DE68911099T2

DE68911099T2 - Vorrichtung zum Festspannen vom kegelförmigen Ende eines Werkstückes und Verfahren zur Anwendung dieser Vorrichtung.

Info

Publication number: DE68911099T2
Application number: DE68911099T
Authority: DE
Inventors: Hiroyuki Ibe
Original assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date: 1988-09-26
Filing date: 1989-09-22
Publication date: 1994-06-16
Anticipated expiration: 2009-09-23
Also published as: DE68911099D1; US4934104A; JPH0692072B2; EP0361802B1; EP0361802A3; EP0361802A2; JPH0288168A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kegelende-Festspanneinrichtung oder -vorrichtung zum Festspannen eines Werkstückes mit einem kegelförmigen Endabschnitt oder kegelförmigen Endabschnitten sowie ein Verfahren zur Anwendung seibiger Vorrichtung.
Ein Beispiel für ein derartiges Werkstück, das mit der erfindungsgemäßen Kegelende-Festspannvorrichtung festgespannt werden kann, ist ein unbearbeiteter Halbleiter-Einkristallblock, der im Czochralski-Verfahren hergestellt wird. Die kegelförmigen Enden des Einkristallblocks werden vom Hauptkörper des Blocks so abgetrennt, daß der verbleibende Körper des Blocks eine Form eines geraden Zylinders annimmt, was notwendig ist, da der Einkristallblock beim folgenden Schleifverfahren an seinen Enden gerade und fest von einer Rundschleifmaschine gehalten werden muß.
Um beim Schleifvorgang hohe Genauigkeit zu erzielen, ist es erforderlich, die kegelförmigen Enden des Blocks so abzuschneiden, daß die entstehenden Schnittebenen parallel zueinander sind und ungefähr senkrecht zur Mittellinie des Blocks, und so, daß die Schnittflächen und Kanten von Kerben frei sind, die oft dadurch entstehen, daß im letzten Stadium des Abtrennens das Gewicht des kegelförmigen Endabschnitts als Biegespannung auf die dünne Verbindung wirkt und die Verbindung schließlich abgebrochen wird, ahne daß sie vollständig durchgeschnitten ist. Um den Bruch zu verhindern, ist es erforderlich, den kegelförmigen Endabschnitt sowie den Hauptkörper des Blocks aufliegend zu halten, während der Abtrennvorgang abläuft. Da jedoch die kegelförmigen Endabschnitte des Blocks konisch sind und sich ihre Formen von Block zu Block unregelmäßig ändern, und auch, weil die konischen Flächen der Endabschnitte von Natur aus glatt sind, ist es bisher sehr schwierig gewesen, die Endabschnitte mechanisch festzuspannen. Daher war es sehr schwierig, die Endabschnitte der Blöcke mit hoher Genauigkeit und ohne die Erzeugung von Kerben abzuschneiden.
Es ist auf die Offenbarungen von DE-A-2113328 und US-A- 3124907 zu verweisen, die den technischen Hintergrund der vorliegenden Erfindung darstellen.
Die vorliegende Erfindung wurde daher mit dem Ziel der Schaffung einer Kegelende-Festspannvorrichtung entwickelt, die in der Lage, ist ein Werkstück zu befestigen (festzuspannen), das einen kegelförmigen Abschnitt aufweist, und die es damit erleichtert, das Werkstück mit hoher Genauigkeit außen zu schleifen.
Die Erfindung zielt auch auf die Schaffung eines Verfahrens zum effektiven Betreiben der erfindungsgemäßen Kegelende- Festspannvorrichtung
Die vorliegende Erfindung schafft eine Kegelende-Festspannvorrichtung, die umfaßt:
eine Vielzahl von Schleifeinrichtungen in der Form von Schleifsteinen, die in einem Kreis angeordnet sind;
eine erste Antriebseinrichtung in Form von Druckluftmotoren, die jeweils eine Drehstange aufweisen, die einen Schleifstein am Ende trägt;
eine zweite Antriebseinrichtung, die einen Druckluftzylinder und einen Antriebsmechanismus umfaßt, wobei letzterer umfaßt:
eine Hauptstange, die sich, durch den Druckluftzylinder angetrieben, in der axialen Richtung frei hin- und herbewegen kann;
