JPH0259927B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0259927B2 JPH0259927B2 JP10059883A JP10059883A JPH0259927B2 JP H0259927 B2 JPH0259927 B2 JP H0259927B2 JP 10059883 A JP10059883 A JP 10059883A JP 10059883 A JP10059883 A JP 10059883A JP H0259927 B2 JPH0259927 B2 JP H0259927B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrator
- output
- relay element
- base
- command signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 17
- ZLHLYESIHSHXGM-UHFFFAOYSA-N 4,6-dimethyl-1h-imidazo[1,2-a]purin-9-one Chemical compound N=1C(C)=CN(C2=O)C=1N(C)C1=C2NC=N1 ZLHLYESIHSHXGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Positioning Apparatuses (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、座標位置検出装置、特にＸ−Ｙテー
ブルや、工作機械の送り装置等の水平基盤上を移
動する移動台の座標を、移動台上に設置した加速
度計を用いて検出する座標位置検出装置に関する
ものである。
ブルや、工作機械の送り装置等の水平基盤上を移
動する移動台の座標を、移動台上に設置した加速
度計を用いて検出する座標位置検出装置に関する
ものである。
従来、この種の装置に於ける座標系の検出に
は、エンコーダ、リニアエンコーダ、マグネスケ
ール、レーザ光等を利用した装置等が用いられ
る。然し乍ら、エンコーダやマグネスケール等
は、その検出精度に限界があり、更に移動台の移
動距離が長い場合、装置のコストが高くなる。
又、レーザ光を用いた装置は、検出精度は高い
が、そのコストも高いと云う欠点がある。
は、エンコーダ、リニアエンコーダ、マグネスケ
ール、レーザ光等を利用した装置等が用いられ
る。然し乍ら、エンコーダやマグネスケール等
は、その検出精度に限界があり、更に移動台の移
動距離が長い場合、装置のコストが高くなる。
又、レーザ光を用いた装置は、検出精度は高い
が、そのコストも高いと云う欠点がある。
従つて、本発明の主目的は、上記した従来装置
の欠点を一掃した、高精度且つ廉価な座標位置検
出装置を提供せんとするにある。
の欠点を一掃した、高精度且つ廉価な座標位置検
出装置を提供せんとするにある。
本発明による座標位置検出装置の要旨は、略々
水平な平面を有する基台上を移動する移動台の上
記基台に対する座標位置を検出する装置に於い
て、上記移動台上に入力軸を略々水平にして配置
した加速度計と、該加速度計の出力を時間に関し
て２回積分し上記基台に対する上記移動台の座標
位置検出出力信号を発生する第１及び第２の積分
装置と、比例＋積分要素から成りその出力が上記
第１の積分装置に入力されるバイアス修正器と、
上記第１の積分装置の出力側と上記バイアス修正
器の入力側との間に挿入され上記移動台の移動又
は停止命令信号により切換られる第１のリレー要
素と、上記第１の積分装置の出力側と上記第２の
積分装置の入力側との間に挿入され上記移動台の
移動又は停止命令信号により切換られる第２のリ
レー要素とより成り、上記移動又は停止命令信号
により、上記第１のリレー要素は上記第１の積分
装置の出力端を上記バイアス修正器の入力端に接
続すると共に、上記第２のリレー要素は上記第１
の積分装置の出力端と上記第２の積分装置の入力
端との接続を開放し、該第２の積分装置の出力値
をその直前の値にホールドするようになしたこと
に在る。
水平な平面を有する基台上を移動する移動台の上
記基台に対する座標位置を検出する装置に於い
て、上記移動台上に入力軸を略々水平にして配置
した加速度計と、該加速度計の出力を時間に関し
て２回積分し上記基台に対する上記移動台の座標
位置検出出力信号を発生する第１及び第２の積分
装置と、比例＋積分要素から成りその出力が上記
第１の積分装置に入力されるバイアス修正器と、
上記第１の積分装置の出力側と上記バイアス修正
器の入力側との間に挿入され上記移動台の移動又
は停止命令信号により切換られる第１のリレー要
素と、上記第１の積分装置の出力側と上記第２の
積分装置の入力側との間に挿入され上記移動台の
移動又は停止命令信号により切換られる第２のリ
レー要素とより成り、上記移動又は停止命令信号
により、上記第１のリレー要素は上記第１の積分
装置の出力端を上記バイアス修正器の入力端に接
続すると共に、上記第２のリレー要素は上記第１
の積分装置の出力端と上記第２の積分装置の入力
端との接続を開放し、該第２の積分装置の出力値
をその直前の値にホールドするようになしたこと
に在る。
以下、図面を参照して、上述した要旨を有する
本発明の一例を説明しよう。
本発明の一例を説明しよう。
第１図は、本発明による座標位置検出装置の一
例を、Ｘ−Ｙステージに適用した場合を示す斜視
図である。同図に於て、１は基盤で、この基盤１
上に、水平案内面２′を上方に有する、例えばＸ
−軸方向に伸びるＸ−基台２を取り付ける。３は
Ｘ−移動台で、これは、Ｘ−基台２の案内面２′
に沿つてＸ−軸方向に移動し得る如く、案内面
２′と嵌合している。Ｘ−移動台３上に、Ｙ−基
台４を取り付ける。このＹ−基台４は、Ｘ−軸と
直行するＹ−軸方向に伸び、その上面は水平案内
面４′となつている。Ｙ−基台４の案内面４′に、
Ｙ−移動台５を嵌合させ、Ｙ―軸方向に移動し得
るようになす。図に示す如く、Ｘ−及びＹ−基台
２及び４は、夫々Ｘ−及びＹ−軸方向に伸びるス
リツト２″及び４″を有し、それ等の内部に、Ｘ−
及びＹ−軸方向に伸びる送りネジ６及び７が、回
転し得るように支持されている。これ等送りネジ
６及び７は、モータの如き駆動装置８及び９によ
り、夫々回転される。図示せずも、Ｘ−及びＹ−
移動台３及び５は、夫々送りネジ６及び７と螺合
するネジを有しているので、送りネジ６及び７が
駆動装置８及び９により回転されると、Ｘ−及び
Ｙ−移動台３及び５が、夫々Ｘ−及びＹ−軸方向
に移動し、結局、Ｙ−移動台５を、基盤１上の所
望の位置に移動させることができる。
例を、Ｘ−Ｙステージに適用した場合を示す斜視
図である。同図に於て、１は基盤で、この基盤１
上に、水平案内面２′を上方に有する、例えばＸ
−軸方向に伸びるＸ−基台２を取り付ける。３は
Ｘ−移動台で、これは、Ｘ−基台２の案内面２′
に沿つてＸ−軸方向に移動し得る如く、案内面
２′と嵌合している。Ｘ−移動台３上に、Ｙ−基
台４を取り付ける。このＹ−基台４は、Ｘ−軸と
直行するＹ−軸方向に伸び、その上面は水平案内
面４′となつている。Ｙ−基台４の案内面４′に、
Ｙ−移動台５を嵌合させ、Ｙ―軸方向に移動し得
るようになす。図に示す如く、Ｘ−及びＹ−基台
２及び４は、夫々Ｘ−及びＹ−軸方向に伸びるス
リツト２″及び４″を有し、それ等の内部に、Ｘ−
及びＹ−軸方向に伸びる送りネジ６及び７が、回
転し得るように支持されている。これ等送りネジ
６及び７は、モータの如き駆動装置８及び９によ
り、夫々回転される。図示せずも、Ｘ−及びＹ−
移動台３及び５は、夫々送りネジ６及び７と螺合
するネジを有しているので、送りネジ６及び７が
駆動装置８及び９により回転されると、Ｘ−及び
Ｙ−移動台３及び５が、夫々Ｘ−及びＹ−軸方向
に移動し、結局、Ｙ−移動台５を、基盤１上の所
望の位置に移動させることができる。
扨て、上述は、従来周知の構成であるが、本発
明の座標位置検出装置の一例は、第１図に示す如
く、Ｙ−移動台５上に取り付けたＸ−及びＹ−加
速度計１０及び１１を有する。この場合、これ等
Ｘ−及びＹ−加速度計１０及び１１の夫々の入力
軸は、図に於て矢印で示す如く、Ｘ−及びＹ−移
動台３及び５の移動方向、即ちＸ−及びＹ−軸方
向と平行となるように整合されている。
明の座標位置検出装置の一例は、第１図に示す如
く、Ｙ−移動台５上に取り付けたＸ−及びＹ−加
速度計１０及び１１を有する。この場合、これ等
Ｘ−及びＹ−加速度計１０及び１１の夫々の入力
軸は、図に於て矢印で示す如く、Ｘ−及びＹ−移
動台３及び５の移動方向、即ちＸ−及びＹ−軸方
向と平行となるように整合されている。
扨て、本発明に於ては、その原理構成を示す第
２図の如く、Ｙ−移動台５上に、夫々の入力軸
を、Ｘ−及びＹ−移動台３及び５の移動方向、即
ちＸ−及びＹ−軸方向に正しく整合したＸ−及び
Ｙ−加速度計１０及び１１の出力を、夫々Ｘ−及
びＹ−速度積分器１２及び１３とＸ−及びＹ−位
置積分器１４及び１５を通すことにより、これ等
