JPH03104817A - 真空熱処理装置 - Google Patents
真空熱処理装置Info
- Publication number
- JPH03104817A JPH03104817A JP24083389A JP24083389A JPH03104817A JP H03104817 A JPH03104817 A JP H03104817A JP 24083389 A JP24083389 A JP 24083389A JP 24083389 A JP24083389 A JP 24083389A JP H03104817 A JPH03104817 A JP H03104817A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- container
- valve
- vacuum pump
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 41
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 8
- 239000002826 coolant Substances 0.000 abstract description 7
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、真空熱処理装置に関するものである。
従来の真空熱処理装置は、例えば第１図に示すように、
被処理物を収容する容器５１は弁５２を介して真空ボン
プ５３と接続され、真空ボンブ５３の作動により容器５
ｌ内の空気、水分等の気体を排出して容器５ｌ内を真空
にし、その後加熱をする．真空ボンプ５３としては，通
常は油回転ポンプが用いられる．容器５ｌには，さらに
弁５４を介してガスタンク５５が接続されている．ガス
タンク５５にはＮ．またはＡｒ等の不活性ガスまたは不
活性に近いガスが充填されており、容器５ｌ内を冷却す
る際にガスタンク５５からガスを容器５１内に導入する
．ガスタンク５５より導入されるガスを媒体として容器
５ｌ内が冷却される．さらに冷却能力を高めるために大
気圧以上に加圧したガスを使用することもある．〔発明
が解決しようとする問題点〕 しかしながら上記の従来装置では，処理後、冷却に使用
されたガスは大気に放出されることとなる．したがって
毎回の処理ごとにガスタンクを交換して新しい気体を供
給する必要があり、ガスの使用量が増大し、熱処理経費
が増大するという問題があった． 本発明の技術的課題は、上記問題点を解消した真空熱処
理装置を提供することにある．〔発明の技術的課題を解
決するために講じた技術的手段〕 技術的課題を解決するために講じた技術的手段は、被処
理物を収容する容器と、該容器に接続される真空ポンプ
およびガスタンクとを右する真空熱処理装置において、 前記ガスタンクと、前記容器と、該容器より気体を吸引
する第二真空ポンプと、該第二真空ポンプにより排出さ
れた気体を圧縮する圧縮機とが順次接続されて循環閉流
路を形成し、前記圧縮機により圧縮された気体が前記ガ
スタンクに再充填可能となるように構成されたことであ
る．〔作 用〕 本発明により，被処理物を収容した容器から真空ポンプ
により気体を排出し、容器を真空にする．真空になった
容器は加熱されて熱処理される． 冷却時には弁を開いてガスタンクより冷却媒体としての
ガスが容器内に導入され、容器内が冷却される． 処理後、冷却媒体として使用された気体は第二真空ポン
プにより容器から排出され、圧縮機により加圧されてガ
スタンクに再充填される．本発明により、冷却媒体とし
て使用される気体は循環閉流路により循環され，繰り返
し利用される． 〔実施例〕 本発明を図面の実施例について説明すると，第１図は従
来装置のブロック図，第２図は本発明装置の実施例のブ
ロック図である． 本発明の実施例を第２図に従って述べると、被処理物を
収容する容器ｌの第一出口は弁２を介して真空ボンプ３
と接続される．容器１内の空気、水分等の気体は油回転
ポンプ等により形成される真空ポンプ３により大気中に
排出されることとなる． 容器１は冷却媒体としての気体、例えばＮ１ または
Ａｒ等を充填してあるガスタンク４と循環閉流路５によ
り接続される．循環閉流路５ではガスタンク４の出口と
容器ｌの入口とが弁６により接続され、さらに容器ｌの
第二出口は弁７を介して第二真空ボンプ８、好ましくは
ドライ真空ポンプの吸入口と接続され、該第二真空ボン
プ８の排出口は圧縮機９の入口と接続され、圧縮機９の
出口は前記ガスタンク４の入口と接続される．処理時に
はまず弁６、７を閉じ、弁２を開いた状態で真空ボンプ
３を作動させて容器ｌ内の気体を排出し真空にする．真
空にした後、弁２を閉じ、真空ボンプ３の作動を停止し
