JPS61285082A - 圧電型駆動装置 - Google Patents
圧電型駆動装置Info
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- JPS61285082A JPS61285082A JP60125675A JP12567585A JPS61285082A JP S61285082 A JPS61285082 A JP S61285082A JP 60125675 A JP60125675 A JP 60125675A JP 12567585 A JP12567585 A JP 12567585A JP S61285082 A JPS61285082 A JP S61285082A
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Drive or control circuitry or methods for piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/584—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on tapes
- G11B5/588—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on tapes by controlling the position of the rotating heads
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野〕
本発明は、圧電アクチュエータを用いて微小変位を発生
する装置に係り、特に圧電アクチュエータのヒステリシ
スの影響を軽減させた変位発生装置に関する。
する装置に係り、特に圧電アクチュエータのヒステリシ
スの影響を軽減させた変位発生装置に関する。
電気エネルギー、すなわち電圧が印加されることによっ
て圧電体が変形する現象は、逆圧電効果として古くから
知られている。この逆圧電効果を利用して微小な機械的
変位を発生するように構成された圧電アクチュエータは
、小型・軽量であり、応答速度が速い９発熱がない、低
消費電力３周囲への磁気的影響がない等の数々の利点を
有している・。このため、ミクロン、サブミクロンのオ
ーダーの高精度な位置決めや、移動制御が要求されるメ
カトロニクス、半導体製造装置等の様々な分野への圧電
アクチュエータの応用が注目されている。
て圧電体が変形する現象は、逆圧電効果として古くから
知られている。この逆圧電効果を利用して微小な機械的
変位を発生するように構成された圧電アクチュエータは
、小型・軽量であり、応答速度が速い９発熱がない、低
消費電力３周囲への磁気的影響がない等の数々の利点を
有している・。このため、ミクロン、サブミクロンのオ
ーダーの高精度な位置決めや、移動制御が要求されるメ
カトロニクス、半導体製造装置等の様々な分野への圧電
アクチュエータの応用が注目されている。
しかし、圧電アクチュエータはこのような優れた特長を
有する反面、ヒステリシス特性を持つという問題がある
。このヒステリシス特性とは、第１７図に示されるよう
に圧電アクチュエータへの印加電圧が上昇する時と下降
する時とで、同じ印加電圧に対して変位量が異なる現象
である。ヒステリシス量Ｈは印加電圧が上昇する過程で
印加電圧が零になった時の残留変位量と、印加電圧が下
降する過程で印加電圧が零になった時の残留変位量との
差をＤＨ１変位量の最大振幅をＤとして、次式で表わさ
れる。
有する反面、ヒステリシス特性を持つという問題がある
。このヒステリシス特性とは、第１７図に示されるよう
に圧電アクチュエータへの印加電圧が上昇する時と下降
する時とで、同じ印加電圧に対して変位量が異なる現象
である。ヒステリシス量Ｈは印加電圧が上昇する過程で
印加電圧が零になった時の残留変位量と、印加電圧が下
降する過程で印加電圧が零になった時の残留変位量との
差をＤＨ１変位量の最大振幅をＤとして、次式で表わさ
れる。
Ｈ＝ （ＤＨ／Ｄ） Ｘ １００ ［％］このようなヒ
ステリシス特性を持つということは、換言すれば印加電
圧に対する変位量の変化が非線形であるということであ
り、従って直線的に変化する電圧を圧電アクチュエータ
に印加すると、アクチュエータの変位量は非線形に変°
化する。すなわち、印加電圧と変位量とが１対１で対応
しないため、例えば位置決めを行なう場合、印加電圧の
みで対象物の位置を決定することができないという不便
がある。さらに、対象物を時間に対して特定の位置変化
を持つようなパターンで移動させたい場合、圧電アクチ
ュエータの印加電圧波形と対象物の移動パターンとが１
対１で対応しないため、所望の移動パターンが得られな
いという問題がある。
ステリシス特性を持つということは、換言すれば印加電
圧に対する変位量の変化が非線形であるということであ
り、従って直線的に変化する電圧を圧電アクチュエータ
に印加すると、アクチュエータの変位量は非線形に変°
化する。すなわち、印加電圧と変位量とが１対１で対応
しないため、例えば位置決めを行なう場合、印加電圧の
みで対象物の位置を決定することができないという不便
がある。さらに、対象物を時間に対して特定の位置変化
を持つようなパターンで移動させたい場合、圧電アクチ
ュエータの印加電圧波形と対象物の移動パターンとが１
対１で対応しないため、所望の移動パターンが得られな
いという問題がある。
このような圧電アクチュエータのヒステリシス特性を補
償する方法として、例えば特公昭５４−２０３５９号公
報に記載されているように、アクチュエータの変位を検
出するセンサを用い、クローズトループによりアクチュ
エータの変位量を制御する方法が知られている。しかし
、このクローズトループによる方法はセンサによるアク
チュエータの位置検出誤差や、ループの応答特性その他
の要因により、ヒステリシスを完全に除去することは極
めて難しく、また装置の複雑化、大型化を招くという問
題がある。従って、駆動回路自体の工夫によるオーブン
ループ構成によって、圧電アクチュエータのヒステリシ
スを除去する方法の実現が望まれていた。
償する方法として、例えば特公昭５４−２０３５９号公
