JPH0268705A - 薄膜ヘツドの研磨治具 - Google Patents
薄膜ヘツドの研磨治具Info
- Publication number
- JPH0268705A JPH0268705A JP22054588A JP22054588A JPH0268705A JP H0268705 A JPH0268705 A JP H0268705A JP 22054588 A JP22054588 A JP 22054588A JP 22054588 A JP22054588 A JP 22054588A JP H0268705 A JPH0268705 A JP H0268705A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- block
- head
- thin film
- film head
- polishing jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 38
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000004831 Hot glue Substances 0.000 abstract description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、薄膜ヘッドを研磨加工する場合に使用する薄
膜ヘッドの研磨治具に関する。
膜ヘッドの研磨治具に関する。
従来、この種薄膜ヘッドの研磨治具は第３図（ａ）およ
び（ｂ）に示すように構成されている。これを同図に基
づいて説明すると、同図において、符号Ｉで示すものは
研磨治具本体く図示せず）に固定された研磨治具ブロッ
ク、２はこの研磨治具ブロック１の保持面に熱溶融性接
着剤３によって保持され多数の薄膜ヘッド素子４を有す
るヘッドブロックである。このヘッドブロック２の薄膜
ヘッド素子４は、基板５上に下部磁性体ボール６、非磁
性体ギャップ７、コイル８．絶縁層９．ｌＯおよび上部
磁性体ボール１１を積層して形成される。また、１２は
磁性媒体対向面である。
び（ｂ）に示すように構成されている。これを同図に基
づいて説明すると、同図において、符号Ｉで示すものは
研磨治具本体く図示せず）に固定された研磨治具ブロッ
ク、２はこの研磨治具ブロック１の保持面に熱溶融性接
着剤３によって保持され多数の薄膜ヘッド素子４を有す
るヘッドブロックである。このヘッドブロック２の薄膜
ヘッド素子４は、基板５上に下部磁性体ボール６、非磁
性体ギャップ７、コイル８．絶縁層９．ｌＯおよび上部
磁性体ボール１１を積層して形成される。また、１２は
磁性媒体対向面である。
このように構成された薄膜ヘッドの研磨治具を用いて薄
膜ヘッドを研磨するには、ヘッドブロック２を研磨治具
ブロック１に熱溶融性接着剤３によって保持（仮止め）
することにより行う。
膜ヘッドを研磨するには、ヘッドブロック２を研磨治具
ブロック１に熱溶融性接着剤３によって保持（仮止め）
することにより行う。
ところで、磁性媒体対向面１２から絶縁層９あるいは１
０の端部までの距離りは、ボールハイドと呼ばれており
、薄膜ヘッドの効率を左右する重要なパラメータである
。このポールハイドが過度に大きいと、上部磁性体ボー
ル１１と下部磁性体ボール６との間で漏洩する磁束が増
加して効率が低下する。このため、ポールハイドは極力
小さい寸法に設定することが好ましいが、このポールハ
イドが「０」より小さ（なると実効的に非磁性ギャップ
７が大きくなって分解能が低下する。したがって、ポー
ルハイドを限りなく「０」に近い値にすることが製造加
工上の要点である。
０の端部までの距離りは、ボールハイドと呼ばれており
、薄膜ヘッドの効率を左右する重要なパラメータである
。このポールハイドが過度に大きいと、上部磁性体ボー
ル１１と下部磁性体ボール６との間で漏洩する磁束が増
加して効率が低下する。このため、ポールハイドは極力
小さい寸法に設定することが好ましいが、このポールハ
イドが「０」より小さ（なると実効的に非磁性ギャップ
７が大きくなって分解能が低下する。したがって、ポー
ルハイドを限りなく「０」に近い値にすることが製造加
工上の要点である。
ところが、従来の薄膜ヘッドの研磨治具においては、研
磨治具ブロック１に対しヘッドブロック２を熱溶融性接
着剤３によって仮止めする場合、第３図（ａ）に示すよ
うに熱溶融性接着剤３の固化時に発生する収縮応力によ
ってヘッドブロック２の両端部に研磨治具ブロック１か
ら剥離する方向に作用力が加わり、ヘッドブロック２が
反り変形していた。この結果、研磨後にはフンドブロッ
ク２の両端部が中央部と比較してポールハイドが大きく
なり、安定した薄膜ヘッドの研磨加工を施すことができ
ないという問題があった。
磨治具ブロック１に対しヘッドブロック２を熱溶融性接
着剤３によって仮止めする場合、第３図（ａ）に示すよ
うに熱溶融性接着剤３の固化時に発生する収縮応力によ
ってヘッドブロック２の両端部に研磨治具ブロック１か
ら剥離する方向に作用力が加わり、ヘッドブロック２が
反り変形していた。この結果、研磨後にはフンドブロッ
ク２の両端部が中央部と比較してポールハイドが大きく
なり、安定した薄膜ヘッドの研磨加工を施すことができ
ないという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ヘッ
ド研磨後にヘッドブロックの両端部と中央部におけるポ
ールハイドの距離差を小さい寸法に設定することができ
、もって安定した薄膜ヘッドの研磨加工を施すことがで
きる薄膜ヘッドの研磨治具を提供するものである。
ド研磨後にヘッドブロックの両端部と中央部におけるポ
ールハイドの距離差を小さい寸法に設定することができ
、もって安定した薄膜ヘッドの研磨加工を施すことがで
きる薄膜ヘッドの研磨治具を提供するものである。
本発明に係る薄膜ヘッドの研磨治具は、研磨治具ブロッ
クにヘッドブロックの保持面と平行に延在するスリット
を設けることにより弾性変形可能な保持部を形成すると
共に、この保持部を押圧して湾曲させる調整ねじを進退