、図示しない手段により容器ｌが加熱され、熱処理され
る．冷却時には，弁６を開くと、ガスタンク４から冷却
媒体としての気体が容器１に導入され、被処理物を冷却
する． 処理終了後には弁６を閉じ、弁７を開いて第二真空ボン
プ８および圧縮機９が作動される．容器ｌ内の気体は真
空ボンプ８により排出され，圧縮機９により圧縮され、
ガスタンク４に再充填される． 〔発明の効果〕 よって本発明によれば、冷却媒体としての気体は使用後
は容器から排出され，加圧された状態でガスタンクに再
充項され、何度でも再利用できるので、冷却媒体として
の気体を無駄に放出することがなく有効利用でき、熱処
理経費の削減を可能とした．
被処理物を収容する容器５１は弁５２を介して真空ボン
プ５３と接続され、真空ボンブ５３の作動により容器５
ｌ内の空気、水分等の気体を排出して容器５ｌ内を真空
にし、その後加熱をする．真空ボンプ５３としては，通
常は油回転ポンプが用いられる．容器５ｌには，さらに
弁５４を介してガスタンク５５が接続されている．ガス
タンク５５にはＮ．またはＡｒ等の不活性ガスまたは不
活性に近いガスが充填されており、容器５ｌ内を冷却す
る際にガスタンク５５からガスを容器５１内に導入する
．ガスタンク５５より導入されるガスを媒体として容器
５ｌ内が冷却される．さらに冷却能力を高めるために大
気圧以上に加圧したガスを使用することもある．〔発明
が解決しようとする問題点〕 しかしながら上記の従来装置では，処理後、冷却に使用
されたガスは大気に放出されることとなる．したがって
毎回の処理ごとにガスタンクを交換して新しい気体を供
給する必要があり、ガスの使用量が増大し、熱処理経費
が増大するという問題があった． 本発明の技術的課題は、上記問題点を解消した真空熱処
理装置を提供することにある．〔発明の技術的課題を解
決するために講じた技術的手段〕 技術的課題を解決するために講じた技術的手段は、被処
理物を収容する容器と、該容器に接続される真空ポンプ
およびガスタンクとを右する真空熱処理装置において、 前記ガスタンクと、前記容器と、該容器より気体を吸引
する第二真空ポンプと、該第二真空ポンプにより排出さ
れた気体を圧縮する圧縮機とが順次接続されて循環閉流
路を形成し、前記圧縮機により圧縮された気体が前記ガ
スタンクに再充填可能となるように構成されたことであ
る．〔作 用〕 本発明により，被処理物を収容した容器から真空ポンプ
により気体を排出し、容器を真空にする．真空になった
容器は加熱されて熱処理される． 冷却時には弁を開いてガスタンクより冷却媒体としての
ガスが容器内に導入され、容器内が冷却される． 処理後、冷却媒体として使用された気体は第二真空ポン
プにより容器から排出され、圧縮機により加圧されてガ
スタンクに再充填される．本発明により、冷却媒体とし
て使用される気体は循環閉流路により循環され，繰り返
し利用される． 〔実施例〕 本発明を図面の実施例について説明すると，第１図は従
来装置のブロック図，第２図は本発明装置の実施例のブ
ロック図である． 本発明の実施例を第２図に従って述べると、被処理物を
収容する容器ｌの第一出口は弁２を介して真空ボンプ３
と接続される．容器１内の空気、水分等の気体は油回転
ポンプ等により形成される真空ポンプ３により大気中に
排出されることとなる． 容器１は冷却媒体としての気体、例えばＮ１ または
Ａｒ等を充填してあるガスタンク４と循環閉流路５によ
り接続される．循環閉流路５ではガスタンク４の出口と
容器ｌの入口とが弁６により接続され、さらに容器ｌの
第二出口は弁７を介して第二真空ボンプ８、好ましくは
ドライ真空ポンプの吸入口と接続され、該第二真空ボン
プ８の排出口は圧縮機９の入口と接続され、圧縮機９の
出口は前記ガスタンク４の入口と接続される．処理時に
はまず弁６、７を閉じ、弁２を開いた状態で真空ボンプ
３を作動させて容器ｌ内の気体を排出し真空にする．真
空にした後、弁２を閉じ、真空ボンプ３の作動を停止し
、図示しない手段により容器ｌが加熱され、熱処理され
る．冷却時には，弁６を開くと、ガスタンク４から冷却
媒体としての気体が容器１に導入され、被処理物を冷却
する． 処理終了後には弁６を閉じ、弁７を開いて第二真空ボン
プ８および圧縮機９が作動される．容器ｌ内の気体は真
空ボンプ８により排出され，圧縮機９により圧縮され、
ガスタンク４に再充填される． 〔発明の効果〕 よって本発明によれば、冷却媒体としての気体は使用後
は容器から排出され，加圧された状態でガスタンクに再
充項され、何度でも再利用できるので、冷却媒体として
の気体を無駄に放出することがなく有効利用でき、熱処
理経費の削減を可能とした．
第１図は従来装置のブロック図、第２図は本発明装置の
実施例のブロック図である． １、５１・・・・・・・・・容器 ２、６．７．５２、５４・・・・・・・・・弁３、５３
