JPH03120516A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
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- JPH03120516A JPH03120516A JP1259084A JP25908489A JPH03120516A JP H03120516 A JPH03120516 A JP H03120516A JP 1259084 A JP1259084 A JP 1259084A JP 25908489 A JP25908489 A JP 25908489A JP H03120516 A JPH03120516 A JP H03120516A
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はカラーフィルタの製造方法に関し、例えば液晶
表示装置に用いることによりカラー表示を可能とするカ
ラーフィルタの製造方法に関する。
表示装置に用いることによりカラー表示を可能とするカ
ラーフィルタの製造方法に関する。
［従来の技術］
カラー表示できる液晶表示装置の１種としてカラーフィ
ルタを用いるものがある。その代表的構造を第２図に示
す、１対のガラスの基板１１．１２間に封止部材１３を
用いて液晶１４を封入している。下側基板１２上には遮
光膜１５が形成され、所定パターンの窓１６を画定して
いる。この窓１６上にカラー表示用フィルタ１７．１８
．１９が作成されている。たとえば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ
）、青（Ｂ）の３原色のフィルタであり、３つのフィル
タが１単位となって合成色を表示する１画素を形成する
。フィルタ１７．１８．１９の上に下側基板１２の全カ
ラー表示用フィルタ１７．１８．１９に共通の電極であ
るインジウム錫酸化物（ＩＴｏ）製の透明ｔｌｉ！２１
が設けられ、パターニングされている。さらに、その透
明電極２１の上に３１０□等からなる保護膜２２を形成
している。
ルタを用いるものがある。その代表的構造を第２図に示
す、１対のガラスの基板１１．１２間に封止部材１３を
用いて液晶１４を封入している。下側基板１２上には遮
光膜１５が形成され、所定パターンの窓１６を画定して
いる。この窓１６上にカラー表示用フィルタ１７．１８
．１９が作成されている。たとえば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ
）、青（Ｂ）の３原色のフィルタであり、３つのフィル
タが１単位となって合成色を表示する１画素を形成する
。フィルタ１７．１８．１９の上に下側基板１２の全カ
ラー表示用フィルタ１７．１８．１９に共通の電極であ
るインジウム錫酸化物（ＩＴｏ）製の透明ｔｌｉ！２１
が設けられ、パターニングされている。さらに、その透
明電極２１の上に３１０□等からなる保護膜２２を形成
している。
上側基板１１には薄膜トランジスタ２４を形成している
。
。
このようなカラー液晶表示装置はたとえば以下の手順で
作製される。上側ガラス基板１１上に薄膜トランジスタ
２４を作製する。下側ガラス基板１２上に遮光膜１５を
形成し、その上にフォトリングラフ技術を用いてパター
ニングしたカラーフィルタ１７．１８．１９を作製する
。共通′ｒ４極としてＩＴＯ透明電極を全面に形成し、
パターニングする。そして、５ｉ０２ 等の保護膜２
２を全面に形成する。上側ガラス基板１１と下側ガラス
基板１２とを封止部材１３を用いて張り合わせる。
作製される。上側ガラス基板１１上に薄膜トランジスタ
２４を作製する。下側ガラス基板１２上に遮光膜１５を
形成し、その上にフォトリングラフ技術を用いてパター
ニングしたカラーフィルタ１７．１８．１９を作製する
。共通′ｒ４極としてＩＴＯ透明電極を全面に形成し、
パターニングする。そして、５ｉ０２ 等の保護膜２
２を全面に形成する。上側ガラス基板１１と下側ガラス
基板１２とを封止部材１３を用いて張り合わせる。
最後に液晶１４を注入する。
［発明が解決しようとする課題］
第２図に示すカラーフィルタ層は、有機物質で構成され
ており、吸湿性がある。特に、カラーフィルタに天然ゼ
ラチン基質を用いている場合は吸湿性が大きい、また、
透明電極として用いられるＩＴＯＭも吸湿性がある。
ており、吸湿性がある。特に、カラーフィルタに天然ゼ
ラチン基質を用いている場合は吸湿性が大きい、また、
透明電極として用いられるＩＴＯＭも吸湿性がある。
水分が存在する状態で高温になると、カラーフィルタの
脱色現象が発生する０例えば、２０〜２５℃、４０〜５
０％ＲＨ（相対湿度）の環境下に保管した場合、天然ゼ
ラチンを使用したカラーフィルタの寿命は約１ケ月であ
る。
脱色現象が発生する０例えば、２０〜２５℃、４０〜５
０％ＲＨ（相対湿度）の環境下に保管した場合、天然ゼ
ラチンを使用したカラーフィルタの寿命は約１ケ月であ
る。
水分が存在する状態で保護膜上に配向膜を設ける際には
、高温（１８０℃）になるためカラーフィルタが脱色す
る。さらに、内部の水分の膨張により、ＩＴＯ膜、保護
膜、配向膜が剥離する場合もある。
、高温（１８０℃）になるためカラーフィルタが脱色す
る。さらに、内部の水分の膨張により、ＩＴＯ膜、保護
膜、配向膜が剥離する場合もある。
本発明の目的は、水分が存在することによって引起こさ
れるカラーフィルタの劣化および透明電極膜などの剥離
を防止することのできるカラーフィルタの製造方法を提
供することである。
れるカラーフィルタの劣化および透明電極膜などの剥離
を防止することのできるカラーフィルタの製造方法を提
供することである。