報に記載されているように、アクチュエータの変位を検
出するセンサを用い、クローズトループによりアクチュ
エータの変位量を制御する方法が知られている。しかし
、このクローズトループによる方法はセンサによるアク
チュエータの位置検出誤差や、ループの応答特性その他
の要因により、ヒステリシスを完全に除去することは極
めて難しく、また装置の複雑化、大型化を招くという問
題がある。従って、駆動回路自体の工夫によるオーブン
ループ構成によって、圧電アクチュエータのヒステリシ
スを除去する方法の実現が望まれていた。
ニューカム（Ｎ ｅｗｃｏａｂ）の文献［エレクトロニ
クス・レターズ（Ｅ １ｅｃｔｒｏｎｉｃｓＬ ｅｔｔ
ｅｒｓ） ２７ｔｈＭａｙ １９８２ ｖｏｌ、１８
． Ｎｏ、１１ Ｄ４４２−４４４ Ｊによれば、圧電
アクチュエータに蓄積される電荷Ｑとその変位１１Ｄと
は比例関係にあり、電荷Ｑを制御することによりヒステ
リシスのない変位が得られるとの報告がある。
クス・レターズ（Ｅ １ｅｃｔｒｏｎｉｃｓＬ ｅｔｔ
ｅｒｓ） ２７ｔｈＭａｙ １９８２ ｖｏｌ、１８
． Ｎｏ、１１ Ｄ４４２−４４４ Ｊによれば、圧電
アクチュエータに蓄積される電荷Ｑとその変位１１Ｄと
は比例関係にあり、電荷Ｑを制御することによりヒステ
リシスのない変位が得られるとの報告がある。
本発明の目的は、圧電アクチュエータの蓄積電荷とその
変位量とが比例関係にあることを利用して、オープンル
ープ構成によって圧電アクチュエータのヒステリシス特
性を補償し、高精度の位置決めや移動制御ができる変位
発生装置を提供することにある。
変位量とが比例関係にあることを利用して、オープンル
ープ構成によって圧電アクチュエータのヒステリシス特
性を補償し、高精度の位置決めや移動制御ができる変位
発生装置を提供することにある。
（発明の概要）
本発明はこの目的を達成するため、圧電アクチュエータ
の駆動手段における出力綾に定電流源を配置したことを
特徴とする。駆動手段はより好ましくは、例えば圧電ア
クチュエータの所望の変位パターンに対応する波形の信
号を発生する信号源と、この信号源からの信号を微分す
る微分回路をさらに有し、微分回路の出力信号を定電流
源へ制御信号として供給するように構成される。
の駆動手段における出力綾に定電流源を配置したことを
特徴とする。駆動手段はより好ましくは、例えば圧電ア
クチュエータの所望の変位パターンに対応する波形の信
号を発生する信号源と、この信号源からの信号を微分す
る微分回路をさらに有し、微分回路の出力信号を定電流
源へ制御信号として供給するように構成される。
（発明の効果〕
本発明によれば、圧電アクチュエータの駆動手段の出力
段が定電流源で構成されるため、定電流源からの出力電
流とその電流供給時間によって圧電アクチュエータの蓄
積電荷を任意に制御し、もって変位量を正確に制御する
ことができる。すなわち、圧電アクチュエータのヒステ
リシス特性に関係なく、アクチュエータを直線的に変位
させることができる。従って、定電流源の出力電流とそ
の電流供給時間によってアクチュエータの変位置を正確
に決定することができるので、圧電アクチュエータを用
いて例えばある対象物を所望の位置に位置決めしようと
する場合、極めて高精度の位置決めが可能となる。
段が定電流源で構成されるため、定電流源からの出力電
流とその電流供給時間によって圧電アクチュエータの蓄
積電荷を任意に制御し、もって変位量を正確に制御する
ことができる。すなわち、圧電アクチュエータのヒステ
リシス特性に関係なく、アクチュエータを直線的に変位
させることができる。従って、定電流源の出力電流とそ
の電流供給時間によってアクチュエータの変位置を正確
に決定することができるので、圧電アクチュエータを用
いて例えばある対象物を所望の位置に位置決めしようと
する場合、極めて高精度の位置決めが可能となる。
また、信号源からの特定の波形の信号を微分した後、定
電流源に制御信号として供給すれば、その信号源からの
信号の波形と同一パターンでアクチュエータを変位させ
ることができる。これは、圧電アクチュエータを用いで
ある対象物を所望のパターンで移動制御させるような場
合、極めて有効である。
電流源に制御信号として供給すれば、その信号源からの
信号の波形と同一パターンでアクチュエータを変位させ
ることができる。これは、圧電アクチュエータを用いで
ある対象物を所望のパターンで移動制御させるような場
合、極めて有効である。
第１図に本発明の一実施例に係る変位発生装置の構成を
示す。第１図において、信号１１は圧電アクチュエータ
の所望の変位パターンに対応した波形の電圧信号ＶＡを
発生する。この信号源１からの信号ＶＡは、微分回路２
に供給される。微分回路２は信号源１の出力端子に一端
が接続された抵抗Ｒ１と、抵抗Ｒ１の他端に接続された
コンデンサＣと、コンデンサＣの他端に反転入力端が接
続された接続された演算増幅器ＯＡ１と、演算増幅器Ｏ
Ａ１の出力端と反転入力端との間に接続された抵抗Ｒ２
、および演算増幅器ＯＡｔの非反転入力端とグラウンド
間に接続された抵抗Ｒ３により構成され、演算増幅器Ｏ
Ａｒの出力端から微分出力信号ＶＢを発生する。
示す。第１図において、信号１１は圧電アクチュエータ
の所望の変位パターンに対応した波形の電圧信号ＶＡを
発生する。この信号源１からの信号ＶＡは、微分回路２
に供給される。微分回路２は信号源１の出力端子に一端
が接続された抵抗Ｒ１と、抵抗Ｒ１の他端に接続された
コンデンサＣと、コンデンサＣの他端に反転入力端が接
続された接続された演算増幅器ＯＡ１と、演算増幅器Ｏ
Ａ１の出力端と反転入力端との間に接続された抵抗Ｒ２
、および演算増幅器ＯＡｔの非反転入力端とグラウンド
間に接続された抵抗Ｒ３により構成され、演算増幅器Ｏ
Ａｒの出力端から微分出力信号ＶＢを発生する。
微分回路２の出力信号ＶＢは、定電流源３に制御信号と
して入力される。定電流源３は電流値がその出力端子に
接続される負荷インピーダンスには依存せず一定である
が、制御信号の電圧によって制御可能な電流信号を発生
する回路であって、微分回路２の出力端子に一端が接続
された抵抗Ｒ４と、抵抗Ｒ５の他端に反転入力端が接続
された演算増幅器ＯＡ２、および演算増幅器ＯＡ２の非
