JPH0288168A - コーン・テールチャック装置 - Google Patents

コーン・テールチャック装置

Info

Publication number
JPH0288168A
JPH0288168A JP63238923A JP23892388A JPH0288168A JP H0288168 A JPH0288168 A JP H0288168A JP 63238923 A JP63238923 A JP 63238923A JP 23892388 A JP23892388 A JP 23892388A JP H0288168 A JPH0288168 A JP H0288168A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
cone
main body
work
radial direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP63238923A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0692072B2 (ja
Inventor
Hiroyuki Ibe
伊部　宏幸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Handotai Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Handotai Co Ltd filed Critical Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority to JP63238923A priority Critical patent/JPH0692072B2/ja
Priority to US07/409,352 priority patent/US4934104A/en
Priority to DE68911099T priority patent/DE68911099T2/de
Priority to EP19890309667 priority patent/EP0361802B1/en
Publication of JPH0288168A publication Critical patent/JPH0288168A/ja
Publication of JPH0692072B2 publication Critical patent/JPH0692072B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B31/00—Chucks; Expansion mandrels; Adaptations thereof for remote control
    • B23B31/02—Chucks
    • B23B31/10—Chucks characterised by the retaining or gripping devices or their immediate operating means
    • B23B31/12—Chucks with simultaneously-acting jaws, whether or not also individually adjustable
    • B23B31/16—Chucks with simultaneously-acting jaws, whether or not also individually adjustable moving radially
    • B23B31/16195—Jaws movement actuated by levers moved by a coaxial control rod
    • B23B31/162—Details of the jaws
    • B23B31/16204—Form of the jaws
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B31/00—Chucks; Expansion mandrels; Adaptations thereof for remote control
    • B23B31/02—Chucks
    • B23B31/10—Chucks characterised by the retaining or gripping devices or their immediate operating means
    • B23B31/12—Chucks with simultaneously-acting jaws, whether or not also individually adjustable
    • B23B31/16—Chucks with simultaneously-acting jaws, whether or not also individually adjustable moving radially
    • B23B31/16195—Jaws movement actuated by levers moved by a coaxial control rod
    • B23B31/16229—Jaws movement actuated by levers moved by a coaxial control rod using mechanical transmission through the spindle
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B24B41/061—Work supports, e.g. adjustable steadies axially supporting turning workpieces, e.g. magnetically, pneumatically
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T279/00—Chucks or sockets
    • Y10T279/19—Radially reciprocating jaws
    • Y10T279/1973—Wedge actuated
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49995—Shaping one-piece blank by removing material
    • Y10T29/49996—Successive distinct removal operations

