JP2015009263A - レーザ加工装置およびレーザ光軸調整方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル穴３２の中心位置とレーザ光の光軸との位置とを一致させる芯だし処理の精度の向上を図る。
【解決手段】レーザ発振器からの加工レンズ４で集光されたレーザ光１をノズル穴３２から被加工物６に照射させるノズル５と、ノズル５が先端に設けられた加工ヘッド３と、被加工物６に対して配置された光源７と、光源７から加工ヘッド３に入射する光の強度を検知する光検知器８と、検知した光の強度に基づいて、ノズル５とレーザ光１で形成したピアス穴１６との相対位置の変化による光の強度の変化を検知し、ノズル穴３２の中心位置とレーザ光の光軸との位置ずれを算出する信号処理部１４とを備えている。
【選択図】図２

Description

本発明は、レーザ加工装置およびレーザ光軸調整方法に関するものである。

従来のレーザ加工装置においては、レーザ発振器から出力されたレーザ光を複数のミラーを介して加工ヘッドへ導き、加工ヘッド内の集光レンズによって集光されたレーザ光とアシストガスを同時に被加工物（ワーク）に照射することにより切断、溶接等の加工が行われる。

ここで、安定したレーザ加工を行うためには、レーザ光の光軸が加工ヘッドの先端部に設けられたノズル穴の中心を通る必要がある。ノズル穴の中心とレーザ光の光軸がずれていると加工に異方性が生じ、加工精度が落ちたり、加工が不安定になる。

このため、通常は加工を実施する前にノズル穴の中心とレーザ光の光軸を一致させる「芯だし」とよばれる調整作業を行う。従来の芯だしの方法は薄いアクリル板やテープにレーザ光で穴を開けて、加工穴の位置やガスの流れを作業者が目視で判断しながら、加工レンズの位置あるいはノズルの位置を調整していた。

一方で、作業者によらず自動的に芯だしを行う方法も各種提案されている。例えば特許文献１では、加工ヘッド内部に光検知器を備え、レーザ光が被加工物に照射されたときに被加工物から生じる光の強度を検出することが提案されている。被加工物から生じる光の強度はノズル穴と被加工物へのレーザ光照射位置の相対位置によって変化するため、これをあらかじめ求めておいたノズル穴中心と光軸が一致しているときの輝度のデータと比較し、これらが一致するようにノズル位置を自動的に調整している。特許文献１では、さらに、加工ヘッド内にＣＣＤカメラ等の撮像手段を設け、被加工物にレーザ光で穴を開けた後に、加工ヘッド内からノズル穴と加工穴を同時に撮影し、これらの相対位置を画像処理によって算出し、ノズル穴中心と加工穴が一致するように自動的にノズル位置を調整する手段が示されている。

特許第３７６１６５７号公報

上記の従来のアクリル板やテープにレーザ光で穴を開けて手動で芯だしを行う方法では、作業者の熟練度により調整精度にばらつきがでたり、調整に時間がかかってしまう場合があるという問題点があった。

また、特許文献1に記載されている光検知器を使う方法では、あらかじめ求めたおいたノズル穴中心と光軸が一致しているときの被加工物からの光強度の基準データとの比較となるため、レーザ加工装置が上記の基準データを取得したときと状態が異なると、光検知器への光の入射強度が変化し、調整が困難となる可能性がある。例えば光検知器は加工レンズの上部に取り付けられているため、加工レンズが汚れると加工レンズの光の透過率が低下し、光検知器に入射する光の強度が弱まる。また、被加工物の材質の違いにより被加工物で生じる光の強度が変化する可能性もある。また、光検知器は1つであるため、レーザ光軸がノズル穴中心と一致しているときに光強度が最も強くなる保証はなく、光軸位置の検出精度が落ちるという問題点があった。

さらに、特許文献1に記載されている撮像手段を使う方法では、加工ヘッド内からノズルと加工穴が直接撮像できる位置にＣＣＤカメラ等を設置する必要があるが、ＣＣＤカメラは光軸と同軸上には設置できないため、ノズルの形状によっては加工ヘッド内から被加工物が直接撮像できない恐れがある。また、加工レンズを介しているため、焦点距離の異なる加工レンズと交換するときなどは、その都度、ＣＣＤカメラ等のフォーカスを合わせる必要があり、このための機構も必要となる。これは装置のコスト増大を招くという問題点がある。

本発明は、かかる問題点を解決するためになされたものであり、芯だしの精度の向上を図ることが可能なレーザ加工装置およびレーザ光軸調整方法を得ることを目的としている。

本発明は、レーザ光を発生するレーザ発振器と、前記レーザ光を集光するための集光光学系と、被加工物に向けてガスを供給するとともに、前記集光光学系により集光された前記レーザ光をノズル穴から前記被加工物に照射させるためのノズルと、前記集光光学系を支持するとともに、前記ノズルが先端に設けられた加工ヘッドと、前記被加工物に対して配置された光源と、前記加工ヘッド内に設けられ、前記ノズルと前記被加工物に前記レーザ光により形成されたピアス穴との相対位置を変化させたときの前記光源から前記加工ヘッドに入射する光の強度を検知する光検知器と、前記光検知器で検知した前記光の強度に基づいて、前記ノズルと前記ピアス穴との相対位置の変化による当該光の強度の変化を検知し、当該検知結果に基づいて、前記ノズル穴の中心位置と前記レーザ光の光軸との位置ずれを算出する信号処理部とを備えたレーザ加工装置である。

本発明は、レーザ光を発生するレーザ発振器と、前記レーザ光を集光するための集光光学系と、被加工物に向けてガスを供給するとともに、前記集光光学系により集光された前記レーザ光をノズル穴から前記被加工物に照射させるためのノズルと、前記集光光学系を支持するとともに、前記ノズルが先端に設けられた加工ヘッドと、前記被加工物に対して配置された光源と、前記加工ヘッド内に設けられ、前記ノズルと前記被加工物に前記レーザ光により形成されたピアス穴との相対位置を変化させたときの前記光源から前記加工ヘッドに入射する光の強度を検知する光検知器と、前記光検知器で検知した前記光の強度に基づいて、前記ノズルと前記ピアス穴との相対位置の変化による当該光の強度の変化を検知し、当該検知結果に基づいて、前記ノズル穴の中心位置と前記レーザ光の光軸との位置ずれを算出する信号処理部とを備えたレーザ加工装置であるため、芯だしの精度の向上を図ることができる。

