JPH0278970A - 導体パターンの導通検査機及び導通検査機におけるプローブの座標設定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、導体パターンの導通検査機、特に導通検査を
開始する前に各プローブの座標を設定し得る導通検査機
及び導通検査機におけるプローブの座標設定方法に関す
る。

（従来の技術） 従来、導体パターンの導通検査機としては、例えば架体
上に装着された供試プリント板上を２次元的に移動可能
な一対のプローバを、あらかじめ設定されたプログラム
に従って供試プリント板上の所定位置に移動させること
により、供試プリント板上の導体パターンの電気的導通
を検査するものがある（実開昭５２−１３８２５７号公
報）。

また、プリント板回路の導通チエツク方法とし。

て、例えば、ＸＹステージに連結した少なくとも２つの
検査用プローブをチエツクすべきプリント板上に配置し
、該プリント板回路のチエツクすべき部分のデータを記
録媒体に予め記録し、該データに基いて制御装置により
上記両ＸＹステージをプログラム制御して駆動し、両プ
ローブをプリント板のチエツク点に接触させ両プローブ
間の導通をチエツクするようにしたものがある（特開昭
５７−９８８６９号公報）。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記従来の導通検査機及び導通チエツク
方法では、各プローブ（ブローバ、プローブ）の座標系
はプリン［・基板の座標系とは別に定められているので
、■導通テストにおける欠陥がある位置を、各プローブ
の座標値を人間が絶対座標に変換して°ｒｆ１定するか
、又は各プローブ毎の座標系の中で個々に判定する必要
があり、欠陥位置の判定が煩雑であり且つ判定に誤りを
伴い易く、■各プローブの位置をデイスプレィに表示す
る場合に、各デイスプレィには対応する各プローブの座
標１ｆ１が各プローブ毎の座標系で表示されるので、人
間がデイスプレィを見てプリント基板のどの位置に欠陥
があるのかを判断しいくいと共にその判断に時間がかか
り、さらに、■プローブ先端の摩耗により各プローブを
新しいものに交換する場合、各プローブの取４＝１け誤
差により各プローブ先端の位置が交換前と異なってしま
い、各プローブの座標系毎にプローブ先端の座標値を人
間が補正しなければならず、プローブの交換が煩雑であ
るという問題点があった。

本発明は、このような従来の問題点に着目して為された
もので、導通検査開始前に各プローブの座標値を同一の
座標系で設定することにより、プリント基板の欠陥位置
を人間が判定する場合にその判定を楽に且つ誤りなく行
うことができ、人間がデイスプレィを見てプリント基板
のどの位置に欠陥があるのかを判断する場合にその判断
を早く且つ正しくでき、且つプローブの交換を楽にでき
るようにした導体パターンの導通検査機及び導通検査機
におけるプローブの座標設定方法を提供することを目的
としている。

（課題を解決するための手段） かかる目的を達成するために、本発明に係る導体パター
ンの導通検査機は、プリント基板の導体パターンの電気
的導通を、各々独立したＸＹ子テーブル−に載置された
少なくとも２つのプローブを検査データに基いて導体パ
ターンの各検査ポイントに移動させて接触させることに
より検査する導体パターンの導通検査機において、前記
各ＸＹ子テーブル駆動する駆動手段と、前記ＸＹ子テー
ブル載置され、前記各プローブをその原位置から所定の
位置へ移動させる際に前記導体パターン上を視認する少
なくとも１つの撮像部と、前記各ＸＹ子テーブル２次元
的移動量を検出する移動量検出手段と、該検出手段によ
り検出された移動量及び１つのプローブと前記プリント
基板の取付基準となる原点位置との偏位量に基づき、該
原点位置に対する他のプローブの原位置の偏位量を求め
る演算手段とを設けたものである。