反転入力端とグラウンド間に接続された抵抗Ｒ５により
構成され、演算増幅器ＯＡ２の出力端が第１の出力端子
４に接続され、また演算増幅器ＯＡ２の非反転入力端が
第２の出力端子５に接続されている。
して入力される。定電流源３は電流値がその出力端子に
接続される負荷インピーダンスには依存せず一定である
が、制御信号の電圧によって制御可能な電流信号を発生
する回路であって、微分回路２の出力端子に一端が接続
された抵抗Ｒ４と、抵抗Ｒ５の他端に反転入力端が接続
された演算増幅器ＯＡ２、および演算増幅器ＯＡ２の非
反転入力端とグラウンド間に接続された抵抗Ｒ５により
構成され、演算増幅器ＯＡ２の出力端が第１の出力端子
４に接続され、また演算増幅器ＯＡ２の非反転入力端が
第２の出力端子５に接続されている。
そして、定電流源３の第１の出力端子４と第・２の出力
端子５との間に、圧電アクチュエータ６が接続されてい
る。圧電アクチュエータ６としては、例えば積層型アク
チュエータや、バイモルフ型アクチュエータが使用され
る。
端子５との間に、圧電アクチュエータ６が接続されてい
る。圧電アクチュエータ６としては、例えば積層型アク
チュエータや、バイモルフ型アクチュエータが使用され
る。
第１図の変位発生装置の具体的な動作例を第２図に示し
た波形図を参照して説明する。信号源１は例えば第２図
（ａ）に示すような三角波信号ＶＡを発生する。この信
号ＶＡが微分回路２に入力され、第２図（ｂ）に示すよ
うな矩形波信号ＶＢに変換される。
た波形図を参照して説明する。信号源１は例えば第２図
（ａ）に示すような三角波信号ＶＡを発生する。この信
号ＶＡが微分回路２に入力され、第２図（ｂ）に示すよ
うな矩形波信号ＶＢに変換される。
この矩形波信号ＶＢが定電流源３に制御信号として入力
されると、定電流源３は第２図（Ｃ）に示すような、信
号７日と同じ波形の電流信号ＩＣを発生する。すなわち
、定電流源３において演算増幅器ＯＡ２は差動入力型で
あるから、反転入力端と非反転入力端とが同電位となる
ように動作するので、反転入力端に矩形波信号Ｖｎが入
力されると非反転入力端にも矩形波信号が瑛われる。演
算増幅器ＯＡ２の出力ＩＩ流Ｉｃは圧電アクチュエータ
６を通ってその非反転入力端に帰還される。
されると、定電流源３は第２図（Ｃ）に示すような、信
号７日と同じ波形の電流信号ＩＣを発生する。すなわち
、定電流源３において演算増幅器ＯＡ２は差動入力型で
あるから、反転入力端と非反転入力端とが同電位となる
ように動作するので、反転入力端に矩形波信号Ｖｎが入
力されると非反転入力端にも矩形波信号が瑛われる。演
算増幅器ＯＡ２の出力ＩＩ流Ｉｃは圧電アクチュエータ
６を通ってその非反転入力端に帰還される。
ここで、演算増幅器○Ａ２の入力インピーダンスは一般
に無限大と考えてよいから、電流１ｃは全て抵抗Ｒ５を
通ってグラウンドに流れる。この時、抵抗Ｒ５の両端に
現われる電圧は上述したように定電流源３の入力信号の
電圧信号Ｖｓと等しいから、結局、信号ＶＢの波形と信
号Ｉｃの波形とは一致する。また、信号１ｃの大きさは
、信号Ｖ日の大きさに依存している。
に無限大と考えてよいから、電流１ｃは全て抵抗Ｒ５を
通ってグラウンドに流れる。この時、抵抗Ｒ５の両端に
現われる電圧は上述したように定電流源３の入力信号の
電圧信号Ｖｓと等しいから、結局、信号ＶＢの波形と信
号Ｉｃの波形とは一致する。また、信号１ｃの大きさは
、信号Ｖ日の大きさに依存している。
圧電アクチュエータ６はこのようにして電流値一定の信
号１ａが印加されると、第２図（ｄ）に示すような、第
２図（ａ）に示した信号源１から発生される信号ＶＡの
波形と同一の変位パターンで変位を生じる。この時、圧
電アクチュエータ６の両端には、結果的にそのヒステリ
シスを相殺するような第２図（ｅ）に示す電圧が発生し
ている。
号１ａが印加されると、第２図（ｄ）に示すような、第
２図（ａ）に示した信号源１から発生される信号ＶＡの
波形と同一の変位パターンで変位を生じる。この時、圧
電アクチュエータ６の両端には、結果的にそのヒステリ
シスを相殺するような第２図（ｅ）に示す電圧が発生し
ている。
このように第１図のような構成によって圧電アクチュエ
ータ６を駆動すると、信号源１からの信号波形と同一の
変位パターンが得られる理由は、次のように説明される
。圧電アクチュエータは誘電体板を両側から電極で挟ん
だ基本構造を持つから、電気的にはコンデンサと見なせ
る。従って、圧電アクチュエータに蓄積される電荷を０
１それに流入する電流をｉ、電流の流入する時間をｔと
すると、次式が成立つ。
ータ６を駆動すると、信号源１からの信号波形と同一の
変位パターンが得られる理由は、次のように説明される
。圧電アクチュエータは誘電体板を両側から電極で挟ん
だ基本構造を持つから、電気的にはコンデンサと見なせ
る。従って、圧電アクチュエータに蓄積される電荷を０
１それに流入する電流をｉ、電流の流入する時間をｔと
すると、次式が成立つ。
Ｑ−ｆｉｄｔ ・・・（１）
ここで、ｉが一定値■であるとすると、（１）式は次の
ように変形される。
ように変形される。
Ｑ−１−ｔ ・・・（２）
従って、圧電アクチュエータに定電流源から一定の電流
を供給すれば、電荷Ｑをその電流供給時間ｔにより制御
することができ、よって前記したニューカムの報告から
も明らかなように、ヒステリシスの影響のない、すなわ
ち線形な変位が得られる。
を供給すれば、電荷Ｑをその電流供給時間ｔにより制御
することができ、よって前記したニューカムの報告から
も明らかなように、ヒステリシスの影響のない、すなわ
ち線形な変位が得られる。
本発明者は、上述した圧電アクチュエータの蓄積電荷と
変位量との間の線形性を確認するため、以下のような実
験を行なった。第３図は実験に使用した装置のブロック
図であり、定電流源３１から圧電アクチュエータ３２に
電流信号を供給し、アクチュエータ３２の両端電圧を電
圧計３３で測定し、その測定結果をＸ−Ｙレコーダ３４
で記録する。また、圧電アクチュエータ３２の位置をセ
ンサ３５で検出し、その検出出力を検波器３６を通して
Ｘ−Ｙレコーダ３４の零調整器３７に供給する。
変位量との間の線形性を確認するため、以下のような実
験を行なった。第３図は実験に使用した装置のブロック
図であり、定電流源３１から圧電アクチュエータ３２に
