JPH03161810A - 絶対圧力制御室の運転方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は絶対圧力制御室の運転方法に係り、特に絶対圧
力制御室内の気圧を大気圧以上に維持す、る絶対圧力制
御室の運転方法に関する。

〔従来の技術〕

ＩＣＳＬＳＩ等の半導体を製造する製造工程では、光学
的測長器を備えた精密位置決め装置が使用される。前記
光学的測長器は、室内の気圧を一定に維持した絶対圧力
制御室に設置される。これは、室内の気圧が変化すると
空気密度が変動し、空気の屈折率が変化して前記測長器
による精密な位置決めを行うことができない為である。

前記給対圧力制御室の通常運転期間中の気圧は、大気圧
よりも高い気圧に維持される。具体的に設定される絶対
圧力制御室内の気圧は、１年間の大気圧の変動範囲が９
　９　Ｑｍｂａｒから１　０　３　０ｍｂａｒであるこ
とを考慮し、設定圧力が１　０　３　５ｍｂａｒになる
ように制御される。また、前記設定圧力は、２Ｑ　ｍｂ
ａｒのレンジを有し、従って、下限気圧の１０２　５ｍ
ｂａｒから上限気圧の１　０　４　５ｍｂａｒの範囲で
制御される。即ち、気圧が中央値の１　０　３　５ｍｂ
ａｒを超えた場合には、絶対圧力制御室内の気圧を中央
値まで減圧すべく排気量調節弁を開放し室内の空気を排
気する。また、気圧が１　０　３　５ｍｂａｒに達しな
い場合には、排気量調節弁を閉鯛し、室内に外気を供給
して前記圧力設定値を１　０　３　５ｍｂａｒに制御す
る。

第４図には、従来の絶対圧力制御室内の圧力制御を起動
する流れ図が示されている。

第４図に於いて、先ず、絶対圧力制御室内の気圧設定レ
ンジを決定する。この場合は、前述したようにレンジを
２　３ｍｂａｒとしてその中央値を１０３　５ｍｂａｒ
に決定する。次に、大気圧状態にある絶対圧力制御室内
の気圧を前記圧力設定レンジの範囲まで加圧する。即ち
、風量調節弁を１００％に開放した状態で加圧ファンか
ら外気を絶対圧力制御室内に供給する。尚、図示してい
ないが、この時、排気量調節弁を閉鎖する。従って、絶
対圧力制御室の気圧は、所定時間の後に１　０　３　５
ｍｂａｒ近傍に達戊する。ｌ　Ｑ　３　５ｍｂａｒの近
傍になると、加圧ファンを適正な回転数で運転し、絶対
圧力制御室内の気圧を前記レンジ内に維持する。以上で
絶対圧力制御室の起動運転が終了し通常運転に移る。

通常運転期間中は、絶対圧力制御室内の気圧を測定しな
がら、風量調節弁、排気量調節弁の開閉量を調節し、前
記設定レンジの範囲内から外れないように維持する。こ
れによって、絶対圧力制御室内を一定の気圧に維持する
ことができる。

一方、前記絶対圧力制御室の圧力制御を停止する時には
、加圧ファンを停止し風量調節弁を閉じて排気量調節弁
を１００％開放し室内の空気を放出して、絶対圧力制御
室内の気圧を大気圧まで減圧する。これによって、絶対
圧力制御室の圧力制御を停止することができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記絶対圧力制御室の気圧制御運転を行う際に、絶対圧
力制御室内に作業者が入室して圧力制御を起動、停止運
転させる場合がある。しかしながら、従来の起動、停止
運転方法では、係る場合に絶対圧力制御室内の気圧が急
激に増減し、作業者の鼓膜に悪影響を与えるという虞が
ある。

本発明はこのような事情に鑑みて威されたもので、絶対
圧力制御室内に入室した作業者の鼓膜に悪影響を与えな
い絶対圧力制御室の運転方法を提供することを目的とす
る。

〔課題を解決する為の手段〕

本発明は、前記目的を達或する為に、室内の気圧を大気
圧よりも高い所定の圧力に維持するようにした絶対圧力
制御室の運転方法において、運転開始時における大気圧
から前記所定の圧力までの加圧及び運転停止時における
前記所定の圧力から大気圧近傍の圧力までの減圧を、人
間の鼓膜に悪影響を与えない加圧速度及び減圧速度で行
うことを特徴とする。

〔作用〕

本発明によれば、絶対圧力制御室（ｌＯ）内の気圧の加
圧速度、減圧速度を絶対圧力制御室（ＩＯ）内で作業す
る作業者の鼓膜に悪影響を与えない速度で行う。

〔実施例〕

以下添付図面に従って本発明に係る絶対圧力制御室の運
転方法の好ましい実施例を詳説する。

第１図は本発明に係る絶対圧力制御室の運転方法で運転
される絶対圧力制御室の実施例が示されている。

第１図に於いて、絶対圧力制御室ｌＯの天井部には、空
気を吹出す吹出口１２が前記天井面を開口して設けられ
る。前記吹出口ｌ２の上部には、空気濾過フィルタ１４
が取付けられる。前記空気濾過フィルタｌ４は、ダクト
１６を介して空調機ｌ８に連通され、前記空調機ｌ８は
風量調節弁２０を介して加圧ファン２２に連通される。

