JPH027793U - - Google Patents

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JPH027793U
JPH027793U JP8480888U JP8480888U JPH027793U JP H027793 U JPH027793 U JP H027793U JP 8480888 U JP8480888 U JP 8480888U JP 8480888 U JP8480888 U JP 8480888U JP H027793 U JPH027793 U JP H027793U
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positioning device
piezoelectric element
applies
positioning
tables
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１実施例を示す位置決め装
置の平面図。第２図は本考案の第１実施例を示す
位置決め装置のＡ―Ａ断面図。第３図は本考案の
第１実施例を示す位置決め装置のフローチヤート
図。第４図は本考案の第２実施例を示す位置決め
装置の概念図。第５図は本考案の第２実施例を示
す位置決め装置のフローチヤート図。第６図、第
７図は従来の実施例を示す位置決め装置の概念図
。第８図は圧電素子アクチユエータの電圧と変位
の説明図。 １……大きなテーブル、３，１１，４５……ガ
イドバー、４，１３，４３……ネジ、５，１２，
４２……軸受、６，１４……予圧機構部、７，１
５……ピニオンギヤ、８，１６……ラツクギヤ、
９ａ，９ｂ，４６……圧電素子アクチユエータ、
１０……小さなテーブル、１８ａ，１８ｂ，４７
……パワーアンプ、１９ａ，１９ｂ，４８……オ
ートオフセツト回路、２０，４９……コントロー
ラ、２１……高周波信号発生器、４１……ケース
、６１……エンコーダ、６２……モータ、６３…
…ボーネジ、６４……テーブル。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 圧電素子に通電し伸縮させる圧電素子アクチ
    ユエータを用いた位置決め装置において、圧電素
    子の変位をラツクギヤ、ピニオンギヤを介してネ
    ジに回転を与えてテーブルを滑動させる位置決め
    装置を、テーブルの滑動が互いに相対するように
    、少なくても２個以上設けたことを特徴とする位
    置決め装置。 ２ モータ駆動により位置決めを制御されるテー
    ブルの上に、互いに相対して滑動する少なくても
    ２個以上の位置決め装置を取り付けた請求項１記
    載の位置決め装置。 ３ 圧電素子に通電し伸縮させる圧電素子アクチ
    ユエータを用いた位置決め装置において圧電素子
    に変位を与える電圧にオフセツト電圧を与えるオ
    ートオフセツト回路を有することを特徴とする位
    置決め装置。
JP8480888U 1988-06-27 1988-06-27 Pending JPH027793U (ja)

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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS542691A (en) * 1977-06-08 1979-01-10 Hitachi Ltd Sample fine-adjustment equipment of electrostrictive driving type
JPS61285082A (ja) * 1985-06-10 1986-12-15 Toshiba Corp 圧電型駆動装置
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JPS62219975A (ja) * 1986-03-20 1987-09-28 Copal Co Ltd 電歪素子駆動装置
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Patent Citations (6)

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