本発明の実施の形態１によるレーザ加工装置を示す図である。 本発明の実施の形態１によるレーザ光軸調整方法及びレーザ加工装置の要部を示す断面図である。 本発明の実施の形態１によるレーザ光軸調整方法及びレーザ加工装置の要部を示す断面図である。 本発明の実施の形態１によるレーザ光軸調整方法のフローチャートである。 本発明の実施の形態１による光検知器の出力信号とノズル位置との関係をグラフで示す図である。 本発明の実施の形態１による光検知器の設置位置の例を示す図である。 非対称な強度分布を持つレーザ光とピアス穴の関係を示す図である。 本発明の実施の形態２によるレーザ光軸調整方法及びレーザ加工装置の要部を示す断面図である。 本発明の実施の形態３によるレーザ加工装置を示す図である。 本発明の実施の形態４によるレーザ光軸調整方法及びレーザ加工装置の要部を示す断面図である。 本発明の実施の形態５によるレーザ光軸調整方法及びレーザ加工装置の要部を示す断面図である。 本発明の実施の形態６によるレーザ光軸調整方法及びレーザ加工装置の要部を示す断面図である。 本発明の実施の形態７によるレーザ光軸調整方法及びレーザ加工装置の要部を示す断面図である。 本発明の実施の形態７によるレーザ光軸調整方法及びレーザ加工装置の要部を示す断面図である。 本発明の実施の形態７によるレーザ光軸調整方法のフローチャートである。 本発明の実施の形態７による光検知器の出力信号とノズル位置との関係をグラフで示す図である。

実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係るレーザ光軸調整方法（芯だし方法）を用いたレーザ加工装置を示す図である。本実施の形態１に係るレーザ加工装置は、図１に示すように、レーザ光１を発生するレーザ発振器１１と、レーザ発振器１１から出力されたレーザ光１を反射させる最終折り返しミラー２と、最終折り返しミラー２で反射されたレーザ光１を被加工物１３に照射する加工ヘッド３とを備えている。さらに、本実施の形態１では、レーザ加工装置に、レーザ光軸調整用の芯だしエリア１２が設けられており、芯だしエリア１２において芯だしを実施する構成となっている。

本実施の形態１に係るレーザ加工装置においては、レーザ発振器１１から出力されたレーザ光１は図示しない複数のミラーを介して加工ヘッド３上部の最終折り返しミラー２に照射される。最終折り返しミラー２で反射されたレーザ光１は加工ヘッド３に入射され、加工ヘッド３によって被加工物１３に照射される。このとき、加工ヘッド３が被加工物１３上を２次元（Ｘ、Ｙ方向）に走査することにより、被加工物１３の切断および溶接等の加工が行われる。なお、加工ヘッド３には、加工ヘッド３をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動させるための加工ヘッド駆動部（図示せず）が設けられており、当該駆動部によるＺ方向の高さの制御およびＸ、Ｙ方向の走査の制御は、後述する信号処理部１４が行うか、あるいは、駆動部を駆動するための制御部を別個に設けるようにしてもよい。以下では、信号処理部１４が行うこととして説明する。

図２は、芯だしエリア１２で実施する芯だし処理の様子を示す図であり、加工ヘッド３の断面図を示している。加工ヘッド３は略円筒型を有している。あるいは、加工ヘッド３の外形が角柱型で、内部の空洞が円柱型になっていてもよい（図６参照）。加工ヘッド３内部の空洞内には、加工ヘッド３の内壁に支持されて、最終折り返しミラー２で反射されたレーザ光１を集光するための加工レンズ４が設けられている。なお、加工レンズ４は、レーザ光１を集光するための集光光学系を構成している。また、加工ヘッド３には、加工レンズ４を光軸方向（Ｚ方向）に移動させるためのＺ方向１軸アクチュエータ９と、光軸に直交する被加工物６，１３の平面と平行で且つ互いに直交する２軸方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に加工レンズ４を移動させるためのＸ、Ｙ方向２軸アクチュエータ１０が設置されている。

加工ヘッド３の先端部分は、図２に示すようにテーパ状になっており、円錐状に、先に行くほど細くなるように形成されている。加工ヘッド３の最先端部分には、加工レンズ４で集光されたレーザ光１が通過すると共に被加工物に向けてアシストガスを供給するためのノズル５が設けられている。最終折り返しミラー２で反射されたレーザ光１は、加工ヘッド３内の加工レンズ４によって集光され、加工ヘッド３の先端に固定されたノズル５の先端に設けられた穴（以下、ノズル穴３２とする。）を通って、被加工物６，１３に照射される。なお、図２に示す被加工物６は、芯だし用の被加工物で、芯だしエリア１２にクランプ１５により挟持されて固定されている。

また、芯だしエリア１２においては、被加工物６を介して加工ヘッド３の反対側に（すなわち、被加工物６の下側に）、光源７が設置されている。図２に示すように、光源７は、少なくとも２個設けられており、その取付箇所は、光源７同士が互いに対向するように、芯だしエリア１２内の対向する２つの内壁にそれぞれ１つずつ設けられている。光源７は例えば発光ダイオード、レーザダイオード、蛍光灯、白熱電球などから構成される。

また、加工ヘッド３内部には、光源７からの光の強度を検知するための光検知器８が取り付けられている。光検知器８は、図２に示すように、少なくとも２個設けられており、その設置箇所は、互いに対向するように、加工ヘッド３内の対向する内壁にそれぞれ１つずつ設けられている。また、レーザ加工装置には、信号処理部１４が設けられている。信号処理部１４は、光検知器８に接続され、光検知器８からの信号に基づいて、ノズル５の中心位置に対するレーザ光１の光軸の位置ずれを算出する。また、信号処理部１４は、Ｘ、Ｙ方向２軸アクチュエータ１０に接続され、算出した位置ずれに基づいて、Ｘ、Ｙ方向２軸アクチュエータ１０を駆動させて、加工レンズ４を移動させ、レーザ光軸とノズル穴３２の中心位置とを一致させる。さらに、信号処理部１４は（図２では、図の簡略化を図るため、信号線の図示を省略しているが）Ｚ方向１軸アクチュエータ９にも接続されており、必要に応じて、Ｚ方向１軸アクチュエータ９を駆動させて、加工レンズ４をＺ方向に移動させることもできる。