einen um die Hauptstange herum befestigten Nocken, der soviele Nuten hat, wie der Anzahl der Schleifsteine entspricht, wobei die Nuten zur Achse der Hauptstange gleichmäßig abgeschrägt sind;
Kupplungseinrichtungen, die den Nocken mit den Druckluftmotoren kuppeln, wobei jede Kupplungseinrichtung einen Armabschnitt hat, der gleitend in die entsprechende Nut in dem Nocken eingreift, und jede Kupplungseinrichtung einen Gleitabschnitt aufweist, der den entsprechenden Druckluftmotor stationär hält; und
eine Gestelleinrichtung, die ein Gestell mit einer Vorderwand umfaßt, die hohle Führungen aufweist, die die Gleitabschnitte der Kupplungseinrichtungen so führen, daß jede Kupplungseinrichtung radial beweglich, axial jedoch unbeweglich ist, sowie mit einer Hinterwand, an der der Druckluftzylinder angebracht ist, wobei beide Wände zusammen die verschiebbare Hauptstange tragen.
Die Schleifsteine laufen vorzugsweise nach hinten konisch zu.
Der Nocken hat daüber hinaus vorzusweise die Form eines nach vorn konisch zulaufenden Kegelstumpfes.
Die wie oben beschrieben konstruierte erfindungsgemäße Vorrichtung arbeitet wirkungsvoll und erfüllt die Aufgabe der Erfindung, wenn sie gemäß dem folgenden Verfahrenn betrieben wird, das die folgenden Schritte umfaßt:
(i) Einspannen eines Werkstückes mit einem kegelförmigen Abschnitt, so daß die Mittellinie des kegelförinigen Abschnitts des Werkstückes mit der Mittellinie der Hauptstange zusammenfällt;
(ii) zentripetale Bewegung der Schleifeinrichtungen in Richtung des Werkstückes, bis die an den Enden der Drehstangen vorhandenen Schleifeinrichtungen an die konische Fläche des kegelförmigen Abschnitts des Werkstückes gedrückt werden;
(iii)Betreiben der Druckluftmotoren (erste Antriebseinrichtung), um Drehung der Drehstangen um ihre Achsen zu bewirken;
(iv) Betätigung der Druckluftzylinder, um die Hauptstange rückwärts zu drücken, wodurch sich der Nocken rückwärts bewegt und die axial unbeweglichen Kupplungseinrichtungen radial in Richtung der Achse der Hauptstange drückt, wodurch die entsprechenden Schleifeinrichtungen die konische Fläche des kegelförmigen Abschnitts des Werkstückes schleifen und Vertiefungen darin erzeugen; und
(v) Betreiben des Druckluftmotors, um die Beendigung des Drehens der Drehstangen zu bewirken, wenn festgestellt wird, daß sich die Hauptstange um ein vorgegebenes Maß zurückgezogen hat.
Gemäß der oben beschriebenen Vorrichtung und des Verfahrens der Erfindung greift die Kegelende-Festspannvorrichtung mittels ihrer Schleifeinrichtung (Schleifsteine), die radial nach innen gedrückt werden, das Werkstück fest in den Vertiefungen, die sie in der konischen Fläche des kegelförmigen Abschnitts des Werkstückes erzeugt hat, so daß der kegelförmige Abschnitt durch die Kegelende-Festspannvorrichtung fest eingespannt wird und das Gewicht des kegelförmigen Abschnitts ständig von der Kegelende-Festspannvorrichtung getragen wird, wodurch es inöglich wird, die kegelförmigen Endabschnitte der Werkstücke so abzutrennen, daß die entstehende Schnittfläche ein Kreis ist, der ungefähr senkrecht zur Mittellinie des kegelförmigen Abschnitts liegt, und die Schnittflächen und -kanten frei von Kerben sind.
Obwohl die Form der Schleifeinrichtung, die am Ende der Drehstangen befestigt werden, willkürlich gewählt werden kann, wenn sie nach hinten konisch zuläuft, hat die Schleifeinrichtung vorzugsweise die Form eines Kegelstumpfes, und jede Schleifeinrichtung ist am freien Ende jeder Drehstange so befestigt, daß die Mittellinie des Kegelstuinpfes mit der Achse der Drehstange zusammenfällt, wobei die abgeschnittene Endfläche dem festzuspannenden Werkstück rückwärts zugewandt ist.
Bei dieser bevorzugten Anordnung wird der kegelförmige Abschnitt des Werkstücks fester eingespannt.
