JPH0312945A - テープキャリアのテスト方法 - Google Patents
テープキャリアのテスト方法Info
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
- H01L22/32—Additional lead-in metallisation on a device or substrate, e.g. additional pads or pad portions, lines in the scribe line, sacrificed conductors
-
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- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/20—Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/4985—Flexible insulating substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
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- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的コ
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体パッケージの1つであるテープキャリ
アの構造とそのテスト方法に関する。
アの構造とそのテスト方法に関する。
(従来の技術)
従来、テープキャリアは、プローブカードにより、テス
トが実施されていた。即ちテープキャリアは、リール状
のまま、アッセンブリ、テスト工程を行なうのが普通で
あり、第3図のようにプローブカードを用いることにな
る。図中1は半導体チップ、2はテープ基盤、3はテス
トパッド、4はチップ1とテストパッド3間をつなぐリ
ードである。ここでパッド及びリードは、3個のテスト
用のみ示しであるが、別に他のパッド及びリドも放射方
向に設けられる。23はパッケージ側のテープ2 と外
枠側のテープ22をつなぐ支持部、5はパッケージ切り
離しのための空洞、6はチップ1が入る空洞、7はプロ
ーブカード針(プローブカード側はこの針のみ図示)で
ある。
トが実施されていた。即ちテープキャリアは、リール状
のまま、アッセンブリ、テスト工程を行なうのが普通で
あり、第3図のようにプローブカードを用いることにな
る。図中1は半導体チップ、2はテープ基盤、3はテス
トパッド、4はチップ1とテストパッド3間をつなぐリ
ードである。ここでパッド及びリードは、3個のテスト
用のみ示しであるが、別に他のパッド及びリドも放射方
向に設けられる。23はパッケージ側のテープ2 と外
枠側のテープ22をつなぐ支持部、5はパッケージ切り
離しのための空洞、6はチップ1が入る空洞、7はプロ
ーブカード針(プローブカード側はこの針のみ図示)で
ある。
ところが第3図のものでは、バーンイン(高温、高電圧
をかけて不良となるものは除去する)が不可能なため、
最近では第4図のように、テープキャリアを単体にカッ
トし、ソケットを用いてパンイン、テストを行なうもの
が出てきた。第4図中11はソケットのコンタクタ(ソ
ケットピン)、12はテープ位置合わせ用ガイドピン(
ソケットの針)、13は空洞(テープガイド孔)である
。
をかけて不良となるものは除去する)が不可能なため、
最近では第4図のように、テープキャリアを単体にカッ
トし、ソケットを用いてパンイン、テストを行なうもの
が出てきた。第4図中11はソケットのコンタクタ(ソ
ケットピン)、12はテープ位置合わせ用ガイドピン(
ソケットの針)、13は空洞(テープガイド孔)である
。
ここではソケット本体は図示されない。本方法のように
ソケットを用いればバーンイン用ラックにソケットをマ
トリクス状に並べ、数十個のテープキャリアのバーンイ
ンが一度に行なえる。テープキャリアテスト時には別の
テスト用ソケットを用い、コー個ずつテストする。
ソケットを用いればバーンイン用ラックにソケットをマ
トリクス状に並べ、数十個のテープキャリアのバーンイ
ンが一度に行なえる。テープキャリアテスト時には別の
テスト用ソケットを用い、コー個ずつテストする。
(発明が解決しようとする課題)
しかし第4図の従来技術において、ソケットのコンタク
タ11−とテープキャリアのテストパッド3とが接触し
ているか否かをチエツクするのが困難であった。
タ11−とテープキャリアのテストパッド3とが接触し
ているか否かをチエツクするのが困難であった。
即ち、第5図(a)は、」1記コンタクタ11とテスト
パッド3とかはずれてしまったことを示す。
パッド3とかはずれてしまったことを示す。
これは、テープ位置決め用のソケットガイドピン12と
テープガイド孔13では、ガイド孔13の径を大きくす
るため、このようなことがおこる。
テープガイド孔13では、ガイド孔13の径を大きくす
るため、このようなことがおこる。
この場合は、パッケージ自体の不良ではなく、テストの
不良である。
不良である。
また第5図(b)は、パッケージ自体の不良(ここでは
例としてボンディング不良を挙げた)を示す。この場合
は、テストパッド3とコンタクタ11はしっかり接触し
ているため、テスト不良ではなく、パッケージ自体の不
良となる。
例としてボンディング不良を挙げた)を示す。この場合
は、テストパッド3とコンタクタ11はしっかり接触し
ているため、テスト不良ではなく、パッケージ自体の不
良となる。
以上のように、テスト工程で不良となるものには、次の
3通りがある。
3通りがある。
(1)パッケージ自体は良好で、テストが不良(第5図
(a)の場合) (2)パッケージ自体が不良で、テストが良好(この良
好とは、バッド3とコンタクタ11か正確に接触してい