自在に設けたものである。
クにヘッドブロックの保持面と平行に延在するスリット
を設けることにより弾性変形可能な保持部を形成すると
共に、この保持部を押圧して湾曲させる調整ねじを進退
自在に設けたものである。
本発明においては、調整ねしによって保持部を湾曲させ
ることによりヘッドブロックの反り変形を阻止すること
ができる。
ることによりヘッドブロックの反り変形を阻止すること
ができる。
以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細に
説明する。
説明する。
第１図（８３および（ｂ）は本発明に係る薄膜ヘッドの
研磨治具を示す平面図と断面図、第２図は同じく本発明
における薄膜ヘッドの研磨治具を拡大して示す断面図で
、同図において第３図（ａ）、 （ｂ）と同一の部材に
ついては同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。同
図において、符号２１で示すものは前記熱溶融性接着剤
３によって前記ヘッドブロック２を接着する研磨治具ブ
ロックで、研磨治具本体２２に前記ヘッドブロック２と
ダミーブロック２３が同一先端面をもつように固定ねじ
２４によって固定されている。この研磨治具ブロック２
１には前記ヘッドブロック２の保持面２１ａと平行に延
在する約２ｎ幅のスリット２５が設けられており、こ°
のスリット２５によって前記保持面２１ａを下端面に有
する弾性変形可能な保持部２６が形成されている。この
保持部２６は約１．５鶴の板厚をもつビームとして機能
する。２７は前記スリット２５内に臨む調整ねしで、前
記研磨治具ブッロク２１に対して進退自在に設けられて
おり、前記保持部２６を押圧して湾曲させるように構成
されている。
研磨治具を示す平面図と断面図、第２図は同じく本発明
における薄膜ヘッドの研磨治具を拡大して示す断面図で
、同図において第３図（ａ）、 （ｂ）と同一の部材に
ついては同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。同
図において、符号２１で示すものは前記熱溶融性接着剤
３によって前記ヘッドブロック２を接着する研磨治具ブ
ロックで、研磨治具本体２２に前記ヘッドブロック２と
ダミーブロック２３が同一先端面をもつように固定ねじ
２４によって固定されている。この研磨治具ブロック２
１には前記ヘッドブロック２の保持面２１ａと平行に延
在する約２ｎ幅のスリット２５が設けられており、こ°
のスリット２５によって前記保持面２１ａを下端面に有
する弾性変形可能な保持部２６が形成されている。この
保持部２６は約１．５鶴の板厚をもつビームとして機能
する。２７は前記スリット２５内に臨む調整ねしで、前
記研磨治具ブッロク２１に対して進退自在に設けられて
おり、前記保持部２６を押圧して湾曲させるように構成
されている。
このように構成された薄膜ヘッドの研磨治具においては
、調整ねじ２７によって保持部２６を湾曲させることに
より、ヘッドブロック２の反り変形を阻止することがで
きる。
、調整ねじ２７によって保持部２６を湾曲させることに
より、ヘッドブロック２の反り変形を阻止することがで
きる。
したがって、本発明においては、ヘッド研磨後にヘッド
ブロック２の両端部と中央部におけるポールハイドの距
離差を小さい寸法に設定することができる。
ブロック２の両端部と中央部におけるポールハイドの距
離差を小さい寸法に設定することができる。
次に、本発明における薄膜ヘッドの研磨治具による研磨
方法について説明する。
方法について説明する。
先ず、調整ねじ２７を緩めた状態で薄膜ヘッドの研磨加
工を施す。そして、研磨加工の途中でヘッドブロック２
の両端部と中央部のポールハイドを測定し、この測定値
に応じて調整ねじ２７を締め付けて保持部２６を下方に
押圧することにより研磨加工を施す。
工を施す。そして、研磨加工の途中でヘッドブロック２
の両端部と中央部のポールハイドを測定し、この測定値
に応じて調整ねじ２７を締め付けて保持部２６を下方に
押圧することにより研磨加工を施す。
このようにして、保持部２６を弾性変形（撓み）させる
ことにより、ヘッドブロック２の反り変形を修正し、ヘ
ッドブロック２の両端部と中央部のポールハイドを同一
に設定して薄膜ヘッドの研磨加工を施すことができる。
ことにより、ヘッドブロック２の反り変形を修正し、ヘ
ッドブロック２の両端部と中央部のポールハイドを同一
に設定して薄膜ヘッドの研磨加工を施すことができる。
以上説明したように本発明によれば、研麿治具ブロック
にヘッドブロックの保持面と平行に延在するスリットを
設けることにより弾性変形可能な保持部を形成すると共
に、この保持部を押圧して湾曲させる調整ねじを進退自
在に設けたので、調整ねじによってヘッドブロックの反
り変形を阻止することができる。したがって、ヘッド研
磨後にヘッドブロックの両端部と中央部におけるポール
ハイドの距離差を小さい寸法に設定することができるか
ら、安定した薄膜ヘッドの高精度な研磨加工を施すこと
ができる。
にヘッドブロックの保持面と平行に延在するスリットを
設けることにより弾性変形可能な保持部を形成すると共
に、この保持部を押圧して湾曲させる調整ねじを進退自
在に設けたので、調整ねじによってヘッドブロックの反
り変形を阻止することができる。したがって、ヘッド研
磨後にヘッドブロックの両端部と中央部におけるポール
ハイドの距離差を小さい寸法に設定することができるか
ら、安定した薄膜ヘッドの高精度な研磨加工を施すこと
ができる。
第１図（ａｌおよび（′ｂ）は本発明に係る薄膜ヘッド
の研磨治具を示す平面図と断面図、第２図は同じく本発
明における薄膜ヘッドの研磨治具を拡大して示す断面図
、第３図（ａ）および（ｂ）は従来の薄膜ヘッドの研磨
治具を示す断面図とそのｂ−ｂ線断面図である。 ２・・・・ヘッドブロック、３・・・・熱溶融性接着剤
、２１・・・・研磨治具ブロック、２１ａ・・・保持面
、２５・・・・スリット、２６・・・・保持部、 ２７・
の研磨治具を示す平面図と断面図、第２図は同じく本発
明における薄膜ヘッドの研磨治具を拡大して示す断面図
