JPH0276832A - 金属酸化物の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、取扱が簡単で保存安定性に優れた、熱分解に
より金属酸化物を生成する金属セスキテルペンアルコキ
シドの製造方法と、この化合物を熱分解して得た金属酸
化物粉末と、金属として特定の金属を選択し組み合わせ
た金属酸化物粉末と、この酸化物粉末を用いた超電導成
形体に関する。

［従来の技術と本発明が解決しようとする課題］従来熱
分解により金属酸化物を生成する有機金属化合物として
は、−船釣にレジネート、脂肪酸塩、メルカプチド、硫
化バルサム等が用いられ、また金属石鹸類や、金属アル
コキシドなども知られている。このうち特に金属のメト
キシド、エトキシド、プロポキシド、ブトキシドなどの
低級アルキルアルコールのアルコキシドは、金属含有率
が高く、また合成も簡単であり、はとんどの金属で化合
物を作るので、薄膜原料として期待されているが、保存
性に欠ける欠点がある。即ちこれらの金属アルコキシド
は加水分解し易く、また有機溶媒に対する安定性が悪い
ので、化合物そのものの取扱が難しい上、７Ｂ液の状態
で長期間保存すると一部分解してしまう結果、薄膜を形
成しようとしても均一な膜厚が得られ難くなるため薄膜
の形成には必ずしも適していなかった。更に金属アルコ
キシドは有機溶媒に対する選択性があり、ごく限られた
有機溶媒にしか溶解しないので、原材料として使用する
上で大きな問題がある。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、金属アルコキシドと、セスキテルペンアルコ
ールとを反応させて金属セスキテルペンアルコキシドを
製造する方法、金属アセテートとセスキテルペンアルコ
ールとを反応させて金属セスキテルペンアルコキシドを
製造する方法、及び金属塩化物と、ナトリウムセスキテ
ルペンアルコキシドとを反応させて金属セスキテルペン
アルコキシドを製造する方法と、上記製造方法により製
造された金属セスキテルペンアルコキシドを焼成して熱
分解し、所望により粉砕して得た、金属酸化物粉末と、
金属元素としてＢａ、Ｙ、Ｃｕを併用した金属酸化物粉
末及び、バリウムセスキテルペンアルコキシド、イツト
リウムセスキテルペンアルコキシド、銅セスキテルペン
アルコキシドをモル比でＢａ：Ｙ：Ｃｕ＝２：１：３と
なるように有機溶剤に添加混合した混合物を焼成して熱
分解し上記方法により得た熱分解物を、次いで酸素雰囲
気中で焼成し所望により粉砕して得た、超電導金属酸化
物粉末と、上記方法により得た熱分解物を、成形し次い
で酸素雰囲気中で焼成して得た、超電導成形体に関する
。

さらに詳しく説明すれば、本発明は 「１９式、　　　Ｍ　（ＯＲ）ｚ　（Ｍは金属元素、Ｒ
はアルキル基、２は金属元素の原子価）で示される金属
アルコキシドと、セスキテルペンアルコールとを反応さ
せることを特徴とする特許Ｍ　＜０Ｒ）ｚ−ｘ　（ＯＡ
）ｘ　　（Ｍは金属元素、Ｒはアルキル基、Ａはセスキ
テルペニル基、２は金属元素の原子価、Ｘは１≦ｘ≦ｚ
の整数）で示される金属セスキテルペンアルコキシドの
製造方法。

２、式 ％式％ は金属元素の原子価） で示される金属アセテートとセスキテルペンアルコール
とを反応させることを特徴とする式、Ｍ　＜０Ａ）ｚ　
　（Ｍは金属元素、Ｚは金属元素の原子価、Ａはセスキ
テルペニル基）で示される金属セスキテルペンアルコキ
シドの製造方法。

３、式、ＭＣＩｚ　　（Ｍは金属元素、２は金属元素の
原子価〉で示される金属塩化物、または、式、Ｍ　（Ｏ
ＣＯＣＨ３）ｚ　　（Ｍは金属元素、２は金属元素の原
子価） で示される金属アセテートと、式、 ＮａＯＡ　　（Ａはセスキテルペニル基）で示されるナ
トリウムセスキテルペンアルコキシドとを反応させるこ
とを特徴とする、式 Ｍ（ＯＡ）ｚ　　（Ｍは金属元素、Ａはセスキテルペニ
ル基、Ｚは金属元素の原子価）で示される金属セスキテ
ルペンアルコキシドの製造方法。