るという意味)(第5図(b)の場合) (3)パッケージ自体が不良で、テストも不良の場合(
第5図(a)と(b)か合わさったような場合)これら
のうち上記(1)項は、実際には使用できるパッケージ
であるわけだが、その区別かできないので、従来は不良
品として扱われてきた。しかしこれは、テストの不良、
つまりテストパッドとコンタクタの接触のチエツクがで
きれば、(1)項のものは、再測定して良品として扱う
ことができるものである。
(a)の場合) (2)パッケージ自体が不良で、テストが良好(この良
好とは、バッド3とコンタクタ11か正確に接触してい
るという意味)(第5図(b)の場合) (3)パッケージ自体が不良で、テストも不良の場合(
第5図(a)と(b)か合わさったような場合)これら
のうち上記(1)項は、実際には使用できるパッケージ
であるわけだが、その区別かできないので、従来は不良
品として扱われてきた。しかしこれは、テストの不良、
つまりテストパッドとコンタクタの接触のチエツクがで
きれば、(1)項のものは、再測定して良品として扱う
ことができるものである。
本発明の目的は、前記テープのテストパッドとソケット
のコンタクタとの接触状態を簡単に識別できるようなテ
ープキャリアの構造と、前記(1)項の不良を発生させ
ないテスト方法を提供することにりる。
のコンタクタとの接触状態を簡単に識別できるようなテ
ープキャリアの構造と、前記(1)項の不良を発生させ
ないテスト方法を提供することにりる。
触検査用パターンを形成することを特徴とする。
即ち、入出力信号用に使うアウターリードに連結したテ
ストパッドのほかに、ソケットのコンタクタとテストパ
ッドの接触が確実に行なわれたかどうかを調べるための
接触検査専用のパターンを設けたため、このパターンの
導通試験を行なってテプ位置を正し、それが可となって
後テストを行なうことにより、誤ったテスト不良をなく
すことができる。
ストパッドのほかに、ソケットのコンタクタとテストパ
ッドの接触が確実に行なわれたかどうかを調べるための
接触検査専用のパターンを設けたため、このパターンの
導通試験を行なってテプ位置を正し、それが可となって
後テストを行なうことにより、誤ったテスト不良をなく
すことができる。
(実施例)
以下図面を参照して本発明の一実施例を説明する。第1
図は同実施例を示す平面図であるが、これは第4図と対
応する場合の実施例であるから、対応箇所には同一符号
を用いる。本構成の特徴は、絶縁性のテープ2上に、互
いに隣接して接続された接触検査用パターン(例えば銅
)3.3 を2 設けた点である。
図は同実施例を示す平面図であるが、これは第4図と対
応する場合の実施例であるから、対応箇所には同一符号
を用いる。本構成の特徴は、絶縁性のテープ2上に、互
いに隣接して接続された接触検査用パターン(例えば銅
)3.3 を2 設けた点である。
第1図のものは、第4図の場合と同様にテスト用ソケッ
トのコンタクタ上に配置し、パターン3、.32間の導
通試験を行なう。導通不良の場合、テープ2の位置を補
正して、再測定することにより、テープ2の位置を正す
。その後第4図の場合と同様のテスト工程が正しく行な
えるものである。
トのコンタクタ上に配置し、パターン3、.32間の導
通試験を行なう。導通不良の場合、テープ2の位置を補
正して、再測定することにより、テープ2の位置を正す
。その後第4図の場合と同様のテスト工程が正しく行な
えるものである。
上記接触検査用パターンは、テープ上のパタンて形成で
きるものなら、その形を間イつない。例えば第2図の如
く、テストパッド3と共に千鳥状等とすることにより、
簡単なパターンをテープ2上に追加するだけで、適性テ
ストが行なえる。またパターン3.3 はパターン3と
いっしょに2 形成できるため、製造工程か複雑化されることもなく、
パターン3との公差もない。
きるものなら、その形を間イつない。例えば第2図の如
く、テストパッド3と共に千鳥状等とすることにより、
簡単なパターンをテープ2上に追加するだけで、適性テ
ストが行なえる。またパターン3.3 はパターン3と
いっしょに2 形成できるため、製造工程か複雑化されることもなく、
パターン3との公差もない。
上記接触検査用パターンの位置はとこでもかまわないか
、実施例の如くパッケージ周辺角部が、最も合わせずれ
が大きくなるので、この角部近傍の位置に設置するのが
最適である。
、実施例の如くパッケージ周辺角部が、最も合わせずれ
が大きくなるので、この角部近傍の位置に設置するのが
最適である。
[発明の効果コ
以上の如く本発明のテープキャリアは、従来のテスト不
良を容易に発見し、再開しなおすことができるので、本
来良品となるべきものを、不良品としてしまう不都合を
なくすことができる。またテストは、導通試験のみの追
加なので、テスト時間が、従来より大幅増となることも
ない。
良を容易に発見し、再開しなおすことができるので、本
来良品となるべきものを、不良品としてしまう不都合を
なくすことができる。またテストは、導通試験のみの追
加なので、テスト時間が、従来より大幅増となることも
ない。
第1図、第2図は本発明の各実施例の平面図、第3図〜
第5図は従来例を説明するための平面図である。 1・・・チップ、2・・・テープ基盤、3・・テストパ
ッド、3.3 ・・・接触検査用パターン、4・・・す
2 ド、13・・・ソケット位置合わせ用孔。
第5図は従来例を説明するための平面図である。 1・・・チップ、2・・・テープ基盤、3・・テストパ
ッド、3.3 ・・・接触検査用パターン、4・・・す
2 ド、13・・・ソケット位置合わせ用孔。
Claims (4)
- (1)テープ上に、導通試験を行なう接触検査用パター
ンを形成してあることを特徴とするテープキャリア。 - (2)前記接触検査用パターンは、テープパッケージ角
部近傍に形成されていることを特徴とする請求項1に記
載のテープキャリア。 - (3)前記接触検査用パターンは、前記テープ上の他の
パターンといっしょに形成されたものであることを特徴