、第３図（ａ）および（ｂ）は従来の薄膜ヘッドの研磨
治具を示す断面図とそのｂ−ｂ線断面図である。 ２・・・・ヘッドブロック、３・・・・熱溶融性接着剤
、２１・・・・研磨治具ブロック、２１ａ・・・保持面
、２５・・・・スリット、２６・・・・保持部、 ２７・
Claims (1)
- 多数の薄膜ヘッド素子を有するヘッドブロックを接着剤
によって保持する研磨治具ブロックを備え、この研磨治
具ブロックに前記ヘッドブロックの保持面と平行に延在
するスリットを設けることにより弾性変形可能な保持部
を形成すると共に、この保持部を押圧して湾曲させる調
整ねじを進退自在に設けたことを特徴とする薄膜ヘッド
の研磨治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22054588A JPH0268705A (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 | 薄膜ヘツドの研磨治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22054588A JPH0268705A (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 | 薄膜ヘツドの研磨治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0268705A true JPH0268705A (ja) | 1990-03-08 |
Family
ID=16752669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22054588A Pending JPH0268705A (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 | 薄膜ヘツドの研磨治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0268705A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0504887A2 (en) * | 1991-03-22 | 1992-09-23 | Read-Rite Corporation | Automated system for lapping magnetic heads |
-
1988
- 1988-09-05 JP JP22054588A patent/JPH0268705A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0504887A2 (en) * | 1991-03-22 | 1992-09-23 | Read-Rite Corporation | Automated system for lapping magnetic heads |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3229355A (en) | Method of making a magnetic transducer head | |
| US5694677A (en) | Method for manufacturing thin film magnetic head | |
| JPH07230607A (ja) | ヘッドピース集合体加工用治具及び薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0268705A (ja) | 薄膜ヘツドの研磨治具 | |
| US6315633B1 (en) | Processing jig | |
| JP2787942B2 (ja) | ヘッドピース集合体の研磨方法 | |
| JPH04291010A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS62147948A (ja) | リニアパルスモ−タの磁極作製法 | |
| JP2918670B2 (ja) | ヘッドピース集合体の加工方法 | |
| JPS63193305A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH0719349B2 (ja) | 磁気ヘツド．コアスライダの製造方法 | |
| JP2881989B2 (ja) | 光学ガラス研摩装置 | |
| JPH05200660A (ja) | 磁気ヘッドのポールハイト加工方法 | |
| JPS61163868A (ja) | ワイヤドツト印字ヘツド | |
| JPH04360007A (ja) | 浮動型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP4174368B2 (ja) | 磁気ヘッドアセンブリの製造方法 | |
| JPS60127966A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造装置 | |
| JPS61163869A (ja) | ワイヤドツト印字ヘツド | |
| JPS6394417A (ja) | 積層接着治具 | |
| JPS61287017A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH01153264A (ja) | 研磨方法及び研磨用治具 | |
| JPS61152365A (ja) | 薄物素材の鏡面加工方法 | |
| JPH06243424A (ja) | コンタクト型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH1074307A (ja) | 複合型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS6168716A (ja) | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |