JPH0270391A - ダイボンダー用クラッド材料の製造方法 - Google Patents
ダイボンダー用クラッド材料の製造方法Info
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- JPH0270391A JPH0270391A JP22209588A JP22209588A JPH0270391A JP H0270391 A JPH0270391 A JP H0270391A JP 22209588 A JP22209588 A JP 22209588A JP 22209588 A JP22209588 A JP 22209588A JP H0270391 A JPH0270391 A JP H0270391A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、セラミック封止のパッケージングに於いて、
ＩＣチップをセラミックパッケージに接合する為のダイ
ボンダー用クラッド材料の製造方法に関する。
ＩＣチップをセラミックパッケージに接合する為のダイ
ボンダー用クラッド材料の製造方法に関する。
（従来の技術）
従来のダイボンダー用材料を作るには、第２図に示す如
＜Ｆｅ−Ｎｉ４２ｗｔ％合金の基材１の上下両面にＣｕ
めっき２を施し、さらにその上下両面にＡｇめっき３を
数１０μｍ施して作っていた。
＜Ｆｅ−Ｎｉ４２ｗｔ％合金の基材１の上下両面にＣｕ
めっき２を施し、さらにその上下両面にＡｇめっき３を
数１０μｍ施して作っていた。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、上記の方法で作ったダイボンダー用材料４は
、めっき焼けによる変色が生じていることが多く、また
めっき前の酸処理の水洗い不完全によりめっき面に酸が
付着残留していることがあり、さらに熱処理で下地が酸
化変色してめっきにピンホールが生じていることが多い
。また数１０μｍの厚めつきは時間がかかり、且つ厚み
がばらついているものである。その上めっきの接合強度
が弱いものである。
、めっき焼けによる変色が生じていることが多く、また
めっき前の酸処理の水洗い不完全によりめっき面に酸が
付着残留していることがあり、さらに熱処理で下地が酸
化変色してめっきにピンホールが生じていることが多い
。また数１０μｍの厚めつきは時間がかかり、且つ厚み
がばらついているものである。その上めっきの接合強度
が弱いものである。
この為、第３図に示す如＜ Ｆ ｅ −Ｎ １４２ｗｔ
％合金の基材１の上下両面に、Ａｇより成る外表面材料
５を接合し、圧延加工したダイボンダー用クラッド材料
６を用いようとしたが、クラッド接合時及びその後の熱
でＡｇ中を０□が透過し、Ｆｅ−Ｎ ｉ ４２ｗｔ％合
金の基合金が酸化し、Ａｇの接合強度が弱く不安定であ
った。
％合金の基材１の上下両面に、Ａｇより成る外表面材料
５を接合し、圧延加工したダイボンダー用クラッド材料
６を用いようとしたが、クラッド接合時及びその後の熱
でＡｇ中を０□が透過し、Ｆｅ−Ｎ ｉ ４２ｗｔ％合
金の基合金が酸化し、Ａｇの接合強度が弱く不安定であ
った。
そこで本発明は、Ｆｅ−Ｎｉ合金の基材と外表面材料と
の接合強度が高く安定し、且つＦｅ−Ｎｉ合金の基材の
酸化を防止できるダイボンダー用りラッド材料の製造方
法を提供しようとするものである。
の接合強度が高く安定し、且つＦｅ−Ｎｉ合金の基材の
酸化を防止できるダイボンダー用りラッド材料の製造方
法を提供しようとするものである。
（課題を解決するための手段）
上記課題を解決するための本発明のダイボンダー用クラ
ッド材料の製造方法は、Ｃｕ又はＮｉの中間材と外表面
材料とを接合して圧延加工し、このクラッド材をＦｅ−
Ｎｉ合金の基材の両面に接合して圧延加工することを特
徴とするものである。
ッド材料の製造方法は、Ｃｕ又はＮｉの中間材と外表面
材料とを接合して圧延加工し、このクラッド材をＦｅ−
Ｎｉ合金の基材の両面に接合して圧延加工することを特
徴とするものである。
外表面材料としては、Ａｇは勿論のこと、ＡｕＳｎ、Ａ
ｕ−３ｉ、半田、Ａｇペーストが用いられる。
ｕ−３ｉ、半田、Ａｇペーストが用いられる。
（作用）
上述の如く本発明のダイボンダー用クラッド材料の製造
方法によると、ＦｅＮｉ合金の基材がＣｕ又はＮｉの中
間材を介して外表面材料と接合されることになるので、
外表面材料を透過する０゜のバリヤーとして働く中間材
によりＦｅ−Ｎｉ合金の基材の酸化が防止され、さらに
外表面材料はめっきの場合のような前処理の酸の付着、
残留、ピンホール、厚みのばらつき等の問題が無く、厚
さは厚く一定しているので、接合強度が高く、ばらつき
の少ないものとなる。
方法によると、ＦｅＮｉ合金の基材がＣｕ又はＮｉの中
間材を介して外表面材料と接合されることになるので、
外表面材料を透過する０゜のバリヤーとして働く中間材
によりＦｅ−Ｎｉ合金の基材の酸化が防止され、さらに
外表面材料はめっきの場合のような前処理の酸の付着、
残留、ピンホール、厚みのばらつき等の問題が無く、厚
さは厚く一定しているので、接合強度が高く、ばらつき
の少ないものとなる。
（実施例）
本発明のダイボンダー用クラッド材料の製造方法の一実
施例を図によって説明すると、第１図ａに示す如く厚さ
０．１ｍｍ、幅１３ｍｍのＮｉより成る中間材７と厚さ
０．２ｍｍ、幅１３胴のＡｇより成る外表面材料８とを
接合し、圧延加工して厚さ０．１５ｍｍのクラッド帯材
９を得た。このクラッド帯材９を第１図すに示す如く厚
さｌ ｍｍ、幅１３ｍｍのＦｅ−Ｎｉ４２ｗｔ％より成
る帯状の基材１０の両面に接合し、圧延加工して、第１
図Ｃに示す如く総厚０，２ｍｍ、幅１３１１＋＋ｎ、基
材１０の厚さ０．１５ｍｍ、中間材７の厚さ７μｍ、外
表面材料８の厚さ１５μｍのダイボンダー用クラッド材
料１１を得た。
施例を図によって説明すると、第１図ａに示す如く厚さ
０．１ｍｍ、幅１３ｍｍのＮｉより成る中間材７と厚さ
０．２ｍｍ、幅１３胴のＡｇより成る外表面材料８とを
接合し、圧延加工して厚さ０．１５ｍｍのクラッド帯材
９を得た。このクラッド帯材９を第１図すに示す如く厚
さｌ ｍｍ、幅１３ｍｍのＦｅ−Ｎｉ４２ｗｔ％より成
る帯状の基材１０の両面に接合し、圧延加工して、第１
図Ｃに示す如く総厚０，２ｍｍ、幅１３１１＋＋ｎ、基
材１０の厚さ０．１５ｍｍ、中間材７の厚さ７μｍ、外
表面材料８の厚さ１５μｍのダイボンダー用クラッド材
料１１を得た。
一方従来例として、第２図に示す如く厚さ０．２９ｍｍ
、縦９ｍｍ、横１０ｍｍのＦ ｅ −Ｎ ｉ ４２ｗｔ
％合金の基合金の上下両面にＣｕめっき２を１０μｍ施
し、さらにその上下両面にＡｇめっき３を３０μｍ施し
てグイボンダー用材料４を得た。
、縦９ｍｍ、横１０ｍｍのＦ ｅ −Ｎ ｉ ４２ｗｔ
％合金の基合金の上下両面にＣｕめっき２を１０μｍ施
し、さらにその上下両面にＡｇめっき３を３０μｍ施し
てグイボンダー用材料４を得た。
また比較例として、第３図に示す如く厚さ３．６ｍｍ、
幅１３１Ｔｌ［０のＦ ｅ −Ｎ ｉ ４２ｗｔ％の帯
状基材１の上下両面に厚さ０．２化、幅１３ｎ＋ｍのＡ
ｇより成る外表面材料５を接合し、圧延加工して総厚０
．２ｍｍ、基、ｌ’ｌ；ｔ １の厚さ０．１８胴、幅１
３ｍｍ、長さ１００ｍｍのダイボンダー用クラッド材料
６を得た。
幅１３１Ｔｌ［０のＦ ｅ −Ｎ ｉ ４２ｗｔ％の帯
状基材１の上下両面に厚さ０．２化、幅１３ｎ＋ｍのＡ
ｇより成る外表面材料５を接合し、圧延加工して総厚０
．２ｍｍ、基、ｌ’ｌ；ｔ １の厚さ０．１８胴、幅１
３ｍｍ、長さ１００ｍｍのダイボンダー用クラッド材料