Die Erfindung wird anhand einer bevorzugten Ausführung derselben besser verständlich, die unter Bezugnahme auf die folgenden Figuren beschrieben wird.
Fig. 1 ist ein Längsschnitt durch eine erfindungsgemäße Kegelende-Festspannvorrichtung mit zusätzlichen Bauteilen und einem abzutrennenden Werkstück;
Fig. 2 ist eine Ansicht der in Fig. 1 abgebildeten Kegelende-Festspannvorrichtung in der Richtung, die durch einen Pfeil A in Fig. 1 angedeutet ist;
Fig. 3 ist ein Teilschnitt entlang der Ebene von Linie III - III in Fig. 2;
Fig. 4a zeigt die Kegelende-Festspannvorrichtung und ein Werkstück, die auf einem Führungstisch aufeinander ausgerichtet sind;
Fig. 4b zeigt die Kegelende-Festspannvorrichtung und ein Werkstück, wobei die Schleifsteine an den kegelförmigen Abschnitt des Werkstückes gedrückt werden;
Fig. 4c zeigt die Kegelende-Festspannvorrichtung und ein Werkstück, wobei sich die Schleifsteine drehen und sich auf die Achse des kegelförmigen Abschnitts des Werkstückes zu bewegen;
Fig. 4d zeigt die Kegelende-Festspannvorrichtung und ein Werkstück, wobei sie auf dem Führungstisch angehoben werden, um durchgeschnitten zu werden; und
Fig. 4e zeigt die Kegelende-Festspannvorrichtung und ein Werkstück, wobei das Kegelende-Spannfutter vom Werkstück wegbewegt wird und so den kegelförmigen Abschnitt abtrennt.
Unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen wird die Erfindung im folgenden ausführlich auf der Grundlage ihrer Ausführung beschrieben.
Bei einer Kegelende-Festspannvorrichtung, die in Fig. 1 und 2 mit einem Bezugszeichen 1 gekennzeichnet ist, ist ein Gestell 2 gleitend auf einem geradlinigen Führungstisch 3 angebracht, der den Querschnitt eines umgekehrten gleichschenkligen Trapezes hat. Eine flache und breite Nut ist an der Oberseite des horizontalen Führungstisches 3 angefertigt, und das Gestell 2 kann glatt auf dem Führungstisch 3 und an ihm entlang gleiten. Eine Klemmschraube 4 befindet sich im Unterteil des Gestells 2, und klemmt, wenn sie ausreichend eingeschraubt wird, das Gestell 2 fest, wodurch sich die Kegelende-Festspannvorrichtung nicht auf dem Führungstisch 3 bewegen kann.
Drei hohle Führungen 5 befinden sich in einer kreisförmigen Vorderwand 2a des Gestells 2. Die hohlen Führungen 5 haben im allgemeinen rechteckigen Querschnitt und sind radial zu den Seitenwänden und im gleichen Winkel um eine Hauptstange 9a herum angeordnet, die das Gestell 2 horizontal durchdringt, wobei sie die kreisförmige Vorderwand 2a im Mittelpunkt derselben durchdringt. Jede Führung 5 weist ein Paar paralleler Führungsnuten 5a auf, deren Schwalbenschwanz- Querschnitt in die Vorderwand 2a geschnitten ist. Jedes Paar der Führungsnuten 5a ist gleitend mit ein Paar Schienen eines Gleitelementes 6 mit dem gleichen Schwalbenschwanz-Querschnitt im Eingriff, das dadurch in der Führung 5 (Fig. 2 und 3) aufgenommen wird. Wenn die Schienen des Gleitelementes 6 in den Führungsnuten 5a gleiten, bewegt sich das Gleitelement 6 in der Führung 5, wie dies durch Zweipunkt- Strich-Linien in Fig. 1 und 2 dargestellt ist.
Jedes Gleitelement 6 trägt einen Druckluftmotor 7 so, daß sich die Antriebswelle 7a (Drehstange) horizontal vom Druckluftinotor 7 aus erstreckt. Ein Schleifstein 8 mit der Form eines Kegelstumpfes ist am freien Ende jeder Antriebswelle 7a angebracht, wobei die größere Abschlußfläche des Kegelstumpfes nach vorne gewandt ist (in Richtung des kegelförmigen Körpers).
Ein Druckluftzylinder 9 ist fest an der Rückseite einer Rückwand 2b des Gestells 2 vorhanden. Das hintere Ende der horizontalen Hauptstange 9a ist in dem Druckluftzylinder aufgenommen. Die Hauptstange 9a wird über schmierende Laufbuchsen 11 bzw. 10 auch von der Vorderwand 2a und einer Mittelwand 2c getragen. Ein Anschlag 12 ist an einer geeigneten Stelle zwischen der Mittelwand 2c und der Rückwand 2b fest an der Hauptstange 9a angebracht. Des weiteren ist ein Nocken 13 an einer geeigneten Stelle zwischen der Vorderwand 2a und der Mittelwand 2c an der Hauptstange 9a festgeklemmt.