本実施の形態１では、芯だし処理を行う際には、まず、レーザ光１にて被加工物６へピアス穴１６を開け、その後、レーザ光１の発振を停止する。なお、ピアス穴１６とは、非常に小さな微小貫通穴のことである。ピアス穴１６の穴径は、ノズル穴３２の穴径よりも小さい（例えば、図３参照）。ピアス穴１６を開けた状態で、光源７をＯＮすると、光源７からの光は、ピアス穴１６を通って、光検知器８に到達する。光検知器８の検知信号は信号処理部１４に送られ、信号処理部１４で処理される。被加工物６はクランプ１５により芯だしエリア１２に固定されている。ここで、光源７が発生する光の波長は光検知器８で検知できる波長とし、被加工物６はこの波長の光を遮る材質とする。当該材質としては、例えば、不透明のアクリル板等樹脂材料、薄い鉄板、ステンレス等の金属材料などを用いる。

ここで、本実施の形態１による芯だし処理の手順を図２、図３、および、図４に基づいて詳細に説明する。図３は、本実施の形態１による芯だし処理を詳細に示すノズル５部分の拡大図である。また、図４は、信号処理部１４による芯だし処理の手順を示したフローチャートである。まず、図２に示すように、作業者が、芯だしエリア１２に芯だし用の被加工物６を設置してクランプ１５で固定させると、信号処理部１４は、加工ヘッド駆動部(図示せず）を駆動させて、加工ヘッド３を芯だしエリア１２に移動させる（ステップＳ１）。次に、加工ヘッド３を、レーザ光軸方向（Ｚ軸）に移動させて、被加工物６に近づけ、ノズル５と被加工物６とが接触しない程度に、それらの間の距離が、できるだけ短い距離になるように調整する（ステップＳ２）。その後、レーザ発振器１１を用いて、レーザ光１を短い時間だけ被加工物６に照射し、ピアス穴１６を形成する。ピアス穴１６形成後は、レーザ光１の出力を停止する。ピアス穴１６形成時のノズル５の位置は、図３（ａ）に示す通りであり、信号処理部１４は、図３（ａ）に示す状態のノズル穴３２の中心位置２２（Ｘ_０、Ｙ_０）を、自身に設けられた記憶装置（図示せず）に記録しておく（ステップＳ３）。このときのノズル５の位置は、初期位置である。このとき、光源７をＯＮにし、光源７から光を発するようにすると、被加工物６の下部に設置してある光源７からの光１７は、レーザ光１で空けられた被加工物６のピアス穴１６を通って、加工ヘッド３内に入り、光検知器８はこの光１７を受光して、光１７の強度を検知し、光の強度を示す出力信号（検知信号）を出力する。このとき、加工ヘッド３内に入った光１７は、図２に示すように、加工レンズ４を通って直接光検知器８に入る光もあれば、加工ヘッド３内の壁面等に当たって、その反射光または散乱光が、光検知器８に入る場合もある。

ここで、図３（ａ）は、ステップＳ３において被加工物６に空けられたピアス穴１６の中心位置２１が、ノズル穴３２の中心位置２２（Ｘ_０）からＸ軸＋側（右方向）にずれている場合である（また、同時に、ピアス穴１６の中心位置２１が、ノズル穴３２の中心位置２２（Ｙ_０）からＹ軸＋側にずれている場合である。）。

そこで、図３（ｂ）に示すように、ノズル５をＸ軸−側（左方向）に移動しつつ光検知器８の出力信号を計測する。ここで、図３（ｂ）の破線２３は、ノズル５の初期位置である。ノズル５が距離１８だけＸ軸−側（左方向）に移動すると、ノズル穴３２の位置が、ピアス穴１６に対応する範囲から外れ、被加工物６下部からの光源７による光１７がノズル５の外壁に当たり、ノズル穴３２に入らなくなり、ノズル５の外部に散乱する光２０となる。このとき、光検知器８には、光が入ってこないため、光検知器８の出力信号は０となる。信号処理部１４は、出力信号が０になったときのノズル穴３２の中心位置Ｘａを記憶装置（図示せず）に記録する（ステップＳ４）。

次に、図３（ｃ）に示すように、ノズル５を上記とは逆のＸ軸＋側（右方向）に移動しつつ光検知器８の出力信号を計測する。ノズル５が距離１９だけ移動すると、ノズル穴３２の位置がピアス穴１６に対応する範囲からから外れ、被加工物６下部からの光源７による光がノズル５の外壁に当たり、ノズル穴３２内部に入らなくなり、ノズル５の外部に散乱する光２０となる。このとき、光検知器８には光が入ってこないため、光検知器８の出力信号は０となる。信号処理部１４は、出力信号が０になったときのノズル穴３２の中心位置Ｘｂを記憶装置（図示せず）に記録する（ステップＳ５）。

このときのノズル位置と光検知器８の出力信号の関係を図５に示す。図５に示すように、ノズル５をＸ軸−側（左方向）またはＸ軸＋側（右方向）に移動させると、ピアス穴１６がノズル５で徐々に覆われていくので、光検知器８が検出する光１７の光強度は徐々に低下していき、図３（ｂ）または図３（ｃ）のように、ノズル穴３２がピアス穴１６に対応する範囲から外れて、ピアス穴１６がノズル５で完全に覆われると、その段階で、光検知器８が検出する光１７の光強度は０になる。従って、本実施の形態では、図４におけるステップＳ４およびステップＳ５で、光検知器８の出力信号が０となるノズル位置Ｘａ、Ｘｂを求め、ステップＳ６で、それらの値の平均位置Ｘｍを求める。この平均値Ｘｍは、ピアス穴１６の中心位置となり、すなわち、レーザ光１の光軸の位置となる。よって、本実施の形態１では、光検知器８の出力信号が０となるノズル位置Ｘａ、Ｘｂの平均位置Ｘｍを求め、求められた平均位置Ｘｍをレーザ光１の光軸位置として、ノズル穴３２の中心位置Ｘ_０と光軸位置としての平均位置Ｘｍとの差を求める。当該差がノズル５の中心位置とレーザ光軸位置とのズレ量となり、レーザ光軸をこの量だけ移動させれば、レーザ光軸とノズル５の中心位置とがＸ方向において一致することになるため、信号処理部１４は、レーザ光軸をこの量だけＸ方向に移動させる（ステップＳ６）。本実施の形態１では、当該レーザ光軸の移動を、信号処理部１４の制御により、Ｘ、Ｙ方向２軸アクチュエータ１０を駆動させて、加工レンズ４を移動させることによって行う。加工レンズ４を移動させる方向は、図３において、Ｘ軸−側（左方向）となる。

