JPH03106665A - サーマルヘッド - Google Patents
サーマルヘッドInfo
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- JPH03106665A JPH03106665A JP24613289A JP24613289A JPH03106665A JP H03106665 A JPH03106665 A JP H03106665A JP 24613289 A JP24613289 A JP 24613289A JP 24613289 A JP24613289 A JP 24613289A JP H03106665 A JPH03106665 A JP H03106665A
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Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、感熱記録に用いるサーマルヘッドに関するも
のである． 〔発明の概要〕 サーマルヘッドは、記録のための電気信号により基板上
の複数の発熱抵抗体が選択的に加熱されることによるイ
ンクの転写，感熱体の発色．インクの吐出等の方法によ
り被記録体に記録できるようにつくられている． これらのサーマルヘッドは、アル逅ナ等の絶縁体にグレ
ーズ層を焼威した基板に、複数の発熱抵抗体とその両側
に共通電極と個別電極が設けられており保護膜で覆われ
ている。発熱抵抗体へは、個別電極ラインを通してドラ
イバＩＣより記録信号が与えられることになっている．
近年、サーマルヘッドの共通電極は、基板そのものの低
コスト化および画質の向上のため小さくしかも大容量の
ものが要求されている．そのため共通電極または、共通
電極リード部を発熱抵抗体や電極の下に形戒したり、基
板の背面に形成したりするなどの工夫が行われていた． 本発明のサーマルヘッドは、絶縁性基板上にグレーズ層
．抵抗体．個別電極，共通電極等を有し、前記抵抗体よ
り下層に共通電極のリード部が積層されているサーマル
ヘンドにおいて、共通電極のリード部の下にゾルゲル法
によりｍ＆ｔｌｉｉを形戒することを特徴とする基板が
小さくしかも印字品質のよいサーマルヘッドを提供する
ものである．〔従来の技術〕 従来のグレーズ層上に共通電極のリード部が積層され、
さらにリード部の上に絶縁層を介し抵抗体．個別電極，
共通電極等を形成されたサーマルヘソドにおいて、共通
電極のリード部の下の絶縁膜は、スパッタリング法また
は、厚膜法により成膜されていた． 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のサーマルヘッドでは、コモン電極での電圧降下に
よる印字むらを防ぐため、コモン電極の幅を広くとり十
分に抵抗値を下げていた．しかし、コモン電極が大きい
と基板が大きくなってしまい不経済であった．そこでグ
レーズ層上部に共通電極のリード部を積層し、さらにそ
の上に絶縁層を介し抵抗体や電極等の回路を形成し、コ
モン電極の抵抗値を下げることと、基板コストの節約を
行っていた．また、リード部は抵抗体の下部にあるため
、熱によりグレーズのアルカリ金属が拡散し機能が低下
することがあるためリード部の下にも絶縁層が設けられ
ていた． このリード部上の絶縁層は、スパンタリングや厚膜法を
使うため種々の問題点があった。その問題点を以下に示
した． （１）ｔｃ膜に時間がかかる． （２）高価な装置が必要． 〈３）１度に処理できる数が少ない． また、厚膜の場合は、 （４）リード部の金属が酸化される． （５〉リード部の金属がグレーズに拡散する，（６）表
面の平坦度が悪い． （７）グレーズ焼＊ａ度より低い焼威温度の材料を選ば
なければならない． などの問題があった． 〔課題を解決するための手段〕 本発明は、スパッタリングや厚膜法のかわりにゾルゲル
法を用いることにより、簡単にしかも表面精度のよいｍ
縁膜をつくることのできるものである． 〔作用〕 ゾルゲル法は、ガラス，セラミックスの低温生威法とし
て知られている技術である．このゾルゲル法は、金属ア
