを正確に確認することができな
いという問題点が有った。
【0006】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、正確にレーザ光軸がノズル穴中心に位置決
めされていることを確認できる機構を備えたレーザ加工
装置を提供することを目的としている。
れたもので、正確にレーザ光軸がノズル穴中心に位置決
めされていることを確認できる機構を備えたレーザ加工
装置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段および作用】以上の目的を
達成するために第1の発明においては、レーザ光を射出
するレーザ発振器と、このレーザ発振器から射出された
レーザ光を反射してレーザ光を伝送する反射ミラーと、
この反射ミラーによって伝送されたレーザ光を集光する
集光レンズと、この集光レンズを収納し、その先端のノ
ズル穴から集光されたレーザ光を加工テーブル上のワー
クに照射する加工ヘッドと、を有するレーザ加工装置に
おいて、レーザ発振器とは別に備えた光源と、加工ヘッ
ドから射出される光を光源からの光とレーザ発振器から
のレーザ光とに切換える切換手段と、加工テーブル上に
配置され、加工ヘッドから射出されるレーザ光または光
源からの光を検出する光電検出器と、この光電検出器の
端部を横切るように加工ヘッドから射出されるレーザ光
または光源からの光を照射移動する移動手段と、この移
動手段の移動位置を検出する位置検出器と、加工ヘッド
から射出されるレーザ光または光源からの光を光電検出
器の端部を横切るように照射移動する際の位置検出器の
出力値と、光電検出器の出力値により、加工ヘッドのノ
ズル穴中心位置とレーザ光軸位置とを検出するレーザ光
軸検出部とを有することを特徴としている。
達成するために第1の発明においては、レーザ光を射出
するレーザ発振器と、このレーザ発振器から射出された
レーザ光を反射してレーザ光を伝送する反射ミラーと、
この反射ミラーによって伝送されたレーザ光を集光する
集光レンズと、この集光レンズを収納し、その先端のノ
ズル穴から集光されたレーザ光を加工テーブル上のワー
クに照射する加工ヘッドと、を有するレーザ加工装置に
おいて、レーザ発振器とは別に備えた光源と、加工ヘッ
ドから射出される光を光源からの光とレーザ発振器から
のレーザ光とに切換える切換手段と、加工テーブル上に
配置され、加工ヘッドから射出されるレーザ光または光
源からの光を検出する光電検出器と、この光電検出器の
端部を横切るように加工ヘッドから射出されるレーザ光
または光源からの光を照射移動する移動手段と、この移
動手段の移動位置を検出する位置検出器と、加工ヘッド
から射出されるレーザ光または光源からの光を光電検出
器の端部を横切るように照射移動する際の位置検出器の
出力値と、光電検出器の出力値により、加工ヘッドのノ
ズル穴中心位置とレーザ光軸位置とを検出するレーザ光
軸検出部とを有することを特徴としている。
【0008】さらに第2の発明においては、レーザ光を
射出するレーザ発振器と、このレーザ発振器から射出さ
れたレーザ光を反射してレーザ光を伝送する反射ミラー
と、この反射ミラーによって伝送されたレーザ光を集光
する集光レンズと、この集光レンズを収納し、その先端
のノズル穴から集光されたレーザ光を加工テーブル上の
ワークに照射する加工ヘッドと、を有するレーザ加工装
置において、レーザ発振器とは別に備えた光源と、加工
ヘッドから射出される光を光源からの光とレーザ発振器
からのレーザ光とに切換える切換手段と、加工テーブル
上に配置され、加工ノズルから入射されるレーザ光また
は光源からの光を検出する十字形に4分割された受光面
を有する光電検出器と、加工ヘッドから射出されるレー
ザ光または光源からの光を光電検出器の受光面に入射す
ることで、光電検出器から出力される4個の出力に基づ
いて、加工ヘッドのノズル穴中心位置とレーザ光軸位置
とを検出するレーザ光軸検出部とを有することを特徴と
するものである。
射出するレーザ発振器と、このレーザ発振器から射出さ
れたレーザ光を反射してレーザ光を伝送する反射ミラー
と、この反射ミラーによって伝送されたレーザ光を集光
する集光レンズと、この集光レンズを収納し、その先端
のノズル穴から集光されたレーザ光を加工テーブル上の