６を得た。
こうして得た実施例、比較例のダイボンダー用クラッド
材料及びダイボンダー用材料のＦｅＮｉ４２ｗｔ％合金
の基材に対する外表面材料の接合強度を測定した処、下
記の表に示すような結果を得た。
材料及びダイボンダー用材料のＦｅＮｉ４２ｗｔ％合金
の基材に対する外表面材料の接合強度を測定した処、下
記の表に示すような結果を得た。
く安定していることが判る。
（発明の効果）
以上詳記した通り本発明のダイボンダー用クラッド材料
の製造方法によれば、Ｆｅ−Ｎｉ合金の基材と外表面材
料との接合強度が高く、ばらつきが少なくて安定したダ
イボンダー用クラッド材料を得ることができるという効
果がある。
の製造方法によれば、Ｆｅ−Ｎｉ合金の基材と外表面材
料との接合強度が高く、ばらつきが少なくて安定したダ
イボンダー用クラッド材料を得ることができるという効
果がある。
第１図ａ、ｂ、ｃは本発明のダイボンダー用クラッド材
料の製造方法の一実施例を示す工程図、第２図は従来例
のダイボンダー用クラッド材料を示す図、第３図は比較
例のダイボンダー用クラッド材料を示す図である。 出願人 田中貴金属工業株式会社 上記の表で明らかなように実施例のダイボンダー用クラ
ッド材料は、Ｆ ｅ−Ｎ ｉ ４２ｗｔ％合金の基合金
対する外表面材料の接合強度が比較例及び従来例の接合
強度より塵かに高く、ばらつきが少なｈ≠− 第 図
料の製造方法の一実施例を示す工程図、第２図は従来例
のダイボンダー用クラッド材料を示す図、第３図は比較
例のダイボンダー用クラッド材料を示す図である。 出願人 田中貴金属工業株式会社 上記の表で明らかなように実施例のダイボンダー用クラ
ッド材料は、Ｆ ｅ−Ｎ ｉ ４２ｗｔ％合金の基合金
対する外表面材料の接合強度が比較例及び従来例の接合
強度より塵かに高く、ばらつきが少なｈ≠− 第 図
Claims (1)
- １、Ｃｕ又はＮｉの中間材と外表面材料とを接合して圧
延加工し、このクラッド材をＦｅ−Ｎｉ合金の基材の両
面に接合して圧延加工することを特徴とするダイボンダ
ー用クラッド材料の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22209588A JPH0270391A (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 | ダイボンダー用クラッド材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22209588A JPH0270391A (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 | ダイボンダー用クラッド材料の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0270391A true JPH0270391A (ja) | 1990-03-09 |
Family
ID=16777056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22209588A Pending JPH0270391A (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 | ダイボンダー用クラッド材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0270391A (ja) |
-
1988
- 1988-09-05 JP JP22209588A patent/JPH0270391A/ja active Pending
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