また、上記目的を達成するために、本発明に係る導通検
査機におけるプローブの座標設定力法は、プリント基板
の導体パターンの電気的導通を、各々独立したＸＹ子テ
ーブル上載置された少なくとも２つのプローブを検査デ
ータに基いて導体パターンの各検査ポイントに移動させ
て接触させることにより検査する導体パターンの導通検
査機における各プローブの座標設定方法で、 （１）　　前記導体パターン上を視認する撮像部を、前
記プローブの少なくとも２つに対応させて該各プローブ
と同一のＸＹ子テーブル上載置し、（２）各プローブを
所定の原位置へ移動させ、（３）前記撮像部を有する各
１つのプローブを任意の点に移動し、この点に該各１つ
のプローブに対応する各１つの撮像部の中心が合致する
までＸＹ子テーブル移動させてその２次元的移動量を検
出することにより、該各１つの撮像部の中心と前記各１
つのプローブ先端との偏位量を夫々求め、（４）　　前
記各！つの撮像部の中ｉ０が導体パターン上の任意の基
準点に合致するまでＸＹ子テーブル手動で移動させてそ
の２次元的移動量を夫々検出し、 （５）前記プリント基板の取（；Ｊ基準となる原点位置
から前記プローブのいずれか１つの原位置までの偏位量
と、前記撮像部の中心と前記各１つのプローブ先端との
偏位量及び前記２次元的移動量とに基いて、前記原点位
置から他のプローブの原位置までの偏位量を演算する、 ことから成るもの、又は、 （１）　　前記導体パターン上の位置を視認する１つの
Ｗｋ像部を、前記プローブの１つと同一のＸＹ子テーブ
ル上載置し、 （２）各プローブを所定の原位置へ変位させ、（３）前
記１つのプローブを導体パターン上の任意の点に移動し
、この点に前記撮像部の中心が合致するまでＸＹ子テー
ブル移動させてその２次元的移動量を検出することによ
り、該撮像部の中心と前記１つのプローブ先端との偏位
量を求め、（４）他のプローブを前記任意の点に移動し
、該プローブの原位置から該任意の点までの２次元的移
動量を求め、 １５）　　前記撮像部の中心を前記任意の点に合゛致す
るまでＸＹ子テーブル移動させてその２次元的移動量を
検出し、 （６）　　Ｏｆ記プリント基板の取イー１基準となる原
点位置から前記プローブのいずれか１つの原位置までの
偏位量と、前記撮像部の中心と前記各１つのプローブ先
端との偏位量及びｎｉＩ記２次元的移動量とに基いて、
前記原点位置から他のプローブの原位置までの（ｌｉ位
量を演算する、 ことから成るものである。

（作用） そして、」二記導体パターンの導通検ｒＦ機では、導通
検査ｎ；ｊに、演算手段によりプリンＩ・基板の取付語
学となる原点位置に対する各プローブの原位置の偏位量
が求められ、これによって各プローブの座標値が同一の
座標系で設定される。従って、導通検査において各プロ
ーブの座標値が同一の座標系で表わされる。

また、上記座標設定方法では、導通検査ｎ；１に、前記
原点位置から各プローブの原位置までの偏位量を演算し
、これによって各プローブの座標値を同一の座標系で設
定する。

（実施例） 以下、図面に基いて本発明の各実施例を説明する。なお
、各実施例の説明において同様の部位には同一の符号を
付して重複した説明を省略する。

第１図乃至第４図は、本発明の第１実施例に係る導体パ
ターンの導通検査機を示している。この導通検査機は、
表面から裏面へ経由する回路を持つ両面プリント基板の
導通検査に適するものである。