電流信号を供給し、アクチュエータ３２の両端電圧を電
圧計３３で測定し、その測定結果をＸ−Ｙレコーダ３４
で記録する。また、圧電アクチュエータ３２の位置をセ
ンサ３５で検出し、その検出出力を検波器３６を通して
Ｘ−Ｙレコーダ３４の零調整器３７に供給する。
第４図は実験に供した積層型圧電アクチュエータを示し
たものであり、両面に電極板４２．４３を被着させた圧
電セラミック素子４１を積層し、その積層体の一端Ａを
固定部材４４に固定して固定端とし、他端Ｂを自由端と
している。圧電セラミック素子４１は一例として直径１
０ｔｒｍ、厚さ０．５４１９＋のものく東芝セラミック
社製Ｔ−９６）とし、積層枚数は２００枚とした。また
、圧電セラミック素子４１は厚み方向に分極されており
、隣接する素子の分極方向が互いに逆となるように積層
される。さらに、各々の圧電セラミック素子４１の両電
極４２．４３はリード線４５．４６によって端子４７．
４８に共通に接続されている。
たものであり、両面に電極板４２．４３を被着させた圧
電セラミック素子４１を積層し、その積層体の一端Ａを
固定部材４４に固定して固定端とし、他端Ｂを自由端と
している。圧電セラミック素子４１は一例として直径１
０ｔｒｍ、厚さ０．５４１９＋のものく東芝セラミック
社製Ｔ−９６）とし、積層枚数は２００枚とした。また
、圧電セラミック素子４１は厚み方向に分極されており
、隣接する素子の分極方向が互いに逆となるように積層
される。さらに、各々の圧電セラミック素子４１の両電
極４２．４３はリード線４５．４６によって端子４７．
４８に共通に接続されている。
端子４７．４８間に直流電圧が印加されると、この圧電
アクチュエータはその印加電圧の極性変化に対応して矢
印４９の方向に伸縮、すなわち変位を生じる。
アクチュエータはその印加電圧の極性変化に対応して矢
印４９の方向に伸縮、すなわち変位を生じる。
まず、比較実験として第３図の装置を用い、圧電アクチ
ュエータの印加電圧と変位量との関係を測定した結果を
第５図に示す。但し、第５図は後述の実験と条件を同じ
にするため、定電流源３１から圧電アクチュエータ３２
に一定電流を供給し、その状態で印加電圧を種々変化さ
せ、その時の変位をプロットしたものである。この第５
図の測定結果から明らかなように、圧電アクチュエータ
の変位は印加電圧に対して線形な変化を示さない。
ュエータの印加電圧と変位量との関係を測定した結果を
第５図に示す。但し、第５図は後述の実験と条件を同じ
にするため、定電流源３１から圧電アクチュエータ３２
に一定電流を供給し、その状態で印加電圧を種々変化さ
せ、その時の変位をプロットしたものである。この第５
図の測定結果から明らかなように、圧電アクチュエータ
の変位は印加電圧に対して線形な変化を示さない。
次に、本発明に基いて定電流源３１から圧電アクチュエ
ータ３２に定電流を供給した時の変位量の時間変化を第
６図に示す。この第６図の測定結果から、時間と共に変
位量が直線的に増加することがわかる。
ータ３２に定電流を供給した時の変位量の時間変化を第
６図に示す。この第６図の測定結果から、時間と共に変
位量が直線的に増加することがわかる。
また、前記（２）式より圧電アクチュエータへの電流供
給時間ｔと、蓄積電荷Ｑとは比例関係にあり、従って蓄
８Ｎ電荷Ｑと変位ＩＤとの間も比例関係にあるので、そ
れを確認するための実験を行なった。その結果を示した
のが第７図であり、圧電アクチュエータへの供給電流を
パラメータとして蓄積電荷Ｑと変位量りとの関係を示し
たものである。この結果から、圧電アクチュエータの蓄
積電荷Ｑと変位量りとの関係が線形であることがわかる
。
給時間ｔと、蓄積電荷Ｑとは比例関係にあり、従って蓄
８Ｎ電荷Ｑと変位ＩＤとの間も比例関係にあるので、そ
れを確認するための実験を行なった。その結果を示した
のが第７図であり、圧電アクチュエータへの供給電流を
パラメータとして蓄積電荷Ｑと変位量りとの関係を示し
たものである。この結果から、圧電アクチュエータの蓄
積電荷Ｑと変位量りとの関係が線形であることがわかる
。
次に、本発明の変位発生装置の具体的な応用例について
説明する。第１の応用例は、ヘリカルスキャン型ＶＴＲ
におけるダイナミックトラッキングである。ヘリカルス
キャン型ＶＴＲにおいては、通常の標準再生動作（通常
の動画再生）モード以外に、スチル、スロー、コマ送り
および高速ピクチャーサーチ等の特殊再生モードによる
再生機能を一般に有する。これら特殊再生モードでの再
生時に画質の良い画像を得る方法の一つとして、ダイナ
ミックトラッキングが知られている。これは回転磁気ヘ
ッドを特殊再生モードに応じた定められた周期信号によ
って磁気テープ上の既記録トラックの幅方向に移動させ
ることにより、トラックを連続的に追跡する技術である
。このようなダイナミックトラッキングを実現するため
の回転磁気ヘッドの移動制御手段として、本発明に基く
変位発生装置が非常に好適である。
説明する。第１の応用例は、ヘリカルスキャン型ＶＴＲ
におけるダイナミックトラッキングである。ヘリカルス
キャン型ＶＴＲにおいては、通常の標準再生動作（通常
の動画再生）モード以外に、スチル、スロー、コマ送り
および高速ピクチャーサーチ等の特殊再生モードによる
再生機能を一般に有する。これら特殊再生モードでの再
生時に画質の良い画像を得る方法の一つとして、ダイナ
ミックトラッキングが知られている。これは回転磁気ヘ
ッドを特殊再生モードに応じた定められた周期信号によ
って磁気テープ上の既記録トラックの幅方向に移動させ
ることにより、トラックを連続的に追跡する技術である
。このようなダイナミックトラッキングを実現するため
の回転磁気ヘッドの移動制御手段として、本発明に基く
変位発生装置が非常に好適である。
＄８図は本発明をヘリカルスキャン型ＶＴＲにおけるダ
イナミックトラッキングシステムに適用した実施例を示
すものである。磁気テープ（ビデオテープ）８１をその
周面上に接触させて案内するための下部固定ドラム８２
および上部回転ドラム８３が設けられ、回転ドラム８３
はモータ８４により回転駆動される。回転磁気ヘッド８
５は、一端が固定部材８７により回転ドラム８３に固定
されたバイモルフ型圧電アクチュエータ８６の他端（自