出力を、時間に関して２回積分し、Ｙ−移動台５
の座標位置検出信号Ｘ及びＹを得る。尚、この場
合、速度の初期値X〓0，Y〓0及び位置の初期値X0，
Y0を、予じめ、速度積分器１２，１３及び位置
積分器１４，１５に供給する必要がある。
２図の如く、Ｙ−移動台５上に、夫々の入力軸
を、Ｘ−及びＹ−移動台３及び５の移動方向、即
ちＸ−及びＹ−軸方向に正しく整合したＸ−及び
Ｙ−加速度計１０及び１１の出力を、夫々Ｘ−及
びＹ−速度積分器１２及び１３とＸ−及びＹ−位
置積分器１４及び１５を通すことにより、これ等
出力を、時間に関して２回積分し、Ｙ−移動台５
の座標位置検出信号Ｘ及びＹを得る。尚、この場
合、速度の初期値X〓0，Y〓0及び位置の初期値X0，
Y0を、予じめ、速度積分器１２，１３及び位置
積分器１４，１５に供給する必要がある。
然し乍ら、第２図に示す原理構成によれば、加
速度計の出力を２重積分して、移動台の位置を検
出するため、加速度計のバイアスや積分器のオフ
セツトにより、検出出力の誤差が、時間の経過と
共に増大し、第２図の原理構成そのまゝでは、実
用に供さない。
速度計の出力を２重積分して、移動台の位置を検
出するため、加速度計のバイアスや積分器のオフ
セツトにより、検出出力の誤差が、時間の経過と
共に増大し、第２図の原理構成そのまゝでは、実
用に供さない。
従つて、本発明に於ては、上述の問題点を解決
するために、バイアス修正器、リレー要素等を、
第２図に示す原理構成に付加する。
するために、バイアス修正器、リレー要素等を、
第２図に示す原理構成に付加する。
第３図は、本発明の一例のブロツク線図で、２
個の検出系のうち、一方、即ちＸ−軸検出系のみ
を示しているが、Ｙ−軸検出系も同様であること
は、勿論である。
個の検出系のうち、一方、即ちＸ−軸検出系のみ
を示しているが、Ｙ−軸検出系も同様であること
は、勿論である。
第３図に示す如く、Ｘ−加速度計１０及びＸ−
速度積分器１２間に、加算器１６を挿入し、Ｘ−
速度積分器１２の出力側と加算器１６との間に、
リレー要素１７及びバイアス修正器１８を直列に
挿入し、更に、Ｘ−速度積分器１２の出力側とＸ
−位置積分器１４との間に、リレー要素１９を挿
入する。
速度積分器１２間に、加算器１６を挿入し、Ｘ−
速度積分器１２の出力側と加算器１６との間に、
リレー要素１７及びバイアス修正器１８を直列に
挿入し、更に、Ｘ−速度積分器１２の出力側とＸ
−位置積分器１４との間に、リレー要素１９を挿
入する。
第３図に示す本発明の例は、第１図に示す移動
台５が移動命令信号により移動している間は、第
２図に示す原理構成と同様な機能を果すが、装置
の起動時や、移動台５の停止時に於ては、移動或
は停止命令信号に応じて、リレー要素１７及び１
９を連動して制御する。即ち、第３図に示す如
く、リレー要素１７は、バイアス修正器１８の入
力側に接続された可動接片１７ａ、Ｘ−速度積分
器１２の出力側に接続された固定接点１７ｂ及び
開放接点１７ｃを有し、他方のリレー要素１９
は、Ｘ−速度積分器１２の出力側に接続された可
動接片１９ａ、Ｘ−位置積分器１４の入力側に接
続された固定接点１９ｂ及び開放接点１９ｃを有
し、両リレー要素１７及び１９の可動接片１７ａ
及び１９ａが、停止或は移動命令信号により連動
して切換られる。例えば、上述の如く移動台５が
移動している間は、リレー要素１７の可動接片１
７ａはその開放接点１７ｃに、又はリレー要素１
９の可動接片１９ａはその固定接点１９ｂに、
夫々接続される（第３図の実線状態）。従つて、
この場合は、第３図に示す本発明の例は、第２図
に示す原理構成と同様に機能する。
台５が移動命令信号により移動している間は、第
２図に示す原理構成と同様な機能を果すが、装置
の起動時や、移動台５の停止時に於ては、移動或
は停止命令信号に応じて、リレー要素１７及び１
９を連動して制御する。即ち、第３図に示す如
く、リレー要素１７は、バイアス修正器１８の入
力側に接続された可動接片１７ａ、Ｘ−速度積分
器１２の出力側に接続された固定接点１７ｂ及び
開放接点１７ｃを有し、他方のリレー要素１９
は、Ｘ−速度積分器１２の出力側に接続された可
動接片１９ａ、Ｘ−位置積分器１４の入力側に接
続された固定接点１９ｂ及び開放接点１９ｃを有
し、両リレー要素１７及び１９の可動接片１７ａ
及び１９ａが、停止或は移動命令信号により連動
して切換られる。例えば、上述の如く移動台５が
移動している間は、リレー要素１７の可動接片１
７ａはその開放接点１７ｃに、又はリレー要素１
９の可動接片１９ａはその固定接点１９ｂに、