第１図乃至第３図に示すように、導通検査機ｌは、」−
四人プローブ２．１−側石プローブ３、及びＦ側プロー
ブ４の３つのプローブを有し、左プローブ２と右プロー
ブ３とによりプリント基板５の表面側に形成された導体
パターンの各検査ポイント間の導通を検査すると共に、
左プローブ２及び右プローブ３の一方と下側プローブ４
とによりプリント基板５の裏面側に形成された導体パタ
ーンの各検査ポイントと表面側導体パターンの各検査ポ
イントとの間の導通を検査するように成っている。各プ
ローブ２，３．４は、上側左ＸＹテーブル６、上側右Ｘ
Ｙテーブル７、下側ＸＹ子テーブル上にプローブヘッド
９．ｔｏ、１１を介して夫々載置されている。各ＸＹ子
テーブル、７．８は、左Ｘ軸モータ１２．右Ｘ軸−Ｅ−
’２１３．−ＦＸ軸モータ１４により夫々Ｘ軸方向に移
動可能であると共に、左Ｙ軸モータ１５．右Ｙ軸モータ
１６．下Ｙ＠モータ１７により夫々Ｘ軸方向に移動可能
に成っている。左、右、下の各プローブヘッド９゜１０
．１１は、プローブへラドモータ１８，１９゜２０を有
するプローブ駆動装置２１，２２．２３（第３図を参照
）により各Ｘ′Ｙテーブル６．７゜８に対し上下動可能
に取付けられている。

さらに、第１図及び第３図に示すように、左右のＸＹ子
テーブル、７には、プリント基板の導体パターン上を視
認する固体撮像素子等を用いた左右のカメラ（撮像部）
２４．２５が左右のプローブ２，３に対応させて装着さ
れている。そして、前記プリント基板５は基板ボルダ２
６」二にセットされ、この基板ホルダ２６には、基板５
の１−下位置を調整するための調整ネジ２７と、セット
された基板５を基板ホルダ２６に固定するための止めネ
ジ２８が設けられている。

第３図及び第４図に示すように、前記左右のカメラ２４
．２５で得られた光電信号は、画像処理装置２９で画像
処理されて左右のモニタテレビ３０゜３１に送られ、各
カメラ２４．２５で得られた映像を左右のモニタテレビ
３０．３１で見れるように成っている。

第４図に示すように、制御装置３２には、各種のプログ
ラムの実行を指令するキーボード３３、導通検査を行う
ための検査データが人力される検査データ入力装置３４
及び前記各ＸＹ子テーブル。

７．８を手動で動かすためのジョグスイッチ３５からの
各出力信号が入力される。また、制御装置３２には、左
Ｘ軸、左Ｙ軸、右Ｘ軸、右Ｙ軸、下Ｘ軸及びＦＹ軸の各
原位置検出センサ３６〜４１から各ｘＹ子テーブル、７
．８のＸ軸及びＹ軸の原位置信号（各ＸＹ子テーブル、
７．８の各Ｘ軸及びＹ軸が原位置に達したときに出力さ
れる検知信号）が入力される。該制御装置３２は、キー
ボード３３からの指令に基づき、電源をオンした後に各
プローブ２，３．４を後述する原位置Ｈし。

１１ｇ、　ｌｉｅに夫々移動させるように成っている。

すなわち各ＸＹ子テーブル、７．８のＸ軸及びＹ軸の各
方向のストロークの最小位置に各原位置検出センサ３６
〜４１を設けてあり、該原位置検出センサ３６〜４１か
ら前記検知信号が出力される迄前記各ＸＹテーブル６．
７．８をそのストローク量が減少する方向に移動させる
ように、左Ｘ軸。

左Ｙｌｌｌｌｌ、右Ｘ軸、右Ｙ軸、下Ｘ軸及び下Ｙ軸モ
ータ１２．１５，１３．＋６．’＋４及び１７川の各モ
ータ駆動装Ｗ１４２〜４７が制御装置３２により駆動さ
れるように成っている。なお、前記ジョグスイッチ３５
は、各プローブ２，３．４及び左右のカメラ２４．２５
を任意の位置に移動させるために各ＸＹ子テーブル、７
．８を手動操作する部材で、ＸＹテーブル６．７．８の
どのテーブルがジョグスイッチ３５により手動操作され
るかはキーボード３３かも制御装置３２に出力される指
令信号により決定される。また、ジョグスイッチ３５に
よる移動量はこのスイッチ３５から出力されるスイッチ
のＯＮ１０　Ｆ　Ｆ及びスイッチのＯＮの時間、パルス
発生速度（パルス／５ｅｃ）により制御装置３２でｄ１
数演算することにより算出される。