由端）に取付けられている。このように回転磁気ヘッド
を圧電アクチュエータにより変位させることによってト
ラッキングを行なう構成は、例えば特開昭５２−１１４
３１１号公報に記載されている。
イナミックトラッキングシステムに適用した実施例を示
すものである。磁気テープ（ビデオテープ）８１をその
周面上に接触させて案内するための下部固定ドラム８２
および上部回転ドラム８３が設けられ、回転ドラム８３
はモータ８４により回転駆動される。回転磁気ヘッド８
５は、一端が固定部材８７により回転ドラム８３に固定
されたバイモルフ型圧電アクチュエータ８６の他端（自
由端）に取付けられている。このように回転磁気ヘッド
を圧電アクチュエータにより変位させることによってト
ラッキングを行なう構成は、例えば特開昭５２−１１４
３１１号公報に記載されている。
再生モード切換回路８８は再生モード切換スイッチ（図
示せず）によって指定された特殊再生モードに応じて、
第１図の信号源１に相当する鋸歯状波発生回路８９に適
当な信号を供給し、周期信号、すなわちその特殊再生モ
ードに応じた周期と勾配を持つ鋸歯状波信号を発生させ
る。発生された鋸歯状波信号は、必要に応じてトラッキ
ング誤差信号と合成された後、微分回路３により微分さ
れて矩形波信号となる。微分回路２の出力信号は定電流
源３に制御信号として供給され、この定電流源３によっ
てアクチュエータ８６が駆動される。
示せず）によって指定された特殊再生モードに応じて、
第１図の信号源１に相当する鋸歯状波発生回路８９に適
当な信号を供給し、周期信号、すなわちその特殊再生モ
ードに応じた周期と勾配を持つ鋸歯状波信号を発生させ
る。発生された鋸歯状波信号は、必要に応じてトラッキ
ング誤差信号と合成された後、微分回路３により微分さ
れて矩形波信号となる。微分回路２の出力信号は定電流
源３に制御信号として供給され、この定電流源３によっ
てアクチュエータ８６が駆動される。
第９図に示すように、磁気テープ８１上の既記録トラッ
クを記号９１、テープ８１の走行方向を矢印９２、また
回転磁気ヘッド８５の回転方向を矢印９３で表わすと、
ヘッド８５は通常モードでの再生時にはトラッキングが
合っていればトラック９３をに正確に沿った軌跡を描く
。これに対し、スチル再生やスロー再生の場合には、テ
ープ８１が静止するかまたは通常より低速で走行するの
で、ヘッド８５に変位が特別に与えられなければ、第９
図（ａ）に示すようにヘッド８５の軌跡９４がテープ８
１の長手方向に対してなす角度はトラック９１のそれよ
り小さくなる。一方、コマ送り再生の場合にはテープ８
１は高速で走行するので、第９図（ｂ）に示すようにヘ
ッド８５の軌跡９５がテープ８１の長手方向に対してな
す角度は第９図（ａ）の場合と逆にトラック９１のそれ
より大きくなる（９０６に近くなる）。但し、第９図（
ｂ）は２倍速再生の場合を示す。第９図（ａ）（１））
のいずれの場合も、トラック９１とヘッド８５の軌跡が
一致しないため、画質が劣化する。
クを記号９１、テープ８１の走行方向を矢印９２、また
回転磁気ヘッド８５の回転方向を矢印９３で表わすと、
ヘッド８５は通常モードでの再生時にはトラッキングが
合っていればトラック９３をに正確に沿った軌跡を描く
。これに対し、スチル再生やスロー再生の場合には、テ
ープ８１が静止するかまたは通常より低速で走行するの
で、ヘッド８５に変位が特別に与えられなければ、第９
図（ａ）に示すようにヘッド８５の軌跡９４がテープ８
１の長手方向に対してなす角度はトラック９１のそれよ
り小さくなる。一方、コマ送り再生の場合にはテープ８
１は高速で走行するので、第９図（ｂ）に示すようにヘ
ッド８５の軌跡９５がテープ８１の長手方向に対してな
す角度は第９図（ａ）の場合と逆にトラック９１のそれ
より大きくなる（９０６に近くなる）。但し、第９図（
ｂ）は２倍速再生の場合を示す。第９図（ａ）（１））
のいずれの場合も、トラック９１とヘッド８５の軌跡が
一致しないため、画質が劣化する。
本発明の上記実施例によれば、特殊再生モードにおいて
鋸歯状波発生回路８９から第１０図（ａ） ゛に示
すような鋸歯状波信号が発生され、これを微分回路２で
微分した波形に従って定電流源３からアクチュエータ８
６に駆動信号が供給される。圧電アクチュエータに鋸歯
状波の電圧信号を駆動信号として供給した場合には、前
述したとステリシスのためアクチュエータの変位は第１
０図（ｂ）のようになってしまうのに対し、本発明によ
ればアクチュエータ８６のヒステリシスが打消されるた
め、アクチュエータ８６の変位パターンは第１０図（Ｃ
）に示すように正しい鋸歯状波となる。
鋸歯状波発生回路８９から第１０図（ａ） ゛に示
すような鋸歯状波信号が発生され、これを微分回路２で
微分した波形に従って定電流源３からアクチュエータ８
６に駆動信号が供給される。圧電アクチュエータに鋸歯
状波の電圧信号を駆動信号として供給した場合には、前
述したとステリシスのためアクチュエータの変位は第１
０図（ｂ）のようになってしまうのに対し、本発明によ
ればアクチュエータ８６のヒステリシスが打消されるた
め、アクチュエータ８６の変位パターンは第１０図（Ｃ
）に示すように正しい鋸歯状波となる。
従って、ヘッド８５の軌跡がトラック９１に正確に・一
致するようにヘッド８５を変位させることができる。
致するようにヘッド８５を変位させることができる。
なお、第８図ではバイモルフ型圧電アクチュエータ８６
の一端を固定したが、第１１図に示すように中央部を固
定し、両端に磁気ヘッド８５ａ。
の一端を固定したが、第１１図に示すように中央部を固
定し、両端に磁気ヘッド８５ａ。
８５ｂを支持するようにしてもよい。
また、第１２図に示すようにリング状のバイモルフ型圧
電アクチュエータ９０を用い、このアクチュエータ９０
を２点で固定し、この固定点間を結ぶ線に直角な線上の
２点に磁気ヘッド８５ａ。
電アクチュエータ９０を用い、このアクチュエータ９０
を２点で固定し、この固定点間を結ぶ線に直角な線上の
２点に磁気ヘッド８５ａ。
８５ｂを支持するようにしてもよい。
本発明の第２の応用例として、ＣＯＤ等の固体ＩＩ像素
子を用いた高解像度ｍｓシステムを第１３図に示す。第
１３図において被写体からの光像は撮像レンズ１０１を
通り、固体撮像素子１０２上に結像される。固体撮像素