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業の利用分野） 本発明は、端部に円錐状部分（コーン・テール部）を有
するワークをチャッキングするコーン・テールチャック
装置に関する。
（技術の背景） 例えば、チョクラルスキー引上法（ＣＺ法）によって得
られる半導体単結晶インゴットはその端部に円錐状部分
（コーンテール部）を有するが、その後の研磨工程にお
いて該インゴットの両端を円筒研磨盤に支持せしめる必
要等から、当該インゴットの円錐状部分は切断除去され
ねばならない。
而して、上記インゴットの円錐状部分の切断作業におい
ては、インゴット側の切断面か高精度で、且つ切断終了
時などに切断片の重みてかけたリすることのないことか
必要であるが、この作業においてこのインゴットの円錐
状部分が傾斜をもった先細り形状であることに加えて、
不規則に外形が変化するため、これを確実に固定するこ
とか出来ず、従って理想的に切断することか困難であっ
たゆ 本発明は上記事情に基づいて成されたもので、その目的
とする処は１円錐状部分を確実にチャッキングして該ワ
ークに対する加工作業を容易化することかできるコーン
・テールチャック装置を提供するにある。
（課題を解決するための手段） 上記目的を達成すべく本発明は、ワークの軸方向に移動
自在な装置本体と、該装置本体にワークの半径方向に移
動可能に支持される複数の回転駆動手段と、各回転駆動
手段に取り付けられた研磨工具と、これら回転駆動手段
及び研磨工具をワークの半径方向に移動せしめる移動手
段を含んでコーン・テールチャック装置を構成したこと
を特徴とする。
（作用） 先ず、装置本体をワークの軸方向に移動せしめ、これに
支持された研磨工具がワークの円錐状部分に当接した時
点て該装置本体の移動を停止してこれをクランプする０
次に、各回転駆動手段を駆動して研磨工具を回転駆動す
るとともに、移動手段によってこれら回転駆動手段及び
研磨工具をワークの半径方向内方へ移動させれば、研磨
工具はワークの円錐状部分を削り込んていく。そして、
この研磨工具によるワークの削り込み量か一定値に達し
た時点で回転駆動手段及び研磨工具の半径方向移動を停
止させれば、ワーク円錐状部分は複数の研磨工具により
て均一、且つ確実にチャッキングされる。この際、研磨
工具か逆截頭円錐状形であれば、チャッキングはより完
全となる。
（実施例） 以下に本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する
。
第１図は本発明に係るコーン・テールチャック装置の縦
断側面図、第２図は第１図の矢視Ａ方向の図、第３図は
第２図の■−■線断面図、第４図（ａ）〜（８）は同コ
ーン・テールチャック装置によるワークのチャッキング
動作の説明図、第５図は同チャッキング動作のプロセス
チャートである。
第１図及び第２図に示すコーン・テールチャック装ｍｌ
において、２は装置本体であり、これはワークＷの軸方
向に延設されたテーブル３上にこれに沿って移動自在に
セットされており、該装置本体２の下部側方にはコーン
・テールチャック装置ｌ全体を適当な位置で固定するた
めのクランパー４が設けられている。
又、上記装置本体２の前壁２ａには３つの矩形ガイド部
５・・・か等角度ピッチ（１２０°ピツチ）で放射状に
形成されており、各ガイド部５の両側にはガイド溝５ａ
、５ａか形成されている（第２図及び第３図参照）、そ
して、各ガイド部５には、スライド部材６が該ガイド部
５のガイド溝５ａ、５ａに沿ってワークＷの半径方向に
移動自在に嵌合保持されており、該スライド部材６には
エアモータ７が水平に支持されていて該エアモータ７の
ワークＷ側に延出する出力軸７ａの端部には研磨砥石８
が結着されている。
一方、装置本体２の後壁２ｂにはエアシリンダ９が固設
されており、該エアシリンダ９から前方（第１図中、右
方）へ水平に延出するロット９ａは中壁２ｃ及び前壁２
ａにブツシュ１０．１１を介して摺動自在に支持されて
おり、該ロット９ａの中間にはストッパ１２及びスライ
ド用カム１３が結着されている。
上記スライド用カム１３は、前方（第１図中、右方）に
向かりて先細りの截頭円錐状に成形され、その外周面に
は３つのカム溝１３ａ・・・か等角度ピッチで軸方向に
形成されており、各カム溝１３ａには・前記スライド部
材６から一体に延出するＬ字状のガイド片６ａの先部が
摺動自在に嵌合している。
尚、前記エアモータ７及びエアシリンダ９は不図示の圧
縮エア供給源に連結されている。又、図中、１４は装置
本体２外へ開口する集塵用フードであり、これは不図示
の集塵機に連結されている。次に、本コーン・テールチ
ャック装２ｔｌによるワークＷのチャッキング動作を第
４図及び第５図に基づいて説明する。
先ず、第４図（ａ）に示すようにチャック装置ｌ及びワ
ークＷをテーブル３上にセットし、チャック装置ｌの研
磨砥石８・・・とワークＷの円錐状部分（コーン・テー
ル部）Ｗａとを相対向せしめる（第５図のステップｌ）
。尚、ワークＷはクランパー１５によってテーブル３上
に固定されている。
次に、第４図（ｂ）に示すようにチャ・ンク装置！全体
をテーブル３にそって矢印方向に前進せしめ（第５図の
ステップ２）、これに支持された研磨砥石８・・・かワ
ークＷの円錐状部分Ｗａに当接した時点で該チャック装
置１の移動を停止してクランパー４を操作して当該チャ
ック装置ｌ全体を固定する（第５図のステップ３）。
上記のようにチャック装置１を固定した後、エアモータ
フ・・・を駆動して研磨砥石８・・・を回転せしめる（
第５図のステップ４）。尚、このとき、スライド用カム
１３は第１図の実線にて示す位はにあり、これのカム溝
１３ａ・・・に嵌合するスライド部材６・・・、該スラ
イド部材６・・・に保持されたエアモータ７・・・及び
該エアモータ７・・・に堆り付けられた研磨砥石８・・
・も第１図及び第２図に実線にて示す位置にある。
その後、エアシリンダ９を駆動してこれのロット９ａを
第１図の矢印方向へ後退せしめれば、該ロット９ａに結
着されたスライド用カムＬ３も一体に後退して第１図の
鎖線にて示す位ごに移動する。このようにスライド用カ
ム１３か移動すると、これの外周に形成されたカム１１
１’）１３・・・に嵌合するスライド部材６・・・は、
第１図及び第２図中、鎖線にて示すようにエアモータ７
・・・及び研磨砥石８・・・と共にワークＷの径方向内
方に向かってスライドする（第４図（ｃ）及び第５図の
ステップ５参照）。