前記各プローブヘッド９，１０．１１を上下動させる前
記各プローブ駆動装置２１，２２．２３には制御装置３
２から制御信号が出力され、各プローブ２，３．４が所
定の検査ポイントに移動した際に各プローブヘッド９，
１０．！１を下降させて各プローブ２，３．４の先端を
検査ポイントに接触させるように成っている。

また、制御装置３２には、測定切換回路４８及び測定器
４９を介して各プローブ２．３．４からの導通信号が入
力され、各検査ポイントでの導通、非導通の検査結果が
制御装置３２から表示装置５０及びプリンタ５１に夫々
出力されるように成っている。

次に、上記構成を有する導通検査機１において、導通検
査を開始する前に各プローブ２，３．４の座標を設定す
る方法を説明する。

（１）　　まず、電源をオンした後に各プローブ２．゛
３．４を第６図に示す所定の原位置ＨＬ、　ＩＩＲ，Ｉ
ｆ　ａに夫々移動させる。この移動は、キーボード３３
からの指令に基づいて制御装置３２により実行される。

ずなわち、制御装置３２が、前記原位置検出センサ３６
〜４１から前記検知信号が出力される迄各ＸＹテーブル
６．７．８をそのストローク量が減少する方向に移動さ
せることによりなされる。なお、本実施例では、基板ボ
ルダ２６にプリント基板５を取付ける際の基準点を絶対
座標系の原点位Ｗ１０としく以後単に原点位置という）
、該原点位置から上記原位置１１Ｌまでの偏位量（ベク
トル情報）ＯＩＩＬを予め所定値に設定しておき、この
偏位量０１１Ｌを制御装置３２に記憶しである。

（２）　　次に、左プローブ２の先端Ｉ’Ｌと左カメラ
２４の中心ＣＬとの偏位量ＰＬＣＬ、及び右プローブ３
の先端Ｐｉと右カメラ２５の中心ＣＲとの偏位量Ｐ　Ｒ
ＣＲを求める（第５図を参照）。

このために、Ｏ；ｉ記プリント基板５に代えて第６図に
示すガラス板５０を配置し、この上に紙を固定し、この
紙の上にカーボン紙を載せる。そして、左プローブ２の
先端ＰＬをジョグスイッチ３５又は予め制御装置３２に
入力された座標情報に基づき第６図に示す任意の点Ａに
移動しＳこの点へに左プローブ２を下降させてその先端
で打点跡をつけ、次にカーボン紙のみを取り除き、前記
ジョグスイッチ３５の手動操作により左カメラ２４の中
心ＣＬを左モニタテレビ３０をみて打点跡へに合致させ
る。このとき、左プローブ２の先端ＰＬが点へにある位
置から左カメラ２４の中心ＣＬが打点跡へに合致するま
での移動量は、ジョグスイッチ３５の操作から制御装置
３２の計数演算により得られるので、前記偏位量ＰＬＣ
Ｌが求められる。

０；１記憶位量ＰＲＣＲについても偏位量ＰｔＣｔと同
様に得られる。即ち、右プローブ３の先端ＰＲを第６図
に示す任意の点Ｂに移動し、この点Ｉ３に右プローブ３
を下降させてその先端で打点跡をつけ、ジョグスイッチ
３５の手動操作により右カメラ２５の中心ＣＲを打点跡
Ｂに合致させることにより偏位ｍＰｌＩＣＲが求められ
る。

（３）左右のプローブ２，３を夫々原位置ＩＩ　Ｌ。

＋１！！に戻し、ガラス板５０に固定しである紙を取り
除く。このガラス板５０には第６図に示すように十字マ
ークＭが刻設されている。

（４）　　次に、ジョグスイッチ３５の手動操作により
左カメラ２４の中心ＣＬをマークＭの中心点に合致させ
る（第７図を参照）。このとき、左プローブ２の先端Ｐ
Ｌの移動量ｆＩ下、即ち左ＸＹテーブル６の２次元的移
動量は、」ユ記と同様にジョグスイッチ３５の操作から
制御装置３２の計数演算により得られる。又、この移動
量はＭ点の座標を制御装置３２に入力しておいて、Ｍ点
の近傍に左カメラ２４の中心ＣＬを移動し前記ジョグス
イッチで正確な位置決めを行ってもよい。