ワークに照射する加工ヘッドと、を有するレーザ加工装
置において、レーザ発振器とは別に備えた光源と、加工
ヘッドから射出される光を光源からの光とレーザ発振器
からのレーザ光とに切換える切換手段と、加工テーブル
上に配置され、加工ノズルから入射されるレーザ光また
は光源からの光を検出する十字形に4分割された受光面
を有する光電検出器と、加工ヘッドから射出されるレー
ザ光または光源からの光を光電検出器の受光面に入射す
ることで、光電検出器から出力される4個の出力に基づ
いて、加工ヘッドのノズル穴中心位置とレーザ光軸位置
とを検出するレーザ光軸検出部とを有することを特徴と
するものである。
【0009】
【実施例】本発明による実施例を図面によって説明す
る。図1は本発明の第1の実施例を示したものであり、
図7と同一構成要件は同符号を符して説明を省略する。
る。図1は本発明の第1の実施例を示したものであり、
図7と同一構成要件は同符号を符して説明を省略する。
【0010】駆動装置15により、反射ミラー3によって
反射されたレーザ光2の光路途中に挿入,退避可能な切
替ミラー16が設けられており、挿入時にはレーザ発振器
1と別の光源であるライト17からの可視光18がレーザ光
2の光路に入射されるようになっている。
反射されたレーザ光2の光路途中に挿入,退避可能な切
替ミラー16が設けられており、挿入時にはレーザ発振器
1と別の光源であるライト17からの可視光18がレーザ光
2の光路に入射されるようになっている。
【0011】ノズル穴中心にレーザ光軸が位置している
か確認するために、加工テーブル6上に遮蔽板19とノズ
ル穴から射出されるレーザ光と可視光のX,Y2方向検
出のための光電検出器20X,20Yが配置される。光電検
出器20X,20Yから出力された信号を比較器21に入力
し、比較器21では入力された信号レベルが予め設定され
たしきい値を超えた場合に、数値制御装置22に信号を出
力する。
か確認するために、加工テーブル6上に遮蔽板19とノズ
ル穴から射出されるレーザ光と可視光のX,Y2方向検
出のための光電検出器20X,20Yが配置される。光電検
出器20X,20Yから出力された信号を比較器21に入力
し、比較器21では入力された信号レベルが予め設定され
たしきい値を超えた場合に、数値制御装置22に信号を出
力する。
【0012】数値制御装置22は比較器21からの信号を受
信した時点で、加工テーブル6を駆動する図示していな
いサーボモータを停止させる機能を有しており、サーボ
モータに付属している位置検出器から出力される位置デ
ータを記憶する。得られた位置データに所定の演算を行
ない、レーザ光軸とノズル穴中心の位置ずれ量を表示ユ
ニット23に出力する。なお、図2に示すように、遮蔽板
19の端面19X,19Yは各々加工テーブル6の移動方向で
あるX,Y軸と平行になるように取り付けられている。
このように構成された第1の実施例の作用を以下に説明
する。
信した時点で、加工テーブル6を駆動する図示していな
いサーボモータを停止させる機能を有しており、サーボ
モータに付属している位置検出器から出力される位置デ
ータを記憶する。得られた位置データに所定の演算を行
ない、レーザ光軸とノズル穴中心の位置ずれ量を表示ユ
ニット23に出力する。なお、図2に示すように、遮蔽板
19の端面19X,19Yは各々加工テーブル6の移動方向で
あるX,Y軸と平行になるように取り付けられている。
このように構成された第1の実施例の作用を以下に説明
する。
【0013】図3の(a)(b)は、遮蔽板19と光電検
出器20X,20Yを上方から見たもので、レーザ光軸検出
時には、レーザ発振器1からのレーザ光2が図示しない
シャッタで遮断される。そして、反射ミラー駆動部15に
より、レーザ光路へ切替ミラー16が挿入されて、レーザ
光2またはレーザ発振器1とは別の光源であるライト17
からの可視光18が紙面に直角の方向から遮蔽板19に入射
される。破線で示した範囲LR はレーザ光2または別の
光源であるライト17からの可視光18の遮蔽板19及び光電
検出器20X,20Y上での大きさを示している。
出器20X,20Yを上方から見たもので、レーザ光軸検出
時には、レーザ発振器1からのレーザ光2が図示しない
シャッタで遮断される。そして、反射ミラー駆動部15に
より、レーザ光路へ切替ミラー16が挿入されて、レーザ