上記のように回転中の研磨砥石８・・・かワークＷの径
方向内方ヘスライトせしめられると、ワークＷの円錐状
部分Ｗａはこれら研磨砥石８・・・によってその３箇所
か削り込まれる。そして、この研磨砥石８・・・による
ワークＷの円錐状部分Ｗａの削り込み量が一定値に達し
た時点でエアモータ７及びエアシリンダ９への圧縮エア
の供給を遮断して研磨砥石８・・・の回転及び径方向内
方へのスライドを停止させれば（第５図のステップ６）
、ワークＷの円錐状部分Ｗａはこれら研磨砥石８・・・
によってその３箇所を均一、且つ確実にチャッキングさ
れる（第４図（ｄ）参照）。
上記研磨砥石８・・・によるワークＷの円錐状部分Ｗａ
のチャッキングがなされた後、第４図（ｄ）に示すよう
にテーブル３全体を一定速度で昇せしめると、ワークＷ
の円錐状部分Ｗａが不図示の駆動手段によって回転駆動
されているカッターブレート１６によって切断される（
ｔ５５図のステップ７）、このとき、ワークＷの円錐状
部分Ｗａは前述のように確実にチャッキングされている
ため。
この切断作業は作業性良く、高精度に、且つ容易になさ
れる。
而して、上記切断作業が絆了すると、クランパー４（第
２図参照）によるチャック装置ｌの固定を解除しく第５
図のステップ８）、第４図（ｅ）に示すようにチャツク
装置１全体を矢印方向に後退させれば（第５図のステッ
プ９）、切断されたワークＷの円錐状部分Ｗａはチャッ
ク装Ｗ１１に保持されて回収され（第５図のステップｉ
ｏ）、−連のチャッキング作業及び切断、回収作業か終
了する（第５図のステップ１１）。
尚、以上の実施例においては、研磨砥石の回転駆動手段
、移動手段として、特にエアモータ、エアシリンダを用
いたか、これらに限定されず、他の任意の駆動手段を用
いることができる。
（発明の効果） 以上の説明で明らかな如く本発明によれば、ワークの軸
方向に移動自在な？ｔｍ本体と、該装置本体にワークの
半径方向に移動可能に支持される複数の回転駆動手段と
、各回転駆動手段に取り付けられた研磨工具と、これら
回転駆動手段及び研磨工具をワークの半径方向に移動せ
しめる移動手段を含んでコーン・テールチャック装置を
構成したため、ワークの円錐状部分を確実にチャッキン
グして該ワークに対する加工作業を容易化することがで
きるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係るコーンテールチャック装置の縦断
側面図、第２図は第１図の矢視Ａ方向の図、第３図は第
２図のｍ−■線断面図、第４図（ａ）〜（ｂ）は同コー
ン・テールチャック装置によるワークのチャッキング動
作の説明図、第５図は同チャッキング動作のプロセスチ
ャートである。 ｌ・・・コーン・テールチャック装置、２・・・装置本
体、６・・・スライド部材、７・・・エアモータ（回転
駆動手段）、８・・・研磨砥石（研磨工具）、９・・・
エアシリンダ（移動手段）、１３・・・スライド用カム
（移動手段）、１３ａ・・・カム溝、Ｗ・・・ワーク。 特許出願人　　　信越半導体株式会社 代理人　弁理士　　　　　山　　下　亮　　−第１図 第２図 第３図 手続補正書 （方 式） ％式％ １９．事件の表示 昭和６３年特許願第２３８９２３号 ２、発明の名称 コーン・テールチャック装置 （発進口 昭和６３年１２月２０日） ６、補正の対象 明細書の「図面の簡単な説明」の欄 を、 ？　（ａ）〜（ｅ） Ｊと訂正する。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）ワークの軸方向に移動自在な装置本体と、該装置
    本体にワークの半径方向に移動可能に支持される複数の
    回転駆動手段と、各回転駆動手段に取り付けられた研磨
    工具と、これら回転駆動手段及び研磨工具をワークの半
    径方向に移動せしめる移動手段を含んで構成されるコー
    ン・テールチャック装置。
  2. （２）前記回転駆動手段は、エアモータにて構成される
    請求項１記載のコーン・テールチャック装置。
  3. （３）前記移動手段は、前記装置本体に固設されたエア
    シリンダと、該エアシリンダから延出し、ワークの軸方
    向に進退するロッドに結着された裁頭円錐状のスライド
    用カムと、該スライド用カムの外周面に形成されたカム
    講に係合するとともに、前記回転駆動手段を支持し、装
    置本体にワークの半径方向に移動自在に支持される複数
    のスライド部材を含んで構成される請求項１記載のコー
    ン・テールチャック装置。
JP63238923A 1988-09-26 1988-09-26 コーン・テールチャック装置 Expired - Lifetime JPH0692072B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63238923A JPH0692072B2 (ja) 1988-09-26 1988-09-26 コーン・テールチャック装置
US07/409,352 US4934104A (en) 1988-09-26 1989-09-19 Cone tail chuck apparatus, and a method for using the same apparatus
DE68911099T DE68911099T2 (de) 1988-09-26 1989-09-22 Vorrichtung zum Festspannen vom kegelförmigen Ende eines Werkstückes und Verfahren zur Anwendung dieser Vorrichtung.
EP19890309667 EP0361802B1 (en) 1988-09-26 1989-09-22 A cone tail chuck apparatus, and a method for using the same apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63238923A JPH0692072B2 (ja) 1988-09-26 1988-09-26 コーン・テールチャック装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0288168A true JPH0288168A (ja) 1990-03-28
JPH0692072B2 JPH0692072B2 (ja) 1994-11-16