ルコキシドまたは類似の酢酸塩，アセチルアセトネート
．シェウ酸塩などの化合物を溶液中で加水分解、重合さ
せてゲルをつくり、ゲルの加熱によりガラスまたは結晶
体を得るものである．この方法によるとゾルゲル液を塗
布し威膜した後加熱すればよいので、高価なｖｔ置を必
要とせず、作製時間をを大幅に削減することができる．
塗布法としては、ディ７ピング．スピンコート，スプレ
イ法．パイロゾル法がある．〔実施例〕 第１図に本発明のサーマルへッドの構威を示す．基板１
は、アルξナ上に凸グレーズを焼威したものを用いた．
一層目は、抵抗体の熱によりグレーズのアルカリ金属が
拡散しａ能が低下するのを防ぐ絶縁Ｎ２である．次は、
共通電極のリード部３となる導体層である．その上に絶
縁層４を介し、抵抗体層５が形成されている．共通電極
６ｂは、リード部３と電気的に接触するため抵抗値が下
がり十分な容量をもち印字むらがなくなることにぴる．
一番上の層は、保護膜層７である．次にこれらの層の形
成法を記す． Ｔａ （ＱＣｓ Ｈｓ ）ａ ＋ Ｃｚ Ｈｓ ＯＨ，
Ｈｚ Ｏ、ＨＣＩをモル比１．００ ：６．７５：１０
．８０ ：０．６７常温で混合攬拌した溶液を作製し、
グレーズ上がりの基板ｌをこの溶液の中にディソプし、
１．５ｍ／ｓで引き上げた．この溶液の皮膜は、大気中
でゲル化することが知られている．その後５００℃で１
０分間熱処理を行った．このディフプと熱処理を数回繰
り返すことによりＴａ−０１Ｊｊｍの絶縁膜２を得た．
次にこの基板の表面をフッ素系のエッチング液により活
性化処理を行った．さらにその上に市販の無電解Ｎｉめ
っきプロセスによりＮｉめらきを施し、このＮｉめっき
のうえに以下の条件でＮｌ−Ｗをめっきしリード部３と
した．浴組成 砿酸ニッケル ０．０２６ｍｏｌ／１タン
グステン酸ナトリウム ０．２３４ｍｏｌ／ｌ，．酒石
酸アンモニウム ０．２６０ｓｏｌ／１温度
８０℃電流密度
１０ｍ＾／ｃｌＩこれは、高融点金属であるＷを
合金化することにより、抵抗体からの熱に耐えることと
後の行程の絶縁膜４のエッチング時にリード部を溶解さ
せないためである。
のである． 〔発明の概要〕 サーマルヘッドは、記録のための電気信号により基板上
の複数の発熱抵抗体が選択的に加熱されることによるイ
ンクの転写，感熱体の発色．インクの吐出等の方法によ
り被記録体に記録できるようにつくられている． これらのサーマルヘッドは、アル逅ナ等の絶縁体にグレ
ーズ層を焼威した基板に、複数の発熱抵抗体とその両側
に共通電極と個別電極が設けられており保護膜で覆われ
ている。発熱抵抗体へは、個別電極ラインを通してドラ
イバＩＣより記録信号が与えられることになっている．
近年、サーマルヘッドの共通電極は、基板そのものの低
コスト化および画質の向上のため小さくしかも大容量の
ものが要求されている．そのため共通電極または、共通
電極リード部を発熱抵抗体や電極の下に形戒したり、基
板の背面に形成したりするなどの工夫が行われていた． 本発明のサーマルヘッドは、絶縁性基板上にグレーズ層
．抵抗体．個別電極，共通電極等を有し、前記抵抗体よ
り下層に共通電極のリード部が積層されているサーマル
ヘンドにおいて、共通電極のリード部の下にゾルゲル法
によりｍ＆ｔｌｉｉを形戒することを特徴とする基板が
小さくしかも印字品質のよいサーマルヘッドを提供する
ものである．〔従来の技術〕 従来のグレーズ層上に共通電極のリード部が積層され、
さらにリード部の上に絶縁層を介し抵抗体．個別電極，
共通電極等を形成されたサーマルヘソドにおいて、共通
電極のリード部の下の絶縁膜は、スパッタリング法また
は、厚膜法により成膜されていた． 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のサーマルヘッドでは、コモン電極での電圧降下に
よる印字むらを防ぐため、コモン電極の幅を広くとり十
分に抵抗値を下げていた．しかし、コモン電極が大きい
と基板が大きくなってしまい不経済であった．そこでグ
レーズ層上部に共通電極のリード部を積層し、さらにそ
の上に絶縁層を介し抵抗体や電極等の回路を形成し、コ
モン電極の抵抗値を下げることと、基板コストの節約を