［課題を解決するための手段］
透光性基板上に単数または複数の色相のカラーフィルタ
層を形成し、または、さらにＩＴＯ等による透明！極を
形成した後、水分を追い出すために真空中にて熱処理し
、その後、保護膜を形成する。
層を形成し、または、さらにＩＴＯ等による透明！極を
形成した後、水分を追い出すために真空中にて熱処理し
、その後、保護膜を形成する。
［作用］
カラーフィルタ層およびＩＴＯ等による透明電極は吸湿
性があり、製造工程中においても若干の水分を吸湿する
。カラーフィルタ層の形成後、あるいはＩＴＯ等による
電極の形成後に、水分を追い出すための真空熱処理工程
を実施することにより、水分による悪影響を防止する。
性があり、製造工程中においても若干の水分を吸湿する
。カラーフィルタ層の形成後、あるいはＩＴＯ等による
電極の形成後に、水分を追い出すための真空熱処理工程
を実施することにより、水分による悪影響を防止する。
［実施例］
第１図（Ａ）−（Ｄ）を参照して、本発明の１実施例に
よるカラーフィルタの製造方法を説明する。第１図（Ａ
）に示すように、スパッタリングにより１５００〜２０
００人厚さのＣｒ、Ｍｏ等の金属薄膜を全面に設け、フ
ォトリングラフ工程により所定のパターンの遮光部１５
および窓１６を形成する１次にゼラチンを用いた被染色
用レジストをスピナー法により塗布し、所定の方法で遮
光部１５の窓部分１６に赤色Ｒのカラーフィルタ層１７
を形成する。同様にして第１図（Ｂ）に示すように、緑
色Ｇおよび青色Ｂのパターンを形成する０次に、第１図
（Ｃ）に示すように、透明電極としてＩＴＯ膜２１をス
パッタリング、蒸着などにより５００〜１０００人の厚
さに形成し、これをフォトリソグラフ工程を用いてパタ
ーニングし、共通電極を形成する９次に、真空中（く１
×１０’Ｐａ）にこの基板を入れ、たとえば１１０℃で
１〜４時間熱処理する。この真空熱処理工程によってカ
ラーフィルタ層１７．１８．１９、ＩＴＯＪＩＡ２１中
の水分が追い出される。そして、第１図（Ｄ）に示すよ
うに、表面保護層としてスパッタ法を用いて５ｉｎ２の
保護膜２２を１０００〜２０００人の膜厚で形成する。
よるカラーフィルタの製造方法を説明する。第１図（Ａ
）に示すように、スパッタリングにより１５００〜２０
００人厚さのＣｒ、Ｍｏ等の金属薄膜を全面に設け、フ
ォトリングラフ工程により所定のパターンの遮光部１５
および窓１６を形成する１次にゼラチンを用いた被染色
用レジストをスピナー法により塗布し、所定の方法で遮
光部１５の窓部分１６に赤色Ｒのカラーフィルタ層１７
を形成する。同様にして第１図（Ｂ）に示すように、緑
色Ｇおよび青色Ｂのパターンを形成する０次に、第１図
（Ｃ）に示すように、透明電極としてＩＴＯ膜２１をス
パッタリング、蒸着などにより５００〜１０００人の厚
さに形成し、これをフォトリソグラフ工程を用いてパタ
ーニングし、共通電極を形成する９次に、真空中（く１
×１０’Ｐａ）にこの基板を入れ、たとえば１１０℃で
１〜４時間熱処理する。この真空熱処理工程によってカ
ラーフィルタ層１７．１８．１９、ＩＴＯＪＩＡ２１中
の水分が追い出される。そして、第１図（Ｄ）に示すよ
うに、表面保護層としてスパッタ法を用いて５ｉｎ２の
保護膜２２を１０００〜２０００人の膜厚で形成する。
その後、ＴＦＴ２４を作製した上側基板１１と合わせ、
封止部材１３で封止することにより第２図に示すような
構造が得られる。
封止部材１３で封止することにより第２図に示すような
構造が得られる。
真空熱処理工程の加熱温度を高くしすぎるとカラーフィ
ルタ層が酸化し、脱色現象を起こす、酸素を避けるため
真空で行うのが好ましい、 １×１０−３Ｐ ａより上
の真空（以下の圧力）で１０５℃以上で行うのが好まし
い、しかし、通常の真空中にも酸素分子は存在するので
、処理は低温で行うのが好ましい、１５０℃以上の温度
では脱色の可能性を増すので好ましくない、 たとえば
ｌＸ１０°３Ｐａ以下の真空で約１１０℃で徐々に脱水
する。
ルタ層が酸化し、脱色現象を起こす、酸素を避けるため
真空で行うのが好ましい、 １×１０−３Ｐ ａより上
の真空（以下の圧力）で１０５℃以上で行うのが好まし
い、しかし、通常の真空中にも酸素分子は存在するので
、処理は低温で行うのが好ましい、１５０℃以上の温度
では脱色の可能性を増すので好ましくない、 たとえば
ｌＸ１０°３Ｐａ以下の真空で約１１０℃で徐々に脱水
する。
なお、カラーフィルタ層１７．１８．１９の上に保護膜
を形成し、その保護膜の上に透明電極２１を形成した後
さらに保護膜２２で覆うような場合は、カラーフィルタ
層１７の形成後で保護膜の形成前に真空熱処理を行って
も良い。
を形成し、その保護膜の上に透明電極２１を形成した後
さらに保護膜２２で覆うような場合は、カラーフィルタ
層１７の形成後で保護膜の形成前に真空熱処理を行って
も良い。
さらに製品管理をする場合、すぐにカラーフィルタ基板
を使用しないときは電極の作製工程で止めておき、使用
直前に真空熱処理工程と保護膜の作製工程を行うことに
より、使用期間を長期化することもできる。
を使用しないときは電極の作製工程で止めておき、使用
直前に真空熱処理工程と保護膜の作製工程を行うことに
より、使用期間を長期化することもできる。
［発明の効果］
真空熱処理工程により水分が除去されるので、カラーフ
ィルタ層の脱色が起り器い、また、内部の水分の膨張に
よる電極や保護膜の剥離が防止される。したがって、カ
ラーフィルタの寿命が長い。
ィルタ層の脱色が起り器い、また、内部の水分の膨張に
よる電極や保護膜の剥離が防止される。したがって、カ
ラーフィルタの寿命が長い。
第１図（Ａ）−（Ｄ）は、本発明の実施例によるカラー