その後、Ｘ軸と直交するＹ軸方向においても、上記のステップＳ４〜Ｓ６と同様の処理を行う（ステップＳ７）。すなわち、ノズル５をＹ軸−側に移動しつつ光検知器８の出力信号を計測し、出力信号が０になったときのノズル穴３２の中心位置（Ｙａ）を記録し、ノズル５をＹ軸＋側に移動しつつ光検知器８の出力信号を計測し、出力信号が０になったときのノズル穴３２の中心位置（Ｙｂ）を記録し、それらの平均値Ｙｍをレーザ光軸位置として求め、Ｙ_０とＹｍとの差を計算し、当該差の分だけ、加工レンズ４をＹ方向に移動させて、ノズル穴３２の中心とレーザ光軸とを一致させる。このことにより、Ｙ方向においても、ノズル穴３２の中心とレーザ光軸が一致し、芯だし処理が完了する。

なお、芯だし時にはノズル５のノズル穴３２の穴径はレーザ光軸がずれていてもレーザ光１がノズル５に当たらない大きさのものを使用する。例えば通常の金属切断時にはノズル穴３２の穴径はΦ１ｍｍ程度のものを使用するが、芯だし作業時にこのような径のものを使用するとレーザ光１がノズルに当たってしまう場合がある。このため、ノズル５は例えば穴径Φ２ｍｍ以上のものを使用すると良い。

ここで、上記ではノズル位置Ｘａ、Ｘｂは光検知器８の出力信号が０となる位置としたが、この場合に限らず、例えば、閾値を予め設定しておき、光検知器８の出力信号が当該閾値となるノズル位置をＸａ、Ｘｂとしても良い。なお、その場合の閾値としては、ノズル穴３２の中心位置とレーザ光軸が一致している場合の光検知器８の出力信号に比べて、当該閾値が十分低い値になるように設定することが望ましい。

なお、より正確に芯だしを行うためには、最初は穴径の大きなノズル５を使用し、次に穴径の小さなノズルに交換して、ステップＳ２〜Ｓ７の処理を実施する（ステップＳ８）。この場合のように、繰り返し、芯だし操作を実施する場合は先に空けたピアス穴１６とは別の場所にピアス穴１６を開けて行えばよい。このときは予想されるノズル移動量を考慮して、ノズル５を移動したときに先に空けたピアス穴１６にノズル位置が重ならない位置で行う。例えばＸ、Ｙ方向両方ずらして斜めの位置で実施するとよい。なお、ステップＳ８の処理は、必ずしも行う必要はなく、省略してもよい。

上記の説明では、光検知器８が２つの場合を示したが、本実施の形態１では、光検知器８は、ピアス穴１６からの光の強度（光の強弱）を検知出来ればよいため、１つでも十分機能するため、１つとしてもよい。また、光源７とピアス穴１６の位置関係により、ピアス穴１６からノズル５内部に入射する光強度に角度依存性が発生する場合もあり、その場合は、光検知器８を３つ以上を用いて、ノズル穴３２の中心を中心軸とした同心円状に、互いに均等な距離を開けて配置させることが望ましい。これを図６に示す。図６（ａ），（ｂ）は、加工ヘッド３を上から（Ｚ軸方向）見た図であり、図６（ａ）では、３つの光検知器８をノズル５の中心（Ｚ軸）を中心として均等間隔で配置しており、図６（ｂ）では、４つの光検知器８をノズル５の中心（Ｚ軸）を中心として均等間隔で配置している。

上記の説明では、ピアス穴１６の中心がレーザ光軸と一致する場合を示しているが、実際には、レーザ光１の強度分布によって、レーザ光軸位置Ｘｍと実際のピアス穴１６の中心とがずれるような場合もある。

例えば、図７に示すように、レーザ光軸の測定方法によっては、レーザ光軸がレーザ強度分布２４の重心位置で定義される場合（ＸＬ）、または、レーザ強度分布のピーク位置で定義される場合（ＸＰ）などがあるが、本実施の形態１においては、レーザ光軸（Ｘｍ）は加工穴（ピアス穴１６）の中心位置で定義されることになる。実際に、高精度加工に必要なのは、ピアス穴１６の中心位置とノズル穴３２の中心位置とが一致することであり、そのようにすれば、図７に示すように、レーザ光の強度分布が非対称な場合でも高精度加工に有効である。

また、本実施の形態１では、ノズル５の位置をずらしたときに、ピアス穴１６からの光の強度比が検知できれば良いため、ノズル５をずらしたときの光検知強度は必ずしも０になる必要はない。このことから、芯だし用の被加工物６の材質は光源７からの光を完全に遮断される材料でなくてもよい。

また、図３では、光源７はＸ方向から光が当たるように示したが、実際には、被加工物６のピアス穴１６へ均等に光が当たるようにＹ方向からも光が当たるようにすることがさらに望ましい。また、被加工物６の下の光源７が設置してある空間は内面を光源７の光を反射、散乱させるように表面処理するとピアス穴１６へ均等に光が照射されピアス穴１６から加工ヘッド３内へ光が届きやすくなる。

実施の形態１では、光検知器８を加工レンズ４の上に設置しており、この場合、高圧のアシストガスに光検知器８がさらされることがない上、被加工物６，１３のスパッタによる汚れの影響も考慮する必要がないという利点がある。

以上のように、本実施の形態１に係るレーザ加工装置は、レーザ光１を発生するレーザ発振器１１と、レーザ光１を集光するための集光光学系としての加工レンズ４と、被加工物６，１３に向けてアシストガスを供給するとともに、加工レンズ４により集光されたレーザ光１をノズル穴３２から被加工物６，１３に照射させるためのノズル５と、加工レンズ４を支持するとともに、ノズル５が先端に設けられた加工ヘッド３と、被加工物６，１３に対して配置された光源７と、加工ヘッド３内に設けられ、光源７から加工ヘッド３に入射した光の強度を検知する光検知器８と、光検知器８で検知した光の強度に基づいてノズル５と被加工物６，１３との相対位置の変化による当該光の強度の変化を検知し、当該検知結果に基づいて、ノズル穴３２の中心とレーザ光１の光軸との位置ずれを算出する信号処理部１４とを備えているので、ノズル５と被加工物６，１３との相対位置を変化させながら、光源７から加工ヘッド３に入射した光の強度を光検知器８で検知して、当該光の強度が変化した時点のノズル位置Ｘａ、Ｘｂの平均値Ｘｍをレーザ光１の光軸の位置として求め、Ｘｍと初期のノズル位置Ｘ_０との差を位置ずれ量として算出し、当該位置ずれ量の分だけ加工レンズ４を移動させて、レーザ光軸とノズル穴３２の中心位置とを一致させるようにしたため、ノズル穴３２の中心位置とレーザ光１の光軸とを精度よく一致させることができる。

