JPH0692072B2 - コーン・テールチャック装置 - Google Patents

コーン・テールチャック装置

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JPH0692072B2
JPH0692072B2 JP63238923A JP23892388A JPH0692072B2 JP H0692072 B2 JPH0692072 B2 JP H0692072B2 JP 63238923 A JP63238923 A JP 63238923A JP 23892388 A JP23892388 A JP 23892388A JP H0692072 B2 JPH0692072 B2 JP H0692072B2
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宏幸 伊部
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    • B28D5/0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23B31/00Chucks; Expansion mandrels; Adaptations thereof for remote control
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  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、端部に円錐状部分(コーン・テール部)を有
するワークをチャッキングするコーン・テールチャック
装置に関する。
(技術の背景) 例えば、チョクラルスキー引上法(CZ法)によって得ら
れる半導体単結晶インゴットはその端部に円錐状部分
(コーンテール部)を有するが、その後の研磨工程にお
いて該インゴットの両端を円筒研磨盤に支持せしめる必
要等から、当該インゴットの円錐状部分は切断除去され
ねばならない。
而して、上記インゴットの円錐状部分の切断作業におい
ては、インゴット側の切断面が高精度で、且つ切断終了
時などに切断片の重みでかけたりすることのないことが
必要であるが、この作業においてこのインゴットの円錐
状部分が傾斜をもった先細り形状であることに加えて、
不規則に外形が変化するため、これを確実に固定するこ
とが出来ず、従って理想的に切断することが困難であっ
た。
本発明は上記事情に基づいて成されたもので、その目的
とする処は、円錐状部分を確実にチャッキングして該ワ
ークに対する加工作業を容易化することができるコーン
・テールチャック装置を提供するにある。
(課題を解決するための手段) 上記目的を達成すべく本発明は、ワークの軸方向に移動
自在な装置本体と、該装置本体にワークの半径方向に移
動可能に支持される複数の回転駆動手段と、各回転駆動
手段に取り付けられた研磨工具と、これら回転駆動手段
及び研磨工具をワークの半径方向に同時に移動せしめて
ワークを押圧保持できる移動手段を含んでコーン・テー
ルチャック装置を構成したことを特徴とする。
(作用) 先ず、装置本体をワークの軸方向に移動せしめ、これに
支持された研磨工具がワークの円錐状部分に当接した時
点で該装置本体の移動を停止してこれをクランプする。
次に、各回転駆動手段を駆動して研磨工具を回転駆動す
るとともに、移動手段によってこれら回転駆動手段及び
研磨工具をワークの半径方向に同時に移動させれば、研
磨工具はワークの円錐状部分を削り込んでいく。そし
て、この研磨工具によるワークの削り込み量が一定値に
達した時点で回転駆動手段及び研磨工具の半径方向移動
を停止させれば、ワーク円錐状部分は複数の研磨工具に
よって均一、且つ確実にチャッキングされる。この際、
研磨工具が逆裁頭円錐状形であれば、チャッキングはよ
り完全となる。
(実施例) 以下に本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明す
る。
第1図は本発明に係るコーン・テールチャック装置の縦
断側面図、第2図は第1図の矢視A方向の図、第3図は
第2図のIII−III線断面図、第4図(a)〜(e)は同
コーン・テールチャック装置によるワークのチャッキン
グ動作の説明図、第5図は同チャッキング動作のプロセ
スチャートである。
第1図及び第2図に示すコーン・テールチャック装置1
において、2は装置本体であり、これはワークWの軸方
向に延設されたテーブル3上にこれに沿って移動自在に
セットされており、該装置本体2の下部側方にはコーン
・テールチャック装置1全体を適当な位置で固定するた