光2またはレーザ発振器1とは別の光源であるライト17
からの可視光18が紙面に直角の方向から遮蔽板19に入射
される。破線で示した範囲LR はレーザ光2または別の
光源であるライト17からの可視光18の遮蔽板19及び光電
検出器20X,20Y上での大きさを示している。
【0014】まず、図3(a)は、照射範囲LR が遮蔽
板19上に位置した状態を示している。この位置から、X
方向に加工テーブル6を動作させることによって、照射
範囲LR が遮蔽板19を横切る図3(b)の状態となり、
光電検出器20Xの信号出力VX は図4のように変化す
る。したがって、この信号出力VX が予め設定しておい
たしきい値VLIM を越えると比較器21から数値制御装置
22へ信号が出力され、数値制御装置22はその時の加工テ
ーブル6のX方向の位置データを記憶する。このときに
照射された光の光源がライト17であればノズル穴の端部
の位置データXNが得られ、レーザ光2であればレーザ
光2の位置データXL が得られることになる。Y方向に
ついても同様の操作によって、Y方向のノズル穴の端部
の位置データYN ,レーザ光2の位置データYL が得ら
れることになる。
板19上に位置した状態を示している。この位置から、X
方向に加工テーブル6を動作させることによって、照射
範囲LR が遮蔽板19を横切る図3(b)の状態となり、
光電検出器20Xの信号出力VX は図4のように変化す
る。したがって、この信号出力VX が予め設定しておい
たしきい値VLIM を越えると比較器21から数値制御装置
22へ信号が出力され、数値制御装置22はその時の加工テ
ーブル6のX方向の位置データを記憶する。このときに
照射された光の光源がライト17であればノズル穴の端部
の位置データXNが得られ、レーザ光2であればレーザ
光2の位置データXL が得られることになる。Y方向に
ついても同様の操作によって、Y方向のノズル穴の端部
の位置データYN ,レーザ光2の位置データYL が得ら
れることになる。
【0015】以上のデータが得られれば、ノズル穴の径
dは予め測定しておけば、ノズル穴の中心位置とレーザ
光2の光軸位置のX,Y方向のズレ量ΔX,ΔYは次式
にて求めることができる。 これら演算結果は数値制御装置22から表示ユニット23へ
出力され表示される。以上説明したように、本実施例に
よれば、正確にしかも安全にノズル穴中心からのレーザ
光軸の位置ズレ量を検出することができる。
dは予め測定しておけば、ノズル穴の中心位置とレーザ
光2の光軸位置のX,Y方向のズレ量ΔX,ΔYは次式
にて求めることができる。 これら演算結果は数値制御装置22から表示ユニット23へ
出力され表示される。以上説明したように、本実施例に
よれば、正確にしかも安全にノズル穴中心からのレーザ
光軸の位置ズレ量を検出することができる。
【0016】なお、本実施例ではノズル穴から射出され
る光を移動させるのに加工用テーブルを移動させたが、
加工ヘッドを移動させてもよい。また比較器21に設定し
たしきい値VLIM をレーザ光とノズル穴端部検出用の光
に対して別々に設定してもよい。
る光を移動させるのに加工用テーブルを移動させたが、
加工ヘッドを移動させてもよい。また比較器21に設定し
たしきい値VLIM をレーザ光とノズル穴端部検出用の光
に対して別々に設定してもよい。
【0017】また、図5はレーザ発振器1とは別の光源
からの光を加工ヘッドへ入射する方法として、加工ヘッ
ド24内部に直接可視光が入射するライト25を設け、切替
ミラー16を用いない方法を示したものである。次に本発
明による第2の実施例を説明する。
からの光を加工ヘッドへ入射する方法として、加工ヘッ
ド24内部に直接可視光が入射するライト25を設け、切替
ミラー16を用いない方法を示したものである。次に本発
明による第2の実施例を説明する。
【0018】図6は、光電出器として、4分割方式光電
検出器26を採用したものである。この光電検出器26の受
光面27はX軸とY軸によって4象限(27a,27b,27
c,27d)に分割されており、各々独立に照射された光
のエネルギーに応じてVa ,Vb ,Vc ,Vd として信
号出力される。今、レーザ光2または別の光源であるラ
イト17からの可視光18が破線の照射範囲LR で照射され