（５）左プローブ２の先端ＰＬを原位置＋ＩＬに戻す。

（６）右カメラ２５の中心ＣＲをマークＭの中心点に合
致させる（第８図を参照）。このとき、右プローブ３の
先端Ｐｌ！の移動量１１ｇＦ、即ち右ＸＹテーブル７の
２次元的移動量は、上記と同様にジョグスイッチ３５の
操作から制御装置３２の計数演算により得られる。又、
この移動量はＭ点の座標を制御装置３２に入力しておい
て、Ｍ点の近傍に右カメラ２５の中心ＣＩ！を移動し前
記ジョグスイッチで正確な位置決めを行ってもよい。

（７）右プローブ３の先端ＰＲを原位置！■！！に戻す
。

（８）次に、ジョグスイッチ３５を操作することにより
又は予め制御装置３２に入力された座標情報に基づき下
プローブ４の先端をガラス板５０の任意の点Ｇへ移動さ
せる（第９図を参照）。もっともガラス板５０を用いず
直に下プローブ４の先端を検出してもよい。この移動に
より、−ドブローブ４の先端の移動量１１ｓＧが得られ
る。

（９）　　この移動の後、ジョブスイッチ３５の手動操
作により左カメラ２４の中心ＣＬを左モニタテレビ３０
、ガラス板５０を通して見える下プローブ４の先端（点
Ｇの位置）に合致させる（第９図を参照）。これによっ
て、左プローブ２の先端ＰＬの移動量雨コが得られる。

なお、ここでＩＯはＰＬＣＬと同じである。

（１０）左プローブ２の先端Ｐｔ及び下プローブ４の先
端を夫々原位置［Ｉ　Ｌ、　ＨＢに戻す。

（Ｉ＋）ここで、原点位置０から左プローブ２の先端Ｐ
Ｌの原位置１１Ｌまでの偏位量０１１Ｌを予め所定値に
決めてあり、この所定値を制御装置３２に記憶させであ
るので、原点位置Ｏから右プローブ３の先端Ｐｋの原位
置Ｉ■ｋまでの偏位、ｌ０ＩＩＲと、原点位置０から下
プローブ４の先端の原位置ＪＩＢまでの偏位量０１１ａ
が、下記のベクトル演算式■。

■に基いて制御装置３２により演算される（第９図及び
第１Ｏ図を参照）。

ＯｆｌＲ＝ｏ　Ｉ（ｔ＋　ＩＩＬＥ＋　ＰＬＣＬ　−Ｐ
ＲＣＲ−１１ＲＦ・・・■ ０１１Ｂ＝ＯＨｔ＋ＩＩｔｌ　＋ｒ’ｔＣｔ−ＩＴＢＧ
・・・■ このようにして、０１（ｔ、ＯＨＲ，０１ｌＢは同一の
座標系の座標値として下記のように求められる。

ＯＨｔ、＝　（ＩＩＱｘ、Ｈａｙ） ０）１ｇ＝　（Ｉｔ　ｒ　ｘ、　　ＩＴ　ｒ　ｙ）０１
１Ｂ＝　（Ｉｌｂｘ、Ｈｂｙ） 即ち、各プローブ２，３．４の先端の原位置の座標値を
同一の座標系で（絶対座標系である原点位置０に対して
）表わすことができる。

従って、その後の導通検査において、各プローブ２，３
．４の実際の先端位置は上記同一座標系における各原位
置の座標値を基準として求めることができる。

このようにして各プローブ２，３．４の先端の原位置の
座標値を設定した後に、前記プリント基板５を基板ホル
ダ２６上にセツ、トしてその導通検査を開始する。

この導通検査は、前記キーボード３３からの指令により
開始され、制御装置３２が検査データ入力装置３４から
の検査データに基いて各プローブ２．３．４を導体パタ
ーンの各検査ポイントに移動させて接触させることによ
り行う。この導通検査による導体パターンの欠陥位置は
、各プローブ２．３．４の座標値が同一の座標系で設定
されているので、前記表示装置５０を見ることにより又
はプリンタ５！から出力されるテープを見ることにより
迅速に且つ誤りなく判定することができる。

