JPH01153264A - 研磨方法及び研磨用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、研磨面を基準とする研磨方法に関し、第１の
治具と第２の治具とで構成される治具を備え、第２の治
具の研磨側の面に被研磨物を貼付し、第１の治具及び第
２の治具を研磨側の面を基準にして位置合せした上で、
互いに接合し、被研磨物を、研磨側の面を基準として研
磨することにより、被研磨物を貼付する接着剤等の影響
を受けずに、研磨面からの研磨量が所定の値となるよう
に研磨することができるようにしたものである。本発明
に係る研磨方法は、例えば、浮上型磁気ヘッドの製造工
程において、読み書き素子を担持するスライダの浮上面
を、所定のギヤップディブスが得られるように研磨する
のに有効である。

〈従来の技術〉 第５図及び第６図は、浮上型磁気ヘッドの製造工程にお
いて、読み書き素子を担持するスライダの浮上面を研磨
する研磨方法の従来例を示している。図において、１は
回転体、２は被研磨物たるヘッドピース集合体、３はへ
ラドピース集合体２を支持する治具である。回転体１は
図示しないモータ等により、矢印で示すａ、方向に回転
駆動される。この回転体１は、例えばスズ等の軟質金属
部材を用いて円板状に形成された研磨部材１０１の背面
に、例えばステンレス等の金属材料によって円板状に形
成された支持部材１０２を、接着剤１０３によって一体
的に面接合させてある。支持部材１０２は、スズ等の軟
質金属材料で構成されていて機械的強度の不充分な研磨
部材１０１を支持するために設けられたものである。

研磨に当っては、回転体１を矢印ａ１方向に面回転させ
、かつ、研磨部材１０１の表面（イ）にダイヤモンド粒
子等を含む研磨材を供給しながら、研磨部材１０１の表
面（イ）にスライダ部材２１の下面２１１を接触させる
。治具３は矢印ｂ１またはｂ２で示す回転半径方向に平
行８動させ、研磨部材１０１の表面（イ）の全面で研磨
が行なわれるようにする。矢印ａ２は治具３及びヘッド
ピース集合体２の自転の方向を示している。

ヘッドピース集合体２は、第７図及び第８図に示すよう
に、ホットメルト樹脂等の接着剤４を用いて治具３の研
磨側の面３１に固着しである。

ヘッドピース集合体２は、第９図に示すように、セラミ
ック構造体でなるスライダ部材２１を共用して、複数の
磁気ヘッド要素Ｑ＋　、Ｑ２、Ｑ５１９．７．を一方向
に形成したものである。

磁気ヘッド要素ＱＩ、Ｑ２、Ｑ３１１０．、のそれぞれ
には、読み書き素子を担持させである。

第１０図は読み書き素子部分の拡大断面図で、２２は下
部磁性膜、２３はアルミナ等でなる保護膜、２４は眉間
絶縁膜、２５は導体コイル、２６は上部磁性膜、２７は
アルミナ等の保護膜であり、これらは集積回路技術によ
って形成されている。第５図及び第６図に示す研磨によ
り、第１０図のスライダ部材２１の浮上面２１１の表面
性及び平面度の向上と共に、下部磁性膜２２のボール部
２２１と上部磁性膜２６のボール部２６１とによって形
成されるギヤップディブスｄｇが所定の値に設定される
。

〈発明が解決しようとする問題点〉 しかしながら、治具３の研磨側の面３１に直接に被研磨
物たるヘッドピース集合体２を取付ける構造であるため
、接着剤４の塗布厚み変動によって、ヘッドピース集合
体２の研磨量が変動してしまうという問題点があった。

例えば、第１１図に示すように、スライダ部材２１の厚
みｔｌが同じであっても、接着剤４の厚みがｈ１％ｈ２
のように異なった場合には、スライダ部材２１の下面２
１１の位置が、厚みの差ｈ２　ｈｔ＝Δｈだけ変動して
しまい、研磨量がΔｈだけ変化してしまう。被研磨物が
磁気ヘッド用のへラドピース集合体２である場合には、
研磨によってギャップデイブスｄｇを定めるという重要
な作業を伴ない、しかもギャップディプスｄｇは０．１
μＩ以下の高精度で研磨調整しなければならないため、
上述のような面変動があると、ギャップデイブスｄｇを
所定値に調整することが困難になり、所定の電磁変換特
性を有する磁気ヘッドを得ることができなくなる。