夫々接続される（第３図の実線状態）。従つて、
この場合は、第３図に示す本発明の例は、第２図
に示す原理構成と同様に機能する。
装置の起動又は移動台５の停止時には、その命
令信号により、リレー要素１７の可動接片１７ａ
がその固定接点１７ｂに、リレー要素１９の可動
接片１９ａがその開放接点１９ｃに、夫々切換接
続される（第３図に於て点線図示の状態）。従つ
て、Ｘ−位置積分器１４は、その出力を入力開放
直前の値にホールドする。移動台５の停止時に於
ては、Ｘ−速度積分器１２の出力は、本来ゼロの
筈であるが、Ｘ−加速度計１０のバイアス変化、
或はＸ−速度積分器１２自身のドリフト等によつ
て、誤差出力が、Ｘ−速度積分器１２より発生し
ていることが考えられる。ところが、本発明に於
ては、上述のように、移動台５の停止時に、Ｘ−
速度積分器１２の出力を、リレー要素１７を介し
て、比例＋積分要素（比例定数K2、積分要素の
積分時間T1）からなるバイアス修正器１８で処
理し、加算器１６を介して、Ｘ−速度積分器１２
に負帰還しているので、比例定数K2及び積分時
間T1で決まる時定数によつて、Ｘ−速度積分器
１２よりの誤差出力は、減衰していき、積分要素
の存在により、最終的にはゼロに収斂する。この
状態では、Ｘ−加速度計１０のバイアス値及びＸ
−速度積分器１２のドリフトは、バイアス修正器
１８内の積分要素の出力値と等しい値となつてい
る。一方、Ｘ−位置積分器１４への入力は、リレ
ー要素１９により遮断されているので、その出力
は、上述の如く、停止直前の値を保持している。
令信号により、リレー要素１７の可動接片１７ａ
がその固定接点１７ｂに、リレー要素１９の可動
接片１９ａがその開放接点１９ｃに、夫々切換接
続される（第３図に於て点線図示の状態）。従つ
て、Ｘ−位置積分器１４は、その出力を入力開放
直前の値にホールドする。移動台５の停止時に於
ては、Ｘ−速度積分器１２の出力は、本来ゼロの
筈であるが、Ｘ−加速度計１０のバイアス変化、
或はＸ−速度積分器１２自身のドリフト等によつ
て、誤差出力が、Ｘ−速度積分器１２より発生し
ていることが考えられる。ところが、本発明に於
ては、上述のように、移動台５の停止時に、Ｘ−
速度積分器１２の出力を、リレー要素１７を介し
て、比例＋積分要素（比例定数K2、積分要素の
積分時間T1）からなるバイアス修正器１８で処
理し、加算器１６を介して、Ｘ−速度積分器１２
に負帰還しているので、比例定数K2及び積分時
間T1で決まる時定数によつて、Ｘ−速度積分器
１２よりの誤差出力は、減衰していき、積分要素
の存在により、最終的にはゼロに収斂する。この
状態では、Ｘ−加速度計１０のバイアス値及びＸ
−速度積分器１２のドリフトは、バイアス修正器
１８内の積分要素の出力値と等しい値となつてい
る。一方、Ｘ−位置積分器１４への入力は、リレ
ー要素１９により遮断されているので、その出力
は、上述の如く、停止直前の値を保持している。
次に、移動命令が来ると、リレー要素１７及び
１９が、第３図に於て実線で示す状態に、自動的
に切り換えられ、装置は、第２図に示す原理構成
と同様となるが、この時、バイアス修正器１８に
よつて、Ｘ−加速度計１０のバイアス等は完全に
修正され、Ｘ−速度積分器１２の出力はゼロにな
つていると共に、Ｘ−位置積分器１４の出力は、
それ迄の運動を積分した値にホールドされている
ので、Ｘ−位置積分器１４は、以後、ホールドし
ている値を初期値として、次の位置の積分を行
う。
１９が、第３図に於て実線で示す状態に、自動的
に切り換えられ、装置は、第２図に示す原理構成
と同様となるが、この時、バイアス修正器１８に
よつて、Ｘ−加速度計１０のバイアス等は完全に
修正され、Ｘ−速度積分器１２の出力はゼロにな
つていると共に、Ｘ−位置積分器１４の出力は、
それ迄の運動を積分した値にホールドされている
ので、Ｘ−位置積分器１４は、以後、ホールドし
ている値を初期値として、次の位置の積分を行
う。
尚、Ｘ−速度積分器１２の出力がゼロに収斂す
る前に、次の移動命令が来た場合は、この出力を
アースし、ゼロにリセツトすることは、可能であ
る。
る前に、次の移動命令が来た場合は、この出力を
アースし、ゼロにリセツトすることは、可能であ
る。
尚、上述は、Ｘ−加速度計１０の出力処理系に
就いてであるが、Ｙ−加速度計１１の出力処理系
も、同様に構成し得ることは、明らかであろう。
就いてであるが、Ｙ−加速度計１１の出力処理系
も、同様に構成し得ることは、明らかであろう。
以上述べた如く、本発明によつては、加速度計