Family

ID=17037283

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63238923A Expired - Lifetime JPH0692072B2 (ja) 1988-09-26 1988-09-26 コーン・テールチャック装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4934104A (ja)
EP (1) EP0361802B1 (ja)
JP (1) JPH0692072B2 (ja)
DE (1) DE68911099T2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE513705C2 (sv) * 1998-12-30 2000-10-23 Lidkoeping Machine Tools Ab Abraderande maskin för bearbetning av mantelytan hos ett cylindriskt arbetsstycke
US9950402B2 (en) 2012-12-31 2018-04-24 Corner Star Limited System and method for aligning an ingot with mounting block
US9272442B2 (en) 2012-12-31 2016-03-01 Sunedison, Inc. Methods for aligning an ingot with mounting block
JP2017511427A (ja) * 2013-12-20 2017-04-20 サンドビック インテレクチュアル プロパティー アクティエボラーグ クラッド構成要素を製造するための方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3124907A (en) * 1964-03-17 Dralle
US2398906A (en) * 1943-05-13 1946-04-23 Western Electric Co Article working apparatus
FR1068007A (fr) * 1952-09-12 1954-06-22 Porte-meule de rectification pour rectifieuse à têtes multiples
DE2113328A1 (de) * 1971-03-19 1972-09-21 Lang Rudi M Kraftspannfutter fuer Werkzeugmaschinen od.dgl.
US3995400A (en) * 1975-05-07 1976-12-07 Results Engineering, Inc. Honing tool slot liner and abrasive retainer
FR2571295B1 (fr) * 1984-10-08 1988-04-22 Legrand Henri Frederic Dispositif pour le debitage de billes de bois et l'execution de frises a partir desdites billes
JPH0115452Y2 (ja) * 1985-11-06 1989-05-09

Also Published As

Publication number Publication date
DE68911099T2 (de) 1994-06-16
EP0361802B1 (en) 1993-12-01
JPH0692072B2 (ja) 1994-11-16
DE68911099D1 (de) 1994-01-13
US4934104A (en) 1990-06-19
EP0361802A3 (en) 1991-05-08
EP0361802A2 (en) 1990-04-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2000078502A3 (en) Positive feed tool having retractable members
CN108907915B (zh) 一种用于刀片磨削的加工磨床
JPH0288168A (ja) コーン・テールチャック装置
JP2004174627A (ja) 切削研削方法とその装置
JPS6234720A (ja) 歯切加工装置
US3906683A (en) Sharpening method
CN209867478U (zh) 用于探针针头加工的高效铣齿装置
CN209408074U (zh) 一种用于磨床的刀具夹持装置
CN114346277A (zh) 一种具有纠偏功能的高铁预应力锚具加工扩孔装置
JPH05277802A (ja) パイプ等の面取装置
JPH1094949A (ja) ドリル研削装置
JPH03268859A (ja) アルミホィールの鋳バリ除去方法及びアルミホィール用フランジバリ除去装置
CN215547521U (zh) 一种用于薄膜动力卡盘加工的打磨装置
CN220007148U (zh) 一种金属加工用去毛刺机构
CN116276181A (zh) 一种基于仪器仪表生产用工装夹具
CN214134860U (zh) 一种半轴套筒打磨装置
CN217914471U (zh) 一种毛刺自动打磨机构设备
US4364204A (en) Apparatus for machining a number of workpieces with one tool
CN220446162U (zh) 超精研磨机
JPH0919857A (ja) スライシング装置により切り出されるウェハの面取り方法及び装置並びに面取り用砥石
JPH01103203A (ja) 棒状材の両端加工装置
JPH11347901A (ja) ツルーイング工具及びツルーイング工具付きウェーハ面取り装置
CN205497183U (zh) 动力工具及其附件
JPS63229201A (ja) タレツト旋盤
JPS63237810A (ja) 旋削ブロ−チ盤