JPH01184473A - プリント配線板検査機の位置合せ装置 - Google Patents

プリント配線板検査機の位置合せ装置

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JPH01184473A
JPH01184473A JP63008969A JP896988A JPH01184473A JP H01184473 A JPH01184473 A JP H01184473A JP 63008969 A JP63008969 A JP 63008969A JP 896988 A JP896988 A JP 896988A JP H01184473 A JPH01184473 A JP H01184473A
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JP
Japan
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wiring board
printed wiring
optical
positioning
inspection jig
Prior art date
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Pending
Application number
JP63008969A
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English (en)
Inventor
Toru Uchida
徹 内田
Noboru Kiyozuka
清塚 昇
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Araco Co Ltd
Kyoei Sangyo KK
Original Assignee
Araco Co Ltd
Kyoei Sangyo KK
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、プリント配線板検査機に関し、特に。
プリント配線板検査機におけるプリント配線板の位置合
せ装置に関する。
従来の技術 プリント配線板の電気的検査では相対するプリント配線
板の微細なパターンの中心に検査治具の検査用プローブ
ピンを接触させることが必要であるが、従来しこおいて
そQ4位置合せは、治具上に設けられたガイドビンを1
検査プリント配線板のガイド穴に挿入することによって
実行されていた。
発明が解決しようとする課題 上述のように、プリント配線板の電気的検査では相接近
する微細なパターンの中心に検査治具上の検査プローブ
ビンを接触させなければならないが、従来において行わ
れているように、現状の治具上のガイドビンを検査プリ
ント配線板のガイド穴に挿入する方法だけでは不正確で
あり、ますます高密度化するプリント配線板に対応する
ことが不可能となってきた。
本発明は従来の上記実情に鑑みてなされたものであり、
従って本発明の目的は、従来の技術に内在する上記課題
を解決することを可能とした新規なプリント配線板検査
機位社合せ装置を提供するト配線板検査機の位置合せ装
置は、被検量プリント配線板上と検査治具上の位置決め
マークを撮像機により撮像するための光学部と、光学的
画像を電気信号に変換する撮像部と、2個の対象物の対
応位置を演算する画像処理部と1両者の対応位置を合わ
せる位置作動機構部とを具備して構成される。
実施例 次に本発明をその好ましい一実施例について図面を参照
しながら具体的に説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す概略構成図である。
第1図を参照するに、参照番号1は本発明に係るプリン
ト配線板検査機の筐体を示し、該筺体1には上部検査治
具4が固定されている。検査治具4には検査用プローブ
ビンソケット2及び位置決めマーク用プローブビンソケ
ット5,5′が挿通される貫通孔4aが設けられ、ソケ
ット2には検査用プローブビン3が挿通されている。上
部検査治具4の下面に対向して、プローブビンガイド板
6がばねを介して配置され、該ガイド板にはプローブピ
ン3が挿通ガイドされる貫通孔5a及び前記貫通孔4a
に挿通される位置決めマーク用プローブビンソケット5
.5′が設けられている。
上部検査治具4の下方には下部検査治具22が配設され
ている。下部検査治具22↓こはプローブピン20が挿
通されるプローブビンソケット21が設けられ、その上
部には前記ガイド板6とほぼ同様のプローブピンガイド
板16がばねを介して載置されている。ガイド板16の
両端には基板ガイドビン19が植設されており、このガ
イド板16の上には基板ガイドビン19が嵌合されるガ
イド孔18を有する被検査プリント配線板(以下被検量
基板と略記する)13が載、置されている。 14.1
5は被検査基板13の上下にプリント配線された布線で
ある。
上部検査治具4と下部検査治具22との間には本発明の
要部である位置決め用光学機構が設けられている0位置
決め用光学機構は左右両側の2個の装置から成り、右側
の装置は光学器7とITVカメラ8“と撮像素子9を有
し、左側の装置は光学器lOとITVカメラ11と撮像
素子12を有している。これら左右の各装置は位置決め
の時には第1図の位置に配置されるが、布線検査時には
それぞれ矢印a、bの方向に移動させられてプリント配
線板検査機から離隔されると共に、下部検査治具22が
矢印Cの如く上動させられて、上部検査治具4と接触さ