たとすると、照射範囲LR の中心座標(XO ,YO )は
次式で得ることができる。
検出器26を採用したものである。この光電検出器26の受
光面27はX軸とY軸によって4象限(27a,27b,27
c,27d)に分割されており、各々独立に照射された光
のエネルギーに応じてVa ,Vb ,Vc ,Vd として信
号出力される。今、レーザ光2または別の光源であるラ
イト17からの可視光18が破線の照射範囲LR で照射され
たとすると、照射範囲LR の中心座標(XO ,YO )は
次式で得ることができる。
【0019】したがって、遮蔽板19を使用しなくても4
分割方式光電検出器26の受光面上でのレーザ光2及び可
視光18のパワー分布からレーザ光2とノズル穴8の中心
位置を求めることができる。
分割方式光電検出器26の受光面上でのレーザ光2及び可
視光18のパワー分布からレーザ光2とノズル穴8の中心
位置を求めることができる。
【0020】また、この4分割方式光電検出器26を用い
て数値制御装置22と比較器21を用いた前述の方式を採用
することもできる。すなわち、X方向については、第1
象限23aの出力Va 、第4象限23dの出力Vd を監視し
ておき、加工テーブルまたは加工ヘッドをX方向に移動
してどちらかの出力が予め設定しておいたしきい値V
LIM を越えると、その時点でのX方向の座標データが数
値制御装置22に記憶され、Y方向については、第1象限
23aの出力Va 、第2象限23bの出力Vb を監視してお
き、加工テーブルまたは加工ヘッドをY方向に移動して
どちらかの出力が予め設定しておいたしきい値VLIM を
越えるとその時点でのY方向の座標データが数値制御装
置22に記憶されることになる。
て数値制御装置22と比較器21を用いた前述の方式を採用
することもできる。すなわち、X方向については、第1
象限23aの出力Va 、第4象限23dの出力Vd を監視し
ておき、加工テーブルまたは加工ヘッドをX方向に移動
してどちらかの出力が予め設定しておいたしきい値V
LIM を越えると、その時点でのX方向の座標データが数
値制御装置22に記憶され、Y方向については、第1象限
23aの出力Va 、第2象限23bの出力Vb を監視してお
き、加工テーブルまたは加工ヘッドをY方向に移動して
どちらかの出力が予め設定しておいたしきい値VLIM を
越えるとその時点でのY方向の座標データが数値制御装
置22に記憶されることになる。
【0021】
【発明の効果】本発明によれば、光軸調整作業をを行う
ためのノズル穴の中心位置、レーザ光位置及び両者のズ
レ量を正確にしかも安全に検出することができ、光軸調
整作業を効率よく行うことができるレーザ加工装置を提
供することができる。
ためのノズル穴の中心位置、レーザ光位置及び両者のズ
レ量を正確にしかも安全に検出することができ、光軸調
整作業を効率よく行うことができるレーザ加工装置を提
供することができる。
【図1】本発明によるレーザ加工装置の第1の実施例を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図2】第1の実施例の遮蔽板と光電検出器との関係を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図3】第1の実施例の光電検出器、遮蔽板と光の位置
関係を示した平面図である。
関係を示した平面図である。
【図4】第1の実施例のX方向の光電検出器の出力信号
変化の一例を示した図である。
変化の一例を示した図である。
【図5】本発明によるレーザ光以外の光源からの光の入
射方法を示したレーザ加工装置の構成図である。
射方法を示したレーザ加工装置の構成図である。
【図6】本発明の第2の実施例に用いた光電検出器の受
光面の説明図である。
光面の説明図である。
【図7】従来のレーザ加工装置を示す構成図である。
【図8】レーザ光位置とノズル穴中心位置のズレ量を確
認する従来の方法の説明図である。
認する従来の方法の説明図である。
【図9】レーザ光位置とノズル穴中心位置のズレ量を確
認する従来の方法の説明図である。
認する従来の方法の説明図である。
【図10】レーザ光位置とノズル穴中心位置のズレ量を
確認する従来の方法の説明図である。
確認する従来の方法の説明図である。