行っていた．また、リード部は抵抗体の下部にあるため
、熱によりグレーズのアルカリ金属が拡散し機能が低下
することがあるためリード部の下にも絶縁層が設けられ
ていた． このリード部上の絶縁層は、スパンタリングや厚膜法を
使うため種々の問題点があった。その問題点を以下に示
した． （１）ｔｃ膜に時間がかかる． （２）高価な装置が必要． 〈３）１度に処理できる数が少ない． また、厚膜の場合は、 （４）リード部の金属が酸化される． （５〉リード部の金属がグレーズに拡散する，（６）表
面の平坦度が悪い． （７）グレーズ焼＊ａ度より低い焼威温度の材料を選ば
なければならない． などの問題があった． 〔課題を解決するための手段〕 本発明は、スパッタリングや厚膜法のかわりにゾルゲル
法を用いることにより、簡単にしかも表面精度のよいｍ
縁膜をつくることのできるものである． 〔作用〕 ゾルゲル法は、ガラス，セラミックスの低温生威法とし
て知られている技術である．このゾルゲル法は、金属ア
ルコキシドまたは類似の酢酸塩，アセチルアセトネート
．シェウ酸塩などの化合物を溶液中で加水分解、重合さ
せてゲルをつくり、ゲルの加熱によりガラスまたは結晶
体を得るものである．この方法によるとゾルゲル液を塗
布し威膜した後加熱すればよいので、高価なｖｔ置を必
要とせず、作製時間をを大幅に削減することができる．
塗布法としては、ディ７ピング．スピンコート，スプレ
イ法．パイロゾル法がある．〔実施例〕 第１図に本発明のサーマルへッドの構威を示す．基板１
は、アルξナ上に凸グレーズを焼威したものを用いた．
一層目は、抵抗体の熱によりグレーズのアルカリ金属が
拡散しａ能が低下するのを防ぐ絶縁Ｎ２である．次は、
共通電極のリード部３となる導体層である．その上に絶
縁層４を介し、抵抗体層５が形成されている．共通電極
６ｂは、リード部３と電気的に接触するため抵抗値が下
がり十分な容量をもち印字むらがなくなることにぴる．
一番上の層は、保護膜層７である．次にこれらの層の形
成法を記す． Ｔａ （ＱＣｓ Ｈｓ ）ａ ＋ Ｃｚ Ｈｓ ＯＨ，
Ｈｚ Ｏ、ＨＣＩをモル比１．００ ：６．７５：１０
．８０ ：０．６７常温で混合攬拌した溶液を作製し、
グレーズ上がりの基板ｌをこの溶液の中にディソプし、
１．５ｍ／ｓで引き上げた．この溶液の皮膜は、大気中
でゲル化することが知られている．その後５００℃で１
０分間熱処理を行った．このディフプと熱処理を数回繰
り返すことによりＴａ−０１Ｊｊｍの絶縁膜２を得た．
次にこの基板の表面をフッ素系のエッチング液により活
性化処理を行った．さらにその上に市販の無電解Ｎｉめ
っきプロセスによりＮｉめらきを施し、このＮｉめっき
のうえに以下の条件でＮｌ−Ｗをめっきしリード部３と
した．浴組成 砿酸ニッケル ０．０２６ｍｏｌ／１タン
グステン酸ナトリウム ０．２３４ｍｏｌ／ｌ，．酒石
酸アンモニウム ０．２６０ｓｏｌ／１温度
８０℃電流密度
１０ｍ＾／ｃｌＩこれは、高融点金属であるＷを
合金化することにより、抵抗体からの熱に耐えることと
後の行程の絶縁膜４のエッチング時にリード部を溶解さ
せないためである。
次に、Ｓ ｉ （ＯＣＩ ＨＳ ） ａ ＋ Ｃｘ
Ｈｓ ＯＨ．■４よＯ，ＨＣＩをモル比１．００ ？
６．７５ ： １０．８０ ： ０．６７常温で混
合撹拌した溶液を作製し、基板をこの溶液の中にディッ
プし、１．５ｍ／ｓで引き上げた．この溶液の皮膜は、
大気中でゲル化することが知られている．その後５００
℃で１０分間熱処理を行った．このディップと熱処理を
数回繰り返すことによりｓｔｏ２ ２μｍの絶縁１１４
を得た．これをフソ素系の液でエソチングし、パターニ
ングを行い絶縁膜３を得た。
Ｈｓ ＯＨ．■４よＯ，ＨＣＩをモル比１．００ ？
６．７５ ： １０．８０ ： ０．６７常温で混
合撹拌した溶液を作製し、基板をこの溶液の中にディッ
プし、１．５ｍ／ｓで引き上げた．この溶液の皮膜は、
大気中でゲル化することが知られている．その後５００
℃で１０分間熱処理を行った．このディップと熱処理を
数回繰り返すことによりｓｔｏ２ ２μｍの絶縁１１４
を得た．これをフソ素系の液でエソチングし、パターニ