子１０２は、支持台１０３上に２つのバイモルフ型圧電
アクチュエータ１０４，１０５を介して支持されている
。なお、アクチュエータ１０４．１０５と撮像素子１０
２との間をフレキシブルカップラで結合してもよい。
子を用いた高解像度ｍｓシステムを第１３図に示す。第
１３図において被写体からの光像は撮像レンズ１０１を
通り、固体撮像素子１０２上に結像される。固体撮像素
子１０２は、支持台１０３上に２つのバイモルフ型圧電
アクチュエータ１０４，１０５を介して支持されている
。なお、アクチュエータ１０４．１０５と撮像素子１０
２との間をフレキシブルカップラで結合してもよい。
クロックトライバ１０６は、固体撮像素子１０２の各電
極へ搬像動作に必要なりロック信号を供給する。固体撮
像素子１０２から発生された画像信号は信号処理回路１
０７に入力され、ここで例えば標準テレビジョン方式の
画像信号に変換される。タイミング発生回路１０８はク
ロックトライバ１０６および信号処理回路１０７で必要
な各種のタイミング信号を標準テレビジョン方式に準じ
て発生する。駆動回路１０９はタイミング発生回路１０
８から例えば第１５図（ａ）に示す垂直同期パルスが供
給されることによって、アクチュエータ１０４，１０５
を駆動する。これによって固体撮像素子１０２は例えば
水平走査方向に振動される。
極へ搬像動作に必要なりロック信号を供給する。固体撮
像素子１０２から発生された画像信号は信号処理回路１
０７に入力され、ここで例えば標準テレビジョン方式の
画像信号に変換される。タイミング発生回路１０８はク
ロックトライバ１０６および信号処理回路１０７で必要
な各種のタイミング信号を標準テレビジョン方式に準じ
て発生する。駆動回路１０９はタイミング発生回路１０
８から例えば第１５図（ａ）に示す垂直同期パルスが供
給されることによって、アクチュエータ１０４，１０５
を駆動する。これによって固体撮像素子１０２は例えば
水平走査方向に振動される。
固体撮像素子１０２は例えば第１４図に示すようなイン
ターライン転送型ＣＣＤ撮像素子であり、二次元配列さ
れたＭＸＮ個の感光部Ｐｉｊ（ｉ−１，２，・・・Ｍ、
ｊ−１，２，・・・Ｎ）と、該感光部Ｐｔｊの垂直方向
の列に隣接して設けられ、光像に基く感光部ＰＩＪの蓄
積電荷を読出して垂直方向に転送する垂直転送レジスタ
Ｃｉと、感光部Ｐｉｊの垂直方向の列の終端部に対向し
て設けられた水平転送レジスタＨ１および水平転送レジ
スタＨを通して読出された電荷を電気信号に変換し画像
信号として取出すための出力回路ＯＣにより構成されて
いる。
ターライン転送型ＣＣＤ撮像素子であり、二次元配列さ
れたＭＸＮ個の感光部Ｐｉｊ（ｉ−１，２，・・・Ｍ、
ｊ−１，２，・・・Ｎ）と、該感光部Ｐｔｊの垂直方向
の列に隣接して設けられ、光像に基く感光部ＰＩＪの蓄
積電荷を読出して垂直方向に転送する垂直転送レジスタ
Ｃｉと、感光部Ｐｉｊの垂直方向の列の終端部に対向し
て設けられた水平転送レジスタＨ１および水平転送レジ
スタＨを通して読出された電荷を電気信号に変換し画像
信号として取出すための出力回路ＯＣにより構成されて
いる。
このような固体撮像素子においては、感光部Ｐｉｊの垂
直方向の列と列の間に垂直転送部Ｃ１が存在するため、
水平方向の解像度が十分に得られない。そこで、例えば
特開昭５８−２９２７５号公報その他に記載されている
ように、撮像素子をフィールド周期で水平走査方向に振
動さぜ、それによって感光部Ｐ１ｊが第１フイールドで
実線で示す位置にあるものとすると、第２フイールドで
は感光部Ｐｉｊを一点鎖線で示す位置に変位させること
により解像度を高くする方法が提案されている。
直方向の列と列の間に垂直転送部Ｃ１が存在するため、
水平方向の解像度が十分に得られない。そこで、例えば
特開昭５８−２９２７５号公報その他に記載されている
ように、撮像素子をフィールド周期で水平走査方向に振
動さぜ、それによって感光部Ｐ１ｊが第１フイールドで
実線で示す位置にあるものとすると、第２フイールドで
は感光部Ｐｉｊを一点鎖線で示す位置に変位させること
により解像度を高くする方法が提案されている。
さらに、特開昭５８−１３０６７７号公報には、固体撮
像素子をこのように振動させる手段として、圧電アクチ
ュエータ（バイモルフ据動子）を使用することが記載さ
れている。この場合、固体＠像素子１０２の振動波形は
第１５図（ｂ）に示すような台形波状が適切である。し
かし、このような台形波を電圧信号として発生し、それ
を圧電アクチュエータに印加すると、前述したヒステリ
シスのため圧電アクチュエータの変位パターンは第１５
図（Ｃ）に示すような波形となる。この第１５図の（Ｃ
）の波形で問題となるのは、第１５図（ｂ）の台形波の
平坦部に対応する部分の変位歯が一定でなく、僅かすっ
であるが徐々に増大してしまうことである。これは第１
．第２フイールドでの感光部Ｐｉｌの位置が不安定にな
るということであり、画質劣化の要因となる。
像素子をこのように振動させる手段として、圧電アクチ
ュエータ（バイモルフ据動子）を使用することが記載さ
れている。この場合、固体＠像素子１０２の振動波形は
第１５図（ｂ）に示すような台形波状が適切である。し
かし、このような台形波を電圧信号として発生し、それ
を圧電アクチュエータに印加すると、前述したヒステリ
シスのため圧電アクチュエータの変位パターンは第１５
図（Ｃ）に示すような波形となる。この第１５図の（Ｃ
）の波形で問題となるのは、第１５図（ｂ）の台形波の
平坦部に対応する部分の変位歯が一定でなく、僅かすっ
であるが徐々に増大してしまうことである。これは第１
．第２フイールドでの感光部Ｐｉｌの位置が不安定にな
るということであり、画質劣化の要因となる。
本発明の上記実施例によれば、駆動回路１０９において
タイミング回路１０８から供給される第１５図（ａ）に
示す垂直同期パルスに基いて第１５図（ｂ）に示す台形
波信号が信号源で作成され、この台形波信号が微分回路
に供給される。そして、その微分回路出力が定電流源に
供給され、その定電流源によって圧電アクチュエータ１
０４．１０５が駆動される。この場合の圧電アクチュエ
ータ１０３゜１０４の変位パターンは、アクチュエータ
のヒステリシスが除去されることにより、第１５図（ｂ