また、本実施の形態においては、信号処理部１４は、図４のフローチャートに示すように、被加工物６にピアス穴１６を形成したときのノズル穴３２の中心位置（Ｘ_０、Ｙ_０）を記録し、被加工物６の平面と平行な軸方向（Ｘ軸、Ｙ軸）の一方の側（＋側）に向かってノズル５とピアス穴１６との相対位置を変化させた場合の、光検知器８による光の強度が予め設定した値（０または閾値）になったときのノズル穴３２の中心位置（Ｘａ、Ｙａ）を、レーザ光１の光軸位置検出用の第１の位置として記録し、被加工物６の平面と平行な軸方向（Ｘ軸、Ｙ軸）の他方の側（−側）に向かってノズル５とピアス穴１６との相対位置を変化させた場合の、光検知器８による光の強度が予め設定した値（０または閾値）になったときのノズル穴３２の中心位置（Ｘｂ、Ｙｂ）を、レーザ光１の光軸位置検出用の第２の位置として記録し、第１の位置（Ｘａ、Ｙａ）と第２の位置（Ｘｂ、Ｙｂ）との平均値（Ｘｍ、Ｙｍ）をレーザ光１の光軸の位置として算出して、ノズル穴３２の中心位置（Ｘ_０、Ｙ_０）とレーザ光１の光軸の位置（Ｘｍ、Ｙｍ）との位置ずれを算出して、芯だしを行うようにしたので、ノズル穴３２の中心位置とレーザ光１の光軸とを精度よく一致させることができる。

実施の形態２．
上記の実施の形態１では、光検知器８を加工レンズ４の上側に設置した場合について説明したが、本実施の形態２においては、図８に示すように、光検知器８を加工レンズ４の下側に設置した場合について説明する。なお、他の構成および動作については、実施の形態１と同じであるため、ここではその説明を省略する。

図８に示すように、加工レンズ４の下側に光検知器８を設置した場合、ピアス穴１６からの光強度が高くなり、光検知器８の検知精度を向上させることができる。あるいは、光源７の発光強度を小さくすることができる。また、光検知器８の光感度が十分ならば、芯だしエリア１２の下部に光源７を設置する必要はなく、外光が入るようにして明るくしておけば、光検知器８での光強度の検知が可能である。

なお、上記の実施の形態１、２では、芯だしエリア１２を設置したが、図１に示す被加工物１３が設置されている加工エリアでも、被加工物１３が設置される加工テーブルの下部が光検知器８が検知できる程度に十分明るければ、同様に、芯だし処理が実施可能であるため、その場合には、芯だしエリア１２を設置する必要はない。

実施の形態３．
上記の実施の形態１，２では、光走査型と呼ばれる、被加工物１３上を加工ヘッド３が走査するタイプのレーザ加工装置を示したが、本実施の形態３では、図９に示すように、加工ヘッド３と被加工物１３との両方が走査するハイブリッド型とよばれるレーザ加工装置について説明する。なお、他の構成および動作については、上記の実施の形態１，２と同じであるため、ここでは、その説明を省略する。

本実施の形態３に係るレーザ加工装置においては、図９に示すように、加工ヘッド３を１軸方向（例えば、Ｘ軸方向）に走査させるとともに、被加工物１３を搭載させた加工テーブルをそれと直交する他の１軸方向（例えば、Ｙ軸方向）に走査させる。本実施の形態３においても、上記の実施の形態１，２と同様の方法で、芯だし処理が可能である。但し、図４のステップＳ１において、加工ヘッド３を芯だしエリアに設置させる際に、１軸方向（例えば、Ｘ軸方向）に加工ヘッド駆動装置（図示せず）で移動させ、他の１軸方向（例えば、Ｙ軸方向）に加工テーブルを移動させて、加工ヘッド３が芯だしエリア１２の上部にくるように調整する。

あるいは、Ｘ軸方向を加工ヘッド３が走査する光走査型、Ｙ軸方向を加工テーブルが走査する加工テーブル走査型とした場合、Ｘ軸方向については上記の実施の形態１，２で示した図４のステップＳ４〜Ｓ６の処理で芯だし処理を実施するが、Ｙ軸方向については、ステップＳ７で、ステップＳ４〜Ｓ６の処理を行う際に、加工レンズ４ではなく、加工テーブルを移動させて、ノズル５のノズル穴３２の中心位置とレーザ光軸との位置ずれ量を検出するようにしてもよい。この場合には、芯だしエリア１２を加工テーブルと一体となって動くようにするか、あるいは、芯だしエリア１２のみ独立してＹ軸方向に可動させる機構を設ける必要がある。

実施の形態４．
上記の実施の形態１〜３では、図４のステップＳ６で加工レンズ４を移動させる際に、加工レンズ４はＸ、Ｙ方向２軸アクチュエータ１０を利用して移動させたが、本実施の形態４では、図１０に示すように、操作画面を有する表示部２６を設けて、当該表示部２６の操作画面に、信号処理部１４で算出したずれ量（必要なレンズ位置調整量）を、Ｘ軸方向およびＹ軸方向ごとに表示し、当該表示されたレンズ位置調整量に基づいて作業者が手動でマイクロメータ２５により加工レンズ４のレンズ位置を調整する構成とする。従って、本実施の形態４では、Ｘ、Ｙ方向２軸アクチュエータ１０は設けられておらず、代わりに、マイクロメータ２５が加工レンズ４に対して設けられている。なお、他の構成および動作については、上記の実施の形態１〜３と同様であるため、ここではその説明を省略する。

本実施の形態４においては、図４のステップＳ１〜Ｓ５までは実施の形態１と同様に行うが、ステップＳ６における加工レンズ４の移動をマイクロメータ２５による手動で行うことになる。本実施の形態４の場合は、加工ヘッド３に、Ｘ、Ｙ方向２軸アクチュエータ１０を設置する必要がないため、加工ヘッド３がその分だけ軽量化できる。

なお、図１０では、光検知器８は、加工レンズ４の下にある場合を示したが、その場合に限らず、光検知器８が加工レンズ４の上にある場合でも同様の効果が期待できる。

実施の形態５．
本発明の実施の形態５について図１１に基づいて説明する。図１１は、実施の形態５による芯だし処理を示す図である。本実施の形態５においては、上記の実施の形態１で示した、加工レンズ４移動用のＸ、Ｙ方向２軸アクチュエータ１０の代わりに、ノズル５移動用の２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ２７が設置されている。２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ２７は、（図の簡略化のため、信号線の図示を省略しているが）信号処理部１４に接続されており、信号処理部１４の制御により駆動されて、信号処理部１４で算出したずれ量に基づいて、当該ずれ量分だけノズル５をＸ方向およびＹ方向に移動させる。他の構成および動作については、上記の実施の形態１〜４と同じであるため、ここでは説明を省略する。