Der Nocken 13, der zum Vorderende desselben konisch zuläuft, hat die Form eines Kegelstumpfes. Drei Nockennuten 13a sind in der gekrümmten Oberfläche des Nockens 13 vorhanden. Diese Nockennuten 13a sind in bezug auf die Achse der Hauptstange 9a im gleichen Winkel angeordnet, so daß jede Nockennut winklig dem entsprechenden Gleitelement 6 entspricht. Ein wie ein Buchstabe "L" geformter Arm 6a erstreckt sich fest damit verbunden von jedem Gleitelement 6a, wobei sein Ende gleitend in der entsprechenden Nockennut 13a aufgenommen ist. Der L-förmige Arm 6a und das Gleitelement 6 bilden eine Kupplungseinrichtung, die den Nocken 13 gleitend an den Druckluftmotor 7 kuppelt.
Der Druckluftmotor 7 und der Druckluftzylinder 9 sind pneumatisch mit einer Druckluftzufuhr verbunden, die nicht dargestellt ist. Jeder Druckluftmotor 7 treibt die entsprechende Antriebswelle 7a mit hohen Geschwindigkeiten an, die davon abhängig sind, aus welchem Material das zu bearbeitende Werkstück W besteht. Der Druckluftzylinder 9 bewegt die Hauptstange 9a hin und her.
Die Nockennuten 13a, die in der Oberfläche des konischen Nockens 13 ausgeformt sind, sind so geformt, daß, wenn die Hauptstange 9a nach vorne verschoben wird, sich die axial unbeweglichen Gleitelemente 6 in den entsprechenden Führungen 5 radial nach außen bewegen und umgekehrt. Es versteht sich daher, daß die drei Antriebswellen 7a (Drehstangen) stets parallel zur Hauptstange 9a sind, immer den gleichen Abstand von der Hauptstange 9a haben, sich stets im gleichen Winkel in bezug auf die Hauptstange 9a befinden und ihre vorderen Enden, die die Schleifsteine tragen, in einer Ebene, die senkrecht zur Achse der Hauptstange 9a liegt, stets bündig miteinander sind.
In Fig. 1 und 2 bezeichnet Bezugszeichen 14 eine Haube, die im Unterteil der Vorderwand 2a zum Staubabsaugen vorhanden ist. Die Haube 14 hat eine Trichteröffnung, die sich nach vorne öffnet und den Staub ansaugt. Das andere Ende der Haube 14 ist an einen Staubbehälter mit einer Ansaugpumpe angeschlossen, der nicht dargestellt ist.
Im folgenden wird unter Bezugnahme auf die Figuren erläutert, wie das Werkstück W mittels der Kegelende-Festspannvorrichtung 1 gemäß dem Verfahren der vorliegenden Erfindung eingespannt wird.
Die Festspannvorrichtung 1 und das Werkstück W mit einem kegelförmigen Abschnitt Wa werden, wie in Fig. 4a dargestellt, voneinander beabstandet auf dem Führungstisch 3 angebracht. Zu diesem Zeitpunkt wird festgestellt, ob die Hauptstange 9a die ausgefahrene Stellung einnimmt, wie dies in Fig. 1 und 2 der Fall ist. Wenn sie die ausgefahrene Stellung nicht einnimmt, wird der Druckluftzylinder 9 betätigt, wodurch die Hauptstange 9a nach vorne in die ausgefahrene Stellung geschoben wird, und dadurch die L-förmigen Arme 6a, die Gleitelemente 6, die Druckluftmotoren 7, die Antriebswellen 7a und die Schleifsteine 8 zusammen durch die Wirkung des Nockens 13 mit seinen Gleitnuten 13a radial nach außen gedrückt werden. Es wird darüber hinaus dafür gesorgt, daß die Vorderseite der Festspannvorrichtung 1 dem kegelförmigen Abschnitt Wa des Werkstückes W zugewandt ist, das sorgfältig auf einem Paar verschiebbarer Ständereinrichtungen so befestigt wird, daß die Mittellinie des Werkstückes W mit der Mittellinie der Hauptstange 9a der Festspannvorrichtung 1 zusammenfällt. Ein Spanner 15 wird verwendet, um das Werkstück W von Bewegung auf dem Führungstisch 3 auf den verschiebbaren Ständereinrichtungen abzuhalten.