）の波形と同じく第１５図（ｄ）に示したような台形波
状となる。すなわち、第１５図（ｄ）においては台形波
の平坦部では定電流源からの電流供給がなくアクチュエ
ータ１０４，１０５の両端はオーブンとなるため、変位
量は第１５図（Ｃ）のように徐々に増加することはなく
一定である。従って、固体撮像素子１０２における感光
部Ｐｉｔの位置は、第１フイールドでは第１３図の実線
で示す位置に、また第２フイールドでは同図の破線で示
す位置にそれぞれ安定に保たれるので、固体撮像素子１
０２から感光部Ｐｉｊの位置変動による劣化のない、品
質の良い画像信号が得られる。
タイミング回路１０８から供給される第１５図（ａ）に
示す垂直同期パルスに基いて第１５図（ｂ）に示す台形
波信号が信号源で作成され、この台形波信号が微分回路
に供給される。そして、その微分回路出力が定電流源に
供給され、その定電流源によって圧電アクチュエータ１
０４．１０５が駆動される。この場合の圧電アクチュエ
ータ１０３゜１０４の変位パターンは、アクチュエータ
のヒステリシスが除去されることにより、第１５図（ｂ
）の波形と同じく第１５図（ｄ）に示したような台形波
状となる。すなわち、第１５図（ｄ）においては台形波
の平坦部では定電流源からの電流供給がなくアクチュエ
ータ１０４，１０５の両端はオーブンとなるため、変位
量は第１５図（Ｃ）のように徐々に増加することはなく
一定である。従って、固体撮像素子１０２における感光
部Ｐｉｔの位置は、第１フイールドでは第１３図の実線
で示す位置に、また第２フイールドでは同図の破線で示
す位置にそれぞれ安定に保たれるので、固体撮像素子１
０２から感光部Ｐｉｊの位置変動による劣化のない、品
質の良い画像信号が得られる。
なお、上記説明では便宜上、第１５図（ａ）の垂直同期
パルスを第１５図（ｂ）のように微分し、それを定電流
源に制御信号として供給するとしたが、第１５図（ｂ）
の台形波信号を微分した波形は第１５図（ａ）と同じに
なるので、実際には第１５図（ａ）の垂直同期パルス（
電圧信号）をそのまま定電流源に制御信号として供給す
る方が合理的である。その場合、微分回路は当然不要で
ある。
パルスを第１５図（ｂ）のように微分し、それを定電流
源に制御信号として供給するとしたが、第１５図（ｂ）
の台形波信号を微分した波形は第１５図（ａ）と同じに
なるので、実際には第１５図（ａ）の垂直同期パルス（
電圧信号）をそのまま定電流源に制御信号として供給す
る方が合理的である。その場合、微分回路は当然不要で
ある。
第１６図は固体搬像素子１０２の振動機構の別の例を示
したものであり、固体撮像素子１０２は固定座１１０上
に固定され、固定座１１０はねじ等により２つのバイモ
ルフ型圧電アクチュエータ１１１，１１２に支持されて
いる。そして、アクチュエータ１１１゜１１２のそれぞ
れの両端は、アクチュエータ１１１゜１１２への給電用
電極を兼ねる、スプリング作用を有した支持具１１３ａ
、１１３ｂおよび１１４ａ、１１４ｂにより固定されて
いる。
したものであり、固体撮像素子１０２は固定座１１０上
に固定され、固定座１１０はねじ等により２つのバイモ
ルフ型圧電アクチュエータ１１１，１１２に支持されて
いる。そして、アクチュエータ１１１゜１１２のそれぞ
れの両端は、アクチュエータ１１１゜１１２への給電用
電極を兼ねる、スプリング作用を有した支持具１１３ａ
、１１３ｂおよび１１４ａ、１１４ｂにより固定されて
いる。
第１図は本発明の一実施例に係る変位発生装置の構成を
示す回路図、第２図はその動作を説明するための各部波
形図、第３図は本発明に基いて定電流源により圧電アク
チュエータを駆動した場合の効果を確認するために使用
した実験装置を示すブロック図、第４図は実験に使用し
た積層型圧電アクチュエータの構成を示す図、第５図は
圧電アクチュエータの印加電圧と変位置との関係を測定
した結果を示す図、第６図は圧電アクチュエータに一定
電流を供給した場合の電流供給時間と変位量との関係を
測定した結果を示す図、第７図は圧電アクチュエータに
供給する定電流をパラメータとしてアクチュエータの蓄
積電荷と変位量との関係を測定した結果を示す図、第８
図は本発明をヘリカルスキャン型ＶＴＲにおける特殊再
生モードでのダイナミックトラッキングシステムに応用
した実施例を示す図、第９図は特殊再生モードの具体例
を説明するための磁気テープ上のトラックパターンおよ
びヘッド軌跡を示す図、第１０図は第９図の動作を説明
するための波形図、第１１図および第１２図はダイナミ
ックトラッキングシステムにおける磁気ヘッドの移動機
構の他の構成例を示す図、第１３図は本発明を固体撮像
素子を使用した高解像度撮像システムに応用した実施例
を示す図、第１４図は固体撮像素子の一例であるインタ
ーライン転送型ＣＣＤ撮りｍ素子の構成を示す図、第１
５図は第１１図の動作を説明するための波形図、第１６
図は固体＠像素子の振動機構の他の構成例を示す図、第
１７図は圧電アクチュエータの印加電圧と変位量との関
係を示す図である。 １・・・信号源、２・・・微分回路、３・・・定Ｎ流源
、６・・・圧電アクチュエータ、８１・・・磁気テープ
、８５゜８５ａ、８５ｂ・・・回転磁気ヘッド、８６・
・・バイモルフ型圧電アクチュエータ、８９・・・鋸歯
状波発生回路（信号源）、９１・・・既記縁トラック、
９４゜９５・・・ヘッド軌跡、１０２・・・固体撮像素
子、１０４．１０５，１１１．１１２・・・バイモルフ
型圧電アクチュエータ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 百 シ 霜 ◆ く 曹 ◆ の １
＋ 、 １〉〉。 臣 緊 “ ’！ｏ ’ φ ＯＩ 〉 第３図 電流供胎詩間 （ｍｉｎ） 第６図 第８図 第１０図 第１１図 第１２図 第１３図 第１４図 ＠ １５図
示す回路図、第２図はその動作を説明するための各部波
形図、第３図は本発明に基いて定電流源により圧電アク
チュエータを駆動した場合の効果を確認するために使用
した実験装置を示すブロック図、第４図は実験に使用し
た積層型圧電アクチュエータの構成を示す図、第５図は
圧電アクチュエータの印加電圧と変位置との関係を測定
した結果を示す図、第６図は圧電アクチュエータに一定
電流を供給した場合の電流供給時間と変位量との関係を