フィルタの製造方法を説明するための基板の断面図、 第２図は、 符号の説明 １１．１２ ３ ４ ５ ６ １７、 １ ２ ４ ６ 液晶表示装置の断面図である。 基板 封止部材 液晶 遮光膜 窓 染色層 透明電極 保護膜 ＴＦＴ 境界面
フィルタの製造方法を説明するための基板の断面図、 第２図は、 符号の説明 １１．１２ ３ ４ ５ ６ １７、 １ ２ ４ ６ 液晶表示装置の断面図である。 基板 封止部材 液晶 遮光膜 窓 染色層 透明電極 保護膜 ＴＦＴ 境界面
Claims (1)
- （１）、透光性基板上に単数または複数の色相のカラー
フィルタ層および透明電極を形成し、該透明電極を覆う
保護膜を形成するカラーフィルタの製造方法において、 該カラーフィルタ層形成後、該透明電極を覆う保護膜を
形成する前に、水分を追い出すための真空熱処理工程を
実施することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1259084A JPH03120516A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1259084A JPH03120516A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03120516A true JPH03120516A (ja) | 1991-05-22 |
Family
ID=17329098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1259084A Pending JPH03120516A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03120516A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0682741A (ja) * | 1992-02-12 | 1994-03-25 | Samsung Electron Co Ltd | 高画質液晶表示板およびその製造方法 |
| EP0867748A2 (en) * | 1997-03-27 | 1998-09-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Production process of color filter, color filter produced thereby and liquid crystal display device using such color filter |
| JPH10289991A (ja) * | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Toppan Printing Co Ltd | リニア型カラー固体撮像素子 |
| KR100759979B1 (ko) * | 2001-07-20 | 2007-09-18 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 기판의 제조 방법 및 이에 사용되는아이티오막 형성 방법 |
| JP2013190525A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板の製造方法および表示装置の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62127702A (ja) * | 1985-11-28 | 1987-06-10 | Nissha Printing Co Ltd | 高物性・高精度カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPS62299941A (ja) * | 1986-06-20 | 1987-12-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−フイルタの製造法 |
-
1989
- 1989-10-04 JP JP1259084A patent/JPH03120516A/ja active Pending
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| US5888679A (en) * | 1997-03-27 | 1999-03-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Production process of color filter, color filter produced thereby and liquid crystal display device using such color filter |
| EP0867748A3 (en) * | 1997-03-27 | 2000-09-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Production process of color filter, color filter produced thereby and liquid crystal display device using such color filter |
| JPH10289991A (ja) * | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Toppan Printing Co Ltd | リニア型カラー固体撮像素子 |
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