JPH027528A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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Publication number
JPH027528A
JPH027528A JP15879988A JP15879988A JPH027528A JP H027528 A JPH027528 A JP H027528A JP 15879988 A JP15879988 A JP 15879988A JP 15879988 A JP15879988 A JP 15879988A JP H027528 A JPH027528 A JP H027528A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal silicide
insulating film
base
resistance
silicide layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP15879988A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasutaka Nakasaki
中崎 泰貴
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP15879988A priority Critical patent/JPH027528A/ja
Priority to KR1019890006455A priority patent/KR900001034A/ko
Priority to GB8913801A priority patent/GB2220102B/en
Publication of JPH027528A publication Critical patent/JPH027528A/ja
Priority to SG41994A priority patent/SG41994G/en
Priority to HK41194A priority patent/HK41194A/xx
Pending legal-status Critical Current

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  • Bipolar Transistors (AREA)
  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕 本発明はバイポーラトランジスターを一部又は全領域に
集積した半導体装置に関し、特にバイポーラトランジス
ターの構造に関する。 〔従来の技術〕 従来の構造の断面を第2図に示す、202はコレクター
、208はベース、207はエミッタをそれぞれ示し、
エミッタからは209の多結晶シリコンにより電極が引
き出され、ベースからは211の金属配線により電極が
引きだされている。 〔発明が解決しようとする課題〕 トランジスターのスピードを向上し、かつ電流槽中率を
向上するためには、ベースの不純物濃度を下げるか、ま
たは、ベース長を短かくして、キャリアのベース内走行
時間を短縮する必要がある。但しこのように構造変更を
すると、ベース抵抗が高くなるため、総合的には、殆ん
ど性能向上が望めなくなる。特に第2図に示す従来構造
では、211のベースの金属電極接触部と207のエミ
ッタ部の距離があるためこの弊害が顕著である0本発明
は、かかるペース抵抗の高抵抗化を抑止しペース抵抗を
下げ、トータルなトランジスター性能を向上することを
目的として考案されたものである。 [課題を解決するための手段] ベース抵抗を低減するためにベース領域の一部に金属シ
リサイドを接触構成せしめ、該金属シリサイドと、エミ
ッタとの距離を短かくするために該金属シリサイドとエ
ミッタ電極との分離に、全面被着後全面エッチングによ
り形成したサイドウオール絶縁膜を一部に用いる。
【実 施 例】
本発明の構造の断面を第1図に示す、ベース109上に
、金属シリサイド層110を示す。 110の金属シリサイド層と111の半導体材料を成分
とする配線材との分離に、106の絶縁膜と、107の
サイドウオール絶縁膜が用いられる。コレクター102
、や素子分離103、金属配線104,112,113
等は、従来構造とほぼ同様であり、これらにより本発明
は限定されない0次に第3図の断面図を用いて本発明の
構造を実現する製造方法を示す、この断面図には本発明
の製造方法を説明するための最小部分のみを示す、先ず
素子分離302及びベース303を形成し、全面に金属
な被着する0次に熱アニールをすることで305の金属
が下地シリコンと反応し金属シリサイドになる。この後
適当な溶液により304の金属のみをエツチングし30
5は残す0次に全面に絶縁膜な被着し、フォトリソグラ
フィ、エツチング等によりエミッタ部を開口し、その後
、307の第2の絶縁膜を被着する。(B)図 次に全面をエツチングすると(C)図309のようにサ
イドウオールを形成することができる。 この後エミッタ形成、エミッタ電極形成、配線工程等通
常の方法を用いて第1図の構造が得られる。金属シリサ
イドのための金属としては、Ti、W、Mo、Taなど
が適している。また金属シリサイドを残して金属のみを
エツチングする溶液としては、アンモニアと過酸化水素
との混合液等が適している。 [発明の効果] 本発明の効果を第1図、第2図を比較して説明する。金
属シリサイドの抵抗は、通常ベースの不純物拡散抵抗に
較べて著しく低いため、ベース抵抗を極めて低くするこ
とができる。また、第2図の211の電極と207のエ
ミッタの距離に較べて第1図の110の金属シリサイド
と108のエミッタの距離を著しく短かくすることがで
きるため更にベース抵抗を低減できる。また第3図30
7の絶縁膜の膜厚を制御することにより、金属シリサイ
ドとエミッタとの距離が制御できるために、108のエ
ミッタ拡散層の横への拡がりを考慮して最適な、110
と108の距離を設定できる。 以上本発明により、ベース抵抗を低減しかつ、高速・高
電流増巾率をもつトランジスターが実現できる。 するための製造工程順断面図。 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 上 柳 雅 誉(他1名)
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の構造の断面図。 第2図は、従来の構造の断面図。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. バイポーラ型トランジスターを一部又は全領域に集積し
    て構成された半導体装置に於いて、該バイポーラトラン
    ジスターのベース領域の一部に金属シリサイド層が構成
    され、またエミッタ領域から半導体を成分として含む配
    線材により電極が引き出されており、該金属シリサイド
    と該配線材とが、全面被着後全面エッチングにより形成
    されたサイドウォール絶縁膜を一部に用いて分離されて
    いることを特徴とする半導体装置。
JP15879988A 1988-06-27 1988-06-27 半導体装置 Pending JPH027528A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15879988A JPH027528A (ja) 1988-06-27 1988-06-27 半導体装置
KR1019890006455A KR900001034A (ko) 1988-06-27 1989-05-15 반도체장치
GB8913801A GB2220102B (en) 1988-06-27 1989-06-15 Method of making a bipolar transistor
SG41994A SG41994G (en) 1988-06-27 1994-03-22 Method of making a bipolar transistor
HK41194A HK41194A (en) 1988-06-27 1994-04-28 Method of making a bipolar transistor

Applications Claiming Priority (1)

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JP15879988A JPH027528A (ja) 1988-06-27 1988-06-27 半導体装置

Publications (1)

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JPH027528A true JPH027528A (ja) 1990-01-11

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ID=15679607

Family Applications (1)

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JP15879988A Pending JPH027528A (ja) 1988-06-27 1988-06-27 半導体装置

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JP (1) JPH027528A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001040641A1 (fr) 1999-11-30 2001-06-07 Michel Marchisseau Procede et dispositif pour modifier le taux de compression afin d'optimiser le fonctionnement des moteurs a pistons alternatifs

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WO2001040641A1 (fr) 1999-11-30 2001-06-07 Michel Marchisseau Procede et dispositif pour modifier le taux de compression afin d'optimiser le fonctionnement des moteurs a pistons alternatifs

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