測定した結果を示す図、第７図は圧電アクチュエータに
供給する定電流をパラメータとしてアクチュエータの蓄
積電荷と変位量との関係を測定した結果を示す図、第８
図は本発明をヘリカルスキャン型ＶＴＲにおける特殊再
生モードでのダイナミックトラッキングシステムに応用
した実施例を示す図、第９図は特殊再生モードの具体例
を説明するための磁気テープ上のトラックパターンおよ
びヘッド軌跡を示す図、第１０図は第９図の動作を説明
するための波形図、第１１図および第１２図はダイナミ
ックトラッキングシステムにおける磁気ヘッドの移動機
構の他の構成例を示す図、第１３図は本発明を固体撮像
素子を使用した高解像度撮像システムに応用した実施例
を示す図、第１４図は固体撮像素子の一例であるインタ
ーライン転送型ＣＣＤ撮りｍ素子の構成を示す図、第１
５図は第１１図の動作を説明するための波形図、第１６
図は固体＠像素子の振動機構の他の構成例を示す図、第
１７図は圧電アクチュエータの印加電圧と変位量との関
係を示す図である。 １・・・信号源、２・・・微分回路、３・・・定Ｎ流源
、６・・・圧電アクチュエータ、８１・・・磁気テープ
、８５゜８５ａ、８５ｂ・・・回転磁気ヘッド、８６・
・・バイモルフ型圧電アクチュエータ、８９・・・鋸歯
状波発生回路（信号源）、９１・・・既記縁トラック、
９４゜９５・・・ヘッド軌跡、１０２・・・固体撮像素
子、１０４．１０５，１１１．１１２・・・バイモルフ
型圧電アクチュエータ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 百 シ 霜 ◆ く 曹 ◆ の １
＋ 、 １〉〉。 臣 緊 “ ’！ｏ ’ φ ＯＩ 〉 第３図 電流供胎詩間 （ｍｉｎ） 第６図 第８図 第１０図 第１１図 第１２図 第１３図 第１４図 ＠ １５図
Claims (6)
- （１）電気エネルギーが印加されることにより駆動され
変位を生じる圧電アクチエータと、この圧電アクチエー
タに接続された定電流源を有し、該定電流源に制御信号
を供給することにより前記圧電アクチュエータを駆動す
る駆動手段とを備えたことを特徴とする変位発生装置。 - （２）前記駆動手段は、前記圧電アクチュエータの所望
の変位パターンに対応する波形の信号を発生する信号源
と、この信号源からの信号を微分する微分回路とを有し
、該微分回路の出力信号を前記定電流源へ制御信号とし
て供給することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の変位発生装置。 - （３）前記圧電アクチュエータは、磁気テープに対向し
て回転する回転磁気ヘッドを用いて信号の記録・再生を
行なう磁気記録再生装置における該回転磁気ヘッドを該
磁気テープ上のトラックの幅方向に移動させるべく支持
するものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の変位発生装置。 - （４）前記圧電アクチュエータは、磁気テープに対向し
て回転する回転磁気ヘッドを用いて信号の記録・再生を
行なう磁気記録再生装置における該回転磁気ヘッドを該
磁気テープ上のトラックの幅方向に移動させるべく支持
するものであり、前記駆動手段は、鋸歯状波信号を発生
する信号源と、前記鋸歯状信号を微分して矩形波信号に
変換する微分回路とを有し、該微分回路の出力信号を前
記定電流源へ制御信号として供給するものであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の変位発生装置。 - （５）前記圧電アクチュエータは、半導体基板上に複数
個の感光部を配列して構成された固体撮像素子を該感光
部の配列方向に振動させるべく支持するものであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の変位発生装置
。 - （６）前記圧電アクチュエータは、半導体基板上に複数
個の感光部を配列して構成された固体撮像素子を該感光
部の配列方向に振動させるべく支持するものであり、前
記駆動手段は、台形波信号を発生する信号源と、前記台
形波信号を微分して矩形波信号に変換する微分回路とを
有し、該微分回路の出力信号を前記定電流源へ制御信号
として供給するものであることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の変位発生装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60125675A JPS61285082A (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | 圧電型駆動装置 |
| US06/853,199 US4689514A (en) | 1985-06-10 | 1986-04-17 | Displacement generating device |
| DE86105539T DE3689242T2 (de) | 1985-06-10 | 1986-04-22 | Eine Verschiebung erzeugende Anordnung. |
| EP86105539A EP0204932B1 (en) | 1985-06-10 | 1986-04-22 | Displacement generating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60125675A JPS61285082A (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | 圧電型駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61285082A true JPS61285082A (ja) | 1986-12-15 |
| JPH0477551B2 JPH0477551B2 (ja) | 1992-12-08 |
Family
ID=14915875
Family Applications (1)
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