とする請求項1に記載のテープキャリア。 - (4)前記請求項1ないし3のいずれか1つの項記載の
テープキャリアのテストを行なうに当たり、そのテスト
の前に、前記接触検査用パターンの導通試験を行なうこ
とを特徴とするテープキャリアのテスト方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1148053A JPH07109842B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | テープキャリアのテスト方法 |
EP19900110876 EP0401848A3 (en) | 1989-06-09 | 1990-06-08 | Tape carrier and test method therefor |
KR1019900008379A KR940000749B1 (ko) | 1989-06-09 | 1990-06-08 | 테이프캐리어와 그 테스트방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1148053A JPH07109842B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | テープキャリアのテスト方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0312945A true JPH0312945A (ja) | 1991-01-21 |
JPH07109842B2 JPH07109842B2 (ja) | 1995-11-22 |
Family
ID=15444105
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1148053A Expired - Lifetime JPH07109842B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | テープキャリアのテスト方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0401848A3 (ja) |
JP (1) | JPH07109842B2 (ja) |
KR (1) | KR940000749B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0439950A (ja) * | 1990-06-05 | 1992-02-10 | Alps Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JPH0648700B2 (ja) * | 1990-12-27 | 1994-06-22 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 導電性層の剥離防止構造を有するtabテープ |
CN104483517B (zh) * | 2014-12-31 | 2018-03-27 | 日月光半导体(昆山)有限公司 | 芯片测试工具 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6161439A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-03-29 | Toshiba Corp | マスタ−スライス型半導体集積回路装置 |
JPS62232134A (ja) * | 1986-04-01 | 1987-10-12 | Nec Corp | 半導体装置用テ−プキヤリア |
JPS6379332A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-09 | Hitachi Micro Comput Eng Ltd | フイルムキヤリア |
JPS63141331A (ja) * | 1986-12-03 | 1988-06-13 | Nec Corp | テ−プキヤリア半導体装置用リ−ドフレ−ム |
JPS641977A (en) * | 1987-06-23 | 1989-01-06 | Tokyo Electron Ltd | Tester |
JPS6464332A (en) * | 1987-09-04 | 1989-03-10 | Nec Corp | Manufacture of tape carrier type semiconductor device |
-
1989
- 1989-06-09 JP JP1148053A patent/JPH07109842B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-06-08 EP EP19900110876 patent/EP0401848A3/en not_active Ceased
- 1990-06-08 KR KR1019900008379A patent/KR940000749B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS641977A (en) * | 1987-06-23 | 1989-01-06 | Tokyo Electron Ltd | Tester |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07109842B2 (ja) | 1995-11-22 |
KR910001658A (ko) | 1991-01-31 |
EP0401848A2 (en) | 1990-12-12 |
EP0401848A3 (en) | 1992-02-26 |
KR940000749B1 (ko) | 1994-01-28 |
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