の出力を２度積分して移動台の座標位置を検出す
る装置に於て、移動台の停止時に、加速度計のバ
イアス及び速度積分器のドリフトを自動的に補正
するバイアス修正器を設けると共に、位置積分器
を、移動台の停止命令信号によりホールドするこ
とにより、座標位置の検出精度を向上させること
ができる。
の出力を２度積分して移動台の座標位置を検出す
る装置に於て、移動台の停止時に、加速度計のバ
イアス及び速度積分器のドリフトを自動的に補正
するバイアス修正器を設けると共に、位置積分器
を、移動台の停止命令信号によりホールドするこ
とにより、座標位置の検出精度を向上させること
ができる。
第１図は本発明による座標位置検出装置の一例
が適用されているＸ−Ｙステージを示す斜視図、
第２図は本発明の原理構成を示すブロツク線図、
第３図は本発明の一例のブロツク線図である。 図に於て、１０はＸ−加速度計、１１はＹ−加
速度計、１２はＸ−速度積分器、１３はＹ−速度
積分器、１４はＸ−位置積分器、１５はＹ−位置
積分器、１６は加算器、１７及び１９はリレー要
素、１８はバイアス修正器を夫々示す。
が適用されているＸ−Ｙステージを示す斜視図、
第２図は本発明の原理構成を示すブロツク線図、
第３図は本発明の一例のブロツク線図である。 図に於て、１０はＸ−加速度計、１１はＹ−加
速度計、１２はＸ−速度積分器、１３はＹ−速度
積分器、１４はＸ−位置積分器、１５はＹ−位置
積分器、１６は加算器、１７及び１９はリレー要
素、１８はバイアス修正器を夫々示す。
Claims (1)
- １ 略々水平な平面を有する基台上を移動する移
動台の上記基台に対する座標位置を検出する装置
に於いて、上記移動台上に入力軸を略々水平にし
て配置した加速度計と、該加速度計の出力を時間
に関して２回積分し上記基台に対する上記移動台
の座標位置検出出力信号を発生する第１及び第２
の積分装置と、該第１及び第２の積分装置の初期
値を入力するための第１及び第２の初期値入力装
置と、比例＋積分要素から成りその出力が上記第
１の積分装置に入力されるバイアス修正器と、上
記第１の積分装置の出力側と上記バイアス修正器
の入力側との間に挿入され上記移動台の移動又は
停止命令信号により切換られる第１のリレー要素
と、上記第１の積分装置の出力側と上記第２の積
分装置の入力側との間に挿入され上記移動台の移
動又は停止命令信号により切換られる第２のリレ
ー要素とより成り、上記移動又は停止命令信号の
うち、移動命令信号の時には、上記第１のリレー
要素を開放し又上記第２のリレー要素を接続する
と共に、停止命令信号のときは、上記第１のリレ
ー要素は上記第１の積分装置の出力端を上記バイ
アス修正器の入力端に接続すると共に、上記第２
のリレー要素は上記第１の積分装置の出力端と上
記第２の積分装置の入力端との接続を開放し、該
第２の積分装置の出力値をその直前の値にホール
ドするようになすと共に、上記バイアス修正器は
系を収束させるための積分要素とからなるように
構成したことを特徴とする座標位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10059883A JPS59225315A (ja) | 1983-06-06 | 1983-06-06 | 座標位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10059883A JPS59225315A (ja) | 1983-06-06 | 1983-06-06 | 座標位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59225315A JPS59225315A (ja) | 1984-12-18 |
| JPH0259927B2 true JPH0259927B2 (ja) | 1990-12-13 |
Family
ID=14278298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10059883A Granted JPS59225315A (ja) | 1983-06-06 | 1983-06-06 | 座標位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59225315A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02273491A (ja) * | 1989-04-14 | 1990-11-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 面状採暖具 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0814632B2 (ja) * | 1989-03-28 | 1996-02-14 | 松下電器産業株式会社 | スライドガイド装置 |