４、第１項記載の方法により得た金属セスキテルペンア
ルコキシドを焼成して熱分解し、所望により粉砕して得
な、金属酸化物粉末 ５、第２項記載の方法により得た金属セスキテルペンア
ルコキシドを焼成して熱分解し、所望により粉砕して得
た、金属酸化物粉末。

６、第３項記載の方法で得た金属セスキテルペンアルコ
キシドを焼成して熱分解し、所望により粉砕して得た、
金属酸化物粉末。

７、ＭとしてＢａ、Ｙ、Ｃｕを併用した第４乃至第６項
のいずれか１項記載の金属酸化物粉末。

８、バリウムセスキテルペンアルコキシド、イツトリウ
ムセスキテルペンアルコキシド、銅セスキテルペンアル
コキシドをモル比でＢａ：Ｙ：Ｃｕ−２＋１：３となる
ように混合した混合物を焼成して熱分解し、次いで酸素
雰囲気中で焼成し所望により粉砕して得た、第４項乃至
第７項のいずれか一項記載の超電導金属酸化物粉末。

９、バリウムセスキテルペンアルコキシド、イツトリウ
ムセスキテルペンアルコキシド、別セスキテルペンアル
コキシドをモル比でＢａ　：　Ｙ　：　Ｃｕ＝２：１３
となるように混合した混合物を熱分解して得た生成物を
、成形し次いで酸素雰囲気中で焼成して成る、超電導成
形体、」に関する。

本発明により従来解決できなかっな、新規な安定性の良
い、取り扱いやすい、熱分解により容易に金属酸化物を
生成する金属セスキテルペンアルコキシドの製造方法、
金属セスキテルペンアルコキシドを原料として製造され
た金属粉末、金属として特定の金属を選択し組み合わせ
た超電導性を示す金属酸化物粉末組成物、及びこの組成
物からなる成形体を提供することができたのである。

金属アルコキシドのアルコール成分としては、メチルア
ルコール、エチルアルコール、ｎ−プロピルアルコール
、イソ−プロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコール、
ｔｅｒｔ−ブチルアルコール、等の低級アルコールが使
用される。

金属としては、これらのアルコールとアルコキシドを形
成するものであれば特に制限はなく、例えば、Ｔ’ａ、
Ｔｉ、ＡＩ、Ｓｊ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｐｂ、Ｚｒ、Ｚｎ、Ｂ
ａ、Ｂｉ、Ｌａ、Ｙ、Ｃｕ。

Ｃａ等の卑金属、Ｒｕなとの貴金属が使用される。

セスキテルペンアルコールは、組成式ＣＩｓ　ＨｘＯ（
ｘ　＝　１８〜２６）代表的にはＣＩ５Ｈ２４０で示さ
れるテルペンアルコールである。液状でも固体状でもよ
いが好ましくは常温で液体のものであり、また金属アル
コキシドと反応させた後容易に反応生成物と分離できる
もの、または反応後そのまま有機ビヒクルとして使用で
きるものが望ましい０例えばベチベノール、ネロリドー
ル、ファルネソール、サンタロールなどが反応性、分離
、薄膜化の点から実用上有効である。

本発明により提供される、金属セスキテルペンアルコキ
シドはいずれら本出願前知られていなかつた新規な化合
物である。金属アルコキシドとセスキテルペンアルコー
ルの反応を１例として、ベチベノールを使用した場合で
説明すると、ベチベノールはＣ＋ｓ　Ｈ２４０で示され
るアルコールである。

金属アルコキシドとベチベノールの反応は両者を混合し
、７０〜２００℃で１〜２時間加熱することにより行わ
れ反応生成物である金属ベチベノキシドは新規な化合物
であって、蒸溜や抽出により反応系から容易に分離でき
る。

本発明により製造される金属セスキテルペンアルコキシ
ドは 一般式　Ｍ　（ＯＲ）ｚ−ｘ　（ＯＡ）ｘ　　（Ｍは金
属元素、Ｒはアルキル基、Ａはセスキテルペニル基、２
は金属元素の原子価、Ｘは１≦Ｘ≦２である整数）で示
されるが式から明らかなようにＸ＝２の場合は 一般式　Ｍ　（ＯＡ）　ｚ　　で示される金属セスキテ
ルペンアルコキシドであるがこの化合物ら本発明で製造
される化合物に含まれる。