また、芯だし処理も、図４のステップＳ１からＳ５までは実施の形態１と同じである。図４のステップＳ６において、実施の形態１では、ノズル位置Ｘａ、Ｘｂからレーザ光軸位置Ｘｍを算出した後、Ｘ_０とＸｍの差だけ加工レンズ４を移動させたが、実施の形態５では、加工レンズ４の代わりに、２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ２７を用いてノズル５を動かしてノズル５の位置Ｘ_０とレーザ光軸位置Ｘｍを一致させる。Ｙ方向についても、同様に、２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ２７を用いてノズル５を動かしてノズル５の位置Ｙ_０とレーザ光軸位置Ｙｍを一致させる。

本実施の形態においては、加工レンズ４にＺ方向１軸アクチュエータ９を、ノズル５に２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ２７を、それぞれ、独立に設置すればよく、２つのアクチュエータ９，１０を加工レンズ４部分に設置する場合に比べて、構造が簡単となる。また、実施の形態４の加工レンズ４に設けたマイクロメータ２５と同様に、２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ２７の代わりに、マイクロメータをノズル５に設置して、表示部２６による表示に基づいて、作業員が手動で、ノズル５を移動させるようにしてもよい。

実施の形態６．
本発明の実施の形態６に係るレーザ加工装置について図１２を用いて説明する。図１２は、実施の形態６による芯だし処理を示す図である。本実施の形態６においては、実施の形態１で示した、加工レンズ移動用のＸ、Ｙ方向２軸アクチュエータ１０の代わりに、加工ヘッド３の上方に設けられた最終折り返しミラー２に、２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ２８が設置されている。２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ２８は、（図の簡略化のため、信号線の図示を省略しているが）信号処理部１４に接続されて、信号処理部１４の制御により駆動されて、信号処理部１４で算出したずれ量に基づいて、当該ずれ量分だけ最終折り返しミラー２を移動させる。他の構成および動作については、実施の形態１（図２）と同じであるため、ここではその説明を省略する。

また、芯だし処理も、図４のステップＳ１からＳ５までは実施の形態１と同じである。実施の形態１では、図４のステップＳ６において、ノズル位置Ｘａ、Ｘｂからレーザ光軸位置Ｘｍを算出した後、Ｘ_０とＸｍの差だけ加工レンズ４を移動させたが、実施の形態６では、加工レンズ４の代わりに、２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ２８を用いて、最終折り返しミラー２を動かして、ノズル位置Ｘ_０とレーザ光軸位置Ｘｍを一致させる。Ｙ方向についても同様である。

本実施の形態においては、加工レンズ４にＺ方向１軸アクチュエータ９を、最終折り返しミラー２に２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ２８を、それぞれ、独立に設置すればよく、２つのアクチュエータ９，１０を加工レンズ４部分に設置する場合に比べて、構造が簡単となる。また、実施の形態４に示したのと同様に、２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ２８の代わりに、マイクロメータを最終折り返しミラー２に設置して、手動で最終折り返しミラー２を移動させる構成としてもよい。

実施の形態７．
本発明の実施の形態７にかかるレーザ加工装置について図１３を用いて説明する。図１３は、実施の形態７による芯だし処理を示す図である。上記の実施の形態１では、図２に示すように、光源７を被加工物６の下側に設置したが、実施の形態７では、光源７の代わりに、図１３に示すように、光源２９を被加工物６の上側に配置する。他の構成については、実施の形態１〜６と同じであるため、ここでは、その説明を省略する。

また、実施の形態１では、図４のステップＳ２で、ノズル５と被加工物６の距離はできるだけ小さくしたが、実施の形態７では、ある程度距離を離して、光源２９からの光がノズル５と被加工物６との間に入るようにする。なお、当該距離については、２ｍｍ程度、５ｍｍ程度、あるいは、１ｃｍ程度など、適宜、決定すればよい。このとき、被加工物６としては、光源２９の光が反射あるいは散乱するような材料を使用する。当該材料は、例えば、金属光沢のある鉄材、ステンレス等の金属材料、アクリル板等の樹脂材料である。

ここで、実施の形態７による芯だし処理の手順を図１３、図１４、図１５により示す。図１４は、本発明の実施の形態７による芯だし処理を詳細に示すノズル５部分の拡大図である。また、図１５は、本実施の形態７による信号処理部１４の芯だし処理の手順を示したフローチャートである。なお、図１５において、図４と同じ処理内容のステップについては、図４と同じ符号（Ｓ１，Ｓ３など）を付して示す。

まず、作業員が、芯だしエリア１２に、芯だし用の被加工物６を設置し、クランプ１５で固定すると、信号処理部１４は、加工ヘッド３を芯だしエリア１２に移動させる（ステップＳ１）。その後、加工ヘッド３を、レーザ光軸方向（Ｚ軸）に移動させて、被加工物６に近づけるが、このとき、ノズル５と被加工物６とはある程度距離を離して光源２９からの光がノズル５と被加工物６との間に入るようにする（ステップＳ１２）。

その後、レーザ光１を短い時間だけ被加工物６に照射し、ピアス穴１６を形成する。ピアス穴１６形成後は、レーザ光１の出力を停止する。そうして、図１４（ａ）に示す状態の、ピアス穴１６形成時のノズル穴３２の中心位置２２（Ｘ_０、Ｙ_０）を記憶装置（図示せず）に記録しておく（ステップＳ３）。このときのノズル５の位置は、初期位置である。

ここで、光源２９をＯＮにすると、被加工物６の下部に設置してある光源２９からの光３０の一部の光１７は、被加工物６の表面で反射し、ノズル穴３２から加工ヘッド３内に入り、光検知器８はこの光１７を受光し信号を出力する。また、光源２９からの光３０の残りの一部はピアス穴１６から被加工物６の下へ抜ける光３１となる。

このとき、加工ヘッド３内に入った光１７は、図１３に示すように、加工レンズ４を通って、直接、光検知器８に入る光もあれば、加工ヘッド３内の壁面等に当たって、その反射光または散乱光が、光検知器８に入る場合もある。

ここで、図１４（ａ）は、ステップＳ３により被加工物６に空けられたピアス穴１６の中心位置２１が、ノズル穴３２の中心位置２２（Ｘ_０）からＸ軸＋側（右方向）にずれている場合である（また、同時に、ピアス穴１６の中心位置２１が、ノズル穴３２の中心位置２２（Ｙ_０）からＹ軸＋側にずれている場合である）。