1…レーザ発振器、 2…レーザ光、 3…反射ミラー、 4…加工ヘッド、 5…集光レンズ、 6…加工テーブル、 7…ワーク、 8…ノズル、 9…加工ガス、 10…数値制御装置、 11…溶融した金属、 12…セロテ−プ、 13…ノズル先端の跡、 14…レーザ光による穴、 15…駆動装置、 16…切替ミラー、 17…ライト、 18…可視光、 19…遮蔽板、 20X,20Y…光電検出器、 21…比較器、 22…数値制御装置、 23…表示ユニット、 24…加工ヘッド、 25…ライト、 26…4分割方式光電検出
器、 27…受光面。
器、 27…受光面。
Claims (2)
- 【請求項1】 レーザ光を射出するレーザ発振器と、 このレーザ発振器から射出されたレーザ光を反射してレ
ーザ光を伝送する反射ミラーと、 この反射ミラーによって伝送されたレーザ光を集光する
集光レンズと、この集光レンズを収納し、その先端のノ
ズル穴から集光されたレーザ光を加工テーブル上のワー
クに照射する加工ヘッドと、を有するレーザ加工装置に
おいて、 レーザ発振器とは別に備えた光源と、 加工ヘッドから射出される光を光源からの光とレーザ発
振器からのレーザ光とに切換える切換手段と、 加工テーブル上に配置され、加工ヘッドから射出される
レーザ光または光源からの光を検出する光電検出器と、 この光電検出器の端部を横切るように加工ヘッドから射
出されるレーザ光または光源からの光を照射移動する移
動手段と、 この移動手段の移動位置を検出する位置検出器と、 加工ヘッドから射出されるレーザ光または光源からの光
を光電検出器の端部を横切るように照射移動する際の位
置検出器の出力値と、光電検出器の出力値により、加工
ヘッドのノズル穴中心位置とレーザ光軸位置とを検出す
るレーザ光軸検出部とを有することを特徴とするレーザ
加工装置。 - 【請求項2】 レーザ光を射出するレーザ発振器と、 このレーザ発振器から射出されたレーザ光を反射してレ
ーザ光を伝送する反射ミラーと、 この反射ミラーによって伝送されたレーザ光を集光する
集光レンズと、この集光レンズを収納し、その先端のノ
ズル穴から集光されたレーザ光を加工テーブル上のワー
クに照射する加工ヘッドと、を有するレーザ加工装置に
おいて、 レーザ発振器とは別に備えた光源と、 加工ヘッドから射出される光を光源からの光とレーザ発
振器からのレーザ光とに切換える切換手段と、 加工テーブル上に配置され、加工ノズルから入射される
レーザ光または光源からの光を検出する十字形に4分割
された受光面を有する光電検出器と、 加工ヘッドから射出されるレーザ光または光源からの光
を光電検出器の受光面に入射することで、光電検出器か
ら出力される4個の出力に基づいて、加工ヘッドのノズ
ル穴中心位置とレーザ光軸位置とを検出するレーザ光軸
検出部とを有することを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4052161A JPH05253685A (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4052161A JPH05253685A (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | レーザ加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05253685A true JPH05253685A (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=12907117
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4052161A Pending JPH05253685A (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05253685A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1992
- 1992-03-11 JP JP4052161A patent/JPH05253685A/ja active Pending
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