| JP4841008B2 (ja) * | 2002-05-08 | 2011-12-21 | キヤノン株式会社 | 移動体機構 |
| JP2006177749A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Ritsumeikan | 周期運動体の移動軌跡算出方法及び装置 |
| JP5225060B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2013-07-03 | 三菱電機株式会社 | 機械運動測定装置 |
| US10543574B2 (en) | 2016-03-16 | 2020-01-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Machine motion trajectory measuring apparatus |
-
1983
- 1983-06-06 JP JP10059883A patent/JPS59225315A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02273491A (ja) * | 1989-04-14 | 1990-11-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 面状採暖具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59225315A (ja) | 1984-12-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5699145A (en) | Scanning type exposure apparatus | |
| GB2201532A (en) | Servo system for piezo-electric actuator | |
| JPH0259927B2 (ja) | ||
| KR970007499A (ko) | 스테이지 구동 제어 장치 및 스테이지 구동 제어 방법 | |
| JPH0927443A (ja) | ステージ駆動制御装置 | |
| US5661388A (en) | Positioning method and positioning system | |
| JPH01202833A (ja) | 高精度ｘｙステージ装置 | |
| JP3194246B2 (ja) | Ｘ−ｙステージの制御装置 | |
| WO1992008576A1 (en) | Equipment for controlling digitizing | |
| JP2707548B2 (ja) | 視覚認識装置の座標補正方法 | |
| EP0072870A1 (en) | Backlash compensation system for dual position-feedback control systems | |
| KR890001353B1 (ko) | 수치 제어장치 | |
| WO1991002624A1 (en) | Profile control apparatus | |
| JPS59192446A (ja) | 倣い制御装置 | |
| JPH0976141A (ja) | 超精密加工機の真直度補正システム | |
| JPH0259925B2 (ja) | ||
| JP2881889B2 (ja) | 無人搬送車の移載位置決め装置 | |
| JP2539097B2 (ja) | 加工誤差補正方法及び工作機械 | |
| JPH05150820A (ja) | Ｎｃ装置 | |
| JPS61264406A (ja) | 移動体制御装置 | |
| JPH0513793B2 (ja) | ||
| JPH07245257A (ja) | 投影露光装置 | |
| JP2518923B2 (ja) | 数値制御装置 | |
| JPS6288589A (ja) | ロボツト | |
| JP2909091B2 (ja) | 光ビーム捕捉追尾制御装置 |