また、プローブ先端の摩耗により各プローブ２゜３．４
を新しいものに交換する場合、各プローブの取付は誤差
により前記偏位量ＰＬＣＬ、ＰＲＣＩ！が交換前と異な
るが、各プローブの交換後にこの偏位ｆｉＰＬｃ＋、、
ＰｌＩＣｇを新たに求め、この新たな偏位量ＰＬＣＬ、
）’ＲＣＲを用いて前記■、■式の演算を制御装置３２
に実行させればよい。従って、プローブの交換にｆ′１
２い各プローブ先端の座標値を人間が補正する必要がな
くなり、プローブの交換が簡単になる。

次に、左カメラ２４によってのみ各プローブ先端の原点
位置との関係を求める本発明の第２実施例を説明する。

この第２実施例は、両面プリント基板の導通検査に適す
るもので、左右２つのプローブ２．３を備え、且つ左プ
ローブ２と同じＸＹ子テーブル−上に１つのカメラ２４
を設けた導通検査機におけるプローブの座標設定方法に
関する。

以下、この第２実施例に係る座標設定方法を第１１図及
び第１２図に基いて説明する。

（りまず、電源をオンした後に各プローブ２゜３の先端
ＰＬ、ＰＲを上記第１実施例の場合と同様に第１１図に
示す所定の原位置Ｈし、Ｉｌｇに夫々移動させる。

（２）次に、左プローブ２の先端ＰＬとカメラ２４の中
心Ｃとの偏位量菖７を求める（第１１図を参照）。この
ために、前記プリント基板５に代えて第１１図に示す銅
板５１を配置し、この銅板５１」二にカーボン紙を載せ
る。そして、左プローブ２の先端ＰＬを第１ｔ図に示す
任意の点へに移動し、この点へに左プローブ２をＦ降さ
せてその先端で打点跡をつけ、次にカーボン紙を取り除
き、前記ジョグスイッチ３５の手動操作によりカメラ２
４の中心Ｃを打点跡へに合致させる。このとき、左プロ
ーブ２の先端ＰＬが点へにある位置からカメラ２４の中
心Ｃが打点跡へに合致するまでの移動量は、ジョグスイ
ッチ３５の操作から制御装置３２の計数演算により得ら
れるので、前記偏位量ＰＬＯが求められる。

（３）左プローブ２を原位置１（ｔに戻す。

（４）　　カーボン紙を再び銅板５１上に載せ、右プロ
ーブ３の先端ＰＲを第１２図に示す１１意の点Ｂに移動
し、この点Ｂに右プローブ３を下降させてその先端で打
点跡をつけ、カーボン紙を取り除く。

ここで、右プローブ３の先端Ｐｉ！の移動量１１ＲＢが
、上記と同様にジョグスイッチ３５の操作から制御装置
３２の計数演算により得られるか、又は実施例１の様な
座標設定によって最終位置決めをジョブスイッチ３５に
依って行ってもよい。

（５）右プローブ３の先端Ｐｇを原位置１１Ｒに戻す。

（６）次に、ジョグスイッチｊ５を操作して左ＸＹテー
ブル６を移動することにより、カメラ２４の中心Ｃを打
点跡Ｂに合致させる（第１２図を参照）。このとき、左
プローブ２の先端ＰＬの移動量Ｗ下、即ち左ＸＹテーブ
ル６の２次元的移動量は、上記と同様にジョグスイッチ
３５の操作から制御装置３２の８１数演算により得られ
るか、又は実施例１の様な座標設定によって最終位置決
めをジョグスイッチ３５に依って行ってもよい。

（７）左プローブ２の先端ＰＬを原位置１１ｔに戻す。

（８）　　ここで、前記原点位置０から左プローブ２の
先端１’Ｌの原位置ｌｉｔまでの偏位量０１１ｔを予め
所定値に決めておき、この所定値を制御装置３２に予め
記憶させておくことにより、前記原点位置０から右プロ
ーブ３の先端ＰＲの属僚ｉｔ？ｔｌｌＩｌ！までの偏位
量ＯＨＲが、下記の弐〇に基いて制御装置３２により演
算される（第１２図を参照）。