そこで、図１４（ｂ）に示すように、ノズルをＸ軸−側（左方向）に移動しつつ光検知器８の出力信号を計測する。ここで、図１４（ｂ）の破線２３は、ノズル５の初期位置である。ノズル５が距離１８だけＸ軸−側（左方向）に移動すると、ノズル穴３２の位置が、ピアス穴１６に対応する範囲から外れる。このとき、ノズル５により、ピアス穴１６が完全に覆われ、ノズル穴３２の径内にある被加工物６部分にはピアス穴１６が存在しないため、この部分から被加工物６の下に抜ける光３１は存在しない。

ここで、図１４（ａ）と図１４（ｂ）の光検知器８に入る光を比較すると、図１４（ａ）は、光源２９からの光の一部が被加工物６の下側へ抜けるため、その分だけ光強度は減少するが、図１４（ｂ）では、被加工物６の下側へ抜ける光は存在しないため、図１４（ｂ）の方が光検知器８に入る光は強くなる。つまり、ノズル５を移動しつつ、光検知器８の出力信号を測定することにより、ノズル穴３２と被加工物６のピアス穴１６の位置関係が分かる。光検知器８の出力信号が強くなって、予め設定した閾値に達したときのノズル穴３２の中心位置Ｘａを記憶装置（図示せず）に記録する（ステップＳ１４）。

次に、図１４（ｃ）に示すように、ノズル５を上記とは逆のＸ軸＋側（右方向）に移動しつつ、光検知器８の出力信号を計測する。上記と同様にノズル５が距離１９だけ移動すると、ノズル穴３２の位置がピアス穴１６に対応する範囲から外れ、ノズル穴３２の径内において被加工物６の下方への光３１がなくなり、ノズル穴３２内部に入る光１７が増加し、光検知器８の出力信号も増加する。こうして、光検知器８の出力信号が強くなって、予め設定した閾値に達したときのノズル穴３２の中心位置Ｘｂを記憶装置（図示せず）に記録する（ステップＳ１５）。

このときのノズル位置と光検知器８の出力信号の関係を図１６に示す。図１６において、ステップＳ１４およびステップＳ１５で求めた光検知器８の出力信号が増加したときのノズル位置Ｘａ、Ｘｂの平均位置をＸｍとすると、これはピアス穴１６の中心位置つまりレーザ光軸位置となる。よって、本実施の形態では、信号処理部１４が、ステップＳ１４およびステップＳ１５で求めたノズル位置Ｘａ，Ｘｂの平均位置Ｘｍを求め、求められた平均位置Ｘｍをレーザ光軸位置として、ノズル穴３２の中心位置Ｘ_０とレーザ光軸位置としての平均位置Ｘｍとの差を求める。当該差がノズル５の中心とレーザ光軸位置とのズレ量となり、レーザ光軸をこの量だけ移動すれば、レーザ光軸とノズル５の中心位置とがＸ方向において一致することになるため、レーザ光軸をこの量だけ移動させる（ステップＳ６）。実施の形態７では、当該レーザ光軸の移動を、図１３に示すＸ、Ｙ方向２軸アクチュエータ１０によって、加工レンズ４を移動することによって行う。加工レンズ４を移動する方向は、図１４において、Ｘ軸−側（左方向）となる。

その後、これとは直交するＹ軸方向においても、上記のステップＳ１４，Ｓ１５，Ｓ６と同様の処理を行う（ステップＳ７）。すなわち、ノズル５をＹ軸−側に移動しつつ光検知器８の出力信号を計測し、出力信号が０になったときのノズル穴３２の中心位置（Ｙａ）を記録し、次に、ノズル５をＹ軸＋側に移動しつつ光検知器８の出力信号を計測し、出力信号が０になったときのノズル穴３２の中心位置（Ｙｂ）を記録し、それらの平均値Ｙｍをレーザ光軸位置として求め、Ｙ_０とＹｍとの差を計算し、当該差の分だけ、加工レンズ４を移動させて、ノズル穴３２の中心とレーザ光軸とを一致させる。このことにより、Ｙ軸方向においても、ノズル穴３２の中心とレーザ光軸が一致し、芯だしが完了する。

なお、図１４において、光源２９はＸ軸方向のみ示したが、実際には、ノズル５の周囲から均等に光が当たるようにＹ軸方向からも光を当てるようにすることが望ましい。

芯だし時にはノズル５の穴径はレーザ光軸がずれていてもレーザ光がノズルに当たらない大きさのものを使用するのは実施の形態１と同様である。

実施の形態７では光検知器８が２つの場合を示したが、実施の形態１と同様に光検知器の数は３つ以上を用いてノズル穴中心を中心軸とした同心円状に互いに均等な距離となるように配置させるようにしてもよい。

以上のように、本実施の形態７に係るレーザ加工装置は、レーザ光１を発生するレーザ発振器１１と、レーザ光１を集光するための集光光学系としての加工レンズ４と、被加工物６，１３に向けてガスを供給するとともに、加工レンズ４により集光されたレーザ光１をノズル穴３２から被加工物６，１３に照射させるためのノズル５と、加工レンズ４を支持するとともに、ノズル５が先端に設けられた加工ヘッド３と、被加工物６，１３に対して配置された光源２９と、加工ヘッド３内に設けられ、光源２９から加工ヘッド３に入射した光の強度を検知する光検知器８と、光検知器８で検知した光の強度に基づいてノズル５と被加工物６，１３との相対位置の変化による当該光の強度の変化を検知し、当該検知結果に基づいて、ノズル穴３２の中心とレーザ光１の光軸との位置ずれを算出する信号処理部１４とを備えているので、ノズル５と被加工物６，１３との相対位置を変化させながら、光源２９から加工ヘッド３に入射した光の強度を光検知器８で検知して、当該光の強度の変化に基づいて、ピアス穴１６の中心位置Ｘｍをレーザ光１の光軸の位置として求め、Ｘｍと初期のノズル位置Ｘ_０との差を位置ずれ量として算出し、当該位置ずれ量の分だけ加工レンズ４を移動させて、レーザ光軸とノズル穴３２の中心位置とを一致させるようにしたため、ノズル穴３２の中心位置とレーザ光１の光軸とを精度よく一致させることができる。