本発明は、またこの金属セスキテルペンアルコキシドを
熱分解して得た金属酸化物粉末にも関する。また、金属
セスキテルペンアルコキシドの金属元素としてＢａ、Ｙ
、Ｃｕを選び３種の金属化合物を混合して熱分解するこ
とによりＢａ−Ｙ−Ｃｕの混合酸化物粉末を形成するこ
とができるが金属のＷ１合がモル比でＢａ：Ｙ：Ｃｕ＝
２：　１　：３となるようにして、熱分解し得られた粉
末を酸素雰囲気で焼成することにより超電導性の金属酸
化物粉末を形成することができる。さらにこの熱分解し
て得た粉末を成形して酸素雰囲気中で焼成することによ
り超電導性成形体とすることもできるのである。

［作用］ この本発明により得られる、金属有機誘導体は、反応原
料である金属アルコキシドのアルコキシ基の少なくとも
１つがセスキテルペンアルコキシ基によって置換された
新規な金属有機誘導体であり、従来知られている金属ア
ルコキシドに比べて耐湿性、耐加水分解性が極めて良好
である上、取扱か簡単で保存安定性に優れている。また
アルコール。

、エーテル、エステル、脂肪族炭化水素、芳香族炭化水
素など多くの種類の有Ｒ溶媒に対する溶解度が高く、こ
れらの溶媒に対する安定性も良い利点があり、かつ、溶
液状態での長期保存が可能であり、また溶媒に対する選
択姓が少ない利点を有する０本発明により得られる金属
セスキテルペンアルコキシドは熱分解して金属酸化物を
生成するので、金属酸化物膜、金属酸化物粉末の製造に
好適であり、複数の金属セスキテルペンアルコキシドを
混合して使用することもできる。また金属を選択するこ
とにより種々の特性を発揮させることができる。

例えば、金属のモル比でＢａ：Ｙ：Ｃｕ＝２；に３にな
るように調整して熱分解し、酸素雰囲気で焼成すると得
られた金属酸化物粉末は超電導性を示す・このほかこの
金属有機化合物は例えば薄膜形成原料として使用した場
合電気抵抗の１１整、生成した膜のピンポールやクラッ
クの除去などに優れた作用効果を奏する。

［実施例］ 実施例１ タンタルエトキシドＴａ　（ＯＣ２Ｈ５）ｓ、５．９　
ｇ　＜０．０１５ｎｏｌ）とベチベノール　ＣＩ６　Ｈ
２４０１０ｇ　（０，０４５ｉｏ１）とを混合し、１５
０℃で２時間反応させて暗褐色の粘門な溶液を得た０次
いで減圧蒸溜を行い未反応物を除去した０反応生成物は
赤外吸収スペクトル、核磁気共鳴、熱分解ガスクロマト
グラフィ質量分析による分析結果から、いずれの出発物
質とも異なり、タンタルエトキシドのエトキシ基の少な
くとも１つがベチベノキシ基で置換された形の金属有機
誘導体であることが確認された。示差熱分析の結果、タ
ンタル含有率は３５．５重量％であった。この化合物は
、カルボン酸、アミン、炭化水素、アルコール、アルデ
ヒド、ゲトン、エーテル、エステル、ハロゲン化炭化水
素、などほとんどの有機溶媒に溶解し溶液の安定性も高
い。

実施例２ バリウムエトキシドＢａ　（ＯＣ２Ｈｓ　）　２０、１
４４７ｇ（０，０００６ｎｏｌ　）とベチベノール１．
６５９３ｇ（０，００７５ｎ＋ｏｌ　）とを混合し、ア
ルゴンを流しながら、７０℃に保って２時間加熱撹拌し
た。

生成物は、バリウム含有率３．４重量％の濃い茶色のバ
リウムエトキシベチベノキシド溶液であった。

実施例３ 酢酸イツトリウムＹ　（ＯＣＯＣＨ３）３１．８ｈ　　
（０，００７ｎｏりを純水に溶解し、さらに少量のエタ
ノールを加えて溶液を調整した。　ベチベノール１０．
３２７８０（０，０４６８ｍｏｌ　）とナトリウム０．
３４６ｇ（０，０１５１ｎｏｌ　＞を１２０℃の油浴で
２０分間加熱反応させ、冷却後、エタノールを加えて均
一なエタノール溶液とする。