０１１Ｒ＝ＯＩＩＬ＋ＩＩＬＦ＋ＰＬＣ−１（ｉＢ・・
・■ 同一の座標系の座標値で求められる。

０１１ｔ＝　（ＨＱ　ｘ、　ＩＩ　Ｑ　ｙ）即ち、左右
のプローブ２，３の先端の座標が同一の座標系（導体パ
ターン５の絶対座標系）で表わされる。

（発明の効果） 以上詳述したように、本発明に係る導体パターンの導通
検査機によれば、導通検査前に、移動量検出手段により
検出された各ＸＹ子テーブル２次元的移動量及び予め定
められた１つのプローブとｎ；ｉ記プリント基板の取付
基準となる原点位置との偏位量に基づき、演算手段によ
り前記原点位置に対する他のプローブの原位置の偏位量
を求め、これによって各プローブの座標値を同一の座標
系で設定するので、導通検査において各プローブの座標
値を同一の座標系で表わすことができる。従って、導通
検査においてプリント基板の欠陥位置を人間が判定する
場合にその判定を楽に且つ誤りなく行うことができると
共に、人間がデイスプレィを見てプリント基板のどの位
置に欠陥があるのかを判断する場合にその判断を早く且
つ正しく行うことができる。

また、本発明に係る導体パターンの導通検査機における
プローブの座標設定方法によれば、導通検査前に、各Ｘ
Ｙ子テーブル２次元的移動量及び予め定められた１つの
プローブとプリント基板の取４＝Ｊ基（ｌｌｊとなる原
点ｆｑ置との偏位量に基づき、該原点位置から能のプロ
ーブの原位置までの偏位量を演算し、これによって各プ
ローブの座標１直を同一の座標系で設定するので、導通
検査において各プローブの座標値を同一の座標系で表わ
すことができる。従って、導通検査においてプリント基
板の欠陥位置を人間が判定する場合にその判定を楽に且
つ誤りなく行うことができると共に、人間がデイスプレ
ィを見てプリント基板のどの位置に欠陥があるのかを判
断する場合にその判断を早く且つ正しく行うことができ
る。