ングを行い絶縁膜３を得た。
抵抗体層５は、第１図の左端の部分を残してスパッタリ
ングによりＴａ−ＳｉＯを０．１μｍパターニングした
。
ングによりＴａ−ＳｉＯを０．１μｍパターニングした
。
リード部３と第１図の基板の左側で電気的に接触するよ
うにスパンタリングにより共通電極６ａと個別電極６ｂ
をパクーニングした。
うにスパンタリングにより共通電極６ａと個別電極６ｂ
をパクーニングした。
ｊｌ後に保護膜７をスパッタリングによりＳｉＡ１０Ｎ
つけることにより作製した． 〔発明の効果〕 以上説明で述べたように本発明のサーマルヘッドは、容
量の大きなコモン電極のリード部を有するため印字むら
が少なく、しかもリード部上の絶縁層をゾルゲル法で作
製するため作業時間も大幅に短縮することができる工業
的に優れたものである．
つけることにより作製した． 〔発明の効果〕 以上説明で述べたように本発明のサーマルヘッドは、容
量の大きなコモン電極のリード部を有するため印字むら
が少なく、しかもリード部上の絶縁層をゾルゲル法で作
製するため作業時間も大幅に短縮することができる工業
的に優れたものである．
第１図は、本発明のサーマルヘソドの断面図である．
以下に図面に記された符号について示す。
１・・・・基板
２・・・・絶縁層（Ｔａ−０）
３・・・・リード部
４ ・ ・
５ ・ ・
６ ａ ・
６ ｂ ・
７ ・ ・
・ｗＡ縁層 （Ｓｉ
・抵抗層
・共通電極
・個別電極
・保護膜
Ｏ）
以上
Claims (1)
- 絶縁性基板上にグレーズ層、抵抗体、個別電極、共通
電極等を有し、前記抵抗体より下層に共通電極のリード
部が積層されているサーマルヘッドにおいて、共通電極
のリード部の下にゾルゲル法により作製された絶縁層が
形成されることを特徴とするサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24613289A JPH03106665A (ja) | 1989-09-21 | 1989-09-21 | サーマルヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24613289A JPH03106665A (ja) | 1989-09-21 | 1989-09-21 | サーマルヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03106665A true JPH03106665A (ja) | 1991-05-07 |
Family
ID=17143958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24613289A Pending JPH03106665A (ja) | 1989-09-21 | 1989-09-21 | サーマルヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03106665A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2458638A (en) * | 2008-03-25 | 2009-09-30 | Timothy Neal Harlow | Shower head electric safety valve |
-
1989
- 1989-09-21 JP JP24613289A patent/JPH03106665A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2458638A (en) * | 2008-03-25 | 2009-09-30 | Timothy Neal Harlow | Shower head electric safety valve |
| GB2458638B (en) * | 2008-03-25 | 2012-07-18 | Timothy Neal Harlow | Shower head |
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