このエタノール溶液に、撹拌しながら上記の酢酸イツト
リウム溶液を滴下し、全量滴下後１１０℃の湯浴で２時
間加熱を続は反応させた。

反応終了後冷却してから、クロロホルムを加え生成物を
クロロホルムに溶解抽出しな、生成物はイツトリウム含
有率２．１％の茶褐色の透明粘稠なイットリウムベチベ
ノキシド溶液であった。

実施例４ チタニウムイソ、１０ボキシド１．０ｇ　（０，０３５
ａｏｌ　）とベチベノール１．２ａ　（０，００５ａｏ
ｌ　）とを混合し、９０℃で２時間反応させ、チタン含
有率６．９重量％の茶褐色の透明粘稠なチタニウムイソ
プロボキシベチベノキシド溶液を得た。

実施例５ アルミニウムイソプロポキシド１．４０（０゜００７ｎ
ｏｌ）とネロリドール３．２ｇ（０，０１４ａｏｌ　）
を混合し、１５０℃で２時間加熱反応させ、アルミニウ
ム含有率４．６１１Ｌ量％の濃い黄色の粘稠なアルミニ
ウムイソプロホキシネロリドキシド溶液を得た。

実施例６ 鍋イソプロポキシド１．８ｇ　（０，００５ａｏｌ　）
とネロリドール１．７ｇ　（０，００８ｉｏｌ）を混合
し、１３０’Ｃで２時間加熱反応させ、錫含有率１７．
４重量％の濃い茶色の鍋イソプロボキシネロリドキシド
の透明粘稠な溶液を得た。

実施例フ イツトリウムイソプロポキシイド ０．３ｇ（０，００１ｉｏ１）とネロリドール１．４ｇ
（０，００６ａｏｌ）を混合し、１００℃で１時間加熱
反応させ、イツトリウム含有率５．４重量％の茶褐色の
透明粘稠なイツトリウムイソプロホキシネロリドキシド
溶液を得た。

実施例８ チタニウムイソプロポキシド１．４＋Ｉ＋　（−０、０
０４９ｎｏ　Ｉ　）と鉛インプロポキシド１　、６（Ｊ
　（０，００４９ｎｏ　ｌ　）をベチベノール２、８０
　（０，０１２６ｎｏ　Ｉ　）とを混合し、９０℃で２
時間反応させ、チタニウムイソプロボキシベチベノキシ
ドと、鉛イソプロボキシベチベノキシドの混合物溶液５
．７ｇを得た。

実施例９ バリウムエトキシド３．０ｇ（０，０１３ｉｏｌ）　　
とベチベノール１９．６ｇ（０，０８８ｉｏ１）とを混
合し、７０℃で２時間反応させ、バリウム含有率３．８
重量％の濃い茶色の透明粘稠なバリウムエトキシベチベ
ノキシド溶液を得た。

実施例１０ 鉛イソプロポキシド１　、０ｇ　（０，００３ｉｏ　１
　）とベチベノール１　、３ｇ１０．００６ｎｏ、Ｉ　
）とを混合し、９０’Ｃで１時間反応させ、鉛含有率３
２．１重量％の濃い茶色の透明粘稠な鉛イソプロポキシ
ベチベノキシド溶液を得た。

実施例１１ シリコンエトキシド０．９ｇ（０，００４ｉｏ１）とベ
チベノール１．５ｇ（０，００７ａｏｌ）とを混合し、
１３０℃で１２０分間反応させ、シリコン含有率４．９
重量％の濃い茶色の透明粘稠なシリコンエトキシベチベ
ノキシド溶液を得た。

実施例１２ Ｃｕ　（０ＣＯＣＨｓ　）　２２．０ｏ（０，０１１１
Ｉｏｆ）に、エタノールを１４０１加え５０℃に加温し
た後、Ｎ、Ｎ−ジエチルアニリン８ｇとベチベノール２
４ｇ（０，１ｉｎ＋ｏｌ　）を加え２時間撹拌還流させ
た。