さらに、本発明に係る導体パターンの導通検査機におけ
るプローブの座標設定方法によれば、各撮像部の中心と
対応する各プローブ先端との偏位量を求めるので、各プ
ローブを新しいものと交換する場合、各プローブの取付
は誤差により各プローブの先端位置がその交換ｎ；１と
異なったとしても、各プローブの座標値を新たに演算す
ればよいので、プローブの交換に伴い各プローブ先端の
座標値を人間が補正する必要がなく、プロー１の交換を
楽に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本発明の第１実施ρ１に係る導体バ
ター・ンの導通検査機を示し、第１図は導通検査機を概
略的に示す平面図、ｆｆ１２図は第１図の側面図、第３
図は導通検査機を詳細に示す斜視図で、下側のＸＹステ
ージ・ユニットのみを取り出して示しである、第４図は
導通検査機の制御部を示す概略構成図、第５図乃至第１
０図は第１実施例に係る導体パターンの導通検査機にお
いてプローブの座標を設定する方法を説明するための説
明図、第Ｈ図及び第１２図は本発明の第２実施例に係る
導通検査機においてプローブの座標を設定する方法を説
明するための説す１図である。 １・・・導通検査機、２，３．４・・・プローブ、６゜
７．８・・・ｘｙテーブル、２４．２５・・・カメラ（
撮像部ン、３２・・・制御装置（移動量検出手段、演算
手段）、３５・・・ジョグスイッチ（手動駆動手段）。 算５図 ネ９凹 Ｏｘ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．プリント基板の導体パターンの電気的導通を、各々
   独立したＸＹテーブル上に載置された少なくとも２つの
   プローブを検査データに基いて導体パターンの各検査ポ
   イントに移動させて接触させることにより検査する導体
   パターンの導通検査機において、前記各ＸＹテーブルを
   駆動する駆動手段と、前記ＸＹテーブルに載置され、前
   記各プローブをその原位置から所定の位置へ移動させる
   際に前記導体パターン上を視認する少なくとも１つの撮
   像部と、前記各ＸＹテーブルの２次元的移動量を検出す
   る移動量検出手段と、該検出手段により検出された移動
   量及び１つのプローブと前記プリント基板の取付基準と
   なる原点位置との偏位量に基づき、該原点位置に対する
   他のプローブの原位置の偏位量を求める演算手段とを設
   けたことを特徴とする導体パターンの導通検査機。 ２．請求項１に記載の導通検査機において、前記プリン
   ト基板は、その表面から裏面へ経由する回路を持つ基板
   で、該基板の表面側の導体パターンに接触し得る少なく
   とも２つのプローブと、その裏面側の導体パターンに接
   触し得る１つ以上のプローブとを備えて成ることを特徴
   とする導体パターンの導通検査機。 ３．プリント基板の導体パターンの電気的導通を、各々
   独立したＸＹテーブル上に載置された少なくとも２っの
   プローブを検査データに基いて導体パターンの各検査ポ
   イントに移動させて接触させることにより検査する導体
   パターンの導通検査機における各プローブの座標設定方
   法で、 （１）　前記導体パターン上を視認する撮像部を、前記
   プローブの少なくとも２つに対応させて該各プローブと
   同一のＸＹテーブル上に載置し、（２）各プローブを所
   定の原位置へ移動させ、（３）前記撮像部を有する各１
   つのプローブを任意の点に移動し、この点に該各１つの
   プローブに対応する各１つの撮像部の中心が合致するま
   でＸＹテーブルを移動させてその２次元的移動量を検出
   することにより、該各１つの撮像部の中心と前記各１つ
   のプローブ先端との偏位量を夫々求め、（４）前記各１
   つの撮像部の巾心が導体パターン上の任意の基準点に合
   致するまでＸＹテーブルを手動で移動させてその２次元
   的移動量を夫々検出し、 （５）前記プリント基板の取付基準となる原点位置から
   前記プローブのいずれか１つの原位置までの偏位量と、
   前記撮像部の中心と前記各１つのプローブ先端との偏位
   量及び前記２次元的移動量とに基いて、前記原点位置か
   ら他のプローブの原位置までの偏位量を演算する、こと
   から成ることを特徴とする導通検査機におけるプローブ
   の座標設定方法。 ４．プリント基板の導体パターンの電気的導通を、各々
   独立したＸＹテーブル上に載置された少なくとも２つの
   プローブを検査データに基いて導体パターンの各検査ポ
   イントに移動させて接触させることにより検査する導体
   パターンの導通検査機における各プローブの座標設定方
   法で、 （１）前記導体パターン上の位置を視認する１つの撮像
   部を、前記プローブの１つと同一のＸＹテーブル上に載
   置し、 （２）各プローブを所定の原位置へ変位させ、（３）前
   記１つのプローブを導体パターン上の任意の点に移動し
   、この点に前記撮像部の中心が合致するまでＸＹテーブ
   ルを移動させてその２次元的移動量を検出することによ
   り、該撮像部の中心と前記１つのプローブ先端との偏位
   量を求め、（４）他のプローブを前記任意の点に移動し
   、該プローブの原位置から該任意の点までの２次元的移
   動量を求め、 （５）前記撮像部の中心を前記任意の点に合致するまで
   ＸＹテーブルを移動させてその２次元的移動量を検出し
   、 （６）前記プリント基板の取付基準となる原点位置から
   前記プローブのいずれか１つの原位置までの偏位量と、
   前記撮像部の中心と前記各１つのプローブ先端との偏位
   量及び前記２次元的移動量とに基いて、前記原点位置か
   ら他のプローブの原位置までの偏位量を演算する、 ことから成ることを特徴とする導通検査機におけるプロ
   ーブの座標設定方法。