前記加圧ファン２２は風量検出機２４を介して外気を取
り入れる吸気口２６に連通され、加圧ファン２２の回転
によって吸気口２６から外気を取り入れることができる
っ補記外気は、風量検出機２４を通過することによって
風量が測定され、加圧ファン２２から送り出される。送
り出された外気は、風量調節弁２０で風量が調節されて
空調機１８に送り出される。そして、空調機１８で空調
された後、ダクト１６を介して空気濾過フィルタ１４に
通されて浄化され、前記吹出口１２から絶対圧力制御室
１０内に供給される。

前記絶対圧力制御室ＩＯの図中左側の側壁には空気取入
れ口２８が形戊され、前記空気取入れ口２８はダクト３
０を介しで前記空調機１８に連通される。これによって
、絶対圧力制御室１０内に供給された空気は、空気取入
れ口２８からダクト３０を介して空調機１８に送り込ま
れる。従って、空気は循環しながら絶対圧力制御室１０
に供給される。

また、前記絶対圧力制御室１０の床には空気排気口３２
が形戊され、この排気口３２はダクト３４を介して、排
出口３６が形或された排気量調節弁３８に連通される。

従って、絶対圧力制御室１０内の空気は、前記排気量調
節弁３８を調節することによって排気する空気量が決定
される。

前記絶対圧力制御室１０内には、室内気圧測定器４０が
取付けられる。前記室内気圧測定器４０は、絶対圧力制
御室１０内の気圧を測定し、この信号をケーブル４２を
介して中央制御装置４４に送信する。また、絶対圧力制
御室１０の外部には大気圧測定器４６が取付けられる。

前記大気圧測定器４６は外気圧を測定し、その信号をケ
ーブル４８を介して前記中央制御装置４４に送信する。

また、前記風量検出機２４からの風量信号が、ケーブル
５０を介して中央制御装置４４に送信される。

前記中央制御装置４４は気圧測定器４０、４６から送信
された前記信号と、風量検出機２４から送信された信号
に基づいて、ケーブル５２を介して加圧ファン２２の回
転速度を制御する。また、ケーブル５４を介して風量調
節弁２０の開閉量を調節する。更に、ケーブル５６を介
して排気量調節弁３８の開閉量を調節することができる
。

ところで、前記中央制御装置４４には、絶対圧力制御室
１０内の気圧を制御する２通りの圧力設定レンジがメモ
リされている。

第１の圧力設定レンジは、上限値が１　０　４　５ｍｂ
ａｒで下限値が１　０　２　５ｍｂａｒのレンジ２　Ｑ
ｍｂａｒを有する狭域の圧力設定レンジである。前記狭
域レンジの特徴は、１　０　２　５ｍｂａｒからｌ　Ｑ
　４　５ｍｂａｒの範囲内で信号レベルを変化させるの
で、分解能の優れた精密な圧力制御が可能となる。しか
し、前記レンジ幅から外れた場合には、レンジが狭いの
で、圧力制御の起動、停止運転時に於ける制御がし難く
なるという欠点がある。

また、第２の圧力設定レンジは、上限値がｌ０８　０ｍ
ｂａｒで下限値が９　９　Ｑｍｂａｒのレンジ９　Ｑｍ
ｂａｒを有する広域の圧力設定レンジである。前記広域
レンジの特徴は、９　９　０＋ｎｂａｒから１　０　８
　０ｍｂａｒの範囲内で信号レベルを変化させるので、
分解能は若干粗くなるがレンジが広いので、圧力制御の
起動、停止運転をスムーズに行うことができる。また、
広域レンジの中央値は、前記狭域レンジの中央値、即ち
１　０　３　５ｍｂａｒと同値に設定される。

前記中央制御装置４４は、前記狭域レンジと広域レンジ
とを所定のタイミングで切り換える切換え機構が内蔵さ
れ、この切換え機構は気圧測定器４０、４６からの信号
によって制御される。