In Fig. 4b wird die Festspannvorrichtung 1 entlang der Führung 3 auf das Werkstück W zu bewegt, bis die an den freien Enden der Antriebswellen 7a vorhandenen Schleifsteine 8 an die kegelförmigen Abschnitte Wa des Werkstückes W gedrückt werden. Anschließend wird die Klemmschraube 4 eingeschraubt, bis der Rahmen 2 am Führungstisch 3 festgeklemmt ist.
Danach wird der Druckluftmotor 7 betrieben, wodurch sich die Schleifsteine 8 mit hoher Geschwindigkeit drehen und der Schleifvorgang beginnt. Gleichzeitig wird die nicht dargestellte Ansaugpumpe für die Staubansaugvorrichtung 14 in Gang gesetzt, um den Staub anzusaugen, der vom kegelförmigen Abschnitt Wa des Werkstückes W abfällt.
Beim Fortgang des Schleifvorgangs wird der Druckluftzylinder 9 so betätigt, daß die Hauptstange 9a langsam in den Druckluftmotor 9 eingezogen wird (Fig. 4c). Wenn die Hauptstange 9a zusammen mit dem Nocken 13 langsam zurückgezogen wird, gleiten die Enden der L-förmigen Arme in den entsprechenden Gleitnuten 13a in Richtung der vorderen Seitenenden der Nuten 13a, wodurch Gleitelemente 6 zusammen mit den Druckluftmotoren 7 in den hohlen Führungen 5 radial nach innen gleiten (Fig. 2).
Wenn schließlich die Hauptstange 9a um ein bestimmtes Maß aus der ausgefahrenen Stellung gezogen worden ist, wobei dieses Maß durch die Position des Anschlags 12 bestimmt wird, nehmen die Schleifsteine 8 wie auch alle ineinandergreifenden Teile die neuen Stellungen ein, die durch die Zweipunkt-Strich-Linien in Fig. 1 und 2 angedeutet sind. In diesem Augenblick wird die Zufuhr von Druckluft zu den Druckluftmotoren 7 abgestellt, wodurch die Drehbewegung der Drehstange 7a und der Schleifvorgang der Schleifsteine 8 beendet werden.
Durch die radiale, nach innen gerichtete Bewegung der Schleifsteine 8 werden drei im gleichen Winkel angeordnete Vertiefungen in der konischen Fläche des kegelförmigen Abschnitts Wa des Werkstückes W hergestellt, wobei eine der Vertiefungen in Fig. 1 dargestellt ist. Da die Schleifsteine 8 die Form von Kegelstümpfen haben, wobei die größere Abschlußfläche dem Werkstück W zugewandt ist, haben die Kanten der Schleifsteine den Umriß eines spitzen Winkels. Folglich haben die Vertiefungen, die durch die Kanten der Schleifsteine hergestellt werden, einen Umriß, der einen spitzen Winkel einschließt (Fig. 1). Aufgrund dieser Tatsache lassen die Schleifsteine 8 keine Bewegung des Werkstückes in der axialen Richtung zu. Daher hält die Festspannvorrichtung 1, sei das Werkstück W auch noch so glatt, den kegelförmigen Abschnitt Wa des Werkstücks W fest, und das Gewicht des kegelförmigen Abschnitts Wa wird ständig von der Festspannvorrichtung 1 getragen.
Wenn das Festspannen des Werkstückes W an seinem kegelförmigen Abschnitt damit vollendet ist, wird ein Schneidmesser 16 in Betrieb gesetzt und dreht sich mit einer hohen Geschwindigkeit, und der Führungstisch 3 wird mit einer gleichmäßigen Geschwindigkeit angehoben (Fig. 4d). Wenn der Schneidvorgang abgeschlossen ist, wird die Klemmschraube 4 gelöst und die Festspannvorrichtung 1 rückwärtsbewegt (Fig. 4e), wodurch der kegelförmige Abschnitt Wa vom Hauptkörper des Werkstückes W weggetragen wird.
Da der kegelförmige Abschnitt Wa des Werkstückes W während des Schneidvorgangs stets fest von der Festspannvorrichtung 1 gehalten wird, zittert das Werkstück auch dann nicht, wenn es fast vom Hauptkörper des Werkstückes W abgetrennt ist, und sein Gewicht wirkt nicht auf die dünner werdende Verbindung. Daher ist es möglich, ein Werkstück herzustellen, dessen beide Enden genau und ohne Kerben geschnitten sind. Mit diesen genau zylindrischen Werkstücken ist es möglich, den folgenden Schleifvorgang mit hohem Wirkungsgrad und hoher Genauigkeit auszuführen.