その後エタノールを完全に除き、クロロホルムを加え生
成物をクロロホルムに溶解させ、さらに水を加えて、生
成物とＮ、Ｎ−ジエチルアニリンとを分離する。

クロロホルム層と水層を分離した後、減圧蒸溜でクロロ
ホルムを除いた。こうして、銅含有率０゜４重量％の粘
稠で透明な緑色の銅ベチベノキシド溶液が得られた。

実施例１３ ベチベノール５ａ　（０，０２３ｍｏｌ　）をキシレン
１００１に溶解し、Ｎａ１（］を加え３時間還流する。

次いでキシレンを除去して、テトラヒドロフラン２００
１を加えて溶解しこれに、塩化ｊｐＪｃｕｃＩ２・２Ｈ
２０，０゜ＩＱ　（０，００６１１Ｑ＋）を純水２００
１に溶解して添加し、７０℃に加温して３時間反応させ
る０反応溶液にクロロホルムを加えて反応物と水を分離
する。クロロホルムを除去し、銅含有率４．１５％の粘
度の高い緑色の銅ベチベノキシド溶液が得られた。

実施例１４ インプロパツール４０１１、ベンゼン３８１１、Ｎａ１
．４７１３ｇをＮ２を流しながら加温して反応させ、Ｎ
ａイソプロポキシドを生成し、次いで塩化ビスマスＢ　
Ｌ　Ｃｌ　ｓ　２．４６８０ｇを添加し、加熱撹拌を行
い１．５時間反応させた。得られたビスマスイソプロポ
キシドに、ベチベノール６．６ｇを加えて７０°Ｃで２
時間反応を行った。こうしてＢｉ含有率２６．９％の濃
い焦げ茶色のビスマスイソプロボキシベチベノキシド溶
液が得られた。

実施例１５ 実施例２．３．１３で製造した、バリウムエトキシベチ
ベノキシド、イットリウムプロボキシベチベノキシド、
銅ベチベノキシド、を金属モル比でＢａ：Ｙ：Ｃｕ＝２
：１：３になるようにアルミするつぼに秤り収り、少量
のピネンで希釈し、均一に混合した。

この混合物を大気中で３００℃で１５分間焼成した後大
気中、８００℃で３時間焼成し、徐冷してＢａ、Ｙ、Ｃ
ｕの複合酸化物粉末を得た。粉砕混合した焼成試料を２
４０１ｑｒ／−の圧力で径１０關、厚さ０．８市のベレ
ットに成形した。このベレットを大気中８５０℃で１０
時間焼成し、徐冷した。

次いで、酸素雰囲気中９００℃で６時間焼成した。この
焼成体はＸ線的にはＢａ２ＹＣｕ　３０ｙ−δ　構造を
示し臨界温度（Ｔｃ）１０３．４にで電気抵抗が完全に
零となった。

［効果］ 本発明の金属セスキテルペンアルコキシドの作用効果を
比較例と応用例を示しながら説明する。

わかりやすいように、熱分解により薄膜を形成し、膜の
状態、性能を示し、熱分解性、溶解性などの比較をする
。

比較例１ タンタルエトキシドの２０％ベンゼン溶液を調製し、ス
ピンナー法で９６％アルミナ基板上に塗布し、乾燥した
後、７６０℃で１０分焼成し、徐冷して薄膜を得た。こ
の塗布、乾燥、焼成の操作を３回繰り返して膜厚３ｆｉ
の薄膜を得た。焼成膜はＸ線回折により’Ｉ’ａ２０５
であることが確認されたが、走査型電子顕微鏡で観察し
たところ亀裂が多く不連続膜であった。

比較例２ タンタル−エトキシドの２０％ラベンダー油溶液を調整
し、比較例１と同様に薄膜を形成した。

焼成膜を走査型電子顕微鏡及びＸ線回折で調べたところ
Ｔ　ａ　２０５の均一な亀裂のない連続膜であった。し
かし、この溶液はデシゲータ中に保存しても数週間後に
は小量の沈澱物が認められ、この状態で薄膜を形成する
と膜厚が均一にならない。

これは保存中にアルコキシドが分解して、一部高分子化
したゲル状物質が生成し、基板に突起物として堆積する
ためと考えられる。

応用例１ 実施例１で得た化合物をローズマリー油に溶解して１０
重量％溶液（金属含有率３゜５重量％）を調整し、これ
をスピンナー法で９６％アルミナ基板上に塗布し、乾燥
した。この乾燥膜を７６０℃出１０出量０成し、徐冷し
て薄膜を得な、この塗布、乾燥、焼成の操作を１０回繰
り返して膜厚１゜０ｎｕｎの薄膜を得た。焼成膜はＸ線
回折によりＴａ２０５であることが確認された。また走
査型電子顕微鏡で観察したところ亀裂やピンホールの無
い平滑な連続膜であった。