次に、前記中央制御装置４４の処理方法について説明す
る。

先ず、前記圧力制御室１０の圧力制御の起動運転方法に
ついて、第２図に示すフローチャートを参照しながら説
明する。

先ず、中央制御装置４４の圧力設定レンジを前述した広
域レンジに設定する。次に、中央制御装置４４からケー
ブル５４を介して風量調節弁２０にその開度を１００％
にする信号を送信する。これと同時に、中央制御装置４
４からケーブル５６を介して排気量調節弁３８に弁を閉
鎖する信号を送信する。更に、大気圧を大気圧測定器４
６によって測定し、その信号をケーブル４８を介して中
央制御装置４４に送信する。次に、中央制御装置４４が
前記３つの信号に基づいて、絶対圧力制御室ＩＯ内の気
圧が前記大気圧＋５ｍｂａｒに設定するようにケーブル
６２を介して加圧ファン２２の回転数を制御する。次い
で、絶対圧力制御室１０内の気圧を室内気圧測定器４０
で計測し、絶対圧力制御室１０内の気圧が設定圧力の１
　０　３　５ｍｂａｒまで上昇するように風量調節弁２
０、排気量調節弁３８の開閉量を調節する。即ち、前記
風量調節弁２０、排気量調節弁３８の閉鎖速度を、絶対
圧力制御室１０内の気圧が毎分５ｍｂａｒ上昇するよう
に追随させて調節し、前記室ｌＯ内の気圧が１０３５ｍ
ｂａｒ±ｌ　ｍｂａｒの範囲内に設定されるまで加圧フ
ァン２２を回転する。絶対圧力制御室１０内の気圧が１
　０　３　５ｍｂａｒ＋：ｌｍｂａｒ　（　Ｉ　Ｑ　３
　４ｍｂａｒ）以内となった時に広域レンジから前記狭
域レンジに切り換えて絶対圧力制御室１０内の気圧を制
御し、通常運転を開始する。

これによって、絶対圧力制御室１０内の気圧は大気圧か
ら毎分５　ｍｂａｒで上昇するようになるので、作業者
の鼓膜に悪影響を与えない。

次に、通常運転状態の絶対圧力制御室の圧力制御の停止
運転について、第３図を参照しながら説明する。

先ず、中央制御装置４４で絶対圧力制御室ＩＯの圧力設
定レンジを低域レンジから広域レンジに切り換える。次
に、大気圧測定器４６で大気圧を測定し、この信号をケ
ーブル４８を介して中央制御装置４４に送信する。次い
で、室内気圧測定器４０で絶対圧力制御室１０内の気圧
を測定し、この信号をケーブル４２を介して中央制御装
置４４に送信する。前記中央制御装置４４は、前記２つ
ｌ１ の信号に基づ″ハてケーブル５４、ケーブル５６を介し
て風量調節弁２０、排気量調節弁３８に開閉量を調節す
る信号を送信し、絶対圧力制御室１０内の気圧を毎分５
ｍｂａｒで大気圧＋５　ｍｂａｒまで下げる。大気圧＋
５ｍｂａｒ±ｌ　ｍｂａｒ以内に前記気圧が下がると、
ケーブル５２を介して加圧ファン２２に運転を停止する
信号を送信し、加圧ファン２２を停止する。以上で絶対
圧力制御室１０の圧力制御を停止することができる。従
って、圧力制御室ＩＯ内の気圧を大気圧まで徐々に減圧
することができるので、絶対圧力制御室１０内に入室し
た作業者の鼓膜に悪影響を与えない。

尚、本実施例では狭域レンジの圧力設定レンジを１　０
　２　５＋＋＋ｂａｒから１　０４　５ｍｂａｒに設定
し、広域レンジの圧力設定レンジを９　９　３ｍｂａｒ
から１０８９　ｍｂａｒに設定したが、これに限られる
ものではなく、所望の気圧に応じて適宜に変更すればよ
い。

但し、広域レンジの下限値を、大気圧値と同値に設定し
、且つその中央値を狭域レンジの中央値と同値としなけ
ればならない。これは広域レンジか１２ ら狭域レンジに切り換える時の中央制御装置４４からの
信号レベルをレンジの中央値付近で一致させる為である
。

また、絶対圧力制御室ｌＯ内の気圧の加圧速度、減圧速
度を毎分５　ｍｂａｒとしたが、これに限られるもので
はなく、一般に鼓膜に悪影響を与えない速度、即ち加圧
速度が毎分１１ｍｂａｒ以下、及び減圧速度が１　３＋
ｎｂａｒ以下であれば目的を達戊することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係る絶対圧力制御室の運転
方法によれば、起動、停止運転時に絶対圧力制御室内の
気圧を人間の鼓膜に悪影響を与えない範囲で加圧し、減
圧するようにしたので、絶対圧力制御室内に入室した作
業者の鼓膜に与える悪影響を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第ｌ図は本発明に係る絶対圧力制御室の運転方法が適用
された圧力制御装置の実施例を示す構造図、第２図は本
発明に係る鞭対圧力制御室の起動運転方法を示す流れ図
、第３図は本発明に係る絶対圧力制御室の停止運転方法
を示す流れ図、第４図は従来の絶対圧力制御室の運転方
法を示す流れ図である。 ＩＯ・・・絶対圧力制御室、　２０・・・風量調節弁、
２２・・・加圧ファン、　　２４・・・風量検出機、　
　３８・・・排気量調節弁、　４０・・・室内気圧測定
器、　　４４・・・中央制御装置、　　４６・・・大気
圧測定器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 室内の気圧を大気圧よりも高い所定の圧力に維持するよ
   うにした絶対圧力制御室の運転方法において、 運転開始時における大気圧から前記所定の圧力までの加
   圧及び運転停止時における前記所定の圧力から大気圧近
   傍の圧力までの減圧を、人間の鼓膜に悪影響を与えない
   加圧速度及び減圧速度で行うことを特徴とする絶対圧力
   制御室の運転方法。