めのクランバー4が設けられている。
又、上記装置本体2の前壁2aには3つの矩形ガイド部5
…が等角度ピッチ(120゜ピッチ)で放射状に形成され
ており、各ガイド部5の両側にはガイド溝5a,5aが形成
されている(第2図及び第3図参照)。そして、各ガイ
ド部5には、スライド部材6が該ガイド部5のガイド溝
5a,5aに沿ってワークWの半径方向に移動自在に嵌合保
持されており、該スライド部材6にはエアモータ7が水
平に支持されていて該エアモータ7のワークW側に延出
する出力軸7aの端部には研磨砥石8が結着されている。
一方、装置本体2の後壁2bにはエアシリンダ9が固設さ
れており、該エアシリンダ9から前方(第1図中、右
方)へ水平に延出するロッド9aは中壁2c及び前壁2aにブ
ッシュ10,11を介して摺動自在に支持されており、該ロ
ッド9aの中間にはストッパ12及びスライド用カム13が結
着されている。
上記スライド用カム13は、前方(第1図中、右方)に向
かって先細りの裁頭円錐状に成形され、その外周面には
3つのカム溝13a…が等角度ピッチで軸方向で形成され
ており、各カム溝13aには前記スライド部材6から一体
に延出するL字状のガイド片6aの先部が摺動自在に嵌合
している。
尚、前記エアモータ7及びエアシリンダ9は不図示の圧
縮エア供給源に連結されている。又、図中、14は装置本
体2外へ開口する集塵用フードであり、これは不図示の
集塵機に連結されている。次に、本コーン・テールチャ
ック装置1によるワークWのチャッキング動作を第4図
及び第5図に基づいて説明する。
先ず、第4図(a)に示すようにチャック装置1及びワ
ークWをテーブル3上にセットし、チャック装置1の研
磨砥石8…とワークWの円錐状部分(コーン・テール
部)Waとを相対向せしめる(第5図のステップ1)。
尚、ワークWはクランパー15によってテーブル3上に固
定されている。
次に、第4図(b)に示すようにチャック装置1全体を
テーブル3にそって矢印方向に前進せしめ(第5図のス
テップ2)、これに支持された研磨砥石8…がワークW
の円錐状部分Waに当接した時点で該チャック装置1の移
動を停止してクランパー4を操作して当該チャック装置
1全体を固定する(第5図のステップ3)。
上記のようにチャック装置1を固定した後、エアモータ
7…を駆動して研磨砥石8…を回転せしめる(第5図の
ステップ4)。尚、このとき、スライド用カム13は第1
図の実線にて示す位置にあり、これのカム溝13a…に嵌
合するスライド部材6…、該スライド部材6…に保持さ
れたエアモータ7…及び該エアモータ7…に取り付けら
れた研磨砥石8…も第1図及び第2図に実線にて示す位
置にある。
その後、エアシリンダ9を駆動してこれのロッド9aを第
1図の矢印方向へ後退せしめれば、該ロッド9aに結着さ
れたスライド用カム13も一体に後退して第1図の鎖線に
て示す位置に移動する。このようにスライド用カム13が
移動すると、これの外周に形成されたカム溝13…に嵌合
するスライド部材6…は、第1図及び第2図中、鎖線に
て示すようにエアモータ7…及び研磨砥石8…と共にワ
ークWの径方向内方に向かってスライドする(第4図
(c)及び第5図のステップ5参照)。
上記のように回転中の研磨砥石8…がワークWの径方向
内方へスライドせしめられると、ワークWの円錐状部分
Waはこれら研磨砥石8…によってその3箇所が削り込ま
れる。そして、この研磨砥石8…によるワークWの円錐
状部分Waの削り込み量が一定値に達した時点でエアモー
タ7及びエアシリンダ9への圧縮エアの供給を遮断して
研磨砥石8…の回転及び径方向内方へのスライドを停止
させれば(第5図のステップ6)、ワークWの円錐状部
分Waはこれら研磨砥石8…によってその3箇所を均一、
且つ確実にチャッキングされる(第4図(d)参照)。
上記研磨砥石8…によるワークWの円錐状部分Waのチャ
ッキングがなされた後、第4図(d)に示すようにテー
ブル3全体を一定速度で昇せしめると、ワークWの円錐
状部分Waが不図示の駆動手段によって回転駆動されてい
るカッターブレード16によって切断される(第5図のス
テップ7)。このとき、ワークWの円錐状部分Waは前述
のように確実にチャッキングされているため、この切断
作業は作業性良く、高精度に、且つ容易になされる。
而して、上記切断作業が終了すると、クランバー4(第
2図参照)によるチャック装置1の固定を解除し(第5
図のステップ8)、第4図(e)に示すようにチャック
装置1全体を矢印方向に後退させれば(第5図のステッ
プ9)、切断されたワークWの円錐状部分Waはチャック
装置1に保持されて回収され(第5図のステップ10)、
