JPS62144136U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62144136U JPS62144136U JP3182686U JP3182686U JPS62144136U JP S62144136 U JPS62144136 U JP S62144136U JP 3182686 U JP3182686 U JP 3182686U JP 3182686 U JP3182686 U JP 3182686U JP S62144136 U JPS62144136 U JP S62144136U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide surface
- motion guide
- feed mechanism
- stage
- linear motion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す斜視図、第2
図は要部説明図である。 1…Xテーブル、2…Yテーブル、3…ベース
、4…Xガイド、5…X軸受、6…Xモータ、7
…X送りネジ、8…Yガイド、9…Y軸受、10
…Yモータ、11…Y送りネジ、12…Y軸受、
13…ナツト、14…スライダ、15…ガイドロ
ーラ、16…テフロンシート。
図は要部説明図である。 1…Xテーブル、2…Yテーブル、3…ベース
、4…Xガイド、5…X軸受、6…Xモータ、7
…X送りネジ、8…Yガイド、9…Y軸受、10
…Yモータ、11…Y送りネジ、12…Y軸受、
13…ナツト、14…スライダ、15…ガイドロ
ーラ、16…テフロンシート。
Claims (1)
- 直線運動案内面と送り機構とを同一テーブル上
に配設したXYステージにおいて、テーブル移動
方向と平行な溝を設けた直線運動案内面と、上記
溝内に設けた送り機構とから成り、上記直線運動
案内面と上記送り機構送り軸とが同一平面となる
ように調整すべく構成したことを特徴とするXY
ステージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3182686U JPS62144136U (ja) | 1986-03-07 | 1986-03-07 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3182686U JPS62144136U (ja) | 1986-03-07 | 1986-03-07 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62144136U true JPS62144136U (ja) | 1987-09-11 |
Family
ID=30837918
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3182686U Pending JPS62144136U (ja) | 1986-03-07 | 1986-03-07 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62144136U (ja) |
-
1986
- 1986-03-07 JP JP3182686U patent/JPS62144136U/ja active Pending