・・・・・・・・・真空ポンプ４、５５・・・・・・・
・・ガスタンク５・・・・・・・・・循環閉流路 ８・・・・・・・・・第二真空ボンブ ９・・・・・・・・・圧縮機
実施例のブロック図である． １、５１・・・・・・・・・容器 ２、６．７．５２、５４・・・・・・・・・弁３、５３
・・・・・・・・・真空ポンプ４、５５・・・・・・・
・・ガスタンク５・・・・・・・・・循環閉流路 ８・・・・・・・・・第二真空ボンブ ９・・・・・・・・・圧縮機
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被処理物を収容する容器と、該容器に接続される真空
ポンプおよびガスタンクとを有する真空熱処理装置にお
いて、 前記ガスタンクと、前記容器と、該容器より気体を吸引
する第二真空ポンプと、該第二真空ポンプにより排出さ
れた気体を圧縮する圧縮機とが順次接続されて循環閉流
路を形成し、前記圧縮機により圧縮された気体が前記ガ
スタンクに再充填可能となるように構成されたことを特
徴とする真空熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24083389A JPH03104817A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 真空熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24083389A JPH03104817A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 真空熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03104817A true JPH03104817A (ja) | 1991-05-01 |
Family
ID=17065375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24083389A Pending JPH03104817A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 真空熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03104817A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009287982A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Smc Corp | フローセンサ |
| EP3342884A1 (en) * | 2016-12-30 | 2018-07-04 | Shanghai Yibai Industrial Furnaces Co., Ltd. | High-pressure liquid-state or supercritical-state quenching apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS626362B2 (ja) * | 1977-09-19 | 1987-02-10 | Nippon Electric Co |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP24083389A patent/JPH03104817A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS626362B2 (ja) * | 1977-09-19 | 1987-02-10 | Nippon Electric Co |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009287982A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Smc Corp | フローセンサ |
| US7886592B2 (en) | 2008-05-28 | 2011-02-15 | Smc Kabushiki Kaisha | Flow sensor |
| EP3342884A1 (en) * | 2016-12-30 | 2018-07-04 | Shanghai Yibai Industrial Furnaces Co., Ltd. | High-pressure liquid-state or supercritical-state quenching apparatus |
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