また、本実施の形態においては、信号処理部１４は、図１５のフローチャートに示すように、被加工物６にピアス穴１６を形成したときのノズル穴３２の中心位置（Ｘ_０、Ｙ_０）を記録し、被加工物６の平面と平行な軸方向（Ｘ軸、Ｙ軸）の一方の側（−側）に向かってノズル５とピアス穴１６との相対位置を変化させた場合の、光検知器８による光の強度が予め設定した閾値になったときのノズル穴３２の中心位置（Ｘａ、Ｙａ）を、レーザ光１の光軸位置検出用の第１の位置として記録し、被加工物６の平面と平行な軸方向（Ｘ軸、Ｙ軸）の他方の側（＋側）に向かってノズル５とピアス穴１６との相対位置を変化させた場合の、光検知器８による光の強度が予め設定した閾値になったときのノズル穴３２の中心位置（Ｘｂ、Ｙｂ）を、レーザ光１の光軸位置検出用の第２の位置として記録し、第１の位置（Ｘａ、Ｙａ）と第２の位置（Ｘｂ、Ｙｂ）との平均値（Ｘｍ、Ｙｍ）をレーザ光１の光軸の位置として算出して、ノズル穴３２の中心位置（Ｘ_０、Ｙ_０）とレーザ光１の光軸の位置（Ｘｍ、Ｙｍ）との位置ずれを算出して、芯だしを行うようにしたので、ノズル穴３２の中心位置とレーザ光１の光軸とを精度よく一致させることができる。

なお、上記の実施の形態１〜７ではいずれも加工レンズによりビームを集光しているが、これを方物面ミラーなどの反射光学系で構成しても同じ効果が期待できる。

また、上記の実施の形態１，７に対し、実施の形態２〜６のうちの複数の実施の形態を自在に組み合わせてもよいこととし、その場合も、同様の効果が得られることは言うまでもない。

１ レーザ光、２ 最終折り返しミラー、３ 加工ヘッド、４ 加工レンズ、５ ノズル、６ 被加工物、７ 光源、８ 光検知器、９ Ｚ方向１軸アクチュエータ、１０ Ｘ、Ｙ方向２軸アクチュエータ、１１ レーザ発振器、１２ 芯だしエリア、１３ 被加工物、１４ 信号処理部、１５ クランプ、１６ ピアス穴、１７ 光、２０ 光、２５ マイクロメータ、２６ 表示部、２７ ２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ、２８ ２軸（ＸＹ軸）アクチュエータ、２９ 光源、３０ 光、３１ 光。

Claims (9)

1. レーザ光を発生するレーザ発振器と、
   前記レーザ光を集光するための集光光学系と、
   被加工物に向けてガスを供給するとともに、前記集光光学系により集光された前記レーザ光をノズル穴から前記被加工物に照射させるためのノズルと、
   前記集光光学系を支持するとともに、前記ノズルが先端に設けられた加工ヘッドと、
   前記被加工物に対して配置された光源と、
   前記加工ヘッド内に設けられ、前記ノズルと前記被加工物に前記レーザ光により形成されたピアス穴との相対位置を変化させたときの前記光源から前記加工ヘッドに入射する光の強度を検知する光検知器と、
   前記光検知器で検知した前記光の強度に基づいて、前記ノズルと前記ピアス穴との相対位置の変化による当該光の強度の変化を検知し、当該検知結果に基づいて、前記ノズル穴の中心位置と前記レーザ光の光軸との位置ずれを算出する信号処理部と
   を備えたレーザ加工装置。
2. 前記信号処理部は、
   前記ピアス穴を形成したときのノズル穴の中心位置を記録しておき、前記光検知器が検知した前記光の強度を用いて、前記ノズルと前記被加工物に形成されたピアス穴との相対位置の変化による当該光の強度の変化を検知し、当該光の強度が予め設定した値になるときの前記ノズル穴の中心位置を２以上求め、それらの値から前記ピアス穴の中心位置を算出し、算出した前記ピアス穴の中心位置を前記レーザ光の光軸の位置として、前記ピアス穴形成時の前記ノズル穴の中心位置と前記レーザ光の光軸との位置ずれを算出する
   請求項１に記載のレーザ加工装置。
3. 前記光源は、前記被加工物を介在させて前記加工ヘッドの反対側に配置され、
   前記光検知器は、前記被加工物に形成されたピアス穴を通って到達した前記光源からの光の強度を検知する
   請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
4. 前記光源は、前記被加工物に対して前記加工ヘッド側に配置され、
   前記光検知器は、前記被加工物の表面で反射した前記光源からの光の強度を検知する
   請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
5. 前記信号処理部で算出された前記位置ずれに基づいて、前記被加工物の平面と平行な互いに直交する２軸方向に前記加工レンズを移動させるための加工レンズ移動用２軸アクチュエータを備えた
   請求項１から４までのいずれか１項に記載のレーザ加工装置。
6. 前記信号処理部で算出された前記位置ずれに基づいて、前記被加工物の平面と平行な互いに直交する２軸方向に前記ノズルを移動させるためのノズル移動用２軸アクチュエータを備えた
   請求項１から４までのいずれか１項に記載のレーザ加工装置。
7. 前記レーザ発振器と前記集光光学系との間に設けられ、前記レーザ発振器からの前記レーザ光を反射させて前記集光光学系に入射させるミラーを備え、
   前記ミラーは、前記信号処理部で算出された前記位置ずれに基づいて、前記被加工物の平面と平行な互いに直交する２軸方向に前記レーザ光の光軸を移動させるための光軸移動用の２軸アクチュエータを有している
   請求項１から４までのいずれか１項に記載のレーザ加工装置。
8. 前記信号処理部で算出された前記ノズル穴の中心と前記レーザ光の光軸との位置ずれを表示する表示部
   を備えた請求項１から７までのいずれか１項に記載のレーザ加工装置。
9. ノズルを用いてノズル穴からレーザ光を被加工物に照射してピアス穴を形成し、そのときのノズル穴の中心位置を記録するステップと、
   前記被加工物に対して設けた光源から光を放射させた状態で、前記ノズルと前記被加工物に形成されたピアス穴との相対位置を変化させながら、前記ノズルが先端に設けられた加工ヘッド内に入射する光の強度を検知するステップと、
   検知した前記光の強度に基づいて、前記ノズルと前記被加工物に形成されたピアス穴との相対位置の変化による当該光の強度の変化を検知し、当該検知結果に基づいて前記ピアス穴の中心位置を前記レーザ光の光軸の位置として求めるステップと、
   前記ピアス形成時の前記ノズル穴の中心位置と前記レーザ光の光軸の位置との位置ずれを算出するステップと、
   算出した前記位置ずれに基づいて、ノズル穴の中心位置と前記レーザ光の光軸の位置とを一致させるステップと
   を備えたレーザ光軸調整方法。

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