JPH03152480A - 電子部品検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、テープ状の電子部品の検査装置に関する。

（従来の技術） 近年、第９図、第１０図に示すＴ　Ａ　Ｂ　（Ｔａｐｅ
　Ａｕｔｅｍａｔｅｄ　Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープとよば
れる電子部品が用いられている。このＴＡＢテープ１は
、リール２に巻かれた状態で取り扱われる。ＴＡＢテー
プ１は、１フレ一ム単位で導電パターンなどによって構
成される配線部３が形成されている。この配線部３には
、半導体集積回路などがボンディングされ、第１０図に
示す一点鎖線に沿って切断されて、電卓、時計などの電
子機器に装備される。またテープ１の上下端部には送り
穴４が形成されている。

ＴＡＢテープ１は、配線部３の導電不良の有無などの導
電状態を検査する必要がある。かかる検査はＴＡＢテー
プ検査装置によって自動的に行う。

ＴＡＢテープ検査装置による配線部３の導電状態の検査
について説明する。

ＴＡＢ検査装置にＴＡＢテープ１が巻かれたり−ル２を
セットし、テープ入、は装置のスプロケットの回転動作
によって走行する。

そして、テープ１を１フレ一ム単位ごと測定装置に設け
られている検査治具に対し位置調整した後、配線部３を
検査治具に接触させるなどして、配線部３の導電状態を
検査している。

上記検査においては、ＴＡＢテープ１を検査治具に対し
て正確に位置決めする必要がある。このため測定装置に
カメラを固定して設け、テープ１を撮像し、この像を予
め記憶された基準となる配線部の像と比較し、その結果
に基づいてテープ１と測定装置を相対的に移動して、テ
ープ１の検査治具に対する位置調整を行うようにしてい
る。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来の装置では、ＴＡＢテープ１のみを
撮像し、位置調整を行うようにしているので、テープと
検査治具とのずれが生じやすい。

また、上記のＴＡＢテープ検査装置において高精度に位
置調整を行うためには、大がかりで、しかも、かなり高
い精度をもった検査装置が必要となる。

（課題を解決するための手段） 本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされた
ものであり、本発明は、表面に導電部が形成されている
テープを走行、停止させる手段と、テープ表面の導電部
に接触する検査治具を有し。

導電部の導電状態を測定する測定手段と、対向したテー
プと検査治具双方の位置を検出する位置検知手段と、こ
の位置検知手段の検出結果に基づいてテープと検査治具
を相対的に移動させる移動手段とを有して成る電子部品
検査装置である。

（作　用） 本発明では、位置検知手段によって、対向したテープと
検査治具双方の位置が検出される。そして、移動手段に
より１位置検知手段による検出結果に基づいて、テープ
と検査治具が相対的に移動させられ、テープの検査治具
に対する位置調整が行われる０次いで、測定手段の検査
治具がテープ表面の導電部に接触し、導電部の導電状態
が測定される。

（実　施　例） 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図において符号１０は、電子部品検査装置としての
ＴＡＢテープ検査装置を示す。

同図において符号１１は装置本体を示し、この装置本体
１１には、一対のリール台１２．１３が設けられている
。リール台１２には、供給リール１５が取付けられてい
る。この供給リール１５には、ＴＡＢテープ１と、スペ
ースフィルム１４が巻かれている。このスペースフィル
ム１４は、リール１５にＴＡＢテープ１が巻かれた状態
で運搬する際、ＴＡＢテープ１が損傷するのを防止する
ためのものであり、ＴＡＢテープ１間に介在するように
巻かれている。リール台１３には収容り一ル１６が取付
けられている。また装置本体１１にはスペースフィルム
誘導用のローラー１７が７個、配設されている。

装置本体１１には、供給側アイドルリール１８と供給側
スプロケット２０、さらに収容側アイドルリール１９と
収容側スプロケット２１が配設されている。スプロケッ
ト２０．２１はモータによって駆動されるようになって
いる。

符号２７．２８はテープクランプを示し、このテープク
ランプ２７．２８によって、テープ１の導通状態を検査
する際に、テープ１が固定される。

テープクランプ２７の左側には、テープ１の送り量等を
検知するためのセンサ２９が配置されている。

符号２３は測定装置を示し、この測定装置２３は上下方
向、さらにテープ１が張られている方向（以下Ｘ方向と
いう）と、テープ１に直交する方向（以下Ｙ方向という
）へ移動するようになっている。

測定装置！２３の上面には第５図、第６図に示す検査治
具５０が備えられている。この検査治具５０は、導電性
ゴムシートによって構成されており、この導電性ゴムシ
ートは、加圧状態でまた無加圧状態のままで厚み方向に
導電路を形成する複数の導電路形成部とこれら導電路形
成部の相互間を絶縁する絶縁部とにより構成されてなる
ものである。

この導電性ゴムシートの具体的な構成例としては（１）
金属繊維や炭素繊維等の導電性繊維を弾性体シート中の
厚み方向に並列に埋設した構成、（２）導電性カーボン
を含有してなる導電性ゴムと絶縁性ゴムとを交互に積層
した構成、（３）粒径１〜１００μ−程度の導電性磁性
体粒子を弾性体シート中に厚み方向に配列した状態で含
有させた構成などを挙げることができる。そして、この
導電性ゴムシ−トの下には、テープ１の被測定配線部３
と対応する測定電極が例えばプリント基板などの形態で
形成されている。

検査治具５０にはテスターが接続されており。

検査治具にＴＡＢテープ１を接触させることによって第
１０図に示したテープ１の配線部３の導電状態を測定す
ることができるようになっている。

測定装置２３の上側には、加圧装置２５が設けられてい
る。加圧装置２５には、加圧板と加圧ばねによって構成
される加圧部が設けられ、この加圧部は測定装置２３の
検査治具５０に対向している。加圧装置２５は上下方向
に動作できるようになっている。

符号３０は、ＴＡＢテープ１の検査治具との位置を検出
するための装置を示す。この装置３０の詳細な構成を第
２図に示す。

同図において符号３１は位置検知手段としての位置検出
装置を示し、この位置検出装置３１はＬ字形状を有して
おり、Ｙテーブル３２に固定されている。Ｙテーブル３
２はＹ方向移動自在にしてＸテーブル３３に取付けられ
、このＹテーブル３２はモータ３５によって駆動される
ようになっている。Ｘテーブル３３はＸ方向移動自在に
してベース３４に取付けられ、このＸテーブル３３はモ
ータ３６によって駆動されるようになっている。

第３図、第４図に位置検出装置３１の内部構造を示す。

同図に示すように位置検出装置３１のヘッド部３８の先
端部上下面には、開口部４ｏ、４１が形成されている。

ヘッド部３８内には、開口部４０．４１から入射した光
を直角方向へ反射するプリズム４２が、支持台４３に接
着されて設けられている。プリズム４２の反射方向には
、対物レンズ４４がレンズホルダ４５に保持されて配置
されている。

さらにヘッド部３８内の基端部には、反射プリズム４６
が配設されている０反射プリズム４６の反射方向には、
図示しないカメラ及び画像処理袋！！！６０が備えられ
ており、対物レンズ４４の結像を撮像し画像処理して位
置検出する。この画像処理装置６０は、開口部４０．４
１からの画像のずれ（光軸が一致しない部分）を修正し
て、２つの像の位置を検出する。カメラによって撮像さ
れた画像は第１図に示した装置本体に備えられているモ
ニターテレビ５１に写し出されるようになっている。

符号４８．４９は照明灯を示し、これらの照明灯４８．
４９は、ヘッド部３８の上下面先端部に図示しない機構
によって支持されている。この照明灯４８．４９は装置
周囲が明るければ省略できる。

次に、ＴＡＢテープ検査装置１０の動作について説明す
る。

ＴＡＢテープ検査装置１ｏの作動開始時においては、加
圧装置２５は上方に移動した状態となっており、この加
圧装置２５の加圧部は、測定装置２３の上面に設けられ
ている検査治具から離れた状態となっている。さらにテ
ープクランプ２７．２８は、テープ１を保持する状態に
なっておらず。

テープ１は走行可能な状態となっている。

スプロケット２０．２１の回転動作によって、供給リー
ル１５からＴＡＢテープ１が引き出され、所定のピッチ
すなわち１フレ一ム単位（検査単位）毎、−点鎖線で示
す経路にしたがって送られ、収容リール１６に巻き取れ
られる。この際、スペースフィルム１４はスペースフィ
ルム誘導用ローラー１７に誘導されて、収容リール１６
に巻き取れられる。

テープ１の測定装置２３に設けられた検査治具に対する
位置決め動作、ならびにテープ１の導電状態を検査する
ための動作について第８図のフローチャートにしたがっ
て説明する。

ＴＡＢテープｌが所定ピッチ送ら九ると、テープ１は停
止しくステップｓｉ）、テープクランプ２７．２８によ
って、テープ１が保持され、テープ１の検査対象となる
部分が固定され、同時に平面度が保たれた状態となる（
ステップＳ２）、この時、測定装置２３はテープ１と離
間対向した待機位置にいる。

そして、Ｙテーブル３２とともに、位置検出装置３１が
Ｙ方向へ移動し１位置検出装置３１のへラド部３８は、
第５図、第６図、第７図に示すようにテープ１と測定装
置２３との間へ進出する（ステップＳ３）。

第４図に示すように照明灯４９によって測定装置２３の
上面に設けられている検査治具５０のエラ部分周辺が照
明される。この測定装置２３側からの反射光は、開口部
４１からヘッド部３８内に入り、プリズム４２によって
対物レンズ４４に向かって反射される。さらに対物レン
ズ４４を通過した光は１反射プリズム４６によって反射
し、図示しないカメラに導か九で、対物レンズ４４の結
像として検査治具５０のエツジ部分がカメラによって撮
像される。そして１画像処理によって検査治具５０のエ
ツジ部分の位置を検出し図示しない制御装置に記憶され
る（ステップＳ４）。

次に、照明灯４８によってテープ１が照明される。この
テープ１側からの反射光は、開口部４０からヘッド部３
８内に入り、プリズム４２によって対物レンズ４４に向
かって反射される。さらに対物レンズ４４を通過した光
は、反射プリズム４６によって反射し図示しないカメラ
に導かれて、対物レンズ４４の結像としてテープ１の検
査対象となる部分がカメラによって撮像され１画像処理
によって検査対象の位置を検出する（ステップＳ、）。

尚、カメラに入射するテープ１、検査治具５０の像はプ
リズム４２により光軸が上下にずれるが。

このずれは画像処理装置６０で予め修正されるので、上
下像の正確な位置が検出できる。

そして、この検出されたテープ１の位置と、既に記憶さ
れている検査治具５０のエツジ部分の位置を比較し、検
査対象となるテープｌの部分と、検査治具５０とのずれ
を求め、測定袋！！２３の移動を指示する（ステップＳ
６）、勿論、ずれが無ければ指示は出ない。

次いで、この検出結果に基づいて測定装置２３をＸ方向
およびＹ方向へ移動させて、テープ１の検査治具５０に
対する位置合わせを行う（ステップＳ７）。

その後、位置検出装置３１をＹテーブル３２とともにＹ
方向へ移動させ、位置検出装置３１のへラド部３８を、
テープ１と測定装置２３との間の外へ後退させる（ステ
ップＳ、）。

次いで、測定装置２３を上昇させてから加圧部！！ｉ２
５を下降させ、加圧部によって、テープ１の配線部３を
検査治具５０に押し付けて、配線部３の導電状態を検査
する（ステップＳｇ）。

さらに、検査装置１０は検査開始前の状態に復帰して（
ステップＳ工。）、テープ１の走行、停止、テープクラ
ンプ２７．２８によるテープ１の保持。

加圧装置２５の下降、および測定装置２３の上昇による
テープ１の配線部３の導電状態の検査の工程を繰り返し
て行う。

尚、上記の位置検出装［３１による測定装置ｌ！２３の
検査治具５ｏのエツジ部分の撮像ならびにエツジ部分の
位置記憶、テープ１の撮像、さらに測定袋［２３の位置
調整動作を行う時期は任意設定することが可能であるが
、実際の測定作業においては、一つの供給リール１５に
巻装されたテープ１の検査が終了し、新たに検査するテ
ープ１が巻装されている供給リール１５を検査装置１０
に取付けて、装置を再始動した際に行うようにする。

また、テープ１の位置と検査治具５０との位置にずれが
生じ、検査が行えなくなった場合にのみ上記位置調整動
作を行うようにしてもよい、さらにテープ１の所定数の
単位フレーム毎や室温が変わった時等に行うようにして
もよい、そして、くり返しの位置調整動作ではテープ側
のみ撮像、画像処理して、既に記憶した検査治具の位置
と比較してもよい。

（発明の効果） 以上のように本発明によれば、テープならびに検査治具
の双方の位置を検出して、両者の位置を調整する位置調
整手段を具備したので、テープと検査治具とのずれの発
生を防止でき、位置調整を高精度に行うことが可能とな
る。しかも検査装置を、小型のものとでき、また比較的
簡易なものとすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はＴＡＢテープ検査装置の構成を示す図、第２図
は第１図のＴＡＢテープ検査装置に搭載されでいる位置
検出装置ならびにその駆動機構を示す斜視図、第３図と
第４図は位置検出装置の内部構造を示す図、第５図から
第７図は位置検出装置の動作を示す図、第８図はテープ
の検査治具に対する位置決め動作ならびにテープ１の導
電状態の検査動作を示すフローチャート、第９図と第１
０図はＴＡＢテープを示す図である。 １・・・ＴＡＢテープ、３・・・配線部、１０・・・Ｔ
ＡＢ検査装置、２３・・・測定装置、３１・・・位置検
出装置、５０・・・検査治具 市Ｚ図 うυ 閃 ％Ｃ図 ｖ）７目 ｖ＞ｑ 圀 うｌθ幻

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 表面に導電部が形成されているテープを走行、停止させ
   る手段と、テープ表面の導電部に接触する検査治具を有
   し、導電部の導電状態を測定する測定手段と、対向した
   テープと検査治具双方の位置を検出する位置検知手段と
   、この位置検知手段の検出結果に基づいてテープと検査
   治具を相対的に移動させる移動手段とを有する電子部品
   検査装置。