JPH0267717A - 縮小投影型露光装置 - Google Patents
縮小投影型露光装置Info
- Publication number
- JPH0267717A JPH0267717A JP63220179A JP22017988A JPH0267717A JP H0267717 A JPH0267717 A JP H0267717A JP 63220179 A JP63220179 A JP 63220179A JP 22017988 A JP22017988 A JP 22017988A JP H0267717 A JPH0267717 A JP H0267717A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- alignment
- marks
- detecting parts
- lines
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造プロセス中のフォトレジスト塗布
後の目合わせ露光工程で使用される縮小投影型露光装置
（以下ステッパーという）に関する。
後の目合わせ露光工程で使用される縮小投影型露光装置
（以下ステッパーという）に関する。
従来、ステッパーの信号検出部は、ウェハー上のアライ
メントマークに対してのみ検知しデータを取り込むもの
となっていた。
メントマークに対してのみ検知しデータを取り込むもの
となっていた。
上述した従来のステッパーは、信号検出部がウェハーの
アライメントマークに対する検知しか行っていないので
、ウェハー上のパターンやスクライブラインからの疑似
信号によってアライメントマークを誤検出することがあ
るという問題があった。
アライメントマークに対する検知しか行っていないので
、ウェハー上のパターンやスクライブラインからの疑似
信号によってアライメントマークを誤検出することがあ
るという問題があった。
本発明の目的は、このような問題を解決し、アライメン
トマークの信号検出だけでなく、スクラブ線やパターン
に対応した信号検出を行なうことにより、位置検出の誤
りをなくした縮小投影型露光装置を提供することにある
。
トマークの信号検出だけでなく、スクラブ線やパターン
に対応した信号検出を行なうことにより、位置検出の誤
りをなくした縮小投影型露光装置を提供することにある
。
本発明の構成は、レーザ光をウェハー上のアライメント
マークに照射し、このアライメントマークからの回折光
のを検出して前記ウェハーの位置決めを行なう縮小投影
型露光装置において、前記アライメントマークからの検
出信号と前記ウェハーの内部素子のスクラブラインから
の検出信号とを区別して検出する信号検出部をそれぞれ
設け、前記ウェハーの回路パターンおよびアライメント
マークの識別を可能としたことを特徴とする。
マークに照射し、このアライメントマークからの回折光
のを検出して前記ウェハーの位置決めを行なう縮小投影
型露光装置において、前記アライメントマークからの検
出信号と前記ウェハーの内部素子のスクラブラインから
の検出信号とを区別して検出する信号検出部をそれぞれ
設け、前記ウェハーの回路パターンおよびアライメント
マークの識別を可能としたことを特徴とする。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の概略構成図である。図にお
いて、１はレーザ管、２はウェハー１０上にあるスクラ
イブライン、３はウェハー１０上に設けた４５°斜格子
を用いたアライメントマーク、４はハーフミラ−５５は
アライメント信号検出部、６はスクラブラインパターン
信号検出部、７はアライメントコントロール部、８はＸ
Ｙ移動台である。
いて、１はレーザ管、２はウェハー１０上にあるスクラ
イブライン、３はウェハー１０上に設けた４５°斜格子
を用いたアライメントマーク、４はハーフミラ−５５は
アライメント信号検出部、６はスクラブラインパターン
信号検出部、７はアライメントコントロール部、８はＸ
Ｙ移動台である。
レーザ管１から出射されたレーザ光はハーフミラ−４を
透過して、ウェハー１０上のアライメントマーク３及び
スクラブライン２上へ照射され、これらからの回折光及
び反射光はハーフミラ−４により反射されてアライメン
ト信号検出部５及びスクラブラインパターン信号検出部
６に入射される。
透過して、ウェハー１０上のアライメントマーク３及び
スクラブライン２上へ照射され、これらからの回折光及
び反射光はハーフミラ−４により反射されてアライメン
ト信号検出部５及びスクラブラインパターン信号検出部
６に入射される。
この時、アライメントマーク３の回折光は、アライメン
トマーク３が４５°の傾きを持つため、アライメントマ
ーク信号検出部５に入射する。また、スクラブライン２
においては、回折光が出すに反射光のみのため、アライ
メントマーク信号・検出部５とスクラブラインパターン
信号検出部６にそれぞれ入射され、アライメントコント
ロール部７でスクラブパターン信号検出部６と、アライ
メントマーク信号検出部５の両者を対比させる事でアラ
イメントマークとスクラブライン及びパターンの区別を
行なうことが出来る。
トマーク３が４５°の傾きを持つため、アライメントマ
ーク信号検出部５に入射する。また、スクラブライン２
においては、回折光が出すに反射光のみのため、アライ
メントマーク信号・検出部５とスクラブラインパターン
信号検出部６にそれぞれ入射され、アライメントコント
ロール部７でスクラブパターン信号検出部６と、アライ
メントマーク信号検出部５の両者を対比させる事でアラ
イメントマークとスクラブライン及びパターンの区別を
行なうことが出来る。
以上説明したように本発明は、アライメントマーク信号
と、スクラブパターン信号とを比較検出しているので、
アライメントマークの誤検出を防止できる効果がある。
と、スクラブパターン信号とを比較検出しているので、
アライメントマークの誤検出を防止できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例の模式的構成図である。
１・・・レーザ管、２・・・スクラブ線、３・・・アラ
イメントマーク、４・・・ハーフミラ−１５・・・アラ
イメント信号検出部、６・・・スクラブパターン信号検
出部、７・・・アライメントコントロール部、８・・・
ＸＹ移動台、１０・・・ウェハー
イメントマーク、４・・・ハーフミラ−１５・・・アラ
イメント信号検出部、６・・・スクラブパターン信号検
出部、７・・・アライメントコントロール部、８・・・
ＸＹ移動台、１０・・・ウェハー
Claims (1)
- レーザ光をウェハー上のアライメントマークに照射し
、このアライメントマークからの回折光のを検出して前
記ウェハーの位置決めを行なう縮小投影型露光装置にお
いて、前記アライメントマークからの検出信号と前記ウ
ェハーの内部素子のスクラブラインからの検出信号とを
区別して検出する信号検出部をそれぞれ設け、前記ウェ
ハーの回路パターンおよびアライメントマークの識別を
可能としたことを特徴とする縮小投影型露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63220179A JPH0267717A (ja) | 1988-09-01 | 1988-09-01 | 縮小投影型露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63220179A JPH0267717A (ja) | 1988-09-01 | 1988-09-01 | 縮小投影型露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0267717A true JPH0267717A (ja) | 1990-03-07 |
Family
ID=16747122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63220179A Pending JPH0267717A (ja) | 1988-09-01 | 1988-09-01 | 縮小投影型露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0267717A (ja) |
-
1988
- 1988-09-01 JP JP63220179A patent/JPH0267717A/ja active Pending
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