応用例２ 実施例４で得た生成物をクロロボルム希釈してチタン含
有率３．５重量％の溶液とし、応用例１と同様にして膜
厚１．０μｍの薄膜を形成した。焼成膜はＸ線回折によ
りＴｉＯ２であることが確認された。また走査型電子顕
微鏡で観察したところ亀裂やピンホールの無い平滑な連
続膜であった。

本発明により、新規かつ安定な金属セスキテルペンアル
コキシドが提供され、これにより装飾用、工学用、エレ
クトロニクスの分野に於いて優れた効果を奏する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、式、 Ｍ（ＯＲ）＿ｚ（Ｍは金属元素、Ｒはアルキル基、ｚは
   金属元素の原子価） で示される金属アルコキシドと、セスキテルペンアルコ
   ールとを反応させることを特徴とする式、Ｍ（ＯＲ）＿
   ｚ−ｘ（ＯＡ）＿ｘ（Ｍは金属元素、Ｒはアルキル基、
   Ａはセスキテルペニル基、ｚは金属元素の原子価、ｘは
   １≦ｘ≦ｚの整数）で示される金属セスキテルペンアル
   コキシドの製造方法。 ２、式 Ｍ（ＯＣＯＣＨ＿３）＿ｚ（Ｍは金属元素、ｚは金属元
   素の原子価） で示される金属アセテートとセスキテルペンアルコール
   とを反応させることを特徴とする式、Ｍ（ＯＡ）＿ｚ（
   Ｍは金属元素、ｚは金属元素の原子価、Ａはセスキテル
   ペニル基）で示される金属セスキテルペンアルコキシド
   の製造方法。 ３、式、ＭＣｌ＿ｚ（Ｍは金属元素、ｚは金属元素の原
   子価）で示される金属塩化物、または、式、Ｍ（ＯＣＯ
   ＣＨ＿３）＿ｚ（Ｍは金属元素、ｚは金属元素の原子価
   ）で示される金属アセテートと、式、ＮａＯＡ（Ａはセ
   スキテルペニル基） で示されるナトリウムセスキテルペンアルコキシドとを
   反応させることを特徴とする、式Ｍ（ＯＡ）＿ｚ（Ｍは
   金属元素、Ａはセスキテルペニル基、ｚは金属元素の原
   子価）で示される金属セスキテルペンアルコキシドの製
   造方法。 ４、特許請求の範囲第１項記載の方法により得た金属セ
   スキテルペンアルコキシドを焼成して熱分解し、所望に
   より粉砕して得た、金属酸化物粉末。 ５、特許請求の範囲第２項記載の方法により得た金属セ
   スキテルペンアルコキシドを焼成して熱分解し、所望に
   より粉砕して得た、金属酸化物粉末。 ６、特許請求の範囲第３項記載の方法で得た金属セスキ
   テルペンアルコキシドを焼成して熱分解し、所望により
   粉砕して得た、金属酸化物粉末。 ７、ＭとしてＢａ、Ｙ、Ｃｕを併用した特許請求の範囲
   第４乃至第６項のいずれか一項記載の金属酸化物粉末。 ８、バリウムセスキテルペンアルコキシド、イットリウ
   ムセスキテルペンアルコキシド、銅セスキテルペンアル
   コキシドをモル比でＢａ：Ｙ：Ｃｕ＝２：１：３となる
   ように混合した混合物を焼成して熱分解し、次いで酸素
   雰囲気中で焼成し所望により粉砕して得た、特許請求の
   範囲第４項乃至第７項のいずれか一項記載の式、 Ｂａ＿２ＹＣＵ＿３Ｏ＿７−δ で表される、超電導金属酸化物粉末。 ９、バリウムセスキテルペンアルコキシド、イットリウ
   ムセスキテルペンアルコキシド、銅セスキテルペンアル
   コキシドをモル比でＢａ：Ｙ：Ｃｕ＝２：１：３となる
   ように混合した混合物を熱分解して得た生成物を、成形
   し次いで酸素雰囲気中で焼成して成る、式、Ｂａ＿２Ｙ
   ＣＵ＿３Ｏ＿７−δで表される、超電導成形体。