一連のチャッキング作業及び切断、回収作業が終了する
(第5図のステップ11)。
尚、以上の実施例においては、研磨砥石の回転駆動手
段、移動手段として、特にエアモータ、エアシリンダを
用いたが、これらに限定されず、他の任意の駆動手段を
用いることができる。
(発明の効果) 以上の説明で明らかな如く本発明によれば、ワークの軸
方向に移動自在な装置本体と、該装置本体にワークの半
径方向に移動可能に支持される複数の回転駆動手段と、
各回転駆動手段に取り付けられた研磨工具と、これら回
転駆動手段及び研磨工具をワークの半径方向に同時に移
動せしめてワークを押圧保持できる移動手段を含んでコ
ーン・テールチャック装置を構成したため、ワークの円
錐状部分を確実にチャッキングして該ワークに対する加
工作業を容易化することができるという効果が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るコーンテールチャック装置の縦断
側面図、第2図は第1図の矢視A方向の図、第3図は第
2図のIII−III線断面図、第4図(a)〜(e)は同コ
ーン・テールチャック装置によるワークのチャッキング
動作の説明図、第5図は同チャッキング動作のプロセス
チャートである。 1……コーン・テールチャック装置、2……装置本体、
6……スライド部材、7……エアモータ(回転駆動手
段)、8……研磨砥石(研磨工具)、9……エアシリン
ダ(移動手段)、13……スライド用カム(移動手段)、
13a……カム溝、W……ワーク。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ワークの軸方向に移動自在な装置本体と、
    該装置本体にワークの半径方向に移動可能に支持される
    複数の回転駆動手段と、各回転駆動手段に取り付けられ
    た研磨工具と、これら回転駆動手段及び研磨工具をワー
    クの半径方向に同時に移動せしめてワークを押圧保持で
    きる移動手段を含んで構成されるコーン・テールチャッ
    ク装置。
  2. 【請求項2】前記回転駆動手段は、エアモータにて構成
    される請求項1記載のコーン・テールチャック装置。
  3. 【請求項3】前記移動手段は、前記装置本体に固設され
    たエアシリンダと、該エアシリンダから延出し、ワーク
    の軸方向に進退するロッドに結着された裁頭円錐状のス
    ライド用カムと、該スライド用カムの外周面に形成され
    たカム溝に係合するとともに、前記回転駆動手段を支持
    し、装置本体にワークの半径方向に移動自在に支持され
    る複数のスライド部材を含んで構成される請求項1記載
    のコーン・テールチャック装置。
JP63238923A 1988-09-26 1988-09-26 コーン・テールチャック装置 Expired - Lifetime JPH0692072B2 (ja)

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US07/409,352 US4934104A (en) 1988-09-26 1989-09-19 Cone tail chuck apparatus, and a method for using the same apparatus
EP19890309667 EP0361802B1 (en) 1988-09-26 1989-09-22 A cone tail chuck apparatus, and a method for using the same apparatus
DE68911099T DE68911099T2 (de) 1988-09-26 1989-09-22 Vorrichtung zum Festspannen vom kegelförmigen Ende eines Werkstückes und Verfahren zur Anwendung dieser Vorrichtung.

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Publication Number Publication Date
JPH0288168A JPH0288168A (ja) 1990-03-28
JPH0692072B2 true JPH0692072B2 (ja) 1994-11-16

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EP0361802B1 (en) 1993-12-01
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