接着剤４として、ホットメルト樹脂の代りに瞬間接着剤
を用いると、塗布厚み変動を小さくするができるが、こ
の場合には、スライダ部材２１に瞬間接着による歪が発
生し、歪による面変動を招く。

く問題点を解決するための手段〉 上述する従来の問題点を解決するため、本発明に係る研
磨方法は、第１の治具と第２の治具とで構成される治具
を備え、前記第２の治具の研磨側の面に被研磨物を貼付
し、前記第１の治具及び第２の治具を研磨側の面を基準
にして位置合せし、かつ、側端面を互いに接合し、前記
被研磨物を、研磨側の面を基準として研磨することを特
徴とする。

〈作用〉 第２の治具の研磨側の面に被研磨物を貼付し、前記第１
の治具及び第２の治具を研磨側の面を基準にして位置合
せすると、被研磨物を貼付している接着剤の塗布厚みが
変動した場合でも、被研磨物の表面の研磨面が、位置合
せ基準面に一致するようになるので、接着剤塗布厚み変
動を吸収できる。このため、被研磨物の研磨側の面を所
定位置に設定して高精度で研磨することができる。

〈実施例〉 第１図は本発明に係る研磨方法の実施に使用される治具
の断面図、第２図は同じくその底面図である。図におい
て、第５図及び第６図と同一の参照符号は同一性ある構
成部分を示している。３は第１の治具、５は第２の治具
である。第１の治具３は、研磨側の面３１上に、表面鏡
面仕上げとした基準片６を接着剤等で接着固定しである
。

第２の治具５は、研磨側の面５１上にヘッドピース集合
体２を接着剤７によって貼付しである。接着剤７は接着
歪を防止するためにホットメルト樹脂を用いる。

前記第１の治具３及び第２の治具５は、研磨側の面３１
．５１と略垂直となるように形成された側端面３２．５
２を、接着剤８によって固着しである。

第１の治具３及び第２の治具５の位置合せに当っては、
第３図に示すように、両者の研磨側の面３１．５１を、
オプチカルフラット９上に載せ、スライダ部材２１の下
面２１１及び基準片６の表面を、オプチカルフラット９
の表面を基準にして位置合せし、かつ、互いの側端面３
２．５２を当接させ、接着剤８（第１図及び第２図参照
）で接合する。

上述の位置合せによると、第４図に示すように、被研磨
物たるヘッドピース集合体２を接着固定する接着剤７の
厚みがｈｓ、ｈｚのように異なった場合でも、それに影
響されずに、研磨面となる下面２１１の表面を、オプチ
カルフラット９の表面位置によって定まる所定の平面位
置に設定し、下面２１１を基準にして所定の研磨を行な
うことができる。これにより、ギヤップディブスｄｇを
高精度で研磨調整し、所定の電磁変換特性を有する磁気
ヘッドを得ることができる。

上記実施例では、ヘッドピース集合体の研磨方法を例に
とって説明したが、これに限らず、被研磨物を、研磨側
の面を基準として研磨する方法に広く適用できる。

〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明に係る研磨方法は、第１の治
具と第２の治具とで構成される治具を備え、前記第２の
治具の研磨側の面に被研磨物を貼付し、前記第１の治具
及び第２の治具を研磨側の面を基準にして位置合せし、
かつ、側端面を互いに接合し、前記被研磨物を、研磨側
の面を基準として研磨することを特徴とするから、被研
磨物を貼付する接着剤等の影響を受けずに、研磨面から
の研磨量が所定の値となるように研磨することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る研磨方法の実施に使用される治具
の正面断面図、第２図は同じくその底面図、第３図は本
発明に係る研磨方法における位置合せを説明する図、第
４図は同じくその作用を説明する図、第５図は従来の研
磨装置を用いた研磨方法を説明する平面図、第６図は同
じくその正面図、第７図は従来の治具の正面断面図、第
８図は同じくその底面図、第９図は同じく要部拡大図、
第１０図はへラドピース集合体の読み書き素子部分の拡
大断面図、第１１図は従来の問題点を示す図である。 ２・・・被研磨物　　　　３・・・第１０治具５・・・
第２の治具 特許出願人　　　　ティーデイ−ケイ株式会社第１図 第２図 第７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）第１の治具と第２の治具とで構成される治具を備
   え、前記第２の治具の研磨側の面に被研磨物を貼付し、
   前記第１の治具及び第２の治具を研磨側の面を基準にし
   て位置合せし、かつ、側端面を互いに接合し、前記被研
   磨物を、研磨側の面を基準として研磨することを特徴と
   する研磨方法。