せられる。
右側の光学器7と左側の光学器10とは殆ど同一である
から、以下右側の光学器7について詳細に説明する。
光学817の詳細な説明の前に先ず位置合せの原理につ
いて説明しておく。
プリント配線板検査機では検査する基板の布線と検査治
具のプローブビンは検査時には第2図のように布線14
とプローブピン2を接触させ検査を行い、検査終了時に
は垂直に離れる。この垂直に離れた状態で第3図のよう
に垂直に2つの視野を持ち上下の画像が観察できる光学
器7をプローブピン2と布線14に対して垂直に挿入す
ると得られる画像はあたかも検査時の布線とプローブピ
ンが接触しているかのような像としてamできる。
第3図でプローブピンをaCt、、た画像を第4図(A
)、布線を観察した画像を第4図(B)とし、それぞれ
の画像の中心座標を(XA、7A) 、(XB、 yB
)とすると、X方向にXA−X9.y方向ニ)’A−4
8プリント配線板を移動すると、第4図(C)のような
画像となる。この状態でプローブビン側と布線側両方の
画像を観察すると、第4図(D)となり、布線の中心と
プローブビンの中心が合っている画像となる。この状態
で検査を行うと布線の中心にプローブピンの先端が接触
して検査が有効となる。
本発明に係る光学器7、lOは上記原理に基づいて構成
され、例えば光学器7は、第5図及び第6図に示される
如く対物レンズ72、照明73、誘電体多層膜74、プ
リズム75、誘電体多層膜76、プリズム77、照明7
9.対物レンズ80、接眼レンズ83、撮像面85から
構成されている。光学器10も同様の構成である。
尚、23は位置作動機゛構部、24は位置決め制御機は 構の筐体、25AITVカメラ8,11の出力により画
像を処理する画像処理部をそれぞれ示す。
筺体24には下部検査治具22を矢印Cにて示す上下方
向(y方向)に上下動させるプレス機構(図示せず)が
設けられており、また治具22は位置作動機構部23の
制御のもとに矢印x、y、θ力試移動するように構成さ
れている。
先ず位置決めについて説明するに、プレス機構は下降状
態にあり、部材15〜24は下降している(第1図の状
態)1次に、光学器7.10が水平移動してソケット5
.5′、位置決めマーク17.17’の位置で止る (
第1図の状態几ここで被検査基板13がガイド板16上
に載置されてそのガイド孔18にビン19が挿入され、
°ラフな位置決めがなされる。
次いで前述した原理によりITVカメラ8,11で撮像
した画像を画像処理部25で処理を行い位置作動うに水
平移動させられ、被検査基板13の布線検査る。
の妨げにならない位置まで逃げて離隔させられ、被検査
基板13の下側の布線15とビン20に対してはラフな
位置決めのみである。
次に被検査基板13の布線検査について説明するに、上
記位置合せ後に検査治具22が矢印Cの如くy方向に上
動されて、被検査基板13の上面にガイド板6が対向せ
しめられる。最初被検査基板13がガイド板6に接触し
、被検査基板13は拳物千妻−jfイト板6と16で挟
まれる。下部検査治具22の上昇が続き、プローブピン
3と布[14、布線15とプローブピン20が接触する
。治具22の上昇が更に続き、治具4とガイド板6、ガ
イド板16と治具z2がそれぞれ接触する。しかして、
布線検査が開始され、その後終了し、検査治具22が下
降する。
次に本発明の要部である光学器の詳細な構成及非観祭物
体CDであり、物体ABにのみ照明73が照射される。
75.77は2等辺プリズムであり、面74および76
にはそれぞれ反射:透過比2:1.1:1の誘電体多層
膜が蒸着されている。
物体(AB)71からの光は対物レンズ72で集光され
、プリズム75の面74に入力されて透過し、面76で
反射されて90°方向転換されて接眼レンズ83によっ
て撮像面85に接眼レンズの焦点距離/対物レンズの焦
点距離= 60/40 = 1.5倍の像84が結像さ
れる。
物体71からの光エネルギーは面74で173、面76
で172に減衰されて1/6になる。また、物体71か
らの光は面74と76を通過して物体81にも照射され
るが、1/6に減衰した光が照射されるために物体81
とプリズム77の間に光学的シャッタを介設する2察物
体ABであり、物体CDにのみ照明79が照射される。
その他は第5図と同様である。
物体(CD)81からの光は対物レンズ80で集光され
プリズム77の面78に入力され、面76を透過し、面
74で反射されて180°方向転換され、面76で反射
されて90″′方向転換されて接眼レンズ83によって
撮像面85に接眼レンズの焦点距離/対物レンズの焦点
比fi = 60/15 = 1.5倍の像84が結像
される。
物体81からの光エネルギーは面76で1/2、面74
で2/3、再度面76で172に減衰されて176にな
る。
また物体81からの光は面76と74を通過して物体7
1にも照射されるが、1/6に減衰した光が照射される
ために物体71とプリズム75の間に光学的シャッタを
介設する必要はない。
第7図(a)、(b)は本発明に係る光学器の定量的考
察を示す図である。
発明の効果 本発明は以上の如く構成され1作用するものであり、従
って本発明によれば、被検査基板の位置合せを的確に実
行することが可能となり、特に。
ますます高密度化するプリント配線板の位置合せに大き
な実用的効果が得られる。
また1本発明に係る光学器を適用することによって、対
向する布線又はプローブピンのいずれでも反対側の画像
の影響が殆どなくなるために、光学的シャッタを介設す
る必要がない。
更にまた。上下の画像の光エネルギの減衰量が176.
1/6と同じなので、光量バランスのよい画像が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す概略構成図、第2図、
第3図、第4図は本発明に係る光学器の動作原理を説明
する為の概略図、第5図、第6図は本発明に係る光学器
の具体的構成及び作用を説明する為の概略図、第7図(
a)、 (b)は本発明に係る光学器の動作原理図であ
る。 116.プリント配線板検査機の筐体、2.21゜1.
プローブピンソケット、3.20. 、 、プローブビ
ン、4.22. 、 、検査治具、5600位置決め用
プローブピンソケット、6.16. 、 、プローブピ
ンガイド板、7.10. 、 、光学器、8.11. 
。 、 ITVカメラ、9.12.、、撮像素子、13. 
、 。 被検査基板(プリント配線板)、14.15. 、 、
布線(プリント配a) 、 17.、 、位置決めマー
ク、18゜0.ガイド孔、19. 、 、基板ガイドピ
ン、23. 、 。 位置作動機構部、 25. 、 、画像処理部、71.
 、 。 被&11祭物体(非E祭物体) −72,82,、、対
物1iンズ、73.79. 、 、照明、74.76、
 、 、誘電体多層膜、75.77、 、 、プリズム
、81. 、 、非&51祭物体(被観察物体) 、 
83. 、 、接眼レンズ、 84. 、 。 像、85. 、 、撮像面

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1).位置合せ時には上部検査治具と下部検査治具と
    の間に導入配置されて被検査プリント配線板上の第1の
    位置決めマークと前記上部検査治具上の第2の位置決め
    マークを撮像装置により撮像し布線検査時には前記上部
    検査治具と下部検査治具との間から除去される光学部及
    び該光学部から得られた光学的画像を電気信号に変換す
    る撮像部を含む一対の光学装置と、該光学装置から得ら
    れた2個の対象物の対応位置を演算する画像処理部と、
    該画像処理部の出力により前記被検査プリント配線板の
    位置合せをする位置作動機構部とを具備することを特徴
    とするプリント配線板検査機の位置合せ装置。
  2. (2).前記光学部を、一面に誘電体多層膜が蒸着され
    た2個のプリズムの結合体と、前記第1の位置決めマー
    クからの光を集光する第1の対物レンズと、前記第2の
    位置決めマークからの光を集光する第2の対物レンズと
    、前記第1または第2の対物レンズ及び前記プリズムの
    結合体を介して出力される光を撮像面に結像させる接眼
    レンズとにより形成したことを更に特徴とする特許請求
    の範囲第(1)項に記載のプリント配線板検査機の位置
    合せ装置。
JP63008969A 1988-01-19 1988-01-19 プリント配線板検査機の位置合せ装置 Pending JPH01184473A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03152480A (ja) * 1989-11-09 1991-06-28 Japan Synthetic Rubber Co Ltd 電子部品検査装置
JPH04340555A (ja) * 1991-05-16 1992-11-26 Hitachi Techno Eng Co Ltd 画像位置合わせ方法およびその装置
JPH06201785A (ja) * 1992-12-28 1994-07-22 Tokyo Electron Ind Co Ltd プローブコンタクト装置
JPH06201786A (ja) * 1992-12-28 1994-07-22 Tokyo Electron Ind Co Ltd プローブコンタクト装置
JPH072912U (ja) * 1992-01-20 1995-01-17 株式会社リードエレクトロニクス プリント基板検査装置

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