Claims

1. Kegelende-Festspannvorrichtung (1), die umfaßt:

(i) eine Vielzahl von Schleifeinrichtungen in der Form von Schleifsteinen (8), die in einem Kreis angeordnet sind;

(ii) eine erste Antriebseinrichtung in Form von Druckluftmotoren (7), die jeweils eine Drehstange (7a) aufweisen, die einen Schleifstein am Ende trägt;

(iii)eine zweite Antriebseinrichtung, die einen Druckluftzylinder (9) und einen Antriebsmechanismus umfaßt, wobei letzterer umfaßt:

eine Hauptstange (9a), die sich, durch den Druckluftzylinder angetrieben, in der axialen Richtung frei hin- und herbewegen kann;

einen um die Hauptstange herum befestigten Nocken (13), der soviele Nuten (13a) hat, wie der Anzahl der Schleifsteine entspricht, wobei die Nuten zur Achse der Hauptstange gleichmäßig abgeschrägt sind;

Kupplungseinrichtungen, die den Nocken mit den Druckluftmotoren kuppeln, wobei jede Kupplungseinrichtung einen Armabschnitt (6a) hat, der gleitend in die entsprechende Nut in dem Nocken eingreift, und jede Kupplungseinrichtung einen Gleitabschnitt (6) aufweist, der den entsprechenden Druckluftmotor stationär hält; und

(iv) eine Gestelleinrichtung, die ein Gestell (2) mit einer Vorderwand (2a) umfaßt, die hohle Führungen (5) aufweist, die die Gleitabschnitte der Kupplungseinrichtungen so führen, daß jede Kupplungseinrichtung radial beweglich, axial jedoch unbeweglich ist, sowie mit einer Hinterwand (2b), an der der Druckluftzylinder angebracht ist, wobei beide Wände zusammen die verschiebbare Hauptstange tragen.

2. Kegelende-Festspannvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleifsteine nach hinten konisch zulaufen.

3. Kegelende-Feststellvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Nocken die Form eines nach vorne konisch zulaufenden Kegelstumpfes hat.

4. Verfahren zum Festspannen eines kegelförmigen Abschnitts (Wa) eines Werkstückes (W) unter Verwendung einer Kegelende-Festspannvorrichtung (l) nach Anspruch 1, wobei das Verfahren folgende Schritte umfaßt:

(i) Einspannen eines Werkstückes mit einem kegelförmigen Abschnitt (Wa), so daß die Mittellinie des kegelförmigen Abschnitts des Werkstückes mit der Mittellinie der Hauptstange (9a) zusammenfällt;

(ii) zentripetale Bewegung der Schleifeinrichtungen (8) in Richtung des Werkstückes, bis die an den Enden der Drehstangen (7a) vorhandenen Schleifeinrichtungen an die konische Fläche des kegelförmigen Abschnitts des Werkstückes gedrückt werden;

(iii)Betreiben der Druckluftmotoren (7) (erste Antriebseinrichtung), um Drehung der Drehstangen um ihre Achsen zu bewirken;

(iv) Betätigung der Druckluftzylinder (9), um die Hauptstange rückwärts zu drücken, wodurch sich der Nocken (13) rückwärts bewegt und die axial unbeweglichen Kupplungseinrichtungen zur radialen Bewegung in Richtung der Achse der Hauptstange zwingt, wodurch die entsprechenden Schleifeinrichtungen die konische Fläche des kegelförmigen Abschnitts des Werkstückes schleifen und Vertiefungen darin erzeugen; und

(v) Betreiben des Druckluftmotors, um die Beendigung des Drehens der Drehstangen zu bewirken, wenn festgestellt wird, daß sich die Hauptstange um ein vorgegebenes Maß zurückgezogen hat.